JPS59227107A - 磁気記録用媒体 - Google Patents
磁気記録用媒体Info
- Publication number
- JPS59227107A JPS59227107A JP58100835A JP10083583A JPS59227107A JP S59227107 A JPS59227107 A JP S59227107A JP 58100835 A JP58100835 A JP 58100835A JP 10083583 A JP10083583 A JP 10083583A JP S59227107 A JPS59227107 A JP S59227107A
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- JP
- Japan
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- thin film
- alloy
- recording medium
- coercive force
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録用媒体に関するものであり、特に磁性
薄膜からなる磁気記録用媒体に係るものである。
薄膜からなる磁気記録用媒体に係るものである。
巖近の磁気記録技術においては、記録密度のよシ一層の
高密度化が強く要求されている。高密度配置を達成する
ために、記録用媒体には、■磁性膜がきわめて薄くでき
る仁と、■磁気特性が優れること、特に保磁力Ｈｅが大
きいこと、■化学的あるいは熱的に安定であること、な
どの特性が要求される。
高密度化が強く要求されている。高密度配置を達成する
ために、記録用媒体には、■磁性膜がきわめて薄くでき
る仁と、■磁気特性が優れること、特に保磁力Ｈｅが大
きいこと、■化学的あるいは熱的に安定であること、な
どの特性が要求される。
従来、このような要求に対応する材料として、７− Ｆ
ｅ黛ＯＢあるいはＣｏ−ｒＦｅｘｏｓなどの鉄酸化物材
料が用いられてきた。しかし、従来の成膜技術では、こ
れら材料を用いた膜の厚さおよびＨｅ。
ｅ黛ＯＢあるいはＣｏ−ｒＦｅｘｏｓなどの鉄酸化物材
料が用いられてきた。しかし、従来の成膜技術では、こ
れら材料を用いた膜の厚さおよびＨｅ。
値には限界があった。
近年かかる問題点を改善するものとして、金属薄膜によ
る記録用媒体が開発研究されておシ、面内磁気記録用媒
体としてＣｏ −Ｐ ｓ ｔたはＣｏ −Ｎ ｉ合金薄
膜が、また、垂直磁気記録用媒体としてＣ。
る記録用媒体が開発研究されておシ、面内磁気記録用媒
体としてＣｏ −Ｐ ｓ ｔたはＣｏ −Ｎ ｉ合金薄
膜が、また、垂直磁気記録用媒体としてＣ。
−Ｃｒ合金薄膜が検討されている。しかし、これら公知
の金属薄膜材料は、その製造方法が複雑であシ高品質の
ものが得にくいこと、その特性が必ずしも満足するもの
ではないこと、などの問題点がある。
の金属薄膜材料は、その製造方法が複雑であシ高品質の
ものが得にくいこと、その特性が必ずしも満足するもの
ではないこと、などの問題点がある。
例えは、Ｃｏ−Ｃｒ合金薄膜ではキュリ一温度が低いこ
と、薄膜の結晶組織を詳細に検討すると必ずしも均一な
組成とならず組成の一部が析出していること、そしてこ
れがノイズの原因となること、および薄膜に亀裂が生じ
易く不安定であること等の問題がある。
と、薄膜の結晶組織を詳細に検討すると必ずしも均一な
組成とならず組成の一部が析出していること、そしてこ
れがノイズの原因となること、および薄膜に亀裂が生じ
易く不安定であること等の問題がある。
これら合金薄膜の問題点を解決したものとして、昭和１
５７年秋の応用磁気学会で提案されたＰｔ−Ｃ。
５７年秋の応用磁気学会で提案されたＰｔ−Ｃ。
合金薄膜がある。このＰｔ−Ｃｏ磁性薄膜はキュリ一温
度が高いため熱安定性が良く、また酸化し難く化学的な
安定性も良く、さらには保磁力Ｈｅ も比較的大きい、
などの優れた特長がある。
度が高いため熱安定性が良く、また酸化し難く化学的な
安定性も良く、さらには保磁力Ｈｅ も比較的大きい、
などの優れた特長がある。
