JPS589123A - 液晶パネルの電極構造 - Google Patents
液晶パネルの電極構造Info
- Publication number
- JPS589123A JPS589123A JP10800381A JP10800381A JPS589123A JP S589123 A JPS589123 A JP S589123A JP 10800381 A JP10800381 A JP 10800381A JP 10800381 A JP10800381 A JP 10800381A JP S589123 A JPS589123 A JP S589123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal panel
- electrode structure
- layer
- transparent conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 12
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LJCFOYOSGPHIOO-UHFFFAOYSA-N antimony pentoxide Chemical compound O=[Sb](=O)O[Sb](=O)=O LJCFOYOSGPHIOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 201000004569 Blindness Diseases 0.000 description 1
- 244000088401 Pyrus pyrifolia Species 0.000 description 1
- 235000001630 Pyrus pyrifolia var culta Nutrition 0.000 description 1
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- AZWHFTKIBIQKCA-UHFFFAOYSA-N [Sn+2]=O.[O-2].[In+3] Chemical compound [Sn+2]=O.[O-2].[In+3] AZWHFTKIBIQKCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 210000000496 pancreas Anatomy 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/13439—Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
液晶パネル用透明導電ｐとして酸化スズ、酸化ッ６．酸
化ア７ｆ、’＋７等。酸イ、５６本透明導電震、酸化イ
ンジウム、酸化インジウム−酸化スズ等の酸化インジウ
ム系透明導電膜が用いられている。
化ア７ｆ、’＋７等。酸イ、５６本透明導電震、酸化イ
ンジウム、酸化インジウム−酸化スズ等の酸化インジウ
ム系透明導電膜が用いられている。
前者は安価であるが比抵抗が大きい、又後者は比抵抗が
小さい電気化学的に不安定（電極の溶出、１８のマイグ
レーシ盲ン）であるといった欠点を有している。・最近
の液晶パネルの応用鉱大に伴い０即車用、計測器用等高
温多湿下での使用が多くな９又多機能化によりフ讐イン
パターン化が進入る背景にもとづき、比抵抗が、小さく
電気化学的安定性の良い電極を得ることを口約としたも
のである。
小さい電気化学的に不安定（電極の溶出、１８のマイグ
レーシ盲ン）であるといった欠点を有している。・最近
の液晶パネルの応用鉱大に伴い０即車用、計測器用等高
温多湿下での使用が多くな９又多機能化によりフ讐イン
パターン化が進入る背景にもとづき、比抵抗が、小さく
電気化学的安定性の良い電極を得ることを口約としたも
のである。
腑１図は本発明の液晶パネルの電極断面図を示す。１は
透明基板でありガラス、プラスチック、 −セラミック
等から成る。２は第１層を成す酸化スズ系透明導電膜で
あり、ＣｊＶＤ、１スパツタリング、蒸着、スプレー法
、溶液浸漬法等により限られる。
透明基板でありガラス、プラスチック、 −セラミック
等から成る。２は第１層を成す酸化スズ系透明導電膜で
あり、ＣｊＶＤ、１スパツタリング、蒸着、スプレー法
、溶液浸漬法等により限られる。
通常５０ｚ〜５０Ω１であり、酸化スズ又は１参以下の
五酸化アンチモンをドープした形で用いられる”。〜１
０Ω７１ｍＦＩＦの比抵抗を示す、３はＩＩＥ２層を成
す酸化インジウム本透明導電膜であり前記と同様の方法
で形成される。５０Ａ〜ｓｏｏ Ｘの膵厚寸、プした形
で用いられる。〜１０４Ωｃ１１程度の比抵抗を示す。
五酸化アンチモンをドープした形で用いられる”。〜１
０Ω７１ｍＦＩＦの比抵抗を示す、３はＩＩＥ２層を成
す酸化インジウム本透明導電膜であり前記と同様の方法
で形成される。５０Ａ〜ｓｏｏ Ｘの膵厚寸、プした形
で用いられる。〜１０４Ωｃ１１程度の比抵抗を示す。
１１１１１１と第２層、すなわち２と３のトー ２−
タル膜厚は５０１〜５００１ が望ましくさらに、望オ
しくけ２００Ｘ〜５００１である。ｇ厚の比は要求仕様
