JPS59180706A - Ｘｙテ−ブル制御装置 - Google Patents
Ｘｙテ−ブル制御装置Info
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- JPS59180706A JPS59180706A JP5555683A JP5555683A JPS59180706A JP S59180706 A JPS59180706 A JP S59180706A JP 5555683 A JP5555683 A JP 5555683A JP 5555683 A JP5555683 A JP 5555683A JP S59180706 A JPS59180706 A JP S59180706A
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- Japan
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- motor
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/25—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for continuous-path control
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50019—Zero, null offset
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はＸＹテーブル制御装置に係り、特にワイヤボン
ディング装置に使用されるＸＹテーブルを制御するＸＹ
テーブル制御装置に関する。
ディング装置に使用されるＸＹテーブルを制御するＸＹ
テーブル制御装置に関する。
従来のワイヤボンディング装置におけるＸＹテーブルを
第１図に示す。ここではフレーム１およびペレット２の
ボンデ１ング位置ｒ、？、７ ｖ −Ａ １に装置され
たペレット２の中心位ｆｋｈ−ＩＪ’＝標原点としてこ
の座標原点からの相対位置として与えられる。したがっ
て半導体装置の品種が変更されると、ペレット２の中心
にキトピラリ８の下降点がくる位［’（＜座標原点とな
るように、ＸＹテーブル６の可動ベーヌ５を移動して、
この位置で絶対原点検出装置４が動作するように調整す
る必要があった。
第１図に示す。ここではフレーム１およびペレット２の
ボンデ１ング位置ｒ、？、７ ｖ −Ａ １に装置され
たペレット２の中心位ｆｋｈ−ＩＪ’＝標原点としてこ
の座標原点からの相対位置として与えられる。したがっ
て半導体装置の品種が変更されると、ペレット２の中心
にキトピラリ８の下降点がくる位［’（＜座標原点とな
るように、ＸＹテーブル６の可動ベーヌ５を移動して、
この位置で絶対原点検出装置４が動作するように調整す
る必要があった。
０のため品種が変更されるたびにＥｉＪ動ベース５を調
整する必要があり、この調整は多大な時間を要するため
ワイヤボンディング装置のｔｓｔｔｈ率の低下を招いて
いた。
整する必要があり、この調整は多大な時間を要するため
ワイヤボンディング装置のｔｓｔｔｈ率の低下を招いて
いた。
−また同一品種の場合でも、各ボンディング位置は座標
原点からの位１度座標として力えられているが、実際の
ボンティング位置間の移動はこれら位ｉｍ座標から演算
して求めた差分を基にして現在の位置から目的とする位
置に直接移動するようにしておこなわれる。このため、
ＸＹテーブル６の移動誤差は最大±ｌＯμ以下と高精度
ではあるが、全ボンデ１ング終了後にＸＹテーブル６を
座標原点に戻し絶対原点検出装置ｔ４が動作するかどう
かにより、それ１でのボンディングが正常に行なわれた
ことを確認する必要があった。したがってこの確認動作
のためボンディング時間が増大するという問題があった
。
原点からの位１度座標として力えられているが、実際の
ボンティング位置間の移動はこれら位ｉｍ座標から演算
して求めた差分を基にして現在の位置から目的とする位
置に直接移動するようにしておこなわれる。このため、
ＸＹテーブル６の移動誤差は最大±ｌＯμ以下と高精度
ではあるが、全ボンデ１ング終了後にＸＹテーブル６を
座標原点に戻し絶対原点検出装置ｔ４が動作するかどう
かにより、それ１でのボンディングが正常に行なわれた
ことを確認する必要があった。したがってこの確認動作
のためボンディング時間が増大するという問題があった
。
本発明は上記事情ケ考慮してなされたもので、半導体装
置の品種が変更されても特に座標原点の調整を必要とし
ない柔軟性に富んだＸＹテーブルの匍」伺ｌ装置を提供
すること全目的とする。
置の品種が変更されても特に座標原点の調整を必要とし
ない柔軟性に富んだＸＹテーブルの匍」伺ｌ装置を提供
すること全目的とする。
〔発明の概装〕
この目的全達成するために本発明によるＸＹテーブル制
