JPS59112213A - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
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- JPS59112213A JPS59112213A JP22357982A JP22357982A JPS59112213A JP S59112213 A JPS59112213 A JP S59112213A JP 22357982 A JP22357982 A JP 22357982A JP 22357982 A JP22357982 A JP 22357982A JP S59112213 A JPS59112213 A JP S59112213A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 17
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
- G01B11/10—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving
- G01B11/105—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters of objects while moving using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光学式測定装置に係シー特に、難可視性のレ
ーザ光線を利用して被測定物の寸法を測定する高速度走
査型レーザ測長機に用いるのに好適な、平行走査光線ビ
ーム発生装置と受光素子との間に配置（７た被測定物に
より一平行走査光線ビームが辿ぎられて生じる暗部又は
明部の長さから被測定物の寸法を測定するようにした光
学式測定装置の改良に関する。
ーザ光線を利用して被測定物の寸法を測定する高速度走
査型レーザ測長機に用いるのに好適な、平行走査光線ビ
ーム発生装置と受光素子との間に配置（７た被測定物に
より一平行走査光線ビームが辿ぎられて生じる暗部又は
明部の長さから被測定物の寸法を測定するようにした光
学式測定装置の改良に関する。
従来から１回転走査光線ビーム（レーザビーム）を−コ
リメータレンズによシーこのコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメー
タレンズと集光レンズの間に被測定物を置き、この被測
定物によって前Ｓピ平行走査光線ビームが遮ぎられて生
じる暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測
定する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
リメータレンズによシーこのコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメー
タレンズと集光レンズの間に被測定物を置き、この被測
定物によって前Ｓピ平行走査光線ビームが遮ぎられて生
じる暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測
定する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
これは、例えば第１図に示す如く、レーザ光源１０から
レーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、こ
の固定ミラー１４により反射されたレーザビーム１２を
回転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、この
走査ビーム１７に一コリメータレンズ１８によって平行
走査光線ビーム２０に変換し、この平行走査光線ビーム
２０によシコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間
に配置した被測定物２４を置速走査し、その時被測定物
２４によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、被
測定物２４の走査方向寸法を測定するものである。
レーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、こ
の固定ミラー１４により反射されたレーザビーム１２を
回転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、この
走査ビーム１７に一コリメータレンズ１８によって平行
