JPS5887531A - 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 - Google Patents
規則性パタ−ンの欠陥検査装置Info
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- JPS5887531A JPS5887531A JP56186739A JP18673981A JPS5887531A JP S5887531 A JPS5887531 A JP S5887531A JP 56186739 A JP56186739 A JP 56186739A JP 18673981 A JP18673981 A JP 18673981A JP S5887531 A JPS5887531 A JP S5887531A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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- G01N21/95623—Inspecting patterns on the surface of objects using a spatial filtering method
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- Pathology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザー元回析パターン空間周波数フィルタ
リング万式を用いて曝位開口の規則性パターン中の形状
欠陥を検出する装置ンζしいて、形状欠陥を縁部と区別
して検出する規ｕｌＪ性パターンの欠陥検査装置に関す
る。
リング万式を用いて曝位開口の規則性パターン中の形状
欠陥を検出する装置ンζしいて、形状欠陥を縁部と区別
して検出する規ｕｌＪ性パターンの欠陥検査装置に関す
る。
メタルメツシュ等の一位開口の規則性配りＵパターンか
らなる工業製品は、一般に縁部は縁線によって開口が途
中から切られているため不規則な形状の一位開口でつな
がっている。し九がって、レーザー光回折パターン空間
周波数フィルタリング方式を用いた揚台は、縁部はすべ
て欠陥形状として検出される丸め、通濱の欠陥と区別し
なければならない。
らなる工業製品は、一般に縁部は縁線によって開口が途
中から切られているため不規則な形状の一位開口でつな
がっている。し九がって、レーザー光回折パターン空間
周波数フィルタリング方式を用いた揚台は、縁部はすべ
て欠陥形状として検出される丸め、通濱の欠陥と区別し
なければならない。
しかしながら、規則性パターンの全領置にわたって複数
連続した形状欠陥信号をパターンの縁部とみなしてしま
うと、パターンの縁部以外で発生した連続した形状欠陥
も縁部とみなし無視してしまうため見落しが起ζる。
連続した形状欠陥信号をパターンの縁部とみなしてしま
うと、パターンの縁部以外で発生した連続した形状欠陥
も縁部とみなし無視してしまうため見落しが起ζる。
このため、本発明は、パターンの縁部會判別すべき領域
を限足することにより、パターンの縁部以外の連続し丸
形状欠陥を見落さない規則性パターンの欠陥検査装置を
提供することを１その目的とする。
を限足することにより、パターンの縁部以外の連続し丸
形状欠陥を見落さない規則性パターンの欠陥検査装置を
提供することを１その目的とする。
先ず、レーザー光回折パターン空間周波数フィルタリン
グ方式の基本構成を第１図により説明する。
グ方式の基本構成を第１図により説明する。
レーザ発奈器１を出たレーザビーム２は、コリメータ８
によって１広大された平行ｙｔ、４となって被検査物６
に照射される。被検前刃５はフーリエ変換レンズ７の前
焦点面に置かれてあシ、後焦点面上には被検食物５全通
過する時に回折した光６によって、被検査物５のフーリ
エ変換スペクトルが現われる。しかして、７−リエｆ懐
レンズ７の後焦点面上には、被検前ｖ！Ｊ５の止材パタ
ーン（フーリエ変換レンズ７による）のフーリエ変換ス