御装置は、ＸＹテーブルを駆動するモータの回転に同期
したバルブを発生する回転検出装置と、ＸＹテーブルの
基準となる絶対原点でリセツトされ、前記回転検出装置
により発生したパルスを計数するカウンタとを備え、前
記イ４イ３対原点からの相対［直で与えられる目／ＩＩ
Ｆ、位置の座標［直と前記カウンタの計数（直とが一致
するようにＡｆＪ ７己ＸＹテーブルを駆動することケ
特徴とする。
御装置は、ＸＹテーブルを駆動するモータの回転に同期
したバルブを発生する回転検出装置と、ＸＹテーブルの
基準となる絶対原点でリセツトされ、前記回転検出装置
により発生したパルスを計数するカウンタとを備え、前
記イ４イ３対原点からの相対［直で与えられる目／ＩＩ
Ｆ、位置の座標［直と前記カウンタの計数（直とが一致
するようにＡｆＪ ７己ＸＹテーブルを駆動することケ
特徴とする。
本発明の一実施例によるＸＹチーフル制側１装置を第３
図に示す。座標データを入力する入力装置１０は中央制
御装置１１に接続され、入力された座標データは中央制
御装置山、１１に記１憩される。中央制御装置１】には
、ＸＹテーブルをＸ軸方向、Ｙ （１＋方向に移動させ
るモータ１４のモータ駆動装置面１３が接続されている
。このモータ１４の回転軸には回転検出装置１５が設け
られており、モータ１４の回転に同期したバルブが発生
する。回転検出装置１５から発生したバルブは、モータ
駆動装置１３へのフィードバック信号として用いられる
とともに、カウンタ１２へ人力される。カウンタ１２は
中央制御装置１１に接続されている。
図に示す。座標データを入力する入力装置１０は中央制
御装置１１に接続され、入力された座標データは中央制
御装置山、１１に記１憩される。中央制御装置１】には
、ＸＹテーブルをＸ軸方向、Ｙ （１＋方向に移動させ
るモータ１４のモータ駆動装置面１３が接続されている
。このモータ１４の回転軸には回転検出装置１５が設け
られており、モータ１４の回転に同期したバルブが発生
する。回転検出装置１５から発生したバルブは、モータ
駆動装置１３へのフィードバック信号として用いられる
とともに、カウンタ１２へ人力される。カウンタ１２は
中央制御装置１１に接続されている。
本実施例によるＸＹテーブル制御装置をワイヤボンディ
ング装置のＸＹテーブルの制御に用いたｊ４合について
説明する。まず入力装置ｉ１′１０に入力されるデータ
について説明する。半導体装置の品種切換時には、ＸＹ
テーブル６は絶対原点にあるようにされる。そのときの
キギピラリ８の降下位置は品種によらず第２図（１）（
２）に示すように点Ａ（０゜０）である。品種毎の座標
原点は、Ａ、ｉ（０，０）からの相対距離で与えられ、
第２図（１）に示す品種では点Ｂｌ （ｘｌ ＊ １
１ ）が座標原点となり、第２図（２）に示す品種では
点Ｂ＊ （ｘ＊ ＋ Ｖｗ ）が座標原点となる。
ング装置のＸＹテーブルの制御に用いたｊ４合について
説明する。まず入力装置ｉ１′１０に入力されるデータ
について説明する。半導体装置の品種切換時には、ＸＹ
テーブル６は絶対原点にあるようにされる。そのときの
キギピラリ８の降下位置は品種によらず第２図（１）（
２）に示すように点Ａ（０゜０）である。品種毎の座標
原点は、Ａ、ｉ（０，０）からの相対距離で与えられ、
第２図（１）に示す品種では点Ｂｌ （ｘｌ ＊ １
１ ）が座標原点となり、第２図（２）に示す品種では
点Ｂ＊ （ｘ＊ ＋ Ｖｗ ）が座標原点となる。
各品種毎のベレット２とフレームｌのボンディング位置
は、座標原点からの相対距離で与えられる。
は、座標原点からの相対距離で与えられる。
座標原点の相対距離のデータ、各ボンディング位置のデ
ータは人力装置ＩＯから入力され、中央制御装置に記憶
される。ある品種が指定されると中央制御装置１１は指
定された品種の座標原点データとボンディング位俗デー
タをアクセヌする。まず中央制御装置１１は、座標原点
壕での相対距離に相当するパルス数をカウンタ１２にセ
ットするとともに計数状態を減算モードとする。次にモ
ータ駆動装置１３に座標原点１での移動を指示する。モ
ータ１４はそれにより回転をはじめるが、モータ１４に
直結された回転検出装置はモータ１４の回転角に応じた
バルブを発生する。このバルブはカウンタ１２に人力さ
れ、カウンタ】２の計数１直を減算する。セしてカウン
タ１２の計数随がＯとなったとき座標原点への移動は終
了する。次に各ボンディング位置へＸＹテーブル６を順
次移動させる。中央制御装置ｌ】は現在位置、すなわち
カウンタ１２の計数ｉｋと次のボンディング位ｈｔのデ
ータとを比較し、Ｘ軸Ｙ軸の方向（（−）−）方向か←
）方向か）と移＠喰を演算する。この演算結果によりカ
ウンタには加算モード又は減算モードにセットされ、中
央１［１］御装置１】は移動量に基づく移動をモータ駆
動装置１３に指示する。モータ１４の回転に伴ない回転
検出装置１５より発生するパルスによυカウンタ１２は
