JPH0211841B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザー光回折パターン空間周波数
フイルタリング方式を用いて単位開口の規則性パ
ターン中の形状欠陥を検出する装置において、形
状欠陥を縁部と区別して検出する規則性パターン
の欠陥検査装置に関する。

メタルメツシユ等の単位開口の規則性配列パタ
ーンからなる工業製品は、一般に縁部は縁線によ
つて開口が途中から切られているため不規則な形
状の単位開口でつながつている。したがつて、レ
ーザー光回折パターン空間周波数フイルタリング
方式を用いた場合は、縁部はすべて欠陥形状とし
て検出されるため、通常の欠陥と区別しなければ
ならない。

ここにおいて、本発明は、それら通常の欠陥と
縁部とを識別する装置を提供することを、その目
的とする。

先ず、レーザ光回折パターン空間周波数フイル
タリング方式の基本構成を第１図により説明す
る。

レーザ発振器１を出たレーザビーム２は、コリ
メータ３によつて拡大された平行光４となつて被
検査物５に照射される。被検査物５はフーリエ変
換レンズ７の前焦点面に置かれてあり、後焦点面
上には被検査物５を通過する時に回折した光６に
よつて、被検査物５のフーリエ変換スペクトルが
現われる。しかして、フーリエ変換レンズ７の後
焦点面には、被検査物５の正常パターン（フーリ
エ変換レンズ７による）のフーリエ変換スペクト
ル強度分布を記録したネガ写真フイルム、つまり
空間周波数フイルタ８が置かれており、被検査物
５のフーリエ変換スペクトルのうち、正常パター
ンに相当するスペクトルのみが空間周波数フイル
タ８によつて吸収され、欠陥パターンに相当する
スペクトルは透過する。

ところで、この空間周波数フイルタ８は逆フー
リエ変換レンズ１０の前焦点面上に設けられてい
るため、空間周波数フイルタ８を透過した光９は
逆フーリエ変換レンズ１０によつて逆フーリエ変
換され、逆フーリエ変換レンズの後焦点面（逆フ
ーリエ変換面）上に置かれたスクリーン１１に、
空間フイルタリングされた逆フーリエ変換像、す
なわち被検査物５の欠陥部分だけの像となつて現
われる。以上が空間フイルタリング方式の基本構
成である。

一方、第２図は矩形状の単位開口の規則的配列
で成るパターンの一例を示すものであり、かかる
パターンの欠陥はその大きさが予め決められた一
定値以上のものと定義される。しかして、第１図
で述べた空間フイルタリング方式を利用した欠陥
検査装置では、第３図Ａ〜Ｄの欠陥部分Ｄ１〜Ｄ
４だけが、その欠陥面積に対応した明るさの点と
なつて再回折像面上に現われる。なお、第３図Ｅ
は正常なパターンを示している。

逆フーリエ変換面に現われる被検査パターン５
の逆像の欠陥部分だけの像は、第４図に示すよう
に、フオトデイテクタアレイ１１によつて検出さ
れる。つまり欠陥部分１５だけ明るい点なつて現
われ、フオトデイテクタアレイ１１によつて検出
される。

ここにおいて、被検査パターン５を平行光４内
で光軸１２に直角に平行移動してもフーリエ変換
の移行則により、フーリエ変換レンズ７の後焦点
面上に現われるフーリエ変換パターンに変化はな
い。したがつて、被検査パターン５を平行移動し
ても同様に、被検査パターン５のフーリエ変換ス
ペクトルのうち正常パターンに相当するスペクト
ルのみが空間フイルタ８によつて吸収され、欠陥
パターンに相当するスペクトルは透過する。かく
して、被検査パターン５の平行移動により逆フー
リエ変換像は光軸対称の逆方向に移動、つまり被
検査パターン５の逆像の欠陥部分だけの像が、光
軸１２を挾んで被検査パターン５の移動方向と反
対の方向に逆フーリエ変換面上を移動する。

第１図において、被検査パターン５の移動方向
を紙面に直角な方向とし、逆フーリエ変換面上の
フオトデイテクタアレイ１１の配列方向を紙面に
平行な方向とすれば、逆フーリエ変換面上を移動
する欠陥像はフオトデイテクタアレイ１１を直角
に横切ることになり、欠陥像の出力信号として検
出される。

