JPS5895607A - セラミツク粉末の製造方法 - Google Patents

セラミツク粉末の製造方法

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JPS5895607A
JPS5895607A JP56192363A JP19236381A JPS5895607A JP S5895607 A JPS5895607 A JP S5895607A JP 56192363 A JP56192363 A JP 56192363A JP 19236381 A JP19236381 A JP 19236381A JP S5895607 A JPS5895607 A JP S5895607A
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carbon
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aluminum
oxide
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Hiroshi Inoue
寛 井上
Katsutoshi Yoneya
勝利 米屋
Akihiko Tsuge
柘植 章彦
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 1明の技術分舒 本発明社、セラミック粉末の製造方法KI&IL、更に
評しくは、簡便な方法でサイアロン(Si−ムj−0−
N)系のセラミック粉末を製造する方法に関する・ 発明の技術的!量とそのllllI点 近等、超高温且つ高腐食性環境下において使用可能な構
造材料として、窒化ケイ素(81sNm)  系セラミ
ック焼結材料が注目を集めて−る。しかし、この種のセ
ラミックス焼結材料において、純粋な81sN*焼結体
の場合41cは、焼結性が劣り、高密度のものが得Il
−と云う問題点を有している。この改曽策として、84
sN4にアルミニウム(Aj)や酸素(0)をamさせ
た、所謂、サイアロン(81A7ON )と呼ばれる化
合物が関心を寄せられている。
かかるサイア田ン系化合物は、優れた耐食性能を有し、
且つ、焼結体の高密度化も容易であるために、その焼結
体或いは更に希土類酸化物を加えて成る焼結体を、優れ
た耐食性及び機械的特性を要求畜れる構造材料として適
用することが試みられている・かかるサイア胃ン系焼結
体は、窒化珪素(818N4)、窒化アルミニウム(ム
IN>及びアルミナ(ムJios)又はシリカ(810
1)  から成る混合物を焼結することkよって得られ
るが覧この方法は、高価な81 # N4を直接の原料
としているために1コスト画から用途が眼寓されると云
う間一点を有している。又、シリカ(5lot ) 、
アルミニウム(ムj)及び珪素(Si)から成る混合物
を原料として、sio、をムIで還元し、生成した81
を窒化して焼結する方法もある。しかし、この方法では
、戻応工程の制御が蒙しく、所望の焼結体を得るkは高
度の熟練を要するために、量産性に欠けると−う問題点
を有している。
発明の目的 本発明の目的社、上記した開動を解消し、簡便な方法で
、緻密且つ高温時における機械的強度が優れ、焼結時に
優れた耐食性を示すサイアロン系のセラミック粉末の製
造方法を提供するkある。
発明の概要 本発明者ら社、鋭意検討を重ねた結果、合成原料として
、シリカ(810f)よ)も反応性Kll′bメチル造
酸(CHs810m)を使用すること鉱想到した。
黛 そして、メチル珪* <c馬gins)をカーダン(C
)雪 によ勤還元し、生成した珪素(Sl)を窒化アルミニウ
ム(ムjN)及び/又は酸化アルミニウム(ムlm01
)の存在下に窒化することKよシ、簡便な操作で所望の
セラミック粉末が得られることを見−し、本発明を完成
するに到った・ 即ち、本発明のセラミック粉末の製造方法は、口(1)
一般式: gt@−1:Ajz%−1Qz(式中、za
o〜4の数である。但し、Z”=0を除く。) で示される化合物もしく #181AliNaOt 、
