JPS583397A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 生する振動板との接着剤による接着方法に関する。

従来の圧電ブザー等におけるセラミック圧電素子基板と
振動板との接着法を第１図で説明すると次のとおりであ
る。まず、セラミック圧電索子基板１はスクリーン印桐
方法等にょシ両面に電極１＊ｇｌｂ′ｔ−塗布し、８０
０℃前後の温度で電極焼付後、高電界中にて分極処理を
施す。

そして、真空吸着治具２により保持された薄板金職の振
動板３にディスペンサ方式等により接着剤４ｔのせ、そ
の上部の位置になるように前記セラミック圧電索子基板
１を真空吸着治具５にて保持配設し、真空吸着治具５そ
のもので矢印方向く押え付ける。この場合、セラミック
圧電素子基板１と振動板Ｓとを上記と同様に保持し、相
対的に回転を加えながら圧下し、セラミック圧電素子基
板１と振動板Ｓとｔ１１着する方法も提案されている。

（実開昭５２−３１２７７号）。

しかしながらこのような従来法では、ドクタブレード方
法等によシ製作された０、０５〜０．１５ｍと極薄いセ
ラミック圧電素子は電極焼付時や分極処理時に熱や電界
によりそシが生じた状態にてはりつけられたり、セラミ
ック圧電素子は動きの大きな機械的な力による圧接や回
転により接着されるため、接着時にセラきツク圧電素子
周辺がかけた夛極端な場合はわれ歩留ｂｔ低下させる。

ｔたそ９の生じたセラミック圧電素子と 基板の場合はセラ建ツク圧電素子基板★振動板間に空気
層を生じさせ密着性を悪くする。さらに動きの大きな機
械的な力による圧接や回転の場合、セラミック圧電素子
基板がかけたり、われが生じなくて４真空吸着治其のあ
たるセラミック圧電素子の主面に設けられた電極面及び
振動板面に、セラミック圧電素子と接着剤間、接着剤と
振動板間のそれぞれの接着力が増えていくことによるセ
ラミック圧電素子及び振動板の吸着力のアンバランスに
よりこすれ傷が発生し圧電ブザーの音響特性や信頼性を
さげていた。

これらの欠点は真空吸着力が吸着方向には強いがその９
０度方向（回転はこの中に入る）からの力には弱いこと
や使用される接着剤の粘度係数が大きいことにも原因が
ある。

この発明は上記の点にかんがみてなされ友もので、外部
的な圧接力や回転力など會与えることなく、圧電素子基
板と振動板との密着性ｔ−高め、圧電振動子の信頼性向
上をはかる方法を提供するものである。

すなわちこの発明は、振動板を、例えば真空吸着保持す
るＩＩＩＫその中央部が外方に突出した状態となるよう
にそらし、その復元力を利用して圧電素子基板に接着す
ると共に前記振動板側から圧搾ガスを吹きつけるように
したもので、これにより圧電素子基板と振動板間に空気
層を生じさせないようにして密着性を高めることができ
、また接着時に外部から剛体による圧接力などを与えな
いから、品質特性と歩ｌＩシの向上をはかることができ
る。

以下図面を参照してこの発明の詳細な説明する。第２図
社−実施例の接着直前の状Ｉｍを示すもので、両主面に
電極１１＊、１ｌｂｔ−有するセラミック圧電素子基板
１１は片面にスクリーン印刷方法等によ〕接着剤１２が
塗布され、その反対側が真空吸着治具１４により吸着保
持されている。真空吸着治具１４は真空吸着力を均一に
するため同心円上に多数の孔１４＊Ｏあいた樹脂製たと
えとジュラコンで作られておプ、真空連絡具ＩＳＫ密着
挿入されている。金属薄板からなる振動板１５は別の真
空吸着治具１６により保持されて圧電素子基板１１に対
向配置される。ここで真空吸着治具１６はその先端中央
部を周辺部より寸法Ａだけ突出させておき、これにより
振動板１６を吸着保持したときにその中央部が外方に突
出した状１１にそらせる。

また真空吸着治具１６は真空吸着を行うための吸気部１
６１の他に圧搾ガスを吹きつけるためのガス送風部１６
ｂｆｆ有する。ζうして振動板１５の尖端が接着剤１２
面上に触れる位置まで降下させ、真空吸着治具１ｄ側の
真空吸着力を徐々に弱めていき停止させる仁とによ如、
振動板１５自身の復元力により中央部からＩｆＫ周辺部
へと圧電素子基板１１に接着させる。このとき、ガス送
風部１６ｂｔ−介して真空吸着治具１ｇＫ圧搾ガス、例
えば圧搾空気を送り込み、これを振動板１５０面に吹き
つける。その後セラミック圧電素子基板１１＠の真空吸
着力をとりのそ自、１００℃前後の恒温槽に入れ接着剤
１２ｔ−硬化する。