ペクトル強度分布を記録したネガ写真フィルム、つまシ
空間周波数フィルタ８が置かれており、被検査物６のフ
ーリエ斐換スペクトルのうち、正Ｋ パターンに相当す
るスペクトルのみが空間周波数フィルタ８によって吸収
され、欠陥パターンに相当するスペクトルは透過する。
によって１広大された平行ｙｔ、４となって被検査物６
に照射される。被検前刃５はフーリエ変換レンズ７の前
焦点面に置かれてあシ、後焦点面上には被検食物５全通
過する時に回折した光６によって、被検査物５のフーリ
エ変換スペクトルが現われる。しかして、７−リエｆ懐
レンズ７の後焦点面上には、被検前ｖ！Ｊ５の止材パタ
ーン（フーリエ変換レンズ７による）のフーリエ変換ス
ペクトル強度分布を記録したネガ写真フィルム、つまシ
空間周波数フィルタ８が置かれており、被検査物６のフ
ーリエ斐換スペクトルのうち、正Ｋ パターンに相当す
るスペクトルのみが空間周波数フィルタ８によって吸収
され、欠陥パターンに相当するスペクトルは透過する。
ところで、この空１司周波数フィルタ８は逆フーリエ変
換レンズ１０の前焦点面上に役けられているため、空間
周波数フィルタ８を透過した光９は逆フーリエ変換レン
ズｌＯによって逆フーリエ変換され、逆７−リエ変換レ
ンズの後焦点面（逆フーリエ変換面）上に置かれたスク
リーン【ｌに、空間フィルタリングされた１倍フーリエ
変換１家、すなわち被検査物６の欠陥部分だけの１象と
なって現われる。
換レンズ１０の前焦点面上に役けられているため、空間
周波数フィルタ８を透過した光９は逆フーリエ変換レン
ズｌＯによって逆フーリエ変換され、逆７−リエ変換レ
ンズの後焦点面（逆フーリエ変換面）上に置かれたスク
リーン【ｌに、空間フィルタリングされた１倍フーリエ
変換１家、すなわち被検査物６の欠陥部分だけの１象と
なって現われる。
以上が空間フィルタリング方式の基本構成でめる。
−万、第２図は矩形状の一位開口の規則的配列で成るパ
ターンの一１１ＭＪ’に示すものであり、かかるパター
ンの欠陥はその大きさが予め決められ九一定艙以上のも
のと足義される。しかして、４１１１図で述べた空間フ
ィルタリング方式を利用した欠陥検査装置では、第８図
（荀〜（功の欠陥部分ＤＩ−Ｄ４だけが、その欠陥面積
に対応した明るさの点となって再回折１磯面上に現われ
る。なお、＠８図（ＩＩは正常′なパターンを示してい
る。
ターンの一１１ＭＪ’に示すものであり、かかるパター
ンの欠陥はその大きさが予め決められ九一定艙以上のも
のと足義される。しかして、４１１１図で述べた空間フ
ィルタリング方式を利用した欠陥検査装置では、第８図
（荀〜（功の欠陥部分ＤＩ−Ｄ４だけが、その欠陥面積
に対応した明るさの点となって再回折１磯面上に現われ
る。なお、＠８図（ＩＩは正常′なパターンを示してい
る。
逆フーリエ変換面に現われる被検査パターン５の逆像の
欠陥部分だけの像は、第４図に示すように、フォトディ
テクタアレイ口によって検出される。つまり欠陥部分１
５だけ明るい点となって現われフォトディテクタアレイ
１１によって検出される。
欠陥部分だけの像は、第４図に示すように、フォトディ
テクタアレイ口によって検出される。つまり欠陥部分１
５だけ明るい点となって現われフォトディテクタアレイ
１１によって検出される。
ここにおいて、被検査パターン５を平行光４内で元ｓ１
２に直角に平イ膿ｌしてもフーリエ粱侠の移行側により
、フーリエｆ換レンズ７の後焦点面上に現われるフー＋
７エ変換パターンＫｆ化はない。
２に直角に平イ膿ｌしてもフーリエ粱侠の移行側により
、フーリエｆ換レンズ７の後焦点面上に現われるフー＋
７エ変換パターンＫｆ化はない。
し九がって、被検前パターン５金平行移動しても同様に
、被検１＜ターフ５のフーリエ変換スペクトルのうち正
ｇ パターンに相当するスペクトルのみが９間フィルタ
８によって吸収され、欠陥パターンに相当するスペクト
ルは透過する。かくして、被検前パターン５の平行４Ｗ
：Ｊにより運フーリエ変換像は光軸対称の逆方向に移動
、つまりｆｔＬ＋４ＩＬ食パターン６食道ターン６陥部
分だけの；砿が、′ｊｔ輔１２倉挾んで被検前パターン