8tAjs凡O2,5iAj@N、O,X#1StAj
@N5Ot ノソtLソtLノ化合11JK相応するよ
うに配合された、 メチル珪酸(CHs810土)、炭素(C)並びに窒素 化アルミニウム(人jN)及び/又は酸化アルミニウム
(ム!、偽)から成る混合粉末を出発原料とし、窒素な
・含む非酸化性雰囲気中において、加熱処理を施すとと
kより、前記珪素アルミニウムオキシ窒化物(Si−ム
l−0−N系化合物)粉末を合成するととを特徴とする
ものであり、又、 81Aj晶Ot= RO五・S1ムjsNsOい8〇五
・5iAj小。
冨                 露0、又はR〇
五・81Ajs % Ot意 (式中、Rはイツシリウム(Y)−セリウム(C・)、
ランタン(La)及びスカンジウムc 1iie )か
ら成る群より選tftlた1種もしくは2種以上のもの
を表わし、xk’iNの原子価を表わし、zao〜4の
数である0但し、z=0を除く。) で示されるそれぞれの化合物に相応するよう(配合され
た、 メチル珪酸(CHsSiO上)、炭素(C)、窒化アル
ミニウム(ムjN)及び/又社酸化アル電ニウム(ム4
0m)並びに希土類酸化物(′B〇五(B−鯰前記と同
意義である。))から成る混合粉末を出発原料とし、窒
素を含む非酸化性雰囲気中にお−て、加熱処理を施す仁
とによ)、前記希土類酸化−・amアルミニウムオキt
シ窒化41k(ILO五・St−ムl−0−N系化合物
)粉末を合成することを特徴とするものである。
以下において、本発明を更に詳しく説明する。
本発明は、メチル珪all(C迅5ill)と炭素(C
)を出発原料とする蒙化物還元法による窒化珪素(st
iN4)粉末の合成法において、所望のサイアロン系化
合物もしくは希土類酸化物・fイア田ン系化合物に相応
するように、 CHsS10上、C及び、匂N1び/又
吐ム40mを所定量配合し、もしく社、更に、R〇五を
所定量配合して成る混合粉末を出発原料鴬 とする4のである。
上記S l s N4粉末を合成する際に、反応は次の
ように進行していると考えられる。
3CHs810上+4.5〜1.50 + 2N、→S
1.N、 + 4.5C0+4.5− かかる反応忙おいて、C几SiO土のCによる還元室 反応により生成する、還元されたSiが、AjN又在す
るN、と反応して、所望のサイアロン系化合物が得られ
る4のである。本発明における還元、窒化反応を行なわ
しめる条件状、例えば、1300〜1550℃において
、2〜10時間程時間比さ破ることが好壜L%lk、上
記窒素を含む非酸化性雰囲気として社、例えは、NいN
馬、Ns −Hs−凡一゛不活性ガス等が挙げられるが
、その主成公社% N、又はNusでなければならな一
、lkr:、ムl、0.を使用して合成を行なわしめる
場合IIc社、かかる窒素源としての凡又社賜の存在は
不可欠である。
本発明において使11iされる出発原料の配合瓦状、目
的とするサイアロン系化合物の組成によ)、適宜選択す
ることが好まし%/h6勿論、ここで最終的に得られる
サイアロン系化合物粉末中に一酸素(0)を残存せしめ
るために1選元に寄与するカーIン量を適宜減量させる
等のことも可能である。
尚、反応終了後、系内に残存する炭素を除去するために
1例えd1酸化性$囲気中にお≠て、600〜800℃
の温度で加熱娘堰して、残存炭素を酸化除責することが
好重し−。
本発明において、反応社次のように進行するものと考え
られる・即ち、先ず、CHs8i01  の還元窒化反
応にお−て、その反応JIIK#iムjNやM、0゜等
の他の原料粉本が共存するために、これらムjN粉末等
が反応の積となって、上記還元、窒化反応が容易に促進
される。一方にお−て、前記C11,810上の還元、
窒化反応の進行に伴な―、残雪 余のムjNヤムjt Os lll1七、還元されたB
tとの間の反応も容易に生起し、その結果として、微細
且つ粒径の揃った所望のすイアpン系化合物が得られる
上記反応において、811[&して使用されるcass
to上が、良好な結果をもたらす理由状定か鵞 で韓な―が、次のよう虻考えることができる。即ち、C
