JPS59112425A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気記録媒体、特に非磁性支持体上にＣｏまた
はＣｏ−Ｎｉ金属磁性薄膜を形成してなる磁気記録媒体
に係る。

従来一般の磁気記録媒体は、針状の磁性粉と高分子結合
剤を主体とする磁性塗料を非磁性支持体上に塗布して磁
性層を形成する。

これに対してＣｏ　、Ｆ＠ｒ　Ｎｉの磁性金属或いはこ
れらの合金を真空蒸着、ス・母ツタリング、或いはイオ
ンシレーティング等のいわゆるフィジカル・ペーノＪ？
−・デポジション技術によって非磁性支持体上に金属磁
性薄膜を形成するようにした金属薄膜型磁気記録媒体が
脚光を浴びるに至っている。

この金属薄膜型磁気記録媒体は、前述した塗布型の磁気
記録媒体におけるように、非磁性の高分子結合剤が用い
られないことから高い残留磁束密度が得られ、またその
磁性層を極めて薄く形成することができることから高出
力且つ短波長応答性に優れているという利点がある。

しかし々から、ｃｏ等の磁性金属を単に非磁性支持体上
に例えば蒸着しただけでは大きな抗磁力を有する磁性層
を得ることは難しい。

この種の金属磁性層において高抗磁力を有する磁性層を
形成する方法としては、斜め蒸着法によるものが考えら
れているが、この場合蒸着効率が低く生産性に劣るとい
う欠点がある。

このような斜め蒸着によらず、はぼ垂直蒸着によっても
高い抗磁力を示し、且つ高い角型比を有する金属薄膜型
磁気記録媒体が、本出願人によって先に提供された。こ
の磁気記録媒体は、非磁性支持体上に下地層としてＢｉ
薄膜を被着した後、これの上にＣＯ等の蒸着膜による金
属磁性薄膜を形成するものである。

本発明においてはこの種金属薄膜型磁気記録媒体におい
てその耐久性の向上を図るものである。

すなわち、本発明においては、第１図に示すように非磁
性支持体（１）上に下地層として特にＢｌ　−Ｃ。

の合金層（２）を厚さ５００Ｘ以下に形成し、これの上
に金属磁性薄膜（３）のｃｏまたはＣｏ−Ｎｉの金属薄
膜を形成する。

非磁ｉ　支持体（１）は、ポリエチレンテレフタレート
、ポリアミド、ポリアミドイミド９、ポリイミド等の高
分子フィルム、ガラスセラミック、或いは表面を酸化し
た金属板等を用いることができる。

下地層のＢ　１−Ｃｏ合金層（２）は、連続膜或いは不
連続膜のいずれの状態で被着されてもよいものであるが
、これがあまシ厚くなると抗磁力Ｈａの向上を阻害する
ものであシ、この厚さは５００１以下にとどめるべきで
あることを確めた。また、このＢ１−Ｃ０合金層（２）
におけるＣＱの導入量は１．０〜１０重量俤の範囲に選
定する。すなわちＣｏの導入量が１．０重量％未満では
耐久性の向上の効果がほとんど生じないものであシ、１
０重量％を越えると抗磁力Ｈａの上昇が鈍ってくること
を確めた。

このような本発明構成による磁気記録媒体は第２図にそ
の構成を示す真空蒸溜装置を用いることによって形成し
得る。すなわち、この装置においては、金属キャンαυ
が設けられ、これを繞って非磁性支持体（１）が、リー
ルαり及びα罎間に走行するようになされる。キャンα
■に対向してＢ１−Ｃｏ蒸着源α→と、Ｃｏ若しくはＣ
ｏ−Ｎ１蒸着源（ト）が配置される。

