JPS59227106A - 磁気記録用媒体 - Google Patents
磁気記録用媒体Info
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- JPS59227106A JPS59227106A JP58100834A JP10083483A JPS59227106A JP S59227106 A JPS59227106 A JP S59227106A JP 58100834 A JP58100834 A JP 58100834A JP 10083483 A JP10083483 A JP 10083483A JP S59227106 A JPS59227106 A JP S59227106A
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- Japan
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- alloy
- magnetic recording
- recording medium
- thin film
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- Granted
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録用媒体に関するものであり、特に磁性
薄膜からなる磁気記録用媒体に係るものである。
薄膜からなる磁気記録用媒体に係るものである。
巖近の磁気記録技術においては、記録密度のよシ一層の
高密度化が強く要求されている０高密度記録を達成する
ために、記録用媒体には、■磁性膜がきわめて薄くでき
ること、■磁気特性が優れること、特に保磁力Ｈｅが大
きいこと、■化学的あるいは熱的に安定であること、な
どの特性が要求される。
高密度化が強く要求されている０高密度記録を達成する
ために、記録用媒体には、■磁性膜がきわめて薄くでき
ること、■磁気特性が優れること、特に保磁力Ｈｅが大
きいこと、■化学的あるいは熱的に安定であること、な
どの特性が要求される。
従来、このような要求に対応する材料として、ｒ ”
Ｆｅ＊Ｏｓ ｈるいはＣｏ −ｒ Ｆｅ２０ｇ ナトＯ
鉄酸化物材料が用いられてきた。しかし、従来の成膜技
術では、これら材料を用いた膜の厚さおよびＨｅＯ値に
は限界があった。
Ｆｅ＊Ｏｓ ｈるいはＣｏ −ｒ Ｆｅ２０ｇ ナトＯ
鉄酸化物材料が用いられてきた。しかし、従来の成膜技
術では、これら材料を用いた膜の厚さおよびＨｅＯ値に
は限界があった。
近年かかる問題点を改善するものとして、金属薄膜によ
る記録用媒体が開発研究されており、面内磁気記録用媒
体としてＣｏ−Ｐ合金薄膜が、また、垂直磁気記録用媒
体としてＣｏ−Ｃｒ合金薄膜が検討されてきている０し
かし、これら公知の金属薄膜材料は、その製造方法が複
雑であり高品質のものが得にくいこと、その特性が必ず
しも満足するものではないこと、などの問題点がある〇
例えば、Ｃｏ−Ｃｒ合金薄膜ではキュリ一温度が低いこ
と、薄膜の結晶組織を詳細に検討すると必ずしも均一な
組織とならず組成の一部が析出していること、そしてこ
れがノイズの原因となること、および薄膜に亀裂が生じ
易く不安定であること等の問題がある。
る記録用媒体が開発研究されており、面内磁気記録用媒
体としてＣｏ−Ｐ合金薄膜が、また、垂直磁気記録用媒
体としてＣｏ−Ｃｒ合金薄膜が検討されてきている０し
かし、これら公知の金属薄膜材料は、その製造方法が複
雑であり高品質のものが得にくいこと、その特性が必ず
しも満足するものではないこと、などの問題点がある〇
例えば、Ｃｏ−Ｃｒ合金薄膜ではキュリ一温度が低いこ
と、薄膜の結晶組織を詳細に検討すると必ずしも均一な
組織とならず組成の一部が析出していること、そしてこ
れがノイズの原因となること、および薄膜に亀裂が生じ
易く不安定であること等の問題がある。
これら合金薄膜の問題点を解決したものとして、昭和５
７年秋の応用磁気学会で提案されたＰｔ −Ｃ。
