JPS5868213A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS5868213A JPS5868213A JP16576781A JP16576781A JPS5868213A JP S5868213 A JPS5868213 A JP S5868213A JP 16576781 A JP16576781 A JP 16576781A JP 16576781 A JP16576781 A JP 16576781A JP S5868213 A JPS5868213 A JP S5868213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- soft
- substrate
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は狭ギャップ長ヘッドン歩留まり艮〈製造する方
法に関するものである。
法に関するものである。
記録密度向上に伴いヘッド動作ギャップ長の狭小化が必
要となってきていりが、従来ヘッドで用いられて米た左
右の磁気コアをギャップスペーサを挾んで機械的に突き
合せ接合されるギャップボンディング法では上記ギャッ
プ長の決定要因にギャップスペーサ寸法のみならず突き
合せられるコア面間に制御困難な間隙等の要因が含まれ
、狭ギヤツプ長ヘッドの歩貿まりが低下する欠点がおる
ところから、第１図に示すような薄膜技術Ｙ用いた高精
度な狭ギヤツプ形成ネオ′［た磁気ヘッドが提案これて
いる。第１図Ａにおいて非磁性基板１上に軟磁性１ｉＫ
２Ｙ被着きゼる。第１図Ｂにおいて軟ＷＢ性膜２０１部
を少なくとも非Ｓ性基板１面に達するまでＶ字状に除去
″′ｆる。第１図Ｃ′においてＶ字状溝の急斜面に非ｉ
Ｂ性膜６ンスバツタし、高精度のギャップスペーサと−
１−る。第１−Ｄにおいて第２の軟磁性１１ｉ４’に被
着させる。第１図Ｅにおいてギヤツブ５上部の第２の軟
８８性膜４馨Ｕ字状バイトにて除去する。第１図ＦＶＣ
おいて保饅用非磁性膜６馨被着ζせる。第１図Ｇにおい
て巻線窓′Ｆ、７ｔあける。
要となってきていりが、従来ヘッドで用いられて米た左
右の磁気コアをギャップスペーサを挾んで機械的に突き
合せ接合されるギャップボンディング法では上記ギャッ
プ長の決定要因にギャップスペーサ寸法のみならず突き
合せられるコア面間に制御困難な間隙等の要因が含まれ
、狭ギヤツプ長ヘッドの歩貿まりが低下する欠点がおる
ところから、第１図に示すような薄膜技術Ｙ用いた高精
度な狭ギヤツプ形成ネオ′［た磁気ヘッドが提案これて
いる。第１図Ａにおいて非磁性基板１上に軟磁性１ｉＫ
２Ｙ被着きゼる。第１図Ｂにおいて軟ＷＢ性膜２０１部
を少なくとも非Ｓ性基板１面に達するまでＶ字状に除去
″′ｆる。第１図Ｃ′においてＶ字状溝の急斜面に非ｉ
Ｂ性膜６ンスバツタし、高精度のギャップスペーサと−
１−る。第１−Ｄにおいて第２の軟磁性１１ｉ４’に被
着させる。第１図Ｅにおいてギヤツブ５上部の第２の軟
８８性膜４馨Ｕ字状バイトにて除去する。第１図ＦＶＣ
おいて保饅用非磁性膜６馨被着ζせる。第１図Ｇにおい
て巻線窓′Ｆ、７ｔあける。
以上でギャップ精度の良い狭ギャップ長磁気ヘッド？得
られるわけであるが第１図ＢＫ示した第１の軟′Ｍｉ性
膜２のＶ溝加工時に基板われ勢の歩留り悪化の要因を有
する欠点がある。
られるわけであるが第１図ＢＫ示した第１の軟′Ｍｉ性
膜２のＶ溝加工時に基板われ勢の歩留り悪化の要因を有
する欠点がある。
Ｖ壽の片斜面乞ギャップときせるためには第１の軟磁性
１１１２ｙｘ左右に分離はぜることが不可欠でＴｏる。
１１１２ｙｘ左右に分離はぜることが不可欠でＴｏる。
またバイトＹ基板面１に切込めば基板１にクラックが入
りや丁くなるためでおる。