ドクタブレード方法等によシ製作され九極薄のセフイッ
ク圧ｍ＊子は製造プロセス中にそルが生じるが、そのそ
シ量（凹面状にそりたセラミック圧電素子の周辺部の最
高点と中心部の最低点の差）は瞭者らの行な５九実験製
造グロセスからすると、セラオ°ツク圧電”素子厚さ０
．０５〜０．１５■でセラ建ツク圧電素子外径が２２■
のとき０．５■以下のものが大半である。この程度のそ
υ量の場合、セラはツク圧電素子基板は平坦圧するよう
な塑性変形をおこしてもわれないため吸着保持具によシ
平坦に真空吸着してもわれることはない、また一般に黄
銅板、ステンレス板を利用している振動板は真空吸着力
を利用してその中央部を突出させるようにそらせるが振
動板の厚さが０．０５−以下となると、そのそシの復元
力が小さくなシ接着剤とのなじみを不十分とし、１九〇
、１５−以上となると逆に復元力が大きくなプすぎ、同
時に大きな吸着力も必要とし、さらＫは極薄いセラミッ
ク圧電素子基板に無理な力を加えることになる。この意
味で振動板厚さとしては０．０５〜０．１５−のものが
最適である。ｔた振動板の弾性定数を考え吸着治具１６
の中央の突出部の高さの寸法ムは１．５−以下がよい、
また接着剤は振動板の復元力および圧搾ガスの吹きつけ
により外側に押出されるように移動するためセラミック
圧電素子基板外径よりわずかに小さい範囲に塗布するの
が好ましい。

この実施例によると振動板１５を真空吸着時に凸状にそ
らし、その復元力を利用すると共に、圧搾ガスによるソ
フトな力を利用して接着することによりセラミツタ圧電
素子基板１ノと振動板１５間の密着性を高めることがで
きる。即ち振動板１５の復元力がセラミック圧電素子基
板１１の中央部から周辺部へ順次圧接力として伝えられ
ることにより、また圧搾ガスが振動板中央部から周辺部
へ流れることにより、接着剤１２が周辺に移動する結果
、セラミック圧電素子基板１１と振動板１５の間に空気
層が残ることはなくな）、両者のなじみをよくシ、密着
往管向上させる。また従来生じていた剛体の押圧力によ
るセラはツク圧電素子のわれもなくなシ、セラミック圧
電素子の電極面に傷も与えなくなシ歩貿シ及び品質特性
が向上するという効果が得られる。

第３図は第２図と逆に振動板１５＠に接着剤１２を塗布
した場合を示している。これＫよっても第２図の場合と
同様の効果が得られる。ｔた第４図は振動板１５側の真
空吸着治具１ｇの先端部が、第２図のように振動板１５
のそシに合わせた曲面を描かない場合であるが、このよ
うにして振動板に無塩な力がかからないように多少真空
をリークさせることが好ましい場合もある。

以上のようにこの発明によれば、振動板の弾性と圧搾ガ
スのソフトな力を利用して振動板と圧電素子基板を密着
性よく接着することができ、信頼性が高く音響特性の優
れた圧電振動子を歩留りよく得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の圧電素子基板と振動板の接着方法の説明
図、第２図はこの発明の一実施例による圧電素子基板と
振動板の接着方法の説明図、第３図および第４図は他の
実施例による接着方法の説明図である。 １１・・・セラミック圧電素子基板、１１ｇ。 １１ｂ・・・電極、１２・・・接着剤、１４．１６・・
・真空吸着治具、１６・・・振動板。 出願人代理人　　弁理士　鈴　江　武　彦第１図 第２図 第４図 １ら

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）両生両に電極を有する圧電素子基板と振動板を対
   向させ、間に接着剤をはさんで両者を接着する圧電振動
   子の製造方法において、前記振動板を、その中央部が外
   方に突出した状態となるようにそらしてその突出部を前
   記圧電素子基板面４Ｃ接触させ、復元力を利用して圧電
   素子基板に接着させると共に前記振動板情から圧搾ガス
   を吹きつけることｔ−特徴とする圧電振動子の製造方法
   。
2. （２）振動板は厚さが０．０５〜０．１５■の金属薄板
   である特許請求の範囲第１項記載の圧電振動子の製造方
   法。
3. （３）圧電素子基板と振動板をそれぞれ真空吸着治具で
   吸着保持して対向させ、前記振動板側の真空吸着治具の
   中央部を周辺部に対して１．５−以下の範囲で突出させ
   ておくことによシ、前記振動板をその中央部が外方に突
   出した状態となるようにそらせ、前記真空吸着治具によ
   る吸着力を解除し友後この真空吸着治具を介して圧搾ガ
   スを吹きつけるよう圧した特許請求の範囲第１項記載の
   圧電振動子の製造方法。