また、被検査パターン５の移動に伴ない、その
移動距離に関する情報を出力する装置を本欠陥検
査装置に設置することにより、被検査パターン中
において検出された欠陥の位置を知ることができ
る。例を挙げて説明すると、今、被検査パターン
の移動方向に直角な方向をＸ方向、平行な方向を
Ｙ方向とすれば、Ｘ方向の欠陥位置成分は、規則
性パターンのピツチ送り毎にフオトデイテクタア
レイ１１の長さ分だけ加算する回路をカウンタ及
び加算器等で構成し、フオトデイテクタアレイ１
１の代表値を出力しておけば、逆フーリエ変換面
上において欠陥像が横切る単位フオトデイテクタ
のフオトデイテクタアレイ方向の位置によつて検
出でき、Ｙ方向のそれは、被検査パターンの固定
台及び本体に位置スケール、さらに高精度が要求
される場合には回折格子のモアレ縞を利用した位
置変位検出装置等を設ける、あるいは被検査パタ
ーンを移動させるためのモータ等の駆動軸部分に
ロータリエンコーダを設ける、等の手段によつて
検出可能である。これら以外にも、Ｙ方向の欠陥
位置成分は、被検査パターンが等速移動するため
移動開始時を起点として時間を計数することによ
つても求めることができる。

フオトデイテクタアレイ１１は矩形開口を持つ
複数の単位フオトデイテクタ１３の配列で構成さ
れ、被検査パターンの移動により得られる出力信
号は欠陥の最大許容面積に相当したスレツシヨル
ドレベルを持つ２値化回路により２値化され、こ
れにより欠陥検出が行なわれる。

以上の如くして、被検査パターンにおける欠陥
部分に対応する信号が得られる。

ところが、上記のような信号には、第５図に示
す規則性パターン５０の外に縁肉部１６における
縦方向縁部５Ｙと、横方向縁部５Ｘが通常欠陥と
混在するので、本発明はこれを識別しようとする
ものである。

一般に、メタルメツシユ等の単位開口の規則性
配列パターンからなる工業製品の縁部は、縁線に
よつて開口が途中から切られるために不規則な形
状の単位開口でつながつている。従つて空間フイ
ルタ法を用いた場合は、縁部はすべて形状欠陥と
して検出されるため、通常の欠陥と区別しなけれ
ばならない。

第６図は、本発明で適用される欠陥検査装置を
フオトデイテクタアレイ１１側から見た平面図で
ある。説明をわかりやすくするためにフーリエ変
換レンズと空間周波数フイルタは省略してある。

フオトデイテクタアレイ１１は固定され、パタ
ーン５０を移動させるパターン移動装置６２は、
駆動装置６１によりＹ軸方向、Ｘ軸方向に移動さ
れ、それぞれのＹ位置、Ｘ位置は、Ｙ位置信号発
生装置６３、Ｘ位置信号発生装置６４により求め
られる。

そしてパターン移動装置６２は第７図に示すよ
うに、７０から７１まで等速移動してＹ軸を移動
させ、７１から７２までフオトデイテクタアレイ
１１の伸長方向の長さだけＸ軸を移動（ピツチ送
り）させ、７２から７３はＹ軸を逆に等速移動し
て、これを繰返し、パターン５０の全面をカバー
する。

第８図は本発明の一実施例の信号系全体を示す
ブロツク図である。フオトデイテクタアレイ１１
に入射した形状欠陥部光２０は電気信号に変換さ
れ、マルチ検出回路２１によつて並列検出され、
形状欠陥の有無を示す２値化信号となつて出力さ
れる。この２値化信号は、Ｘ方向縁部判別回路４
１及びＹ方向縁部判別回路４２を通り、規則性パ
ターンの縁部による欠陥信号が除外される。しか
し、Ｘ方向縁部判別回路４１では、フオトデイテ
クタアレイ１１内において複数連続して発生した
欠陥しか除外できず、例えばフオトデイテクタア
レイ１１の１回目の走査と２回目の走査にまたが
つてＸ方向に連続発生した欠陥を除外できない。
従つて、本方式を用いた従来装置では、規則性パ
ターンの縁部を完全に判別、除外できなかつた。