加／減算され、ボンディング位置を示すデータと計数１
直が一致した時に移動は終了する。このボンディング位
置でのポンチインク終了後、同様にして次のボンティン
グ位置への移動がおこなわれる。このようにして最終ボ
ンディング位置まで同様に移動がおこなわれるが、その
間カウンタ１２の計数直は、座標原点を原点とした絶対
位置を示していることがわかる。最終ボンディング終了
後ＸＹテーブル６は座標原点までもどされ、次のフレー
ム１およびベレット２へのボンディングがおこなわれる
。なお、品種切拗時にｄｌ、ＸＹテーブル６は絶対原点
に壕゛Ｃもとされ、以上の動作を繰り返す。
ータは人力装置ＩＯから入力され、中央制御装置に記憶
される。ある品種が指定されると中央制御装置１１は指
定された品種の座標原点データとボンディング位俗デー
タをアクセヌする。まず中央制御装置１１は、座標原点
壕での相対距離に相当するパルス数をカウンタ１２にセ
ットするとともに計数状態を減算モードとする。次にモ
ータ駆動装置１３に座標原点１での移動を指示する。モ
ータ１４はそれにより回転をはじめるが、モータ１４に
直結された回転検出装置はモータ１４の回転角に応じた
バルブを発生する。このバルブはカウンタ１２に人力さ
れ、カウンタ】２の計数１直を減算する。セしてカウン
タ１２の計数随がＯとなったとき座標原点への移動は終
了する。次に各ボンディング位置へＸＹテーブル６を順
次移動させる。中央制御装置ｌ】は現在位置、すなわち
カウンタ１２の計数ｉｋと次のボンディング位ｈｔのデ
ータとを比較し、Ｘ軸Ｙ軸の方向（（−）−）方向か←
）方向か）と移＠喰を演算する。この演算結果によりカ
ウンタには加算モード又は減算モードにセットされ、中
央１［１］御装置１】は移動量に基づく移動をモータ駆
動装置１３に指示する。モータ１４の回転に伴ない回転
検出装置１５より発生するパルスによυカウンタ１２は
加／減算され、ボンディング位置を示すデータと計数１
直が一致した時に移動は終了する。このボンディング位
置でのポンチインク終了後、同様にして次のボンティン
グ位置への移動がおこなわれる。このようにして最終ボ
ンディング位置まで同様に移動がおこなわれるが、その
間カウンタ１２の計数直は、座標原点を原点とした絶対
位置を示していることがわかる。最終ボンディング終了
後ＸＹテーブル６は座標原点までもどされ、次のフレー
ム１およびベレット２へのボンディングがおこなわれる
。なお、品種切拗時にｄｌ、ＸＹテーブル６は絶対原点
に壕゛Ｃもとされ、以上の動作を繰り返す。
また、通・常ワー１−ｉ−ボンディング装置には、ベレ
ット２のボンティング位置の理想点からのずれを補正す
るための装置が用いられるが、本実施例のＸＹテーブル
制ｍｌ装置においても、カウンタ１２にこの補正飴を加
える等により利用可能である。
ット２のボンティング位置の理想点からのずれを補正す
るための装置が用いられるが、本実施例のＸＹテーブル
制ｍｌ装置においても、カウンタ１２にこの補正飴を加
える等により利用可能である。
捷だ、本実施（夕１ではカウンタ１２を独立の装置とし
たが、モータ駆動装置１３内のカウンタ部として構成し
、中央制御装置１１からモータ駆動装置１３への指示を
絶対原点からの相対饋に基づくものとしてもよい。
たが、モータ駆動装置１３内のカウンタ部として構成し
、中央制御装置１１からモータ駆動装置１３への指示を
絶対原点からの相対饋に基づくものとしてもよい。
なお本実施例によるＸＹテーブル制御装置はボンディン
グ装置のＸＹテーブル以外の精密制御全必要とするＸＹ
テーブルにも適用司能であることはいうまでもない。
グ装置のＸＹテーブル以外の精密制御全必要とするＸＹ
テーブルにも適用司能であることはいうまでもない。
以上の通シ本発明によれば、座標原点−１ＸＹテーブル
の絶対原点からの相対位置として自由に設定できるため
、各品椎毎に座標原点を中心と（７た位置データによる
制御をおこなう場合でも、未軟性のある確実な制作４１
がおこなえる。
の絶対原点からの相対位置として自由に設定できるため
、各品椎毎に座標原点を中心と（７た位置データによる
制御をおこなう場合でも、未軟性のある確実な制作４１
がおこなえる。
またカウンタの計数直により常に目標位置と涼在位置と
の位置ずれの検出が可能であり、全移動終了後の絶対位
置との確認作業をしこなう必要がなく、作業時間の短縮
と北本の向上か図れる。
の位置ずれの検出が可能であり、全移動終了後の絶対位
置との確認作業をしこなう必要がなく、作業時間の短縮
と北本の向上か図れる。
第１図はボンデ１ング装置にのＸＹテーブルの側面図、
第２図（１）、 （２）はそれぞれ同ＸＹチーフルと半
導体フレームとの相対位置関係を示す平面図、第３図は
本発明の一実施例によるＸＹテーブル制御装置のブロッ
ク図である。 １・・・フレーム、２・・・ベレット、３・・・キャピ
ラリ、４・・・絶５文°１原点検出装償、５・・・可動
ベース、６・・・ＸＹテーブル、ｌＯ・・・入力装置、