７年秋の応用磁気学会で提案されたＰｔ −Ｃ。
合金薄膜がある。このＰｔ−Ｃｏ磁性薄膜はキュリ一温
度が高いため熱安定性が良く、また酸化し難く化学的な
安定性も良く、さらには保磁力Ｈｅも比較的大きい、な
どの優れた特長がある。
度が高いため熱安定性が良く、また酸化し難く化学的な
安定性も良く、さらには保磁力Ｈｅも比較的大きい、な
どの優れた特長がある。
しかし、現在、当該技術分野で要求されている程度の高
密度記録を達成するためには、上記従来のＰｔ −Ｃｏ
合金薄膜の保磁力Ｈａの大きさの程度では必ずしも満足
できるものではない。
密度記録を達成するためには、上記従来のＰｔ −Ｃｏ
合金薄膜の保磁力Ｈａの大きさの程度では必ずしも満足
できるものではない。
本発明は、上記従来技術の問題点を見直し、よシ高密度
記録に適した特性を有する新規な構成の磁気記録用媒体
を提供することを目的とするものである。
記録に適した特性を有する新規な構成の磁気記録用媒体
を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明は、原子比で、Ｐｔ
４〜１５ ％ 、 Ｃｏ ７７．０〜９５．５％＊
Ｐｒ Ｏ，５〜８チから表る組−成の合金薄膜を磁気記
録用媒体として実現したことを特徴とするものである。
４〜１５ ％ 、 Ｃｏ ７７．０〜９５．５％＊
Ｐｒ Ｏ，５〜８チから表る組−成の合金薄膜を磁気記
録用媒体として実現したことを特徴とするものである。
すなわち、本発明は、公知のＰｔ −Ｃｏ系系合金−膜
において、Ｐｒを所定量添加することによシ、従来技術
からは予測できない程度のＨｃの大幅な改良をしたこと
を特長とするものである。
において、Ｐｒを所定量添加することによシ、従来技術
からは予測できない程度のＨｃの大幅な改良をしたこと
を特長とするものである。
以下、本発明を、比較例および実施例に基ぢいて詳細に
説明する。
説明する。
比較例
原子比でＰｔ９９Ｇ、Ｃｏ９１％の組成のターゲット材
料を使用し、Ａｒ分圧２０ ｍ Ｔｏｒｒ ｅ基板温度
２９０℃の作成条件でスパッター法によりＰｔ−Ｃ。
料を使用し、Ａｒ分圧２０ ｍ Ｔｏｒｒ ｅ基板温度
２９０℃の作成条件でスパッター法によりＰｔ−Ｃ。
合金薄−膜を作成した。得られた膜厚は３０００ Ａで
あった。この薄膜の組成分析をした結果、原子比でＰｔ
９．３ ％ 、 Ｃｏ ９０．７ Ｔｏであった。
あった。この薄膜の組成分析をした結果、原子比でＰｔ
９．３ ％ 、 Ｃｏ ９０．７ Ｔｏであった。
また、その保磁力Ｈｅは５１００ｅ、４πＭｇの値は１
３．１ ＫＧであった。
３．１ ＫＧであった。
実施例１
原子比で、Ｐｔ ９ Ｔｏ 、 Ｃｏ ９１ Ｔｏであ
る比較例と同じ組成比のＣｏ −Ｐｔ合金に種々の量の
Ｐｒを加えたターゲット材料を用いて、スパッター法に
よＪ） Ｃｏ −Ｐｔ −Ｐｒ合金薄膜を製造した。製
造条件は上記比較例と同じである。得られた合金薄膜の
膜厚は約３００ＯＡであった・また、磁気特性を測定し
た結果、その保磁力Ｈｅは、Ｐｒを０．５チ含むとＨｅ
５６００ｓ 、 １．０ Ｔｏで５７００ｅ 、 ３
．０ ％で５９００ｅ、５．０％で５８００ｅ 、 ８
．０ ’％で５７００ｅとな！ＤＩＯ。
る比較例と同じ組成比のＣｏ −Ｐｔ合金に種々の量の
Ｐｒを加えたターゲット材料を用いて、スパッター法に
よＪ） Ｃｏ −Ｐｔ −Ｐｒ合金薄膜を製造した。製
造条件は上記比較例と同じである。得られた合金薄膜の
膜厚は約３００ＯＡであった・また、磁気特性を測定し
た結果、その保磁力Ｈｅは、Ｐｒを０．５チ含むとＨｅ
５６００ｓ 、 １．０ Ｔｏで５７００ｅ 、 ３
．０ ％で５９００ｅ、５．０％で５８００ｅ 、 ８
．０ ’％で５７００ｅとな！ＤＩＯ。
Ｏ１ｓ含むとＨｅは２８００ｓと急激に低下することが
わかった。したがって、Ｐｒの含有量は０．５〜８％の
範囲とすることが好ましい。
わかった。したがって、Ｐｒの含有量は０．５〜８％の
範囲とすることが好ましい。
実施例２
実施例１と同様の製造条件として、Ｐｒを３チ一定とし
てＰｔおよびＣｏの比を変化させたターゲット材料を用