５の移動方間と反対の方向に逆フーリエｆ換面ｔｔ移（
転）する。
、被検１＜ターフ５のフーリエ変換スペクトルのうち正
ｇ パターンに相当するスペクトルのみが９間フィルタ
８によって吸収され、欠陥パターンに相当するスペクト
ルは透過する。かくして、被検前パターン５の平行４Ｗ
：Ｊにより運フーリエ変換像は光軸対称の逆方向に移動
、つまりｆｔＬ＋４ＩＬ食パターン６食道ターン６陥部
分だけの；砿が、′ｊｔ輔１２倉挾んで被検前パターン
５の移動方間と反対の方向に逆フーリエｆ換面ｔｔ移（
転）する。
第１図において、彼検龍パターン５の停動方間全紙面に
直角な方向とし、起フーリエ変換面上のフォトディテク
タアレイＬ１の配夕ＩＪ方間ｒ紙面に平行な方向とす扛
ば、Ｊフーリエ斐遵面上を移動する欠陥像はフォトディ
テクタアレイ１１を直角に横切ることになり、欠・角１
＃！の出力信寸として検出される。
直角な方向とし、起フーリエ変換面上のフォトディテク
タアレイＬ１の配夕ＩＪ方間ｒ紙面に平行な方向とす扛
ば、Ｊフーリエ斐遵面上を移動する欠陥像はフォトディ
テクタアレイ１１を直角に横切ることになり、欠・角１
＃！の出力信寸として検出される。
オた、被検食パターン６の移動に牛ない、その移動距嶋
に関する情＠會出カする装置七本欠陥検査装置に設蓋す
ることにより、被検量パターン中において検出され九欠
陥の位ｌｔを知ることができる０例を挙げて説明すると
、今、被検査パターンの移動方向に直角な方向をＸ方向
、平行な方向ｔＹ方向とすれば１．ｘ方向の欠陥位置成
分は、逆フーリエ変換面上において欠陥像が横切る一位
フオドディテクタのフォトディテクタアレイ方向の位置
によって検出でき、Ｙ方向のそれは、被検査パターンの
固定台及び本体に位置スケール、さらに高Ｎ度が要求さ
れる場合には回折格子のモアレ縞を利用し九位置変位検
出装置等を設ける、あるいは披検査パターンを移動させ
る丸めのモータ等の駆動軸部分にロータリエンコーダを
設ける、等の手段によって検出可能である。これら以外
にも、！方向の欠陥位置成分は、被検査パターンが等速
移動するため移動開始時を起点として時間を計数するこ
とによっても求めることができる。
に関する情＠會出カする装置七本欠陥検査装置に設蓋す
ることにより、被検量パターン中において検出され九欠
陥の位ｌｔを知ることができる０例を挙げて説明すると
、今、被検査パターンの移動方向に直角な方向をＸ方向
、平行な方向ｔＹ方向とすれば１．ｘ方向の欠陥位置成
分は、逆フーリエ変換面上において欠陥像が横切る一位
フオドディテクタのフォトディテクタアレイ方向の位置
によって検出でき、Ｙ方向のそれは、被検査パターンの
固定台及び本体に位置スケール、さらに高Ｎ度が要求さ
れる場合には回折格子のモアレ縞を利用し九位置変位検
出装置等を設ける、あるいは披検査パターンを移動させ
る丸めのモータ等の駆動軸部分にロータリエンコーダを
設ける、等の手段によって検出可能である。これら以外
にも、！方向の欠陥位置成分は、被検査パターンが等速
移動するため移動開始時を起点として時間を計数するこ
とによっても求めることができる。
フォトディテクタアレイ１１は矩形開口を持つ複数の一
位フオドディテクタ１３の配列」で構成され、被検量パ
ターンの体動によりｒ得られる出方信号は欠陥の最大ｆ
ｆ谷而面に相当したスレッショルド（ｔｈｒｅｓｈｏｌ
ｄ ） ｆ待つコンバレー月０４により２咳化され、
これにょシ・欠１ｉ検出が行なわれる。
位フオドディテクタ１３の配列」で構成され、被検量パ
ターンの体動によりｒ得られる出方信号は欠陥の最大ｆ
ｆ谷而面に相当したスレッショルド（ｔｈｒｅｓｈｏｌ
ｄ ） ｆ待つコンバレー月０４により２咳化され、
これにょシ・欠１ｉ検出が行なわれる。
以上の如くして、被検査・（ターンにおける欠陥部分に
対応する信号が得られる。
対応する信号が得られる。
ところが、上記のような１ｇ号には、第６図に示す規則
性パターン５ｏの外に縁内部１６における縦方向縁部６
Ｙと、縦方向縁部５ｘが通常欠陥と１１在するので、本
発明はこれを４別しようとするものでめる。
性パターン５ｏの外に縁内部１６における縦方向縁部６