本発明による欠陥検査装置では、以下に説明す
る手段によつて、従来装置が除外できなかつた走
査境界線にまたがつたＸ方向縁部による欠陥も除
外することができ、完全な縁部判別を行なうこと
ができる。

Ｙ方向縁部判別回路４２を通過した欠陥情報を
含む２値化信号は記憶装置２２に対する入力デー
タとしてデータ信号線へ接続されると同時に、書
き込み信号発生回路２３へも接続される。書き込
み信号発生回路２３は、この欠陥情報を持つ複数
の信号線のうち、少なくとも１つの信号線に欠陥
が検出されたことを示す信号が存在すれば、記憶
装置２２に対してデータ書き込み信号を発するよ
うになつている。記憶装置２２は、書き込み信号
発生回路２３からの書き込み信号を受けると、そ
の瞬間の欠陥情報をすべて自装置内に格納する。
その際の格納場所を指示するアドレス信号は、パ
ターン移動装置６２に設けられたＹ位置信号発生
装置６３及びＸ位置信号発生装置６４からの情報
を基に作り出される。

以上の動作が規則性パターンの全移動過程に渡
つて行なわれ、その結果、記憶装置２２内には、
規則性パターン全面の欠陥情報が格納される。つ
まり、パターン上の欠陥“１”，“０”の信号に置
き換えられた状態で記憶装置２２内に写像された
ことになる。

さらに、記憶装置２２は制御装置２４に接続さ
れており、制御装置２４は、上記の方法で記憶装
置２２に格納された欠陥情報を読み出し、それら
のＸ方向の連続性を判断することにより、Ｘ方向
縁部判別回路４１で判別できなかつた走査境界線
をまたぐＸ方向縁部を判別し、縁部以外の真の欠
陥を抽出する。この動作が完了すると、制御装置
２４はパターン移動装置６２に対して、次の規則
性パターンの検査準備完了を示す信号を出力し、
抽出した真の欠陥情報を外部出力装置２５へ出力
する。

この外部出力装置２５への出力と、規則性パタ
ーンの移動による欠陥情報の記憶装置２２への格
納は、並列に行なわれる。

以上が本発明による装置の信号系の流れ及び動
作の概要であるが、本発明によれば、従来、回路
構成のみによつて縁部判別を行なつていた欠陥検
査装置では判別できなかつた、フオトデイテクタ
アレイの走査領域の境界線の前後のＸ方向縁部ま
でも判別でき、さらに、縁部判別回路を持たず
に、プログラム制御による制御装置のみによつて
縁部判別を行なつていた欠陥検査装置が縁部判別
処理において長時間を要していたのに対し、本発
明による装置はその処理時間が極めて短かく、非
常に効率的に規則性パターンの形状欠陥検査を行
なうことができる。

以下に、第８図の各部についてさらに詳しく説
明する。

第９図は、第８図におけるフオトデイテクタア
レイ１１、マルチ検出回路２１のブロツク図であ
る。フオトデイテクタアレイ１１に入射する形状
欠陥部光２０は、各々増幅器２６によつて増幅さ
れ、２値化回路２７によつて欠陥の有無を表わす
２値の信号に変換された後、この信号はサンプリ
ング回路２８においてクロツクパルスCK２によ
つてサンプルされ、第１６図に示す信号DS1とな
る。尚、第１６図では、一例として、１回目のフ
オトデイテクタアレイ走査をSC１、１回目のピ
ツチ送りの後の２回目の走査をSC２として示し
てある。

DS1は次に第１０図のＸ方向縁部判別回路へ入
力される。本実施例では、Ｘ方向、Ｙ方向共に連
続３個以上欠陥が検出された場合にそれらを縁部
として判別する回路を示してある。第１６図及び
第１７図では、第１６図SC１内の欠陥Ａ１〜Ａ
３が立ち上がつた瞬間に強制的に削除され、第１
７図のＢ１〜Ｂ３となつている。