走査光線ビーム２０に変換し、この平行走査光線ビーム
２０によシコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間
に配置した被測定物２４を置速走査し、その時被測定物
２４によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、被
測定物２４の走査方向寸法を測定するものである。
即ち、平行走査光線ビーム２０の明暗は、集光レンズ２
２の焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化とな
って検出され、該受光素子２６からの信号は−プリアン
プ２８に入力され、ここで増幅された後、セグメント選
択回路３０に送られる。このセグメント選択回路３０は
、被測定物２４によシ、前記平行走食光線ビーム２０が
迩られて生じる暗部又は明部のうちから、測定対象とな
る暗部又は明部（以下測定セグメントと称する）を°選
択するために、受光素子２６の出力を時分割して、被測
定物２４の測定セグメントが走査されている時間ｔの間
だけゲート回路３２を開くための電圧ｖ’１発生して、
ゲート回路３２に出力するようにされている。このゲー
ト回路３２には、クロックパルス’Ｍｋ器３４からクロ
ックパルスＣＰが入力されているので、ゲート回路３２
は、被測定物２４の測定セグメントの走査方向寸法に対
応した時間ｔに対応するクロックパルスＰを計数回路３
６に入力する。計数回路３６は、このクロックパルスＰ
を計数して、デジタル表示器３８に計数信号を出力し、
デジタル表示器３８は被測定物２４の測定セグメントの
走査方向寸法をデジタル表示することになる。
２の焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化とな
って検出され、該受光素子２６からの信号は−プリアン
プ２８に入力され、ここで増幅された後、セグメント選
択回路３０に送られる。このセグメント選択回路３０は
、被測定物２４によシ、前記平行走食光線ビーム２０が
迩られて生じる暗部又は明部のうちから、測定対象とな
る暗部又は明部（以下測定セグメントと称する）を°選
択するために、受光素子２６の出力を時分割して、被測
定物２４の測定セグメントが走査されている時間ｔの間
だけゲート回路３２を開くための電圧ｖ’１発生して、
ゲート回路３２に出力するようにされている。このゲー
ト回路３２には、クロックパルス’Ｍｋ器３４からクロ
ックパルスＣＰが入力されているので、ゲート回路３２
は、被測定物２４の測定セグメントの走査方向寸法に対
応した時間ｔに対応するクロックパルスＰを計数回路３
６に入力する。計数回路３６は、このクロックパルスＰ
を計数して、デジタル表示器３８に計数信号を出力し、
デジタル表示器３８は被測定物２４の測定セグメントの
走査方向寸法をデジタル表示することになる。
一方、前記回転ミラー１６は、前記クロックパルス発振
器３４出力と同期して正弦波を発生する同期正弦波発振
器４０及びパワーアンプ４２の出力により同期駆動され
ている同期モータ４４によシ、前記クロックパルス発振
器３４出力のクロックパルスＣＰと同期して回転され、
測定精度を維持するようにされている。
器３４出力と同期して正弦波を発生する同期正弦波発振
器４０及びパワーアンプ４２の出力により同期駆動され
ている同期モータ４４によシ、前記クロックパルス発振
器３４出力のクロックパルスＣＰと同期して回転され、
測定精度を維持するようにされている。
このような高速度走査型レーザ測長機は、移動する物体
、高温物体の長さ、厚み等全非接触で高精度に測定でき
るので広く利用されつつある。
、高温物体の長さ、厚み等全非接触で高精度に測定でき
るので広く利用されつつある。
このような高速度走査型レーザ測長様においては、測定
の都度、被測定物２４を走査領域の同一箇所に配設する
ことが精度上好ましく、又、長大物においては、被測定
物２４が走査領域から飛び出さないように配置する必要
がある。
の都度、被測定物２４を走査領域の同一箇所に配設する
ことが精度上好ましく、又、長大物においては、被測定
物２４が走査領域から飛び出さないように配置する必要
がある。
しかしながら、通常は、前記レーザ光源１０として、ヘ
リウム−ネオンレーザが用いられているので、平行走査
光線ビーム２０が難可視性光線となり、平行走査光線ビ
ーム２０の走査範囲内の所定位置に被測定物２４を配置
したシ１．或いは、配置された被測定物２４が走査範囲
内の最適位置にあるかどうかを確認するのが、極めて困
離であった。従って従来は、前出第１図に破線で示す如
く。
リウム−ネオンレーザが用いられているので、平行走査