Ｙと、縦方向縁部５ｘが通常欠陥と１１在するので、本
発明はこれを４別しようとするものでめる。
それには、第６１ＡＶＣ衣ゎすように規則性パターン父
の存在する領ｖ’を領域指’ｄ＠ｌｒで囲み、この中で
検出される形状欠陥は過材の欠陥と認定するものである
。
の存在する領ｖ’を領域指’ｄ＠ｌｒで囲み、この中で
検出される形状欠陥は過材の欠陥と認定するものである
。
第７図は、本発明で適用される欠陥検査長置全７オトデ
イテクタアレイｔｉｌＩＩからみた平面図である。説明
をわかりやすぐするためＶＣ７−リエ変換レンズと空間
周Ｒ数フィルタは省略しである。
イテクタアレイｔｉｌＩＩからみた平面図である。説明
をわかりやすぐするためＶＣ７−リエ変換レンズと空間
周Ｒ数フィルタは省略しである。
フォトディテクタアレイ１１は固足され、パターン５０
を移動させるパターン移動装置１７２は、駆勧装［７１
によりＹ軸方向、Ｘ軸方向に移動され、それぞれの！位
ｔ１１． Ｘ位置は、Ｙ位置発生装置７８．ｘ位置信号
発生装に７４によ〕求められる。
を移動させるパターン移動装置１７２は、駆勧装［７１
によりＹ軸方向、Ｘ軸方向に移動され、それぞれの！位
ｔ１１． Ｘ位置は、Ｙ位置発生装置７８．ｘ位置信号
発生装に７４によ〕求められる。
そしてパターン移！１１２Ｉ装置ｍ？２は第８図に示す
ように、８０から８１まで等速移動してＹ＠ｔ−移動さ
せ、８１から８２まで７オトデイテクタアレイ１１の伸
長方向の長さだけＩ＠を移動（ピッチ送り）させ、８２
Ａ為ら８８はＹｌｌｌ逆に等速移動して、これ管繰返し
、パターン父の全面をカバーする。
ように、８０から８１まで等速移動してＹ＠ｔ−移動さ
せ、８１から８２まで７オトデイテクタアレイ１１の伸
長方向の長さだけＩ＠を移動（ピッチ送り）させ、８２
Ａ為ら８８はＹｌｌｌ逆に等速移動して、これ管繰返し
、パターン父の全面をカバーする。
ｗｉ９図ないし第１４図は本平明の一実施例のブロック
図でらる。
図でらる。
本発明は、逆フーリエ変換面上の規則パターンの縦方向
縁部と縦方向縁部が、◆位７オトデイテクタ七１［数１
１１−列に配列してなるフォトディテクタアレイで検出
するとき、縦方向および横方向の欠陥が連続して検出さ
れることを利用し慶、縁部と縁部でないつまり領域摺電
線内での連続しないめるいは連続した過度欠陥とを区別
する装置でｂる。
縁部と縦方向縁部が、◆位７オトデイテクタ七１［数１
１１−列に配列してなるフォトディテクタアレイで検出
するとき、縦方向および横方向の欠陥が連続して検出さ
れることを利用し慶、縁部と縁部でないつまり領域摺電
線内での連続しないめるいは連続した過度欠陥とを区別
する装置でｂる。
そこで、規則性パターン５０を、元軸に直角な面内で、
フォトディテクタアレイ日と＋ＭＭ（Ｙ軸）方向への等
速移動と、平行（Ｘ＠）方向へのフォトディテクタアレ
イの長さ分のピッチ送りを４返す。
フォトディテクタアレイ日と＋ＭＭ（Ｙ軸）方向への等
速移動と、平行（Ｘ＠）方向へのフォトディテクタアレ
イの長さ分のピッチ送りを４返す。
フォトディテクタアレイ１１ｖｃ人射する形状欠陥部光
は並列検出するマルチ検出回路９１で検出され、次に領
域指定縁部判別回路９２へ与えられる。
は並列検出するマルチ検出回路９１で検出され、次に領
域指定縁部判別回路９２へ与えられる。
同時に、前記等速停動と前記ピッチ送りに従って、規則
性パターン５０の移ｅＪ令離情報がＹ位置信号発生装置
７ＢとＸ位置侶号発生装膚７４から領域指定縁部判別回
路９２へ与えられる。
性パターン５０の移ｅＪ令離情報がＹ位置信号発生装置
７ＢとＸ位置侶号発生装膚７４から領域指定縁部判別回
路９２へ与えられる。
フォトディテクタアレイ１１に大村する形状欠陥部光は
、各々増幅器２０によって増幅され、ｚｉｌｉ化回路２
１によって形状欠陥の有無を表わす信号に変換される。
、各々増幅器２０によって増幅され、ｚｉｌｉ化回路２
１によって形状欠陥の有無を表わす信号に変換される。
この信号は、前記等速停動と前記ピッチ送シに従ってＹ
位竜イδ号発生左置７８とＸ位置−信号尭生装置１’７
４から構成される装置信号と同期したクロックパルス（