ここで、第１６図に発生した縁部による欠陥Ａ
４〜Ａ７は、Ａ４及びＡ５、Ａ６及びＡ７が別々
に検出され、連続３個以上の縁部判別条件を満た
さないため第１０図に示すＸ方向縁部判別回路で
は除外されない。本発明はこの欠陥を後段に接続
される制御装置によつて判別しようとするもので
ある。また、Ｂ１〜Ｂ３は後に続くＹ方向縁部判
別回路（第１１図）によつて完全に消滅する。

なお、第１６図、第１７図において、縁部によ
る欠陥Ａ６，Ａ７は便宜上欠陥Ａ４，Ａ５と同一
時点に図示しているが、実際は縁部による欠陥Ａ
４，Ａ５を含むフオトデイテクタアレイ走査が終
わり、次のフオトデイテクタアレイ走査で縁部に
よる欠陥Ａ６，Ａ７を検出することは明らかであ
る。

Ｙ方向縁部が除かれた信号DS2は、第１１図に
示すＹ方向縁部判別回路へ入力される。本回路の
各部動作を第１８図に示す。詳しい説明は省略す
るが、第１８図は第１７図SC１中のDS2(2)を別
にとつて示したものであり、図中に示すように、
入力信号中のＹ方向縁部の欠陥Ｃ１は出力〔DS3
(2)〕には現われず、縁部以外の欠陥Ｃ２はそのま
ま通過し、Ｃ２′として検出される。第８図に示
すＹ方向縁部判別回路４２は、本回路がフオトデ
イテクタアレイを構成する単位フオトデイテクタ
の個数分だけ並列に設けられている。

Ｙ方向縁部判別回路の出力DS3は、記憶装置２
２へ接続されると共に、第１２図に示す書き込み
信号発生回路へ送られる。出力DS3は並列に否定
論理和ゲート２９に接続され、出力DS3中に１つ
でも欠陥が検出されると、論理和ゲート３０を開
くための信号WCTがゲート２９から出力される。
ゲート３０が開いている間、クロツクパルスCK
２に同期したクロツクパルスCK１が通過し、通
過後の信号WRは後に説明する記憶装置２２への
書き込みパルスとして用いられる。第１９図は、
第１２図の動作を示したタイミングチヤートであ
り、Ｃ２′，Ａ４′，Ａ５′等の欠陥が検出された
時に限り書き込み信号WRが発生している。

第１３図は第８図における記憶装置２２と制御
装置２４を中心としたブロツク図である。まず、
第１２図で説明した欠陥信号DS3と書き込み信号
WRの働きを説明する。欠陥信号DS3に含まれる
欠陥情報は書き込み信号WRによつてメモリの第
１の領域に書き込まれるが、この時のアドレス信
号Ｄ−ADRはクロツクパルスCK２に同期してア
ドレス発生回路３１から供給される。アドレス発
生回路３１は、Ｘ位置信号発生装置６４及びＹ位
置信号発生装置６３から送られてくるフオトデイ
テクタアレイ１１に対応する規則性パターン５０
上の位置信号から、この位置に対応するメモリ
（第１の領域）空間内のアドレスを発生する。第
１４図は説明を容易にするために、第１の領域の
内部を仮想的に表現したものである。第１９図に
示したごとく、アドレス信号Ｄ−ADRはクロツ
クパルスCK２に同期して発生され、欠陥信号
DS3内のいずれかに欠陥が検出されている時点
（Ｋ＋４，Ｋ＋13，Ｋ＋14，Ｋ＋15）にのみ、第
１の領域に欠陥信号DS３が書き込まれる。この
とき、Ｋ＋４，Ｋ＋13等は第１の領域内のアドレ
スを示しており、第１４図のように欠陥情報が規
則性パターンと対応する形で格納される。（同図
では欠陥が“１”として格納されている状態を示
している。） 第１４図において、アドレス（Ｋ＋４）に格納
されている欠陥SC１において検出されたもので
あり、アドレス（ｌ＋４）のそれはSC２の時の
欠陥である。これらの欠陥は本来、Ｘ方向縁部と
して除外されなければならないのであるが、SC
１とSC２にまたがつているためにＸ方向縁部判
別回路で除外できなかつたものである。

