JPS5885337U - 半導体基板の有機処理装置 - Google Patents
半導体基板の有機処理装置Info
- Publication number
- JPS5885337U JPS5885337U JP1981180386U JP18038681U JPS5885337U JP S5885337 U JPS5885337 U JP S5885337U JP 1981180386 U JP1981180386 U JP 1981180386U JP 18038681 U JP18038681 U JP 18038681U JP S5885337 U JPS5885337 U JP S5885337U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrates
- processing equipment
- organic processing
- cup
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置を示す断面図、第２図および第３図は
、本考案の一実施例を示す断面図であって、第２図は非
処理時の状態であり、第３図は処理時の状態である。 尚、図において、１・・・・・・カップ、２・・・・・
・“０”リング、３・・・・・・貯液タンク、４・・・
・・・揮発性有機溶剤、５・・・・・・揮発性有機溶剤
の蒸発成分、６・・・・・・上槽、７・・・・・・下槽
、８・・・・・・扉、９・・・・・・キャリア、１０・
・・・・・モーター、１１・・・・・・パンチング板、
１２・・・・・・半導体基板、１３・・・・・・排気口
、１４・・・・・・連結棒、１５・・・・・・車輪、で
ある。
、本考案の一実施例を示す断面図であって、第２図は非
処理時の状態であり、第３図は処理時の状態である。 尚、図において、１・・・・・・カップ、２・・・・・
・“０”リング、３・・・・・・貯液タンク、４・・・
・・・揮発性有機溶剤、５・・・・・・揮発性有機溶剤
の蒸発成分、６・・・・・・上槽、７・・・・・・下槽
、８・・・・・・扉、９・・・・・・キャリア、１０・
・・・・・モーター、１１・・・・・・パンチング板、
１２・・・・・・半導体基板、１３・・・・・・排気口
、１４・・・・・・連結棒、１５・・・・・・車輪、で
ある。
Claims (1)
- 有機処理液を充填する容器と、前記容器を包囲する形で
設置された一面開放形のカップとを有し前記カップに連
結された動力手段により前記カップの開放面が前記容器
に対してスラスト運動をす−ることを特徴とする半導体
基板の有機処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981180386U JPS5885337U (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 半導体基板の有機処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981180386U JPS5885337U (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 半導体基板の有機処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885337U true JPS5885337U (ja) | 1983-06-09 |
| JPS6210996Y2 JPS6210996Y2 (ja) | 1987-03-16 |
Family
ID=29976932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981180386U Granted JPS5885337U (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 半導体基板の有機処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5885337U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425535A (en) * | 1987-07-22 | 1989-01-27 | Matsushita Electronics Corp | Treatment of substrate for forming resist film |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP1981180386U patent/JPS5885337U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425535A (en) * | 1987-07-22 | 1989-01-27 | Matsushita Electronics Corp | Treatment of substrate for forming resist film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6210996Y2 (ja) | 1987-03-16 |
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