！ＫＫよってサンプリング回路２２においてサンプルさ
れ、第１４図に示すタイミングチャートのＤ＃ｌとなる
。
位竜イδ号発生左置７８とＸ位置−信号尭生装置１’７
４から構成される装置信号と同期したクロックパルス（
！ＫＫよってサンプリング回路２２においてサンプルさ
れ、第１４図に示すタイミングチャートのＤ＃ｌとなる
。
ＤｓｌからＤＢ２へ至る間のゲート２３は、領櫨指定＄
１７の外側においてのみ、Ｘ方向の同時発生欠陥をＸ方
向の縁部として無視するためのものでろシ、Ｉｌｌと供
にゲート２３ＶＣ与えられるｇ！ｉ号Ｇは、ｔｓｉ１図
に示す同時、信号発生回路によって作られる。
１７の外側においてのみ、Ｘ方向の同時発生欠陥をＸ方
向の縁部として無視するためのものでろシ、Ｉｌｌと供
にゲート２３ＶＣ与えられるｇ！ｉ号Ｇは、ｔｓｉ１図
に示す同時、信号発生回路によって作られる。
本実権例は］［，７両方向において連続８１ｍ以上欠陥
が現われ走時に、それらが領域指９＠＋ｙの外側に存在
する場合に＠シ、それらをＸ方向壁部、Ｙ方向縁部とし
て無視するものであるため、第」１図に示す回路では、
第１０図において作り川され九！方向領域指定信号ムＧ
ｌによって、領域外に７オトデイテクタアレイ１１が存
在する場合に限シ開かれるゲートＵを通過した互匹に隣
）合う８１１の欠陥信号＠ＤＳＩが同一のゲート路に接
読され、さらにそれらは８１固以七同時発生し九欠陥信
号ＤＳ１すべてを消去するため、ゲート２６を経て第９
図のゲート２３へ与えられる。この効果によりタイミン
グチャート（第１４図）に示し次通り、Ｉ）１１は指定
領域外において８・ｆＪ以上同時に発生し次瞬間にゲー
ト信号ひによってブロックされ、Ｄｓ２となる。
が現われ走時に、それらが領域指９＠＋ｙの外側に存在
する場合に＠シ、それらをＸ方向壁部、Ｙ方向縁部とし
て無視するものであるため、第」１図に示す回路では、
第１０図において作り川され九！方向領域指定信号ムＧ
ｌによって、領域外に７オトデイテクタアレイ１１が存
在する場合に限シ開かれるゲートＵを通過した互匹に隣
）合う８１１の欠陥信号＠ＤＳＩが同一のゲート路に接
読され、さらにそれらは８１固以七同時発生し九欠陥信
号ＤＳ１すべてを消去するため、ゲート２６を経て第９
図のゲート２３へ与えられる。この効果によりタイミン
グチャート（第１４図）に示し次通り、Ｉ）１１は指定
領域外において８・ｆＪ以上同時に発生し次瞬間にゲー
ト信号ひによってブロックされ、Ｄｓ２となる。
ここで、領域指建信号ムＧ１について睨明する。
（＠ １１図（２））＝Ｎ回路はコンパレータ３６及び
ゲート３７により’ｖｙｘさ” ％ Ｙ！、ｆｆ ［
１１ｇ号元生ＨＬｌ ７３ヨＣＩＢ力される位Ｉｔ座標
のＹ成分が、各々のコンパレータに与えられたＹ方向の
碩賦始端座悼及び領域終端座標と比較され、それらの間
に存在する４曾に限りＡＧ１ｄｊ″′１”になる千うに
作られている。
ゲート３７により’ｖｙｘさ” ％ Ｙ！、ｆｆ ［
１１ｇ号元生ＨＬｌ ７３ヨＣＩＢ力される位Ｉｔ座標
のＹ成分が、各々のコンパレータに与えられたＹ方向の
碩賦始端座悼及び領域終端座標と比較され、それらの間
に存在する４曾に限りＡＧ１ｄｊ″′１”になる千うに
作られている。
次ＫＹ方間に４続して発・牛した欠陥１ｒ指足唄域外に
限りＹ方向縁部として無視する回路（第１２図）全説明
する０本回路の動作については嬉１４図に指定領域外に
おける各部（Ｑ、１−ｗＲ）と、指定領域内におけるＭ
来（Ｑ５′とＷＲ’）の秤刑なタイミングチャート金示
しであるので概要だけｔ述べる。
限りＹ方向縁部として無視する回路（第１２図）全説明
する０本回路の動作については嬉１４図に指定領域外に
おける各部（Ｑ、１−ｗＲ）と、指定領域内におけるＭ
来（Ｑ５′とＷＲ’）の秤刑なタイミングチャート金示
しであるので概要だけｔ述べる。
本回路はシフトレジスタ會嘴代するフリップフロップが
と、連続８個の欠（ｉ信吋金検出した場合にそれら全ク
リアすｂためのゲート路及びフリップフロップ２９と、
連続し九８１１Ｍの欠陥に偉く欠陥をも無視するための
７リツプフロツブ３０と、連続欠陥が途切れた時に本回