このような、縁部判別回路では判別不可能な欠
陥が、以下に説明する中央処理装置３２により、
Ｘ方向の連続性を判断することによつて判別され
る。

規則性パターンの全面に渡つて、上述の欠陥情
報格納が終了すると、中央処理装置３２が縁部判
別を始める。ここにおいて、第１の領域は第２の
領域と共に中央処理装置３２の主メモリとなつて
おり、第１の領域は上述したように欠陥情報の格
納専用であり、第２の領域には本検査装置全体の
制御、縁部判別、欠陥情報の出力、等を中央処理
装置３２に行なわせるためのプログラムと、縁部
による欠陥を除いた真の欠陥の座標を蓄えておく
ための領域がある。

以上までの説明で分るように、第１の領域へ与
えられるアドレス信号及びデータ信号は、欠陥情
報格納時にはアドレス発生回路３１及びＹ方向縁
部判別回路４２に接続され、中央処理装置３２に
よる縁部判別時には中央処理装置３２からのアド
レスバス３５及びデータバス３６に接続されなけ
ればならない。この切り換えのために、外部信号
によつて切り換え可能な双方向性バツフア３３が
アドレス信号用とデータ信号用に設けられてい
る。バツフア３３を切り換える信号３７は、パタ
ーン移動装置６２から出力される移動用開始信号
MST及び移動終了信号MSPを用いて、モード切
換信号発生回路３４により作られる。

第１５図は中央処理装置３２とパターン移動装
置６２の動作の時間的推移を、欠陥検査の１周期
について示したものである。矢印３８は、それの
直前に第１の領域に格納されたパターン全面の欠
陥情報の中から、縁部によつて生ずる欠陥以外を
抽出し、その欠陥情報が格納されていた第１の領
域内の場所から、規則性パターン上の位置座標を
割り出し、第２の領域へ割り出された位置座標を
格納する。この内部処理が完了すると、中央処理
装置３２は移動開始指令信号STをパターン移動
装置６２へ出力する。パターン移動装置６２は、
移動開始指令信号STを受け取ると移動開始信号
MSTをモード切換信号発生回路３４及び中央処
理装置３２へ送出し、パターンの移動を開始す
る。双方向性バツフア３３は移動開始信号MST
の発生と同時に中央処理装置３２と切り離され、
アドレス発生回路３１及びマルチ検出回路２１側
へ接続される。そして、中央処理装置３２は移動
開始信号MSTを受けると同時に、矢印３８にお
いて第２の領域に格納しておいた欠陥の位置座標
を入出力制御装置４３を介して外部出力装置２５
へ出力する。第１５図で、矢印３９が外部出力装
置２５への出力、矢印４０がパターンの移動及び
欠陥情報の第１の領域への格納を示している。パ
ターンの移動が終了すると、パターン移動装置６
２から移動終了信号MSPが発せられ、第１の領
域が移動開始信号MSTの時とは逆に中央処理装
置側に接続され、中央処理装置３２は再び矢印３
８の状態に入る。以上のような周期が繰り返さ
れ、検査が進行していく。しかして、本発明の一
連の動作の流れ図を第２０図に表して、これを説
明する。

まず、被検査パターン５がパターン移動装置６
２に整置されて、この欠陥検査装置が始動（スタ
ート）する［ステツプ１］。

予め設定されたプログラムによりスキヤンエリ
アSC１の先頭部分のアドレスｋをCPU３２が内
臓するアドレス（レジスタ）メモリＡ［図示して
いない］へロードする。また、同様にスキヤンエ
リアSC２の先頭部分のアドレスｌをCPU３２が
内臓するアドレス（レジスタ）メモリＢ［図示し
ていない］へロードする。［ステツプ２］。

メモリ２２にアドレスｋを指定し、スキヤンエ
リアSC１の欠陥信号DS３を書き込む［ステツプ
３］。

ついで、アドレスメモリＡに格納されているア
ドレスに１を加え、パターン移動装置６２をＹ方
向に所定された距離だけつまり１歩移動し、メモ
リ２２にアドレスを指定し、欠陥信号DS３を書
き込む［ステツプ４］。

