JPS5896746A - 半導体基板の検査装置 - Google Patents
半導体基板の検査装置Info
- Publication number
- JPS5896746A JPS5896746A JP56195000A JP19500081A JPS5896746A JP S5896746 A JPS5896746 A JP S5896746A JP 56195000 A JP56195000 A JP 56195000A JP 19500081 A JP19500081 A JP 19500081A JP S5896746 A JPS5896746 A JP S5896746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- handle
- arm
- electromagnet
- hole
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体基板の検査装置に係り、特に牛 １−
導体基板を載置する検査用台をＸ−Ｙ方向に動作させる
為のハンドル構造に関するものである。
為のハンドル構造に関するものである。
半導体基板の特性検査や外観検査を考慮した場合、半導
体基板を載置する検査用台を半導体基板の面積範囲以上
、且つ、調整精度よ＜Ｘ−Ｙ方向に移動させることは重
要なことである。従来この種の要求に対して例えばパン
タグラフ（リンク機構を応用してハンドル部の動き量に
対して検査用台の動き量を小さくする。）を利用したハ
ンドル構造が使用されていたが、この方法に於ては調整
精度は向上するが、ハンドルを動かす範囲は精度と反比
例して大きくなると云う欠点を有していた。
体基板を載置する検査用台を半導体基板の面積範囲以上
、且つ、調整精度よ＜Ｘ−Ｙ方向に移動させることは重
要なことである。従来この種の要求に対して例えばパン
タグラフ（リンク機構を応用してハンドル部の動き量に
対して検査用台の動き量を小さくする。）を利用したハ
ンドル構造が使用されていたが、この方法に於ては調整
精度は向上するが、ハンドルを動かす範囲は精度と反比
例して大きくなると云う欠点を有していた。
本発明は上記利点は継続し、欠点は除去する目的で考え
られたものである。
られたものである。
本発明は、例えば厚手の円板の中心部に逆円錐形穴と、
この逆円錐形穴と直交し且つ中心部より深く切り込まれ
たスリワリ溝部と底面に開口した丸ザグリ穴とを具備し
たハンドルと、角柱よりなり一端に貫通穴を具備したア
ームと、円柱形状部材と、電磁石とにより構成され前記
アームは前記ハンドル部のスリフリ溝部に、前記円柱形
状部材は前記ハンドルの逆円錐形穴部に、又、前記電磁
石は前記ハンドルの丸ザグリ穴にそれぞれ挿入され、同
時に円柱形状部材はアームの貫通穴を貫通する形で位置
していることを特徴とする。
この逆円錐形穴と直交し且つ中心部より深く切り込まれ
たスリワリ溝部と底面に開口した丸ザグリ穴とを具備し
たハンドルと、角柱よりなり一端に貫通穴を具備したア
ームと、円柱形状部材と、電磁石とにより構成され前記
アームは前記ハンドル部のスリフリ溝部に、前記円柱形
状部材は前記ハンドルの逆円錐形穴部に、又、前記電磁
石は前記ハンドルの丸ザグリ穴にそれぞれ挿入され、同
時に円柱形状部材はアームの貫通穴を貫通する形で位置
していることを特徴とする。
以下、本発明を実施例により詳細に説明する。
第１図、第２図は本発明の一実施例である。第２図の状
態に於て電磁石５が通電状態にあれば電磁石５を具備し
ている粗調ハンドル３は強磁性体材料によるベース６に
固定されることに社る。この状態に於て粗調ハンドル３
との結合部に回転支点１ａとアーム２との結合部に２方
向スラスト運動自在な回転支点１ｂとを有する微調ハン
ドル１の操作部１ｃをＸ−Ｙ方向に操作するとアーム２
は微調ハンドル１の動作に準じて、同方向に動作する。
態に於て電磁石５が通電状態にあれば電磁石５を具備し
ている粗調ハンドル３は強磁性体材料によるベース６に
固定されることに社る。この状態に於て粗調ハンドル３
との結合部に回転支点１ａとアーム２との結合部に２方
向スラスト運動自在な回転支点１ｂとを有する微調ハン
ドル１の操作部１ｃをＸ−Ｙ方向に操作するとアーム２
は微調ハンドル１の動作に準じて、同方向に動作する。
この時それぞれの支点（Ｉａ、 ｌｂ、 Ｉｃ ）間の
距離を第３図に示す如（、Ａ及びＢとすれば微調ハンド
ル操作部１ｃの動き量に対するアーム２の動き量は、Ａ
／（Ａ＋Ｂ）で与えられる。従ってＢに対してＡの距離
を十分小さくすれば操作部ＩＣの動き量に対してアーム
２の動き量を十分小さくすることが可能となる。次に第
１図に設けられた押しボタンスイッチ８を押すことによ
り電磁石５に対する通電が解除されるとずれば、粗調ノ
１ンドル３はベース６からはフリーの状態となる。従っ
て粗調ハンドル３をＸ−Ｙ方向に操作するとアーム２も
粗調ハンドル３の動作に追従して同じ動作を行う。この
場合、粗調ハンドル３の動き量に対するアーム２の動き
量は１対１である。４はアーム２の２方向の動作を阻止
する為のフタ、７は電磁石５を粗調ハンドル３に固定す
る為のセットスクリューである。