しかし、現在、当該技術分野で要求されている程度の高
密度記録を達成するためには、上記従来０Ｐｔ−Ｃｏ合
金薄膜の保磁力Ｈｅの大きさの程度では必ずしも満足で
きるものではない。
密度記録を達成するためには、上記従来０Ｐｔ−Ｃｏ合
金薄膜の保磁力Ｈｅの大きさの程度では必ずしも満足で
きるものではない。
本発明は、上記従来技術の問題点を見直し、より高密度
記録に適した特性を有する新規な構成の磁気１記録用媒
体を提供することを目的とするものである。
記録に適した特性を有する新規な構成の磁気１記録用媒
体を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明は、原子比で、Ｐｔ
４〜１５％、 Ｃｏ ７７．０〜９５．５％、Ｗｏ、５
〜８チからなる組成の合金薄膜を磁気記録用媒体として
実現したことを特徴とするものである。
４〜１５％、 Ｃｏ ７７．０〜９５．５％、Ｗｏ、５
〜８チからなる組成の合金薄膜を磁気記録用媒体として
実現したことを特徴とするものである。
すなわち、本発明は、公知のＰｔ−Ｃｏ系合金薄膜にお
いて、Ｗを所定量添加することによシ、従来技術からは
予測できない程度のＨｅ の大幅な改良をしたことを特
長とするものである０以下、本発明を、比較例および実
施例に基づいて詳細に説明する。
いて、Ｗを所定量添加することによシ、従来技術からは
予測できない程度のＨｅ の大幅な改良をしたことを特
長とするものである０以下、本発明を、比較例および実
施例に基づいて詳細に説明する。
比較例−
原子比でＰｔ９％、 Ｃｏ ９１％の組成のターゲット
材料を使用し、Ａｒ分圧２０ｍＴｏｒｒ、基板温度２９
０℃の作成条件で、スパッター法によりｐｔ−Ｃｏ合金
薄膜を作成した。得られた膜厚は３０００Ａであった。
材料を使用し、Ａｒ分圧２０ｍＴｏｒｒ、基板温度２９
０℃の作成条件で、スパッター法によりｐｔ−Ｃｏ合金
薄膜を作成した。得られた膜厚は３０００Ａであった。
この薄膜の組成分析をした結果、原子比でＰｔ９．３チ
、 Ｃｏ ９０．７ ％であった。
、 Ｃｏ ９０．７ ％であった。
また、その保磁力Ｈｅは５１００ｅ、４πＭｇの値は１
３．１ＫＧであったＱ 実施例１ 原子比で、Ｐｔ９％、 Ｃｏ ９１％ である比較例と
同じ組成比のＣｏ−Ｐｔ合金に種々の量のＷを加えたタ
ーゲット材料を用いて、スパッター法によシＣｏ−Ｐｔ
−Ｗ合金薄膜を製造した。製造条件は上記比較例と同じ
である。得られた合金薄膜の膜厚は約３００ＯＡであっ
た。また、磁気特性を測定した結果、その保磁力Ｈｅは
、Ｗを０．５％ 含むとＨｅ５３００ｅ 、 １．０％
で５５００ｅ 、 ３．０％で５６００ｅ 、 ５．０
チで５５５０ｅ 、 ８．０％で５５００ｓとなり１０
．０％含むとＨｅは２２００ｅと急激に低下することが
わかった。
３．１ＫＧであったＱ 実施例１ 原子比で、Ｐｔ９％、 Ｃｏ ９１％ である比較例と
同じ組成比のＣｏ−Ｐｔ合金に種々の量のＷを加えたタ
ーゲット材料を用いて、スパッター法によシＣｏ−Ｐｔ
−Ｗ合金薄膜を製造した。製造条件は上記比較例と同じ
である。得られた合金薄膜の膜厚は約３００ＯＡであっ
た。また、磁気特性を測定した結果、その保磁力Ｈｅは
、Ｗを０．５％ 含むとＨｅ５３００ｅ 、 １．０％
で５５００ｅ 、 ３．０％で５６００ｅ 、 ５．０
チで５５５０ｅ 、 ８．０％で５５００ｓとなり１０
．０％含むとＨｅは２２００ｅと急激に低下することが
わかった。
したがって、Ｗの含有量は０．５〜８チの範囲とするこ
とが好ましい。
とが好ましい。
実施例２
実施例１と同様の製造条件として、Ｗを３原子チ一定と
してｐｔおよびＣｏの比を変化させたターゲット材料を
使用し、スパッター法によシ合金薄膜を作成してその特
性を測定した。その結果、Ｐｔの含有量が、原子比で、
３％でＨｅ ２６００ｅ 、 ４チで４０５０ｅ、５チ
で５０００ｓ 、であシ、また、重量比で９．３％で５
３００ｅ 、 １２％で１２０００ｅ 、 １５％で１
４５００ｅとなった。
してｐｔおよびＣｏの比を変化させたターゲット材料を
使用し、スパッター法によシ合金薄膜を作成してその特
性を測定した。その結果、Ｐｔの含有量が、原子比で、