路ｔ−ＩＪ上セツトる九めの７リツプフロツブ３１等に
よって構成される。さらに、各−一フオドディテクタが
指定領域内にある時に限９、本回路′ｋｌなるシフトレ
ジスタにするゲート３２が設けられている１本回路の指
定領域外における効果はタイミングチャートのＱ５にお
いてり、１２（１）に存在した連続６個の欠陥が消去さ
れている部分に現われており、指定領域内においてはＱ
５１に示すように上記連続６個の欠陥がそのまま検出
されている。
と、連続８個の欠（ｉ信吋金検出した場合にそれら全ク
リアすｂためのゲート路及びフリップフロップ２９と、
連続し九８１１Ｍの欠陥に偉く欠陥をも無視するための
７リツプフロツブ３０と、連続欠陥が途切れた時に本回
路ｔ−ＩＪ上セツトる九めの７リツプフロツブ３１等に
よって構成される。さらに、各−一フオドディテクタが
指定領域内にある時に限９、本回路′ｋｌなるシフトレ
ジスタにするゲート３２が設けられている１本回路の指
定領域外における効果はタイミングチャートのＱ５にお
いてり、１２（１）に存在した連続６個の欠陥が消去さ
れている部分に現われており、指定領域内においてはＱ
５１に示すように上記連続６個の欠陥がそのまま検出
されている。
ここにおいてム（） ２ （１）は各１！号硼について
固有の信号でめシ、第１１図（１）の回路によって発生
される０本回路の動作は上記した五Ｇｌの発生方法と同
様であるが、１位・責信号発生装ｒｔ７４はフォトディ
テクタアレイ１１０代表位、量産ｌｌｉを出力するのみ
でメ夛、各−位フイトディテクタの固有のｉ＊’ｉ示す
ものではない丸め、単位フォトディテクタ毎にＸ方向の
領域始端ＦＪＡ＊及び終端座襟會与えなければならない
。
固有の信号でめシ、第１１図（１）の回路によって発生
される０本回路の動作は上記した五Ｇｌの発生方法と同
様であるが、１位・責信号発生装ｒｔ７４はフォトディ
テクタアレイ１１０代表位、量産ｌｌｉを出力するのみ
でメ夛、各−位フイトディテクタの固有のｉ＊’ｉ示す
ものではない丸め、単位フォトディテクタ毎にＸ方向の
領域始端ＦＪＡ＊及び終端座襟會与えなければならない
。
μ上説明した動作によって、Ｘ、Ｙ両方間縁部が指定領
域外に限って砿刑された信号Ｑ６（Ｑ６’）に従って、
真の欠陥位置全記憶する部分が第１３図である。
域外に限って砿刑された信号Ｑ６（Ｑ６’）に従って、
真の欠陥位置全記憶する部分が第１３図である。
クロックパルスＯＫに同期したパルスＷＯＫは、Ｑ５に
：欠陥信号が現わｎている・寺のみゲート３３金通過し
、記憶装置１３４への書き込み信号ＷＲとなる。
：欠陥信号が現わｎている・寺のみゲート３３金通過し
、記憶装置１３４への書き込み信号ＷＲとなる。
記憶装置３４のデータラインにはＸ位這信！元生装Ｌｔ
７４及びＹ位置（ｉ＝号祐生装置７８からの信号が接続
され、アドレスラインにはアドレス発生装ｍ３５からの
アドレス信号が与えられて＾る。アドレス発生装置３５
は、クロックパルスＯＫに同期しており、ＷＲ信号が発
生した＋を後にアドレス１百号ｔカウントアツプするよ
うになっている。
７４及びＹ位置（ｉ＝号祐生装置７８からの信号が接続
され、アドレスラインにはアドレス発生装ｍ３５からの
アドレス信号が与えられて＾る。アドレス発生装置３５
は、クロックパルスＯＫに同期しており、ＷＲ信号が発
生した＋を後にアドレス１百号ｔカウントアツプするよ
うになっている。
かくして、本発明によれば、メタルメツシュ専の開口曵
則注配列パターン・）〕嫌部がａＮの欠陥と完全に４別
されるため、規１１ｊ在パターンの欠陥検査装置として
の信頼性の向上と、倹ｆＭＱ率の格段の飛躍が認められ
る。
則注配列パターン・）〕嫌部がａＮの欠陥と完全に４別
されるため、規１１ｊ在パターンの欠陥検査装置として
の信頼性の向上と、倹ｆＭＱ率の格段の飛躍が認められ
る。
第１図は空間フィルタリング１式の基本構成図、第２図
は矩形状の一位開口の規則的配列で成るパターンの一例
を示す図、第８図（Ａ）〜（Ｉ４はパターンの欠陥、正
常を表わす図、第４図は逆フーリエ変換面に現われる被
検査パターンの逆像の欠陥部分の像の説明図、第５図は