によって任意に費えられるが１：１位を用いふと良い、
４けシール材、５は液晶層である。
しくけ２００Ｘ〜５００１である。ｇ厚の比は要求仕様
によって任意に費えられるが１：１位を用いふと良い、
４けシール材、５は液晶層である。
以下実施例及び比較例によや本発明を説明すみ。
寮側１ ホウケイ酸系ガラスｐｖＤ法で酸化鷹ズ透、明
導電膜を２００１全面形成し、次にスパッタリング法で
酸化インジウムに５モルｂ％酸化スズをドープしたいわ
ゆる工Ｔｏを１５０１形成した・この二層構造の透明導
電・膜の比抵抗は２，５Ｘ１０″′ｌΩ信であった０次
にリソグラフィーでレジストパターンを形成し、Ｚｒ
−１１Ｇｔ系エッチーング法で電極を所定の形状にパタ
ーニングした０次に水平配向剤を塗布しラビングして１
１１図のとと＜ｙｍ’ｒｍｉｌ液晶パネルを形成した。
導電膜を２００１全面形成し、次にスパッタリング法で
酸化インジウムに５モルｂ％酸化スズをドープしたいわ
ゆる工Ｔｏを１５０１形成した・この二層構造の透明導
電・膜の比抵抗は２，５Ｘ１０″′ｌΩ信であった０次
にリソグラフィーでレジストパターンを形成し、Ｚｒ
−１１Ｇｔ系エッチーング法で電極を所定の形状にパタ
ーニングした０次に水平配向剤を塗布しラビングして１
１１図のとと＜ｙｍ’ｒｍｉｌ液晶パネルを形成した。
このような液晶パネルを８０’Ｃ９０１１の窩部多湿雰
囲気で６ｖの交流通電下長期信頼性を確認したところ５
００Ｈ後にリード部のＩＴＯが黒く変色したものの実用
上問題なからた。
囲気で６ｖの交流通電下長期信頼性を確認したところ５
００Ｈ後にリード部のＩＴＯが黒く変色したものの実用
上問題なからた。
実施例１において工Ｔ Ｏ３ｓｏ Ｘの１層透明電極
３− ＠ＫＸτＯの変色が入られ完全Ｋ１１ｆｉｌｌ状態にな
っていた。 一 実施例２ 実施例ＩＫＴｈいて透明導＠＠２．Ｓをバイ′ロゾルＯ
ＶＤシステムで連続ベルト炉で形成した。膜厚はそれぞ
れ１５０１と１００１であった。比抵抗＆２Ｘ１０″Ｉ
Ω傷であった。信頼性試験では実施例１と同様であった
。
３− ＠ＫＸτＯの変色が入られ完全Ｋ１１ｆｉｌｌ状態にな
っていた。 一 実施例２ 実施例ＩＫＴｈいて透明導＠＠２．Ｓをバイ′ロゾルＯ
ＶＤシステムで連続ベルト炉で形成した。膜厚はそれぞ
れ１５０１と１００１であった。比抵抗＆２Ｘ１０″Ｉ
Ω傷であった。信頼性試験では実施例１と同様であった
。
実施例３
実施例１で液晶パネル形成後、パネルを１：１塩酸６［
１”Ｃ中に５分間入れ３なる工ＴＯ電極のリード部だけ
エツチングして除いた。同様の信頼性試験下で５００Ｈ
ｒ後、リード部の変色等全≦見られなかった。
１”Ｃ中に５分間入れ３なる工ＴＯ電極のリード部だけ
エツチングして除いた。同様の信頼性試験下で５００Ｈ
ｒ後、リード部の変色等全≦見られなかった。
以上本発明を実施例によって説明したが比較例との対比
で入ても本考案の効果は大である。本考案によって得ら
れた液晶パネルは、車載用、計測器用、厚真写し込み用
等々特にシビアーな環境下で用いられる。、なシ、第１
図の各′ｌＩ極２．３はと ４− ヘらが下層となってもよく、又３層以上設けてもよいも
のである。
で入ても本考案の効果は大である。本考案によって得ら
れた液晶パネルは、車載用、計測器用、厚真写し込み用
等々特にシビアーな環境下で用いられる。、なシ、第１
図の各′ｌＩ極２．３はと ４− ヘらが下層となってもよく、又３層以上設けてもよいも
のである。
第１図・・本発明の液晶）（ネルの電極構造を示す断面
図。 ・ 以 上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 オＪｒ５！ｉ 、３ Ｌ
図。 ・ 以 上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 オＪｒ５！ｉ 、３ Ｌ
Claims (1)
- 液晶バネｋＫシいて少なくとも一方が透明な基板上に形
成された透明導電膜が、２つの成分の異なる透明導電膜
からａす、＃１層が酸化スズを主 −成分としたもの、
第２層が酸化インジウムを主成分として成ることを特徴
とする液晶パネルの電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10800381A JPS589123A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液晶パネルの電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10800381A JPS589123A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液晶パネルの電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589123A true JPS589123A (ja) | 1983-01-19 |
Family
