JPS59136731A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPS59136731A
JPS59136731A JP1192583A JP1192583A JPS59136731A JP S59136731 A JPS59136731 A JP S59136731A JP 1192583 A JP1192583 A JP 1192583A JP 1192583 A JP1192583 A JP 1192583A JP S59136731 A JPS59136731 A JP S59136731A
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JP
Japan
Prior art keywords
groups
resin composition
photosensitive
anionic
photosensitive resin
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Pending
Application number
JP1192583A
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English (en)
Inventor
Tohei Moriya
森谷 東平
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Kuraray Co Ltd
Original Assignee
Kuraray Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/016Diazonium salts or compounds
    • G03F7/021Macromolecular diazonium compounds; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0212Macromolecular diazonium compounds; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binder or the macromolecular additives other than the diazo resins or the polymeric diazonium compounds
    • G03F7/0215Natural gums; Proteins, e.g. gelatins; Macromolecular carbohydrates, e.g. cellulose; Polyvinyl alcohol and derivatives thereof, e.g. polyvinylacetals

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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は分子内にアニオン基ヲ有する変性ポリビニルア
ルコール(PVA)$−よひジアゾニウム化合物金倉む
感光性樹脂組成物に関する。
感光性樹脂はその大部分゛が像形成材料として利用され
て2シ、感光性樹脂金用いての画像形成方法としてはレ
ジスト像、レリーフ像、転写像、着色像、光散乱像、気
泡像、静電写真像など檎々の方法が行なわれている。そ
してこれらの画像形成によって印刷版材、フォトレジス
トによる精密加工用途、与J4a写などへ利用されてい
る。
P V A s−よびジアゾニクム化合物よりなる感光
性樹脂は安価でアリ、かつ得られる感光性皮膜の性質が
良好なこと、未感光部の洗浄除去、すなわち現像のため
の溶剤が水でよいため、取り扱いが簡便で安全であるこ
となどから、スクリーン印刷用製版用乳剤、オフセット
PS千版用、などのレジスト剤に用いられてきたが、最
近エレクトロニクス関係における微細なディバイスの開
発が目覚しく、感光性樹脂も、よシ微細な画像形成が可
能なレジスト剤や製版剤が要求されており、より薄1い
換金形成し、蕗九都がより強力に基材に密着し、より耐
水性、耐薬品性があり、未露光部の水除去性がよいなど
の筋注が生かされる分野が増大してきた。こ1’Lりの
事情に鑑み、種々検討した結果、分子内にアニオン基を
有する変性PVAおよびジアゾニウム化合物金含む感光
性樹脂組成物は流動性、塗工性がよく、かつ感光性に優
れ、未感光部の水除去性にも優れ、塾らに“また基材へ
の接Maも良好でるることを見い出した。
常識的にはジアゾニウム化合物がカチオン性を帯びてい
るため、アニオン性の皮膜形成性ポリマー゛で必るべ・
−スレジ/を配合することは無理と思われるが、分子内
にアニオン性F4tTする変性PVAの’Mr Qジア
ゾニウム化合物との配合において支障rきプこさず、前
述のと29の優れた効果が得られたことは意外なことで
ある。
さらに本発明によれば次のような作用効果が得られる。