光線ビーム２０が難可視性光線となり、平行走査光線ビ
ーム２０の走査範囲内の所定位置に被測定物２４を配置
したシ１．或いは、配置された被測定物２４が走査範囲
内の最適位置にあるかどうかを確認するのが、極めて困
離であった。従って従来は、前出第１図に破線で示す如
く。
平行走査光線ビーム２０の通過光路中の、被測定物２４
と集光レンズ２２の間に、白紙４６を挿入し、該白紙４
６上の平行走査光線ビーム２０の位置から、被測定物２
４の位置が適切であるかどうかを判断するようにしてい
た。しかしながら、このような白紙４６を使用する方法
では一位置確認に一手間がかかる。又、被測定物２４の
位置を確認するために２白紙４６を平行走査光線ビーム
２０の通過光路中に挿入している時には、被測定物２４
の寸法を同時に測定することが不可能である等の問題点
を有していた。
と集光レンズ２２の間に、白紙４６を挿入し、該白紙４
６上の平行走査光線ビーム２０の位置から、被測定物２
４の位置が適切であるかどうかを判断するようにしてい
た。しかしながら、このような白紙４６を使用する方法
では一位置確認に一手間がかかる。又、被測定物２４の
位置を確認するために２白紙４６を平行走査光線ビーム
２０の通過光路中に挿入している時には、被測定物２４
の寸法を同時に測定することが不可能である等の問題点
を有していた。
一方、平行走査光線ビーム２０の走査範囲内における、
被測定物２４の測定セグメントの中心位置を表示するア
ナログのモニタメータを設けたシ。
被測定物２４の測定セグメントの中心位置を表示するア
ナログのモニタメータを設けたシ。
或いは、前記平行走査光線ビーム２０の走査範囲に対応
して複数の発光素子を配列し、単一走査時間内の受光素
子２６の出力を、前記発光素子数に応じて時分割し、走
査範囲に対する被測定物２４の位置に応じて前記発光素
子を発光させるようにしたシすることも考えられるが、
いずれにしても、回路構成が複雑と彦り、生産コストが
上昇してしまうという問題点を有していた。
して複数の発光素子を配列し、単一走査時間内の受光素
子２６の出力を、前記発光素子数に応じて時分割し、走
査範囲に対する被測定物２４の位置に応じて前記発光素
子を発光させるようにしたシすることも考えられるが、
いずれにしても、回路構成が複雑と彦り、生産コストが
上昇してしまうという問題点を有していた。
本発明は、前ａｔ従来の欠点を解消するべくなされたも
ので、回路構成１に複雑化したり、生産コストヲ上昇し
たりすることなく、平行走査光線ビームの走査範囲に対
する被測定物の位置合−容易に且つ正確に知ることがで
き、従って、測定を迅速に行うことができる光学式測定
装置ｔＴｈ提供することを目的とする。
ので、回路構成１に複雑化したり、生産コストヲ上昇し
たりすることなく、平行走査光線ビームの走査範囲に対
する被測定物の位置合−容易に且つ正確に知ることがで
き、従って、測定を迅速に行うことができる光学式測定
装置ｔＴｈ提供することを目的とする。
本発明は、平行走査光線ビーム発生装置と受光素子との
間に配置した被測定物により一平行走査光線ビームが遮
ぎられて生じる暗部又は明部の長さから被測定物の寸法
を測定するようにし次光学式測定装電において、前記受
光素子が収納された受光部ボディに、前６Ｃ平行走査光
線ビームの少くとも一部を受光して、その走査範囲に対
する被測定物の位置を表示する受光板金配設することに
よυ、前目ピ目的′ｆ：達成したものである。
間に配置した被測定物により一平行走査光線ビームが遮
ぎられて生じる暗部又は明部の長さから被測定物の寸法
を測定するようにし次光学式測定装電において、前記受
光素子が収納された受光部ボディに、前６Ｃ平行走査光
線ビームの少くとも一部を受光して、その走査範囲に対
する被測定物の位置を表示する受光板金配設することに
よυ、前目ピ目的′ｆ：達成したものである。
又、前記受光板を一前記受光部ボディ正面の、前記平行
走査光線ビームの通過光路に挿入可能な位置に配設して
、本発明が極めて安価に実現できるようにしたものであ
る。
走査光線ビームの通過光路に挿入可能な位置に配設して
、本発明が極めて安価に実現できるようにしたものであ
る。
或いは、前記受光板を、前記平行走査光線ビームの通過
光路に挿入されたハーフミラ−による反射光を受光する
ものとして、被測定物の寸法を同時に測定することがで
きるようにしたものである。
光路に挿入されたハーフミラ−による反射光を受光する
ものとして、被測定物の寸法を同時に測定することがで
きるようにしたものである。
更に、削口じ受光板を、受光部ボディ側面の、前記平行
走査光線ビームの走査範囲と直接対応する位置に配設し