ID=14473514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10800381A Pending JPS589123A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液晶パネルの電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589123A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61114843A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | コニカ株式会社 | 導電性積層体 |
| US4835061A (en) * | 1984-11-09 | 1989-05-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Conductive laminate |
| US5830252A (en) * | 1994-10-04 | 1998-11-03 | Ppg Industries, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
| US6352755B1 (en) | 1994-10-04 | 2002-03-05 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
-
1981
- 1981-07-09 JP JP10800381A patent/JPS589123A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61114843A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | コニカ株式会社 | 導電性積層体 |
| US4835061A (en) * | 1984-11-09 | 1989-05-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Conductive laminate |
| US5830252A (en) * | 1994-10-04 | 1998-11-03 | Ppg Industries, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
| US6352755B1 (en) | 1994-10-04 | 2002-03-05 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09283866A (ja) | 透明導電膜付き基板 | |
| EP0312389A2 (en) | A liquid-crystal panel | |
| JPH07114841A (ja) | 透明導電膜、その形成方法および透明導電膜の加工方法 | |
| US5091792A (en) | Liquid crystal display having reduced ito shading material and method of manufacturing same | |
| JPS589123A (ja) | 液晶パネルの電極構造 | |
| JP3052337B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH0269720A (ja) | パネル基板 | |
| JPS6117126A (ja) | 液晶セル | |
| JPS58198814A (ja) | タツチ式座標検出パネルの製造方法 | |
| JPS614094A (ja) | 電気光学的機能素子及びその製造方法 | |
| JPS6264007A (ja) | 透明導電膜及びその形成方法 | |
| JPS58178320A (ja) | 電気光学装置 | |
| JPS5923405B2 (ja) | 透明導電膜のパタ−ニング方法 | |
| JP2704212B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
| JP2651940B2 (ja) | 透明導電膜付基板 | |
| JPS5960822A (ja) | スイツチの製造方法 | |
| JPH10134638A (ja) | 透明導電膜とその製造方法、透明導電膜付き基板およびそれを用いた透明タッチパネル | |
| JPS6196610A (ja) | 透明導電膜及びその形成方法 | |
| JPS58194084A (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
| JPS62239124A (ja) | 液晶表示素子 | |
| JPS6264005A (ja) | 透明導電膜及びその形成方法 | |
| JPS6199185A (ja) | エレクトロルミネツセント・デイスプレイ用パネルの製造方法 | |
| JPS58194083A (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
| JPS6264006A (ja) | 透明導電膜及びその形成方法 | |
| JPH0370330B2 (ja) |