アドレスメモリＡに格納されているアドレスが
第１４図のマツプ状メモリ２２をＹ方向にオーバ
ーランすなわち越えているかを判断し、もし越え
ていなければ（NO）ステツプ４に戻りステツプ
４、ステツプ５の動作を繰返し、もし越えていれ
ば（YES）次に進む［ステツプ５］。

それから、パターン移動装置６２をＸ方向に所
定された距離だけつまり１歩移動する。［ステツ
プ６］。

メモリ２２にアドレスｌ［もつとも、パターン
移動装置６２のＸ方向への１歩移動ごとに逐次ア
ドレスは歩進させる］を指定し、欠陥信号DS3を
書き込む［ステツプ７］。

アドレスメモリＢに格納されているアドレスに
１を加え、パターン移動装置６２をＹ方向に所定
された距離だけつまり１歩移動し、メモリ２２に
アドレスを指定し、欠陥信号DS3を書き込む［ス
テツプ８］。

アドレスメモリＢに格納されているアドレスが
第１４図のマツプ状メモリ２２をＹ方向にオーバ
ーランすなわち越えているかを判断し、もし越え
ていなければ（NO）ステツプ８に戻りステツプ
８，ステツプ９の動作を繰返し、もし越えていれ
ば（YES）次に進む［ステツプ９］。

アドレスメモリＡに書き込まれたスキヤンエリ
アSC１の欠陥信号DS3が指示するビツト列の右
側部分、アドレスメモリＢに書き込まれたスキヤ
ンエリアSC２の欠陥信号DS3が指示するビツト
列の左側部分とが連続して欠陥ビツト“１”があ
るかどうかを判断し、あればそれらを縁部とみな
して“０”に置き替える［ステツプ１０］。

そして、アドレスメモリＢを用いて走査してい
たスキヤンエリアSC２の先頭部分のアドレスｌ
をアドレスメモリＡへロードする［ステツプ１
１］。

次に走査すべきスキヤンエリアSC３の先頭部
分のアドレスｍをアドレスメモリＢへロードする
［ステツプ１２］。

そうして、アドレスメモリＢに格納されている
アドレスが第１４図のマツプ状メモリ２２をＸ方
向にオーバーランすなわち越えているかを判断
し、もし越えていなければ（NO）ステツプ６に
戻り、ステツプ７，８，９，１０，１１，１２，
１３の動作を繰返し、もし越えていれば（YES）
次に進む［ステツプ１３］。

ここで、Ｘ方向に走査が越えている状態に至
り、被検査パターン５の全面の検査が終了（エン
ド）となり、そのときに書き込まれているメモリ
２２の欠陥ビツト情報“１”あるいは“０”に基
づき欠陥の有無が判断される［ステツプ１４］。

かくして、本発明によれば、メタルシユ等の単
位開口の規則性配列パターンの縁部が直線状であ
るときのむならず、縁部が曲線状に構成される場
合も判別され、通常の欠陥と完全に識別され、規
則性パターンの欠陥検査装置としての信頼性の向
上と、検査能率の格段の飛躍が認められる。