りや丁くなるためでおる。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、狭
キャップ長磁気ヘッドを歩留りよく生産できる磁気ヘッ
ドを提供するＫめる。
キャップ長磁気ヘッドを歩留りよく生産できる磁気ヘッ
ドを提供するＫめる。
本発明の要点は、従来技術の欠点でおる基板の割れン防
止するために、非磁性基板と第１の軟ＷＢ性膜との間に
、基板のそりおよびキャップ面用加工擲の切削加工深さ
精Ｉｆｔ見込んだ厚さの非磁性でありまた切削容易な物
Ｊｊｌン配置したことである。
止するために、非磁性基板と第１の軟ＷＢ性膜との間に
、基板のそりおよびキャップ面用加工擲の切削加工深さ
精Ｉｆｔ見込んだ厚さの非磁性でありまた切削容易な物
Ｊｊｌン配置したことである。
薄膜技術において知られている付着強＃を向上ζせるた
めの下地とは異なる。
めの下地とは異なる。
この非磁性層は必ずしも全面に必要ではなくキャップと
なる部位の下Ｋｍれは良い。
なる部位の下Ｋｍれは良い。
以下本発明の実施例？図面を用いて説明する。
第２図Ａ〜は本発明の実施例の磁気ヘッドの製造工程図
である。第２図Ａにおいて非出性基板であるガラス基Ｍ
１１上に非磁性でめり、切削容易なアルミニューム膜８
を蒸着により１μ諺被着ζせ、その上に軟磁性であるセ
ンダスト膜２ｔスパツタリングにより２５μｍ被看さ被
着。第２図Ｂにおいて上記センダスト膜の１部馨ダイヤ
モンドバイトによｒ）Ｖ字状に切削する。このとき夕“
イヤモンドバイトの先端はセンダスト膜馨貫通し、カラ
ス基、ＩｉＫは達しない。第２ 因ｃにおいてギャップ
スペーサとなるＳｔ’ｓ ｆ ０．５μ罵スパツタリン
グにより被着させる。第２図りにおいてその上に第２の
センダス） 膜、４ ’Ｙスパッタリングにより２５５
ｍ被５ｉ１１させる。第２囚Ｅにおいてキャップ５とな
る１字溝の１斜面上部のセンダスト膜ｆＵ字状のダイヤ
バイトで除去する。
である。第２図Ａにおいて非出性基板であるガラス基Ｍ
１１上に非磁性でめり、切削容易なアルミニューム膜８
を蒸着により１μ諺被着ζせ、その上に軟磁性であるセ
ンダスト膜２ｔスパツタリングにより２５μｍ被看さ被
着。第２図Ｂにおいて上記センダスト膜の１部馨ダイヤ
モンドバイトによｒ）Ｖ字状に切削する。このとき夕“
イヤモンドバイトの先端はセンダスト膜馨貫通し、カラ
ス基、ＩｉＫは達しない。第２ 因ｃにおいてギャップ
スペーサとなるＳｔ’ｓ ｆ ０．５μ罵スパツタリン
グにより被着させる。第２図りにおいてその上に第２の
センダス） 膜、４ ’Ｙスパッタリングにより２５５
ｍ被５ｉ１１させる。第２囚Ｅにおいてキャップ５とな
る１字溝の１斜面上部のセンダスト膜ｆＵ字状のダイヤ
バイトで除去する。
第２囚Ｅにおいて保腰用非出性膜６χ５０声落被着させ
る。第２図Ｇにおいて巻線窓穴７ｔ＠音波加工にて施工
。
る。第２図Ｇにおいて巻線窓穴７ｔ＠音波加工にて施工
。
以上により本発明の磁気ヘッドができる。
非磁性基板と第１の１＃磁性膜との間に非ａ性金属が７
Ｖ４ることかち、第１の軟磁性膜ンバイトが貫通するこ
とが出来しかも、非磁性基板にバイトが達する必要はな
く基板側が生ずることＹなく丁ことかできる。
Ｖ４ることかち、第１の軟磁性膜ンバイトが貫通するこ
とが出来しかも、非磁性基板にバイトが達する必要はな
く基板側が生ずることＹなく丁ことかできる。
本実施例では非出性金属としてＡｔｋ用いたが、本発明
はＡｔのみに限らず他の金属も使用できる。
はＡｔのみに限らず他の金属も使用できる。
またその組成は率−でなくともよく、また例えｉｊ （
、’ｒ−Ｃ’１Ｇとイツｙ、＝２ＪＩｉｍ、おるいは（
、’ｒ −Ｃｕ −Ｃ′ｒといった５層膜で酬ってよい
。費は非磁性でおり、切削性馨有するものＣ″、あれば