すなわち本発明の分子内にアニオン基を含む変性PVA
とジアゾニウム化合物を含む水浴液からなる感光液は発
泡性が少く、流動性がよいため、ステンレス板やポリエ
ステルフィルム、ガラスなどの基材に薄く均一に塗工出
来る。またこの塗工唐音乾燥して得られた皮膜層を光照
射によって現像水に対して不俗化させる場合、従来の未
変性のPVA’i用いた感光液の場合とくらべ露光量を
減少出来る。さらに篤くべきことは、従来のPVAを用
いるのにくらべ、不溶化感光膜のステンレス板などの金
属やポリエステルシートなどのプラスチックおよびガラ
ス板などの無機物基材への密着性が良好で、水塊]象時
の不溶化部の剥離あるいは脱落が非虜に少く、かつ露光
してない部分の水溶解性が優れているため、胛明な像が
得られる。
以下不発明ヲ石らに詳細に説明する。
本発明に於いて使用される分子内にアニオン基を有する
変性PVA中に含有するアニオン基とはカルボキシル基
、スルホン基、リン酸基など水溶液中で解離して負電荷
に帯電する化学構造単位を意味する。
これらのアニオン基全分子内に有する変性P■Aは通常
のPVAに化学反応を施して、後変性によりアニオン基
全導入してもよいが、アニオン基金官有するエチレン性
不飽オロ単量体と酢酸ビニルと全共重合した鋏、この共
産合体ケアルカlj k触媒としてクン化して得た変性
f’VAが特に好−ましい結果を与える。あるいはケン
化反応時にアニオン基を生じるような単電体全共逼合し
てもよい。
このようなエチレン性不飽和単量体の例として、アクリ
ル酸、メタクリル酸、タロトン酸、マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸、アコニット酸するいはこれらのアルキ
ルエステル、無水1Jあるいはアクリルアミドなどのカ
ルボキシル基金M単量体、あるいは2−アクリルアミド
−2−メチルプロパンスルホン酸、2−メタクリルアミ
ド−2−メチルプロパンスルホン酸s  2−−アクリ
ル“ア、ミドー1−メチルグロバンスルホン峡、ビニル
スルホン瞭、アクリルスルホン(tR,6るいはそれら
のア)Vカリ塩などのスルホン基含有単量体、あるいは
3−メタクリルアミド−3−メチルブタンリン66るい
はそのアルカリ塩Aどのリン酸基含有単量体を挙げるこ
とかできる。これらのうちカルボキシル基変性PVA=
i与えるエチレン性不飽和単量体としてはマレイン酸、
フマル酸、イタコン酸などのエチレン性不飽和ジカルボ
ン酸が特に優れている。またスルホン基変性PVAを与
える単量体としては2−アクリルアミド−2−メチルグ
ロバンスルホン酸ナトリウム塙が特によい結果を与え好
ましい。
これらのカルボキシルifるいはスルホン基はその塩基
、たとえはナトリウム塩基、カリウム塩基、アンモニウ
ム塩基などのアルカリ塩基であることが好適である揚台
がある。このうちナトリウム塩基が好結果を与える。
本発明において用いられるアニオン基変性PvA中のア
ニオン基の含有量、ケン化度あるいは重合度は適宜選択
されるが性能のすぐれた組成物をえるためにはこnらの
三つの安素を上手に組合わせることが重要でを・る。
本発明の目的に対してはアニオン基の含有量は0.01
〜30モルチが適当な範囲でめる。0.01モルチ以下
では感ブ0性、密着性、水現像性などが未変性PVAと
大差なくなり、一方30モルチ以上にするとジアゾニウ
ム塩との相溶性が悪くなり、放置安定性、均−塗工性が
悪くなり微細で鮮明な画像形奴全璧求する分野には適用
出来ない0なお実用面金考慮すると、変性度は01〜2
0モルチ、クン化跣は60〜100モル楚、重合度は1
00〜6000の範囲が好ましい。さらにはアニオン基
の含有量0.1〜5モルチ、ケン化度70〜98七ル係
、重合度200〜5000が感光ン俟の調製、準工性、
感光膜の感光性、水現像性、露光膜の@層性、耐水性、
耐薬品性の諸点からバランスのとれた最良の感光性樹脂
組成物をつくる0 また本発明に用いられるジアゾニラJ化合物とはテトラ
ゾニウム塩、ジアジド化合−物、ジアゾ樹脂等である。
例えはジフェニルアミン−4−ジアゾニウムクロリド・
ホルマリン縮合It i悄、ジメチルアニリン−4−ジ
アゾニウムクロリド・ホルマリン8合樹脂、2.5−ジ
メトキシフェニルモルホリン−4−ジアゾニウム塩化亜
鉛複塩・ホルマリン縮合仙脂などのジアゾ樹脂、3.3
’−ジメトキシジフェニル−4,4′−とスジアゾニウ
ムクロリド塩化亜am塩、3.3’−ジエチルジフェニ
ル−4,4’ −ビスジアゾニウムクロリド塩化亜鉛複
塩、ジフェニル−4,4′−ビスジアゾニウムタロリド
塩化亜鉛fJ1塩s ”−エテル−N−ペンジルアニl
) 7−4−ジアノニクムクロリド塩化亜鉛複項、L’
J−ジノナルアニリン−4−ジアゾニウムクロリド、3
.3’−ジメトキシジフェニル−4,4′−ビスジアゾ
ニワムクロリド、3.3’−ジメトキシジフェニル−4
,4’ −ビスジアゾニウムザルフェート等のテトラゾ
ニウム塩、シアゾニウム塩、6−アジド−2−(4’−
アジドスチリル)ペンズイミタゾール、4.4’−ジア
ジドスチルベン−2,2′−ジスルホンアミド号のジア