被検責パターンの規則性パターンの外に縁内部との間に
介在する縦・横方向縁部の説明図、第６図は領域指定の
説明図、第７図は本発明で適用される欠陥検出装置をフ
ォトディテクタ側から見た平面図、第８図はその掻動装
置の移動方向の説明図、第９図ないし第４図は１り 本発明の一実施例のブロック図、第一回は一実施例のタ
イ建ングチャートである。 ！・・・レーザ発振器、２・・・レーザビーム、８・・
・コリメータ、４・・・平行光、６・・・被検査物、６
・・・回折し九光、７・・・フーリエ変換レンズ、８・
・・９間周波数フィルタ、９・・・そのフィルタ８を透
過し九光、ｌＯ・・・逆フーリエ交換レンズ、１１・・
・フォトディテクタアレイ（スクリーン）、１２・・・
元軸、１３・・・−位フオドディテクタ、１４・・・ス
ロット、１５・・・憔すの欠陥、Ｉ６・・・ｉｉ＆内部
、１７・・・領峨指定磯、２ｏ・・・増幅４．２１・・
・２値化回路、２２・・・サンプリング回路、３４・・
・記憶装ｆｔ、３５・・・アドレス元生装置、３６・・
・コンパレータ、（資）・・・規則性パターン、５Ｙ・
・・縦方間ｔＩｉ部、５Ｘ・・・横方向縁部、７１・・
・駆−装置、７２・・・パターン移動装置、７８・・・
Ｙ位ｔｘ、ｇ！号元生装置、７４・・・Ｘ位置１百号元
生装置、８１〜８４・・・パターン移ＮｊＪ装置７２の
移動経路、９１・・・マルチ欠陥慣用［ｇｌ路、９２・
・・縁部判別装置、９８・・・欠陥位置出力、１０１・
・・レーザ尤、１ｏ２・・・光−域気変換器、１０８・
・・１差信号、１０４・・・コンパレータい１０６・・
・２値化信号。 出願人代理人 猪 股 清 １００％ ３０％ 馬５図 ４ 馬６図 馬１０図 馬１２図 面
は矩形状の一位開口の規則的配列で成るパターンの一例
を示す図、第８図（Ａ）〜（Ｉ４はパターンの欠陥、正
常を表わす図、第４図は逆フーリエ変換面に現われる被
検査パターンの逆像の欠陥部分の像の説明図、第５図は
被検責パターンの規則性パターンの外に縁内部との間に
介在する縦・横方向縁部の説明図、第６図は領域指定の
説明図、第７図は本発明で適用される欠陥検出装置をフ
ォトディテクタ側から見た平面図、第８図はその掻動装
置の移動方向の説明図、第９図ないし第４図は１り 本発明の一実施例のブロック図、第一回は一実施例のタ
イ建ングチャートである。 ！・・・レーザ発振器、２・・・レーザビーム、８・・
・コリメータ、４・・・平行光、６・・・被検査物、６
・・・回折し九光、７・・・フーリエ変換レンズ、８・
・・９間周波数フィルタ、９・・・そのフィルタ８を透
過し九光、ｌＯ・・・逆フーリエ交換レンズ、１１・・
・フォトディテクタアレイ（スクリーン）、１２・・・
元軸、１３・・・−位フオドディテクタ、１４・・・ス
ロット、１５・・・憔すの欠陥、Ｉ６・・・ｉｉ＆内部
、１７・・・領峨指定磯、２ｏ・・・増幅４．２１・・
・２値化回路、２２・・・サンプリング回路、３４・・
・記憶装ｆｔ、３５・・・アドレス元生装置、３６・・
・コンパレータ、（資）・・・規則性パターン、５Ｙ・
・・縦方間ｔＩｉ部、５Ｘ・・・横方向縁部、７１・・
・駆−装置、７２・・・パターン移動装置、７８・・・
Ｙ位ｔｘ、ｇ！号元生装置、７４・・・Ｘ位置１百号元
生装置、８１〜８４・・・パターン移ＮｊＪ装置７２の
移動経路、９１・・・マルチ欠陥慣用［ｇｌ路、９２・
・・縁部判別装置、９８・・・欠陥位置出力、１０１・
・・レーザ尤、１ｏ２・・・光−域気変換器、１０８・
・・１差信号、１０４・・・コンパレータい１０６・・
・２値化信号。 出願人代理人 猪 股 清 １００％ ３０％ 馬５図 ４ 馬６図 馬１０図 馬１２図 面
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザー光回折パターン空関崗波数フィルタリング万武
を用いて曝位開口の規則性配列で収る規則性パターン中
の形状欠陥を検出するｉＩ＆置において、 ａ、逆フーリエ変換面上に、−位フオドディテクタを複
数１ｌｌ−列に配列して成るフォトディテクタアレイと
、 ｂ、前記規則性パターンを光帽に直角な面内で、前記フ