て、走査範囲に対する被測定物の位置を極めて簡単に知
ることができるようにしたものである。
走査光線ビームの走査範囲と直接対応する位置に配設し
て、走査範囲に対する被測定物の位置を極めて簡単に知
ることができるようにしたものである。
又、前ｄじ受光板に、前記平行走査光線ビームの走査範
囲に対応する目盛を付して、走査範囲に対する被測定物
の位置を、簡単に、且つ、定量的に知ることができるよ
うにしたものである。
囲に対応する目盛を付して、走査範囲に対する被測定物
の位置を、簡単に、且つ、定量的に知ることができるよ
うにしたものである。
以下図面を参照して１本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
本発明の第１実施例は、第２図及び第３図に示す如く１
例えば、前記従来例と同様の１回転ミラー１６．コリメ
ータレンズ１８等が収納された発光部ボディ５２と、集
光レンズ２２．受光素子２６等が収納された受光部ボデ
ィ５４と全含み一前記発光部ボディ５２と受光部ボディ
５４との間に配置した被測定物２４により平行走査光線
ビーム２０が遮ぎられて生じる暗部の時間の長さから被
測定物２４の上下方向寸法全測定するようにした光学式
測定装置５０において一前記受光部ボディ５４正面の受
光窓５４ａ下部に、前記平行走置光線ビーム２０の通過
光路に挿入可能な、平行走査光線ビーム２０を直接受光
して、その走査範囲に対する被測定物２４の位置を表示
するための。
例えば、前記従来例と同様の１回転ミラー１６．コリメ
ータレンズ１８等が収納された発光部ボディ５２と、集
光レンズ２２．受光素子２６等が収納された受光部ボデ
ィ５４と全含み一前記発光部ボディ５２と受光部ボディ
５４との間に配置した被測定物２４により平行走査光線
ビーム２０が遮ぎられて生じる暗部の時間の長さから被
測定物２４の上下方向寸法全測定するようにした光学式
測定装置５０において一前記受光部ボディ５４正面の受
光窓５４ａ下部に、前記平行走置光線ビーム２０の通過
光路に挿入可能な、平行走査光線ビーム２０を直接受光
して、その走査範囲に対する被測定物２４の位置を表示
するための。
走査範囲に対応する目盛が付された受光板５６全。
その下端部に設けられたビン５８七中心として回動自在
に配設したものである。他の点については。
に配設したものである。他の点については。
前記従来例と同様であるので説明は省略する。
本実施例においては、まず、平行走査光線ビーム２００
所定位置に被測定物２４が配置されたか否かを確認する
際には、第４図に示す如く、受光板５６′ｆ：立てて一
該受光板５６が受光窓５４ａ’ｉふさぐような状態とす
る。すると、被測定物２４を通過した平行走査光線ビー
ム２０が１例えば１００回／秒の走査速度で受光板５６
に当って。
所定位置に被測定物２４が配置されたか否かを確認する
際には、第４図に示す如く、受光板５６′ｆ：立てて一
該受光板５６が受光窓５４ａ’ｉふさぐような状態とす
る。すると、被測定物２４を通過した平行走査光線ビー
ム２０が１例えば１００回／秒の走査速度で受光板５６
に当って。
該受光板５６上に平行走査光線ビーム２０の静止軌跡２
０ａが表われる。従って、この静止軌跡２０ａを参考に
位置を確認することかできる。
０ａが表われる。従って、この静止軌跡２０ａを参考に
位置を確認することかできる。
一方、測定に際しては、第５図に示す如く、前らＣピン
５８全中心として受光板５２を下方に回動し、受光窓５
４ａが開かれた状態とする。すると−受光窓５４ａ’ｚ
通過した平行走査光線ビーム２０が受光素子２６に入射
して、従来例と同様にして測定が行われる。
５８全中心として受光板５２を下方に回動し、受光窓５
４ａが開かれた状態とする。すると−受光窓５４ａ’ｚ
通過した平行走査光線ビーム２０が受光素子２６に入射
して、従来例と同様にして測定が行われる。
本実施例においては、受光板５６を受光部ボディ５４の
正面に配設するだけでよく、極めて構成が簡単である。
正面に配設するだけでよく、極めて構成が簡単である。
次に２本発明の第２実施例を詳細に説明する。
本実施例は、第６図及び第７図に示す如く一前把第１実
施例と同様の、発光部ボディ５２及び受先部ボディ５４
を含む光学式測定装置５０において、前記受光部ボディ
５４内部の平行走査光線ビーム２０の通過光路に挿入さ
れた。平行走査光線ビーム２０の一部を受光部ボディ５
４の正面に向けて反射するための、保護ガラスを兼ねた
ハーフミラ−６０と、前ｄＣ受光部ボディ５４正面の受
光窓５４ａの横に、該受光窓５４ａに沿って配置された
。前記ハーフミラ−６０により反射された平行走査光線
ビーム２０の一部ケ受光して、その走査範囲に対する一