ジド化合物があげられる。これらのジアゾ化合物のうち
、好ましいものはジフェニルアミン−4−ジアソ゛ニウ
ムクロリドホルマリン縮合樹月旨、3、s’−ジエチル
ジフェニル−4,4′−ビスジアゾニウムクロリド塩化
亜鉛複塩、3.3’−ジメトキシジフェニル−4,4′
−ビスジアゾニウムクロリド塩化亜鉛複塩、4,4′−
ジアジドスチルベン−2,2′−ジスルホンアミドなど
が好ましい。
こ扛らの光分解性のジアゾニウム塙以外に公知の増感剤
例えば酢酸クラニル化付物などを適宜併用することがで
きる。また必要に応じcjJm剤、分散剤、消泡剤等の
添加剤るるいはテレビブラウン管の螢光面作製の場合に
は螢光体粒子、光硬化性塗料の場合の顔料等が添〃nさ
れる。
本発明に用いる分子内にアニオン基を有する変性PVA
のジアゾニウム化合物に対する配合量は、ジアゾニウム
化合物の種類、あるいは感光性樹脂組成物の用途などに
よって一概に次わらt′Lないが、2〜20(M量比)
8度に配合するのがよい。
本発明の感光性組成物は、凸版おるいはスクリーンM、
などの印刷版材の作成において特にその効果を発現でき
る。
以下本発明の感光性組成物について紫外線による光不溶
化の感光性及び七の膜の特性に関する実施例について説
明するがこれに限定されるものではない。なふ・都およ
び%は特に指定しないかき゛シ重量部、M’ikチを慧
味する。
実施例1 マレインばと酢酸ビニルの共逼曾fkアルカリケン化し
て得た、マレイン酸単位倉3モル%f有し、ケン化度が
89モルチ、4チ水溶液の20℃におけるB型粘度が4
0Cpのアニオン基質性PVAのlO%水溶液100部
にジフェニルアミン−4−ジアゾニウムクロリド・ホル
マリン縮合樹脂1部を加え、混合してV@製した感光液
を亜鉛板に回転塗布器を用いて均一に重布乾燥した後、
線画を真空規枠中で密着させて2000ルツクスのケミ
カルランフを光源として3分間露光し、そして水洗現像
した。えら扛る画像板を5チクロム酸水溶液中に30分
間浸漬し、硬膜処理を2こなった後、120℃で10分
間バーニングすることによシ耐酸画像レジストかでさた
。これを常法に従い10チ硫酸でこすって脱出した後、
ダウ腐−することにより凸版用印刷画像をえた。えらn
た感光性組成物の性能を表1に示した。
また比較のために上述のアニオン基質性PVAの代シに
未変性PVA(ケン化度sr7,4%水湛液の20℃に
おける浴液粘度が39cp)を則いる以外は上述の実施
例と同様にして感光液を調製し、凸版用印刷画1#!を
つくシ、性能を評価し、表1に比較例1としで示した。
表の実施例と比較例の性能比較から不光明のアニオン九
便性PVA?!:含む感光住糺成吻は感光性に丁ぐnよ
り鮮明な画像がえらオすることか2ノかる。
未露光後見られるポジ画像の印刷可能な線画数実施例 実施例1の7ニオン基変性p V A (L代えて表−
2に示す種々のアニオン基変性PVA1用いる以外は実
施例1と同一条件で感光液を調製し、凸版用印刷画像を
つくシ性能を評価しfcoその結果表−3に示すごとく
すぐ扛た感光性を示し鮮明な1慮がえらnた〇 表  −2 表 −3 次に本実施例によシ得られた感光性樹脂組成物の未露光
部の水除去性、および露光部の密着性、耐楽品性、耐水
性、起泡性について表=4に示す。
以下/:・−1 表−4 比較例2・・・ケ/化度88モル%、4%の粘tx 9
 cpsの未変性1’VAを用いて得た感光性樹脂組成
物各PVAに3,3′−ジエチルジフェニル−44′−
ビスジアゾニウムクロリド塩化亜鉛複塩をPVAに対し
5%添加した感光液をつく勺、固形分濃度10%に調整
し、こnを250メツシユのストレーナ−を通したのり
、そnぞ扛の基板に塗布時の泡の状態を見やすいように
するため、ロール−コーターで1回塗シ奮行ない、50
℃で乾燥した。
未露光塗膜の水除去性・・・基板塗膜を40℃の水に2
時間浸漬し、氷表面をゆるく攪拌した時の溶解性を観察
した。
露光塗膜の密着性・・・五板目テスト(タテ、ヨコIW
間隔に11本づつ11本づつクロスカットラインをN 
Tカッターで入れたのち、事務用セロテープを付着させ
て一定の速度で剥離させ、残った1rIa角のパーセン
テージを求める。)で測定した。なお露光は光源に3O
Aアーク灯1基を距離30αで2分照射した。
耐水性・・・80℃の水に1時間浸漬後の露光塗膜の残
存状況な肉眼観察した。
耐アルカリ−性・・・80℃の2%NaOH水溶液に1
時間浸漬後の露光塗膜の残存状況を肉眼観察した。
耐酸性・・・80℃の5チH01水溶液に1時間浸漬後
の露光塗膜の残存状況を肉眼観察した。
実施例11 イタコン酸を共重合単位として3モルチ含有し、ケン化
度が87モルチ、4%水溶液の20cにおけるB型粘度
が29 Cpのアニオン基変性PVAを5チ、3,3′
−ジメトキシジフェニル−4,4′−ビスジアゾニウム
クロリド塩化亜鉛複塩を該PVAに対し15チとなるよ
うに調製した水溶液をガラス板上に厚さ12μの皮膜状
に塗布後乾燥した。その後イーストマン、コダック社製
のニュートラルデンシティ−フィルターを密着さぞ、2
