JPS59210404A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタ−の製造方法Info
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- JPS59210404A JPS59210404A JP58083553A JP8355383A JPS59210404A JP S59210404 A JPS59210404 A JP S59210404A JP 58083553 A JP58083553 A JP 58083553A JP 8355383 A JP8355383 A JP 8355383A JP S59210404 A JPS59210404 A JP S59210404A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/233—Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体撮像素子に適したカラーフィルターの製造
方法に関する。
方法に関する。
従来、固体撮像素子用のカラーフィルターの製造方法と
して重クロム酸アンモニウムなどの重クロム酸塩で感光
性を付与したゼラチン、カゼイン、クルー、ポリビニー
ルアルコールなどの親水［１脂をパターン化して酸性染
料で染色し、ポリグリシシンメタクリレートなどの耐染
色性層を介して前記の親水性樹脂層をｉ層するカラーフ
ィルター（以下、積層型カラーフィルター）の製造方法
、・さらにはポリエステル樹脂、アクリル樹脂などの疎
水性樹脂層を一様にコーティングし、この樹脂層をゼラ
チン、カゼインなど前記の感光性親水性樹脂を染色マス
クとして染め分けるカラーフィルター（以下分割染色型
カラーフィルター）の製造方法も知られている。
して重クロム酸アンモニウムなどの重クロム酸塩で感光
性を付与したゼラチン、カゼイン、クルー、ポリビニー
ルアルコールなどの親水［１脂をパターン化して酸性染
料で染色し、ポリグリシシンメタクリレートなどの耐染
色性層を介して前記の親水性樹脂層をｉ層するカラーフ
ィルター（以下、積層型カラーフィルター）の製造方法
、・さらにはポリエステル樹脂、アクリル樹脂などの疎
水性樹脂層を一様にコーティングし、この樹脂層をゼラ
チン、カゼインなど前記の感光性親水性樹脂を染色マス
クとして染め分けるカラーフィルター（以下分割染色型
カラーフィルター）の製造方法も知られている。
前記の積層型カラーフィルターの製造方法は染色樹脂層
が部分的に被着されるため、平坦な基板上にカラーフィ
ルターを形成しても積層する第２層以後の染色樹脂層の
厚さの制御が困難となり、均一な厚さが得られにくいと
いう欠点があった。
が部分的に被着されるため、平坦な基板上にカラーフィ
ルターを形成しても積層する第２層以後の染色樹脂層の
厚さの制御が困難となり、均一な厚さが得られにくいと
いう欠点があった。
染色樹脂層はその厚さ全体に染色されるため、その厚さ
の制御、均一性はカラーフィルターの分光特性の制御お
よび均一性に直接関与し、従って分光特性の制御および
均一性を確保することが困難でちった。これは特に固体
撮像素子上に直接カラーフィルターを形成する場合には
固体撮像素子表面の凹凸が大きいため特に問題であった
。
の制御、均一性はカラーフィルターの分光特性の制御お
よび均一性に直接関与し、従って分光特性の制御および
均一性を確保することが困難でちった。これは特に固体
撮像素子上に直接カラーフィルターを形成する場合には
固体撮像素子表面の凹凸が大きいため特に問題であった
。
これに対し、分割染色型カラーフィルターでは染色樹脂
層の表面層のみが染色されるため、染色層の厚さを染料
の浸透厚さより大きくしておけば分光特性の制御および
均一性は容易に実現することができろうしかしながら分
割染色型カラーフィルターにおける染色マスクとしては
従来、カゼイン、ゼラチンなどたん白質系の親水性樹脂
が使用されていたため、染色時の２００℃程度の温度に
よりエナメル化しその剥離が困難になるという欠点があ
った、剥離には力性ソーダなどの強アルカリ水溶液を６
０〜７０℃に加熱して浸漬し剥離することができるが、
特に固体撮像素子上に直接カラーフィルターを形成する
場合にはＳｉデバイスに対するアルカリ金属の影響や、
アルミのボンディングパノドの保護などの問題が生じて
いた。
層の表面層のみが染色されるため、染色層の厚さを染料
の浸透厚さより大きくしておけば分光特性の制御および
均一性は容易に実現することができろうしかしながら分
割染色型カラーフィルターにおける染色マスクとしては
従来、カゼイン、ゼラチンなどたん白質系の親水性樹脂
が使用されていたため、染色時の２００℃程度の温度に
よりエナメル化しその剥離が困難になるという欠点があ
った、剥離には力性ソーダなどの強アルカリ水溶液を６
０〜７０℃に加熱して浸漬し剥離することができるが、
特に固体撮像素子上に直接カラーフィルターを形成する
場合にはＳｉデバイスに対するアルカリ金属の影響や、
アルミのボンディングパノドの保護などの問題が生じて
いた。
本発明の目的は前記従来の欠点を解決するために一様性
が良く、分光特性の制御が容易で直接固体撮像素子上に
形成してもＳ１デバイスに悪影響を与えないカラーフィ
ルターの製造方法を提供することにある。。
が良く、分光特性の制御が容易で直接固体撮像素子上に
形成してもＳ１デバイスに悪影響を与えないカラーフィ
ルターの製造方法を提供することにある。。
本発明によれば一様な疎水性樹脂層を染色マスクを用い
て疎水性染料で染め分けるカラーフィルターの製造方法
において、前記染色マスクとして重クロム酸塩により感
光性を付与した高分子多糖類を用いることを特徴とする