Hs8101 は加熱により、300〜500℃程度の
温度において、有機基(メチル基)が分解脱離し易くな
る。この際に、分解した有機基は、本発明のような非酸
化性雰囲気下において社、更に、CとIiK分解し、C
は遊離炭素粒子として、大部分810土の近傍に存在す
る。ここで、更に如意 熱を続けると、giQsは、例えばシリカ(Sift)
等に比べて熱的に不安定であるために、Cにより容易に
還元されて、StO,よりも速やかに窒素と反応する魯
又、前述の如く、本発明において社、CHaSiO上の
熱分解によや生成したCが、分解後! も810上の近傍に存在して−るために、還元剤と冨 して添加するCの量を少なくすることができるので、セ
ラミック粉末の収率が著しく改曽されると−う利点をも
有するものである。
以下において、実施例を掲ぜ、本発明を更に詳しく説明
する。
実施例1 平均粒径0.029μの炭素粉末81 N (6,75
モル)及び平均粒径0.95 sのAjN粉末82IC
2%ル)を混合し、?−#J9ングして原料粉末を先ず
調製した。次いで、この原料粉末を、1450℃、N。
雰囲気中でS時間還元、窒化反応させてから、700℃
空気雰闘気中3時間加熱処理して残存炭素を除去した。
上記操作により得られた平均粒径1.1μの灰色粉末に
クーて、X線回折法によシその組成を分析したとCろ、
S14ムis Ns Ox  で示されるサイア胃ン化
合物である仁とがTjallされ友。
実施例2 実施例1と同様の組成の原料粉末に1更に、平均、粒径
0.72μの酸化イツシリウム(Y! os )粉末3
3.2 N (0,15モル)を添加した混合粉末につ
いて、実施例1の場合と同様の条件において還元、窒化
反応及び炭素除来処理を行なった。
上記操作によ)得られた平均粒径1.1μの灰色粉末に
ついて、同様にX線回折法によりその組成を分析したと
ころ、 11vt襲YIO@ −92wt%814AJtNsO
*で示されるサイア―ン・系化合物であることが確認さ
れた。
発明の効果

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、一般式: 81s−zAjzNa−zOz(式中、
    蔦ho〜4の数である。但し、罵=OV餘(。) で示される化合物、もしくは、81 Aj4 N40g
    、81AjsNs O!、8iAj@N50m又は8i
    AjsNsO*のそれぞれの化合物に相応するように配
    合された、メチル珪酸(CHs810S)、炭素(C)
    並び忙窒化アル之ニウム(ムIN>及び/又は酸化アル
    1=ウム(ム408) から成る混合粉末を出発原料と
    し、窒素を含む非酸化性雰囲気中にお≠て、加熱処理を
    施すことKより、前記珪素アルミニウムオキシ窒化物(
    81−Aj−0−N系化合物)粉末を合成することを特
    徴とするセラミック粉末のS*方法。 2、一般式:ROx−8is−、AjzNs−2Ozs
    RO:!r−3゜81ムノーN−0,又はR〇五・81
    A4NiO*(式中、RF!イツ)リウム、セリウム、
    テンタン及びスカンジウムから成る群よシ選ばれた1種
    もしくa2種以上のものを表わし、I韓Rの原子価を表
    わし、2はO〜4の数である。但し、z = 0を除く
    。) で示されるそれぞれの化合物に相応するように配合され
    た、 メチル珪酸(C山810上)、炭素(C)、窒化アルミ
    ニウム(ムjN)及び/又は酸化アル1=ウム(ムjl
    Os)並びに希土−酸化物(RO五(R,:xは前記と
    同意義である。))から雪 成る混合粉末を出発原料とし、窒素を含む非酸化性雰囲
    気中において、加熱処理を施すととにより、前記希土傾
    酸化物・珪素アルミニウムオキシ窒化物(ROjL−8
    1−ムl−0−N系化金物)粉末を合成することを特徴
    とするセラミック粉末の製造方法。
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