【図面の簡単な説明】

第１図は空間フイルタリング方式の基本構成
図、第２図は矩形状の単位開口の規則的配列で成
るパターンの一例を示す図、第３図Ａ〜Ｅはパタ
ーンの欠陥、正常を表わす図、第４図は逆フーリ
エ変換面に現われる被検査パターンの逆像の欠陥
部分の像の説明図、第５図は被検査パターンの規
則性パターンの外に縁肉部との間に介在する縦・
横方向縁部の説明図、第６図は本発明で適用され
る欠陥検出装置のパターンの欠陥検出部の平面
図、第７図はその移動装置の移動方向の説明図、
第８図から第１３図までは本発明の一実施例の構
成を示すブロツク図、第１４図はその記憶装置内
の欠陥情報の格納状態を仮想的に示す図、第１５
図はその実施例が動作する時の時間的推移を示す
図、第１６図から第１９図まではその実施例のタ
イミングチヤート、第２０図はその動作を表すフ
ローチヤートである。 １……レーザ発振器、２……レーザビーム、３
……コリメータ、４……平行光、５……被検査
物、６……回折した光、７……フーリエ変換レン
ズ、８……空間周波数フイルタ、９……そのフイ
ルタ８を透過した光、１０……逆フーリエ変換レ
ンズ、１１……フオトデイテクタアレイ（スクリ
ーン）、１２……光軸、１３……単位フオトデイ
テクタ、１４……単位開口、１５……通常の欠
陥、１６……縁肉部、２０……形状欠陥部光、２
１……マルチ検出回路、２２……記憶装置、２３
……書き込み信号発生回路、２４……制御装置、
２５……外部出力装置、２６……増幅器、２７…
…２値化回路、２８……サンプリング回路、３１
……アドレス発生回路、３２……中央処理装置、
３３……双方向性バツフア、３４……モード切換
信号発生回路、３５……アドレスバス、３６……
データバス、３７……モード切換信号、３８……
縁部判別及び欠陥位置座標の格納動作、３９……
欠陥位置座標の出力動作、４０……パターンの移
動及び欠陥情報の格納動作、４１……Ｘ方向縁部
判別回路、４２…Ｙ方向縁部判別回路、４３……
インターフエース、５０……規則性パターン、５
Ｙ……縦方向縁部、５Ｘ……横方向縁部、６１…
…駆動装置、６２……パターン移動装置、６３…
…Ｙ位置信号発生装置、６４……Ｘ位置信号発生
装置、７１〜７４……パターン移動装置６２の移
動径路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ レーザー光回折パターン空間周波数フイルタ
   リング方式を用いて単位開口の規則性配列で成る
   規則性パターン中の形状欠陥を検出する装置にお
   いて、 ａ 逆フーリエ変換面上に、単位フオトデイテク
   タを複数個一列に配列して成るフオトデイテク
   タアレイと、 ｂ 前記規則性パターンを、光軸に直角な面内
   で、前記フオトデイテクタアレイと直角方向へ
   の等速移動と、平行方向へのフオトデイテクタ
   アレイの長さ分のピツチ送りを繰返して移動さ
   せ、移動開始と移動終了において信号を発生す
   るパターン移動装置と、 ｃ 前記等速移動とピツチ送りに従つて、前記規
   則性パターンの移動距離情報を出す装置と、 ｄ 前記フオトデイテクタアレイに入射する形状
   欠陥部光を並列検出するマルチ検出回路と、 ｅ 前記単位フオトデイテクタの前記等速移動方
   向に複数連続して発生する形状欠陥信号を、前
   記規則性パターンの縦方向縁部と判別し、前記
   等速移動方向と直角に連続した複数の単位フオ
   トデイテクタに同時に発生する形状欠陥信号を
   横方向縁部と判別して形状欠陥部と区別する縁
   部判別回路と、 ｆ 前記縁部判別回路の少なくとも１つの出力に
   前記形状欠陥信号が検出された時に限り、前記
   縁部判別回路の出力を記憶装置内の第１の領域
   へ書き込むための信号を発生する書き込み信号
   発生回路と、 ｇ 前記パターン移動装置からの移動終了信号を
   受けて、前記記憶装置内の第１の領域に格納さ
   れた形状欠陥情報のうち、前記フオトデイテク
   タアレイが１回の前記等速移動によつて走査す
   る領域の境界線にまたがつて前記等速移動と直
   角に複数連続して検出された欠陥情報を前記規
   則性パターンの横方向縁部と判別して、該縁部
   に含まれない形状欠陥情報に対応する前記規則
   性パターン上の位置座標を前記記憶装置内の第
   ２の領域に格納し、該第２の領域への格納が終
   了すると前記パターン移動装置へ移動開始指令
   信号を選出し、該パターン移動装置からの移動
   開始信号を受けて前記第２の領域へ格納済みの
   前記座標情報を形状欠陥として外部出力装置へ
   出力する制御装置と、 を具えることを特徴とする規則性パターンの欠陥
   検査装置。