よい。また本実施例では１テツプのプロセスを説明しｋ
が、同一基板上に複数チップの製造も容易にできる。
、’ｒ−Ｃ’１Ｇとイツｙ、＝２ＪＩｉｍ、おるいは（
、’ｒ −Ｃｕ −Ｃ′ｒといった５層膜で酬ってよい
。費は非磁性でおり、切削性馨有するものＣ″、あれば
よい。また本実施例では１テツプのプロセスを説明しｋ
が、同一基板上に複数チップの製造も容易にできる。
本発明によれは狭ギャップ長の磁気ヘッドを歩留りよく
高ＦＷ度に提供できる。
高ＦＷ度に提供できる。
第１図は従来の磁気ヘッドの製造工程説明図、ｗＪ２図
は本発明の磁気ヘッドの実施例の製造工程説明図でるる
。 １；非磁性基板 ２；軟磁性膜 ５；非磁性膜 ４；軟磁性膜 ５；ギャッグ ６；非磁性膜 ７；巻線窓穴 代理人弁理士 薄 １）利 辛 才 １ 図 ＣＤ
は本発明の磁気ヘッドの実施例の製造工程説明図でるる
。 １；非磁性基板 ２；軟磁性膜 ５；非磁性膜 ４；軟磁性膜 ５；ギャッグ ６；非磁性膜 ７；巻線窓穴 代理人弁理士 薄 １）利 辛 才 １ 図 ＣＤ
Claims (1)
- ｔ 非磁性基板上に第１の軟磁性１ｌＩｉケ被湾１ぜ、
その軟Ｓ性膜の１部を少なくとも非出性基板面まで機械
的に除却し、その除却によりできる斜面上にギャップス
ペーサとなる非８８性撫ン被看ζせ、びらに第２の軟磁
性膜ン被着でせた後に前記ギャップスペーサを被着ζせ
に前記斜面の須上部の上部の第２の軟磁性Ｈｙｔ除却し
、第１の軟磁性膜と第２の軟ｉＢ注展とがはばんだ前記
非ａ注膜が磁気ヘッドの動作ギャップなる磁気ヘッドに
おいて、非磁性基板と第１の軟ａｌＩ性膜との間に非磁
性金属ン少なくとも１μｍ以上の厚さで設け、ギャップ
となる斜面の底部が少なくとも骸非ａ性金楓部位に遅す
ることｔ特徴とした磁気ヘッド０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16576781A JPS5868213A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16576781A JPS5868213A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868213A true JPS5868213A (ja) | 1983-04-23 |
Family
ID=15818647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16576781A Pending JPS5868213A (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868213A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4601099A (en) * | 1982-11-22 | 1986-07-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Method for manufacturing a magnetic head |
-
1981
- 1981-10-19 JP JP16576781A patent/JPS5868213A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4601099A (en) * | 1982-11-22 | 1986-07-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Method for manufacturing a magnetic head |
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