距離を第３図に示す如（、Ａ及びＢとすれば微調ハンド
ル操作部１ｃの動き量に対するアーム２の動き量は、Ａ
／（Ａ＋Ｂ）で与えられる。従ってＢに対してＡの距離
を十分小さくすれば操作部ＩＣの動き量に対してアーム
２の動き量を十分小さくすることが可能となる。次に第
１図に設けられた押しボタンスイッチ８を押すことによ
り電磁石５に対する通電が解除されるとずれば、粗調ノ
１ンドル３はベース６からはフリーの状態となる。従っ
て粗調ハンドル３をＸ−Ｙ方向に操作するとアーム２も
粗調ハンドル３の動作に追従して同じ動作を行う。この
場合、粗調ハンドル３の動き量に対するアーム２の動き
量は１対１である。４はアーム２の２方向の動作を阻止
する為のフタ、７は電磁石５を粗調ハンドル３に固定す
る為のセットスクリューである。
以上の説明から明らかなように本発明によるハンドル機
構によればアーム２に直結している検査用台のＸ−Ｙ方
向の位置は大まかな位置合せは粗調ハンドル３の操作で
その后の正確な位置合せは微調ハンドル１で可能となり
、更にノ１ンドルの動作範囲も検査用台の動作範囲とほ
ぼ同等と、小さくてすむので、今后半導体基板の大型化
を考慮した場合には非常に適した一手段であると云える
。
構によればアーム２に直結している検査用台のＸ−Ｙ方
向の位置は大まかな位置合せは粗調ハンドル３の操作で
その后の正確な位置合せは微調ハンドル１で可能となり
、更にノ１ンドルの動作範囲も検査用台の動作範囲とほ
ぼ同等と、小さくてすむので、今后半導体基板の大型化
を考慮した場合には非常に適した一手段であると云える
。
又、上記説明に於ては第１図、第２図に示す一実施例を
基に説明してきたが、本特許の特徴である粗調ハンドル
のベースへの固定方法に電磁石を利用、又、微調ハンド
ルの縮小原理に、第３図に示すテコの原理を応用してい
る限り、本特許請求の囲が及ぶことは云うまでもない。
基に説明してきたが、本特許の特徴である粗調ハンドル
のベースへの固定方法に電磁石を利用、又、微調ハンド
ルの縮小原理に、第３図に示すテコの原理を応用してい
る限り、本特許請求の囲が及ぶことは云うまでもない。
第１図は本発明の一実施一智視図、第２図は第１図のｚ
−２部の断面斜視図、第３図は本発明の縮小原理図であ
る。 尚、各図に於て、１・・・・・・ｗｌ、調ハンドル、２
・・・・・・アーム、３・・・・・・粗調ハンドル、４
・・・・・・フタ、５・・・・・・電磁石、６・・・・
・・ベース、７・・・・・・セットスクリュー、８・・
・・・・ボタンスイッチである。 ５−
−２部の断面斜視図、第３図は本発明の縮小原理図であ
る。 尚、各図に於て、１・・・・・・ｗｌ、調ハンドル、２
・・・・・・アーム、３・・・・・・粗調ハンドル、４
・・・・・・フタ、５・・・・・・電磁石、６・・・・
・・ベース、７・・・・・・セットスクリュー、８・・
・・・・ボタンスイッチである。 ５−
Claims (1)
- 半導体基板を載置する検査用台を手動にてＸ−Ｙ方向に
動作させる為のハンドル構造を有する半導体基板の検査
装置において、前記検査用台に直結し、かつ他の一端に
貫通穴を具備するアームとＸ−Ｙ方向にスリワリ溝部と
、このスリワリ溝部を２方向に貫通する穴部とを具備す
るハンドルとを、円柱形状部材によるレバーで連結し、
且つ前記へンド刀・の下部には更に電磁石を具備し、前
記ハンドルと前記レバーのそれぞれの操作により検査用
台の粗動、微動を可能ならしめる動作機構を具備するこ
とを特徴とする半導体基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56195000A JPS5896746A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 半導体基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56195000A JPS5896746A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 半導体基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896746A true JPS5896746A (ja) | 1983-06-08 |
Family
ID=16333859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56195000A Pending JPS5896746A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 半導体基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896746A (ja) |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP56195000A patent/JPS5896746A/ja active Pending
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