ＩＩ１８測定物２４の位１Ｎを表示するための、走査範
囲に対応する目盛が付された受光用スフガラス６２と′
（ｌｌ−設けたものである。
施例と同様の、発光部ボディ５２及び受先部ボディ５４
を含む光学式測定装置５０において、前記受光部ボディ
５４内部の平行走査光線ビーム２０の通過光路に挿入さ
れた。平行走査光線ビーム２０の一部を受光部ボディ５
４の正面に向けて反射するための、保護ガラスを兼ねた
ハーフミラ−６０と、前ｄＣ受光部ボディ５４正面の受
光窓５４ａの横に、該受光窓５４ａに沿って配置された
。前記ハーフミラ−６０により反射された平行走査光線
ビーム２０の一部ケ受光して、その走査範囲に対する一
ＩＩ１８測定物２４の位１Ｎを表示するための、走査範
囲に対応する目盛が付された受光用スフガラス６２と′
（ｌｌ−設けたものである。
本実ｔｉ＆例においては一半行装置光線ビーム２゜の一
部がハーフミラ−６０によって反射され、受光窓５４ａ
の横に配置された受ｔｅ用すりガラス６２に投影される
ので一被測定物２４の位置に’Ｊ−易に知ることができ
る。しかも、被測定物２４の寸法全同時に測定すること
が可能である。
部がハーフミラ−６０によって反射され、受光窓５４ａ
の横に配置された受ｔｅ用すりガラス６２に投影される
ので一被測定物２４の位置に’Ｊ−易に知ることができ
る。しかも、被測定物２４の寸法全同時に測定すること
が可能である。
本実施例においては、ハーフミラ−６０が、保護ガラス
を兼ねるようにしているので、構成が比較的単純である
。勿論、保護ガラスとは別体のハーフミラ−全付加する
ことも可能である。
を兼ねるようにしているので、構成が比較的単純である
。勿論、保護ガラスとは別体のハーフミラ−全付加する
ことも可能である。
次に、本発明の第３実施例を詳細に説明する。
本実施例は、第８図及び第９図に示す如く、前ｇｔ第１
実施例と同様の、発光部ボディ５２及び受光部ボディ５
４？含む光学式測定装置５０において、前記受光部ボデ
ィ５４内部の、平行走査光線ビーム２００通過光路に挿
入された、平行走査光線ビーム２０の一部を受光部ボデ
ィ５４の側面に向けて反射するための、保護ガラスを兼
ねたハーフミラ−６４と、前ｄα受光部ボディ５４側面
の。
実施例と同様の、発光部ボディ５２及び受光部ボディ５
４？含む光学式測定装置５０において、前記受光部ボデ
ィ５４内部の、平行走査光線ビーム２００通過光路に挿
入された、平行走査光線ビーム２０の一部を受光部ボデ
ィ５４の側面に向けて反射するための、保護ガラスを兼
ねたハーフミラ−６４と、前ｄα受光部ボディ５４側面
の。
平行走査光線ビーム２０の走査範囲と直接対応する位置
に配置された、前記ハーフミラ−６４により反射された
平行走査光線ビーム２０の一部？受光して、その走査範
囲に対する被測定物２４の位置を表示するための、走査
範囲に対応する目盛が付された受光用すりガラス６６と
を設けたものである。
に配置された、前記ハーフミラ−６４により反射された
平行走査光線ビーム２０の一部？受光して、その走査範
囲に対する被測定物２４の位置を表示するための、走査
範囲に対応する目盛が付された受光用すりガラス６６と
を設けたものである。
本実施例においては、受光用すＱガラス６６が。
受光部ボディ５４側面の、平行走査光線ビーム２０の走
査範囲と直接対応する位置に配設されているので、被測
定物２４の位置確認作業が、極めて容易である。
査範囲と直接対応する位置に配設されているので、被測
定物２４の位置確認作業が、極めて容易である。
前６Ｇ実施例においては、いずれも、受光板５６−或い
は一受光用すシカラス６２．６６に、目盛が付されてい
たので、平行走査光線ビーム２０の走査範囲内における
被測定物２４の位置上、極めて簡単に、且つ１足量的に
知ることができる。なお。
は一受光用すシカラス６２．６６に、目盛が付されてい
たので、平行走査光線ビーム２０の走査範囲内における
被測定物２４の位置上、極めて簡単に、且つ１足量的に
知ることができる。なお。
受光板５６、或いは、受光用すシカラス６１６６におけ
る目盛を省略して、更に安価に構成ツーることも可能で
ある。
る目盛を省略して、更に安価に構成ツーることも可能で
ある。
以上説明した通り、本発明によれば、平行走査光線ビー
ムが難可視性光線からなる場合においても１回路構成を
複雑化したり一或いは、生埋コストを大幅に上昇したり
することなく一平行走査光線ビームの走査範囲１に対す
る被測定物の位置を、容易に且つ迅速に知ることができ
る。従って、被測定物が走査範囲外に飛び出すことヲ芥
易に阻止できる。又、比較測定に際して、被測定物走査
範囲の略中央位置に設定することが容易である等の優れ
た効果を有する。