ォトディテクタアレイと直角方向への等速移動と、平行
方向へのフォトディテクタアレイの淡さ分のピッチ送シ
を繰返して移動させる装置と、 Ｃ，＠記フォトディテクタアレイに入射する形状欠陥ｓ
ｆｔ、ｔａ列検出するマルチ検出回路と、ｄ、前記等連
移りとピッチ送りに従って、前記規則性パターンの移辿
距−「Ｒ報會出カする装置と、ｅ、明記規則性パターン
の承部より内側に頑咳金設け、との碩慢の外ＩＩにて前
記単位フォトディテクタの＠妃等速移１方向に褒数４幌
して発生する形状大＠ＩＡ号凱＠紀規則性パターンの縦
刃内縁部と判別し、前記等速移動方向と１角に連続した
複数の畢酢フォトテｆテクタに同時に発生する形状大１
ｓ信号を横万同嫌部と判別して形状欠陥部と区別し、こ
の領吠の内側にて発生する形状欠陥信号ｔすべて形状欠
陥部と判別する回路と、 金具えること全特徴とする規目１ｊ注パターンの欠陥検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56186739A JPS5887531A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56186739A JPS5887531A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5887531A true JPS5887531A (ja) | 1983-05-25 |
| JPS6410044B2 JPS6410044B2 (ja) | 1989-02-21 |
Family
ID=16193799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56186739A Granted JPS5887531A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5887531A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122624A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-31 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
| JP2007033263A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Nagasaki Univ | 微小凹面形状の形状誤差機上計測方法および計測装置 |
| JP2008000248A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Yamazaki Corp | 清掃具 |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP56186739A patent/JPS5887531A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122624A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-31 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
| JP2007033263A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Nagasaki Univ | 微小凹面形状の形状誤差機上計測方法および計測装置 |
| JP2008000248A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Yamazaki Corp | 清掃具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6410044B2 (ja) | 1989-02-21 |
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