３％でＨｅ ２６００ｅ 、 ４チで４０５０ｅ、５チ
で５０００ｓ 、であシ、また、重量比で９．３％で５
３００ｅ 、 １２％で１２０００ｅ 、 １５％で１
４５００ｅとなった。
以上の結果からＰｔ−Ｃｏ薄膜にＷを添加することによ
シ、保磁力Ｈｅは大幅に改善されその含有量は０．５原
子チから８原子チが最もよく、また、とのＷ含有量の範
囲では、Ｐｔ含有量が４原子チから１２原子チの範囲で
特に良い特性を示すことがわかった。
シ、保磁力Ｈｅは大幅に改善されその含有量は０．５原
子チから８原子チが最もよく、また、とのＷ含有量の範
囲では、Ｐｔ含有量が４原子チから１２原子チの範囲で
特に良い特性を示すことがわかった。
以上述べたことから明らかなように、本発明の効果は、
原子比で、Ｐ ｔ ４〜１５ ％ ＊ Ｃｏ ７７．０
〜９５゜５％、Ｗｏ、５〜８チの組成範囲が最も良い特
性を示す。さらにこの合金薄膜は化学的にも安定してい
ることが確認された。
原子比で、Ｐ ｔ ４〜１５ ％ ＊ Ｃｏ ７７．０
〜９５゜５％、Ｗｏ、５〜８チの組成範囲が最も良い特
性を示す。さらにこの合金薄膜は化学的にも安定してい
ることが確認された。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、原子比で、Ｐｔ ４〜１５ ％ 、 Ｃｏ ７７．
０〜９５．５チ。 ＷＯ０５〜８１からなることを特徴とする磁気記録用媒
体。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、上記媒
体が対向スパッター法を用いて作製された薄膜状である
ことを特徴とする磁気記録用媒体。 ３．４Ｉ許請求の範囲第２項記載のものにおいて、上記
スパッター法を実施するに際し、原子比で、Ｐｔ ４〜
１５％、 Ｃｏ ７７．０〜９５，５４ｓ、 Ｗｏ、５
〜８９Ｇの組成からなるターゲット材料を用いたことを
特徴とする磁気」錘用媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100835A JPS59227107A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100835A JPS59227107A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59227107A true JPS59227107A (ja) | 1984-12-20 |
Family
ID=14284368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58100835A Pending JPS59227107A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59227107A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4654276A (en) * | 1986-04-29 | 1987-03-31 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording medium with an underlayer and a cobalt-based magnetic layer |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP58100835A patent/JPS59227107A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4654276A (en) * | 1986-04-29 | 1987-03-31 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording medium with an underlayer and a cobalt-based magnetic layer |
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