１１・・・中央制御装置、１２・・・カウンタ、１３・
・・モータ駆動装置、１４・・・モータ、１５・・・回
転検出装置。 出願人代理人 猪 股 清 （９） −３５手続補正書 昭和閏年５月１１日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 ■、事件の表示 昭和簡年特許願第５５５５６号 ２、発明の名称 ＸＹテーブル制御装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ７、補正の対象 明細書 ８、補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし） ３６
第２図（１）、 （２）はそれぞれ同ＸＹチーフルと半
導体フレームとの相対位置関係を示す平面図、第３図は
本発明の一実施例によるＸＹテーブル制御装置のブロッ
ク図である。 １・・・フレーム、２・・・ベレット、３・・・キャピ
ラリ、４・・・絶５文°１原点検出装償、５・・・可動
ベース、６・・・ＸＹテーブル、ｌＯ・・・入力装置、
１１・・・中央制御装置、１２・・・カウンタ、１３・
・・モータ駆動装置、１４・・・モータ、１５・・・回
転検出装置。 出願人代理人 猪 股 清 （９） −３５手続補正書 昭和閏年５月１１日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 ■、事件の表示 昭和簡年特許願第５５５５６号 ２、発明の名称 ＸＹテーブル制御装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ７、補正の対象 明細書 ８、補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし） ３６
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＸＹテーブルの基愈となる絶対原点音検出する絶対原点
検出装置を備え、モータにて駆動されるＸＹテーブル會
制御するＸＹテーブル制制御装置にお込て、 前記モータの回転に同期したバルクを発生する回転検出
装置と、 前記絶対原点検出装置により検出さｉｔた絶対原点の位
置でリセツトされ、前記回転検出装置により発生したバ
ルヌ葡計数するカウンタとを備え、前記絶対原点からの
相対値で与えられる目椋位置の座標値と前記カウンタの
計数飴とが一致するように前記ＸＹテーブルを駆動する
こと全特徴とするＸＹテーブル制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5555683A JPS59180706A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | Ｘｙテ−ブル制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5555683A JPS59180706A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | Ｘｙテ−ブル制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180706A true JPS59180706A (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=13001969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5555683A Pending JPS59180706A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | Ｘｙテ−ブル制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180706A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0262609A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Mutoh Ind Ltd | 自動製図機等のサーボ機構における自動零調整方法 |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5555683A patent/JPS59180706A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0262609A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Mutoh Ind Ltd | 自動製図機等のサーボ機構における自動零調整方法 |
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