ムが難可視性光線からなる場合においても１回路構成を
複雑化したり一或いは、生埋コストを大幅に上昇したり
することなく一平行走査光線ビームの走査範囲１に対す
る被測定物の位置を、容易に且つ迅速に知ることができ
る。従って、被測定物が走査範囲外に飛び出すことヲ芥
易に阻止できる。又、比較測定に際して、被測定物走査
範囲の略中央位置に設定することが容易である等の優れ
た効果を有する。
第１図は、従来の光学式測定装置の一例の構成を示す、
一部ブロック線図を含む平面図、第２図は１本発明に係
る光学式測定装置の第１実施例の構成を示す、一部所面
図を含む側面図、第３図は。 同じく、受光部ボディの正面図、第４図は、同じく、位
置確認状態における受光板の位置を示す。 受光部ボディ要部の正面図、第５図は、同じく、測定状
態における受光板の位置を示す、受光部ボディ要部の正
ｔｈ図、第６図は、本発明に係る光学式測定装置の第２
実施例の栴成會示す、一部断面図葡含む平面図、第７図
は、同じく、受光部ボディの正面図、第８図は、本発明
に係る光学式測定装置の第３実施例のｓＭ、を示す側面
図、第９図は。 同じく、受光部ボディを示す平断面図である。 ｌＯ・・・レーザ光源、１４・・・固定ミラー、１６・
・・回転ミラー、１８・・・コリメータレンズ、２０・
・・平行走査光線ビーム、２２・・・集光レンズ、２４
・・・被測定物、２６・・・受光素子、５０・・・光学
式測定装置。 ５２・・・発光部ボディ、５４・・・受光部ボディ、５
４ａ・・・受光窓、５６・・・畳光板、５８・・・ビン
。 ６０．６４・・・ハーフミラ−，６２−６６・・・受光
用すシガラス。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
一部ブロック線図を含む平面図、第２図は１本発明に係
る光学式測定装置の第１実施例の構成を示す、一部所面
図を含む側面図、第３図は。 同じく、受光部ボディの正面図、第４図は、同じく、位
置確認状態における受光板の位置を示す。 受光部ボディ要部の正面図、第５図は、同じく、測定状
態における受光板の位置を示す、受光部ボディ要部の正
ｔｈ図、第６図は、本発明に係る光学式測定装置の第２
実施例の栴成會示す、一部断面図葡含む平面図、第７図
は、同じく、受光部ボディの正面図、第８図は、本発明
に係る光学式測定装置の第３実施例のｓＭ、を示す側面
図、第９図は。 同じく、受光部ボディを示す平断面図である。 ｌＯ・・・レーザ光源、１４・・・固定ミラー、１６・
・・回転ミラー、１８・・・コリメータレンズ、２０・
・・平行走査光線ビーム、２２・・・集光レンズ、２４
・・・被測定物、２６・・・受光素子、５０・・・光学
式測定装置。 ５２・・・発光部ボディ、５４・・・受光部ボディ、５
４ａ・・・受光窓、５６・・・畳光板、５８・・・ビン
。 ６０．６４・・・ハーフミラ−，６２−６６・・・受光
用すシガラス。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
Claims (5)
- （１） 平行走査光線ビーム発生装置と受光素子との
間に配置した被測定物により、平行走査光線ビームが遮
ぎられて生じる暗部又は明部の長さから被測定物の寸法
を測定するようにした光学式測定装置において、前記受
光素子が収納された受光部ボディに一前配平行走査光線
ビームの少くとも一部を受光して、その走査範囲に対す
る被測定物の位置を表示する受光板を配設したことを特
徴とする光学式測定装置。 - （２） 前６じ受光板が、前記受光部ボディ正面の。 前記平行走査光線ビームの通過光路に挿入可能な位置に
配設されている特許請求の範囲第１項に８１載の光学式
測定装置。 - （３） 前＠Ｃ受光板が、前記平行走査光線ビームの
通過光路に挿入されたハーフミラ−による反射光を受光
するようにされている特許請求の範囲第１項に記載の光
学式測定装置。 - （４） 前記受光板が、受光部ボディ側面の、前記平
行走査光線ビームの走査範囲と直接対応する位置に配設
されている特許請求の範囲第３項にＢｄ載の光学式測定
装置。 - （５） 前記受光板に、前Ｂじ千行走青光線ビームの
走査範囲に対応する目盛が付されている特許請求の範囲
第１項に６Ｃ載の光学式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22357982A JPS59112213A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 光学式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22357982A JPS59112213A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59112213A true JPS59112213A (ja) | 1984-06-28 |