αＱは蒸着源α→及びα→よシの各金属蒸気流を相互に
遮蔽する遮蔽板で、両蒸着源σ→及び（ハ）間から金属
キャン０１）の前方に渡って設けられる。αηは、各蒸
着源α→及びαりと金属キャンαめとの間に配置された
シャッターである。また、一方のリールα■の周辺には
、加熱ラング等よシなる加熱手段（ｌが設けられ、更に
キャンαめとリール（６）との間の非磁性支持体（１）
がキャンａ◇よシ離間した位置においてこれを加熱する
加熱ランプないしは加熱ヒーター等よシなる加熱手段−
が配置され、更に非磁性支持体（１）がキャンαηの外
周を繞って接触する位置において蒸着源α→及びα→に
よる蒸着位置よυ互いに外側位置に対向して同様の加熱
ランプないしは加熱ヒーターよシなる加熱手段Ｈ及び（
イ）が配置されて夫々キャン（１１）を繞ってこれに接
する非磁性支持体（１）を加熱するようになされる。

このような装置によって非磁性支持体（１）上に下地層
（２）と金属磁性薄膜（３）との形成を行い且つアニー
ル処理を施す。すなわち、先ずリール０埠上に非磁性支
持体（１）が巻装された状態でリール０■から他方のリ
ールα］へとキャンαηを繞って非磁性支持体（１）を
移行させつつ蒸着源α→及びα啼から夫々非磁性支持体
（１）上に夫々の蒸着を同時に、したがって支持体（１
）上においては順次重ねて蒸着する。すなわち、先ず非
磁性支持体（１）上に蒸着源０４からのＢ１−Ｃｏ合金
の蒸着、従って下地層（２）が形成され、これの上に蒸
着源α→からのＣｏまたはＣｏ−Ｎｉの蒸着、従って金
属磁性薄膜（３）が形成されてリール（２）に巻取られ
る。この場合、キャン（１］）は温水での加熱がなされ
るが、キャンαめに沿って移行する非磁性支持体（１）
の各層（２）及び（３）の蒸着がなされる部分の温度は
、加熱手段Ｈ及びに）によって１００〜１５０℃程度に
加熱されてその蒸着が行われる。このようにしく５） て下地層（２）と金属磁性薄膜（３）が形成されてリー
ル０埠上に巻取ったテープは、次にこのリール（６）か
ら再び他方のリール（ロ）にキャンα■を繞って巻き戻
す。

このとき蒸着源α→及びαυよシの蒸着は停止させて、
主として加熱手段Ｈｅ１Ｉによって加熱処理をなし、下
地層（２）及び金属薄膜磁性層（３）を有する非磁性支
持体（１）を蒸着時の基板温度よシ高い所要温度で所要
時間加熱させてアニール処理を施し、高抗磁力化処理を
行う。

このようにして得た本発明による磁気記録媒体（試料１
〜３）と比較例ないしは従来例（試料４〜６）の夫々の
磁気的特性、特に抗磁力Ｈａと耐久性すなわち出力変化
の測定結果を表１に示す。ここに耐久性の測定は、家庭
用ＶＴＲにおいて３分間の長さの各試料テープを１００
回繰り返し走行させた後の出力変化を測定したもので、
ここに抗磁力Ｈｅは７５００ｅ以上要求され、また耐久
性は一３ｄＢ以上であることが実用上の磁気記録媒体に
おいて望まれるものであシ、表１から本発明による試料
１〜３のものは、これらの条件を満足している。

（６） またこれら試料１〜６の各構成は表２に列記する。

表　　　　　１ 表　　　　　２ 上述したところから明らかなように、本発明によれば、
高飽和磁束密度を有する金属磁性薄膜型磁気記録媒体に
おいて、その耐久性を高めることができ、しかも高い抗
磁力を呈することができるので、ビデオテープ、オーデ
ィオテーフ等の磁気記録媒体に適用して好適なものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気記録媒体の路線的拡大断面図
、第２図は本発明による磁気記録媒体を得る装置の一例
の構成図である。 （１）は非磁性支持体、（２）はＢ１−Ｃｏ合金の下地
層、（３）はＣｏまたはＣｏ−Ｎｉ金属磁性薄膜である
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上にＢ１−Ｃｏ合金層を厚さ５００Ｘ以下
   に被着形成し、これの上にＣＯまたはＣｏ−Ｎ１金属磁
   性薄膜を形成してなる磁気記録媒体。