カラーフィルターの製造方法が得られる。
て疎水性染料で染め分けるカラーフィルターの製造方法
において、前記染色マスクとして重クロム酸塩により感
光性を付与した高分子多糖類を用いることを特徴とする
カラーフィルターの製造方法が得られる。
前記本発明は本願発明者がその研究において高分子多糖
類は重クロム酸アンモニウムなどの重クロム酸塩によシ
感元性を付与することが可能であり、更に８０’ないし
１００℃の温水に浸漬することにより架橋した膜を剥離
することが可能であること発見したことに基づいてなさ
れたものである９以下実施例により本発明を説明する。
類は重クロム酸アンモニウムなどの重クロム酸塩によシ
感元性を付与することが可能であり、更に８０’ないし
１００℃の温水に浸漬することにより架橋した膜を剥離
することが可能であること発見したことに基づいてなさ
れたものである９以下実施例により本発明を説明する。
実施例１
第１図に示すようにガラス基板ｌ上に住友化学工業製ポ
リエーテルサルフオン（以下ＰＥＳ）ｍ脂をＮ−メチル
２ピロリドンに溶解した樹脂溶液をスピンコードして厚
さ約４１１ｍの染色樹脂層２を形成した９次に林原生物
科学研究所製グルラン商品名ＰＦ−２０の１２％水溶液
にグルランの１０％の濃度で重クロム酸アンモニウムを
添加して感光性を付与したっこの感光性グルランを乾燥
後の厚さが１０ないし１５μｍＫなるよう塗布し、所定
のマスクを用いて露光し、流水にて３０ないし６０秒現
像し、染色マスク３を形成した。次に分散染料を用いた
蔽写染色法によりＰＥＳ樹脂の表面層を染色し青色の染
色領域４を形成した。
リエーテルサルフオン（以下ＰＥＳ）ｍ脂をＮ−メチル
２ピロリドンに溶解した樹脂溶液をスピンコードして厚
さ約４１１ｍの染色樹脂層２を形成した９次に林原生物
科学研究所製グルラン商品名ＰＦ−２０の１２％水溶液
にグルランの１０％の濃度で重クロム酸アンモニウムを
添加して感光性を付与したっこの感光性グルランを乾燥
後の厚さが１０ないし１５μｍＫなるよう塗布し、所定
のマスクを用いて露光し、流水にて３０ないし６０秒現
像し、染色マスク３を形成した。次に分散染料を用いた
蔽写染色法によりＰＥＳ樹脂の表面層を染色し青色の染
色領域４を形成した。
次に８５℃の温水中に１０分間浸漬してプルランの染色
マスク３を剥離した（第２図）９更に前記の工程を繰返
してＰＥＳ樹脂層を緑色および赤色に染色して青、緑、
赤のカラーフィルターが得られた。
マスク３を剥離した（第２図）９更に前記の工程を繰返
してＰＥＳ樹脂層を緑色および赤色に染色して青、緑、
赤のカラーフィルターが得られた。
実施例２
実施例１のグルランの代りに和光紬薬社製デキストラン
（分子量１０万〜２０万）を使用したつ実施例ｉ、２同
様に染色マスクパターンの形成。
（分子量１０万〜２０万）を使用したつ実施例ｉ、２同
様に染色マスクパターンの形成。
剥離が容易にでき、カラーフィルターが形成できた。
実施例３
基板としてＣＣＤ固体撮像素子を使用し、グルランとし
て林原生物科学研究所製グルラン商品名ＰＩ−２０（Ｐ
Ｆ−２００脱塩品）を使用した。実施例１．２と同様に
容易にカラーフィルターを形成することが可能であった
っ 良好な色再現性および均一性をもつカラー固体撮像素子
が得られた。
て林原生物科学研究所製グルラン商品名ＰＩ−２０（Ｐ
Ｆ−２００脱塩品）を使用した。実施例１．２と同様に
容易にカラーフィルターを形成することが可能であった
っ 良好な色再現性および均一性をもつカラー固体撮像素子
が得られた。
以上の実施例から明らかなように本発明によれは高分子
多糖類を染色マスクとすることＫよシカラーフィルター
が容易に形成できるっ
多糖類を染色マスクとすることＫよシカラーフィルター
が容易に形成できるっ
第１図および第２図は本発明を説明するだめのカラーフ
ィルターの製法の断面略図であり、ｌはガラス基板、２
は疎水性染色樹脂層、３は高分子多糖類層の染色マスク
、４は青色の染色領域であるっ ｌ′ 代理人弁理士 内原 晋（ニー。
ィルターの製法の断面略図であり、ｌはガラス基板、２
は疎水性染色樹脂層、３は高分子多糖類層の染色マスク
、４は青色の染色領域であるっ ｌ′ 代理人弁理士 内原 晋（ニー。
Claims (1)
- 一様な疎水性樹脂層を染色マスクを用いて疎水性染料で
染め分けるカラーフィルターの製造方法において、前記
染色マスクとして重クロム酸塩によシ感光性を付与した
高分子多糖類を用いることを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58083553A JPS59210404A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58083553A JPS59210404A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59210404A true JPS59210404A (ja) | 1984-11-29 |
Family
ID=13805697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58083553A Pending JPS59210404A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59210404A (ja) |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP58083553A patent/JPS59210404A/ja active Pending
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