5crnの距離に保った2 KWメタルハライドランプ
を用いて30秒間紫外線照射し、その後一定水量で1分
間洗浄した。この時の感光度を残存した感光硬膜に対応
する露光量の相対値で表−5に示した。
なお比較のために従来の未変性PVA(平均重合度2,
000、ケン化度88モル%s 4%水fyfU。
粘度(20℃)29.5cp)を用いて実施例と同様に
感光度を測定し比較例−3として示し7こ。
表−5 すな2)ち従来のPVAからなる感光組成物に比し感光
度は約1.5倍高いことがわかる。
また感光膜の基材に対する密着性を次の方法で評価した
。実施例11のアニオン基変性PVAと比較例2の従来
PVAの感光液を各々ガラス板上に厚さ15μの皮膜状
に塗布し50℃で5分間乾燥した。内径1關の円形の穴
が100 cpl当り625個めいた黒色のプレートラ
密着きせ25crnの距離に保った2KWメタルハライ
ドランプを用いて30秒間紫外線照射し、その後一定水
量で3分間洗浄した。この時に残任した円形の感光膜ド
ツトについて観察し、欠落しているドツト数をもとめた
ところ衣−6のようになった。
本発明のアニオン基変性PVAによる感光膜が従来のP
VAによるものよシも基材に対する密着性が良好である
ことがわかる。また実施例の感光膜ドツトの円はきnい
な形状でめるのに対し、比較例のそ扛は端が欠けている
ものが目立ち、不鮮明で本発明の組成v!Jは鮮明な感
光像かえられることが認めら扛た。
表 −6 実施例12 イタコン酸を共重合単位として3モルチ含むイタコン教
−酢鈑ビニル共重合体をクン化して得た、ケン化度86
モルチ、4%水溶液の20℃におけるB型粘度が26C
pのアニオン変性PVAの10チ水溶液100部、ポリ
酢酸ビニルエマルジョン(固形分濃度50%)20部、
4,4′−ジアジドスチルベン−2,2′−ジスルホン
アミド(10%水溶液)20部、を混合して感光性組成
物分散数を得た。この分散液をバーコーターにてポリエ
ステルスクリーン版(150メツシユ)に塗布し、通風
乾燥して感光性スクリーンを得た。次にポジ原図を密着
させて3f(vVの超高圧水銀灯によシ距離1mで3分
間露光を行い、常温のシャワーにより水洗現像し、乾燥
してエッジシャープ不スに優扛、100μの細線まで再
現したスクリーン印刷版を得た。この印刷版を用いて印
刷したところ非常に鮮明な印刷物が10,000枚以上
得らn1画像の再現性も良好でめった。
な2比較のために未変性のPVA (ケン化度86モル
係、4チ水溶液の20℃におけるB型精度27Cp)を
アニオン変性PVAの代わりに用いる以外は実施例12
と同様にして感光性組hZ物およびスクリーン印刷版を
作製した。アニオン変性PVAの場合と比較して密着性
、現像性が不良で乾燥した版のンヤーブネスが劣ってし
へた。
特許出願人  株式会社 り ラ し 代理人 弁理士本多 堅

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (υ 分子内にアニオン基をゼする変性ポリビニルアル
    コールHよびジアゾニウム化合物金倉む゛感光性4+!
    1脂組成物。 (2)アニオン基がカルボキシル基またはその塩基であ
    る時I?F請求の範囲第1項記載の感光性樹脂組成物。 (8)  アニオン&がスルホン基または七の塩基であ
    る特訂itj求の範囲第1項記載の感光性樹脂組成物。 (4)アニオン基の含有量が0.1〜30モルチでめる
    特許請求の範囲第1〜第3項記載の感光性樹B’fl“
    組成物。 (6)  アニ大2基の含有量が0.1〜5モルチでめ
    る特許請求の範囲第1〜第3項記載の感光性樹脂組成物
JP1192583A 1983-01-26 1983-01-26 感光性樹脂組成物 Pending JPS59136731A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61267042A (ja) * 1985-05-21 1986-11-26 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性組成物
JPS6381421A (ja) * 1986-09-26 1988-04-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 感光性樹脂組成物
JP2007072152A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Denki Kagaku Kogyo Kk 感光性樹脂組成物ならびにその用途

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS6381421A (ja) * 1986-09-26 1988-04-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 感光性樹脂組成物
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