| JPS6341484B2 JPS6341484B2 (ja) | 1988-08-17 |
Family
ID=16800372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22357982A Granted JPS59112213A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 光学式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59112213A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8482831B2 (en) | 2008-03-14 | 2013-07-09 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical scanning device and image forming apparatus |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019072701A1 (de) | 2017-10-10 | 2019-04-18 | Flint Group Germany Gmbh | Reliefvorläufer mit geringem cupping und fluting |
| CN111448518B (zh) | 2017-12-08 | 2023-08-01 | 恩熙思德国有限公司 | 识别用于制造凸版结构的凸版前体的方法 |
| NL2020109B1 (en) | 2017-12-18 | 2019-06-25 | Xeikon Prepress Nv | Method for fixing and treating a flexible plate on a drum, and flexible plate for use therein |
| US11953834B2 (en) | 2018-04-26 | 2024-04-09 | Xsys Prepress N.V. | Apparatus and method for treating and transporting a relief printing plate precursor |
| NL2027002B1 (en) | 2020-11-27 | 2022-07-04 | Flint Group Germany Gmbh | Photosensitive composition |
| NL2027003B1 (en) | 2020-11-27 | 2022-07-04 | Flint Group Germany Gmbh | Photosensitive composition |
| NL2028207B1 (en) | 2021-05-12 | 2022-11-30 | Flint Group Germany Gmbh | A relief precursor with vegetable oils as plasticizers suitable for printing plates |
| NL2028208B1 (en) | 2021-05-12 | 2022-11-30 | Flint Group Germany Gmbh | Flexographic printing element precursor with high melt flow index |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP22357982A patent/JPS59112213A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8482831B2 (en) | 2008-03-14 | 2013-07-09 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical scanning device and image forming apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6341484B2 (ja) | 1988-08-17 |
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