い、スパッター法によシ合傘薄膜を作成してその特性を
測定した。その結果、Ｐｔの含有量が、原子比で、３ｔ
ｓでＨｃ２８００ｅ、４％で４２００ｅ、５チで５１０
０ｅ ｅであシ、また、重量比で、９．３％で５６００
ｅ 、 １２ Ｔｏで１２８００ｅ 、 １５９６で１
６２００ｅとなった。
てＰｔおよびＣｏの比を変化させたターゲット材料を用
い、スパッター法によシ合傘薄膜を作成してその特性を
測定した。その結果、Ｐｔの含有量が、原子比で、３ｔ
ｓでＨｃ２８００ｅ、４％で４２００ｅ、５チで５１０
０ｅ ｅであシ、また、重量比で、９．３％で５６００
ｅ 、 １２ Ｔｏで１２８００ｅ 、 １５９６で１
６２００ｅとなった。
以上の結果からＰｔ−Ｃｏ薄膜にＰｒ を添加すること
によシ、保磁力Ｈａは大幅に改善されその含有量は０．
５原子−から８原子−が最もよく、また、このＰｒ含有
量の範囲では、Ｐｔ含有量が４原子チから１２原子−の
範囲で特に良い特性を示すことがわかった。
によシ、保磁力Ｈａは大幅に改善されその含有量は０．
５原子−から８原子−が最もよく、また、このＰｒ含有
量の範囲では、Ｐｔ含有量が４原子チから１２原子−の
範囲で特に良い特性を示すことがわかった。
以上述べたことから明らかなように、本発明の効果は、
原子比で、Ｐｔ ４〜１５％ 、 Ｃｏ ７７．０〜９
５゜５ ’Ｉｔ ＊ Ｐｒ Ｏ，５〜８チの組成範囲が
最も良い特性を示す。さらにこの物質は化学的にも安定
していることが確認された。
原子比で、Ｐｔ ４〜１５％ 、 Ｃｏ ７７．０〜９
５゜５ ’Ｉｔ ＊ Ｐｒ Ｏ，５〜８チの組成範囲が
最も良い特性を示す。さらにこの物質は化学的にも安定
していることが確認された。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、原子比で、Ｐｔ ４−１５１ Ｉ Ｃｏ ７７．０
〜９５．５ ％ ＃Ｐｒ Ｏ，５〜８チからなることを
特徴とする磁気記録用媒体。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、上記媒
体が対向スパッター法を用いて作製された薄膜状である
ことを特徴とする磁気記録用媒体０ ３、特許請求の範囲第２項記載のものにおいて、上記ス
パッター法を実施するに賑し、原子比で、Ｐｔ４〜１５
％、ｃｏ７７．０〜９５．５チ、Ｐｒｏ、５〜８チの組
成からなるターゲット材料を用いたことを特徴とする磁
気記録用媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100834A JPS59227106A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100834A JPS59227106A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59227106A true JPS59227106A (ja) | 1984-12-20 |
| JPH045245B2 JPH045245B2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=14284340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58100834A Granted JPS59227106A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59227106A (ja) |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP58100834A patent/JPS59227106A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045245B2 (ja) | 1992-01-30 |
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