JPS5924202A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents
表面欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS5924202A JPS5924202A JP13461182A JP13461182A JPS5924202A JP S5924202 A JPS5924202 A JP S5924202A JP 13461182 A JP13461182 A JP 13461182A JP 13461182 A JP13461182 A JP 13461182A JP S5924202 A JPS5924202 A JP S5924202A
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- JP
- Japan
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- light
- position sensor
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- scanning
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は表面欠陥検出装置に関するものである。
従来、シート状物体の欠陥検出方法として、スポットに
絞った光をスキャニングして、その反射光、透過光を光
電変換して欠陥の検出を行う方法が採られている。この
データを精度よく処理するためには、光を等速でスキャ
ンさせて、時間分割でスキャンラインのアドレス設定を
行う必要がある。その方法として、■ポリゴンで等速ス
キャンさせる方法と、■振動ミラーで等速スキャンさせ
る方法とがある。■のポリゴンで等速スキャンサせる方
法は、ポリゴンとＦθレンズまたはＦＯミラーで構成す
ることによシ、簡単に等速スキャンができるため、ライ
ンを分割させるためのアドレス決めが容易ではあるが、
光学的な精度が要求されて複雑であり、非常に高価でも
ある。■の振動ミラーでの等速スキャンの方法は、スキ
ャンスピードを上げるには振動ミラーの応答性等でｓ１
ｎハルス振動になる。しかし、第１図のようにｓｉｎ波
で実際に使用できるスキャン幅ｌに限度がある。
絞った光をスキャニングして、その反射光、透過光を光
電変換して欠陥の検出を行う方法が採られている。この
データを精度よく処理するためには、光を等速でスキャ
ンさせて、時間分割でスキャンラインのアドレス設定を
行う必要がある。その方法として、■ポリゴンで等速ス
キャンさせる方法と、■振動ミラーで等速スキャンさせ
る方法とがある。■のポリゴンで等速スキャンサせる方
法は、ポリゴンとＦθレンズまたはＦＯミラーで構成す
ることによシ、簡単に等速スキャンができるため、ライ
ンを分割させるためのアドレス決めが容易ではあるが、
光学的な精度が要求されて複雑であり、非常に高価でも
ある。■の振動ミラーでの等速スキャンの方法は、スキ
ャンスピードを上げるには振動ミラーの応答性等でｓ１
ｎハルス振動になる。しかし、第１図のようにｓｉｎ波
で実際に使用できるスキャン幅ｌに限度がある。
すなわち、ス穴ヤン幅の約半分の部分がある程度等速に
近いスピードであるため、検出用としてはこの部分を使
用する。。
近いスピードであるため、検出用としてはこの部分を使
用する。。
したがって、この発明の目的は、簡単な構成で正確なア
ドレス設定ができ、振動ミラーの応答性やスキャンスピ
ードの変動にも影響せず、スキャン幅全体を検出ライン
として使える表面欠陥検出装置を提供することである。
ドレス設定ができ、振動ミラーの応答性やスキャンスピ
ードの変動にも影響せず、スキャン幅全体を検出ライン
として使える表面欠陥検出装置を提供することである。
この発明の一実施例を第２図ないし第４図に示す。すな
わち、この表面欠陥検出装置は、レーザｌと、ｓｉｎ波
駆動駆動てレーザ１からの光線’ｋ 一定角度θの範囲
で直線状にスキャンする振動ミラー２と、この振動ミラ
ー２でスキャンされた光線を平行光とするＦθレンズ３
と、このＦθレンズ３から出た平行光を２分して透過光
を被測定物４に照射するハーフミラ−５と、このハーフ
ミラ−５のＦθレンズ３からの反射光を検出するポジシ
ョンセンサ６と１、前記透過光の被測定物４からの反射
光をハーフミラ−５による反射を介して受光する受光素
子となるフォトダイオード７と、このフォトダイオード
７の検出出力をポジションセンサ６からの出力で周波数
補正する回路とを備えたものである。この回路は、第３
図のように、Ａ／Ｄコンバータ８と、アドレス信号発生
器９と、２値化回路１０と、データ処理回路１１とを有
している。
わち、この表面欠陥検出装置は、レーザｌと、ｓｉｎ波
駆動駆動てレーザ１からの光線’ｋ 一定角度θの範囲
で直線状にスキャンする振動ミラー２と、この振動ミラ
ー２でスキャンされた光線を平行光とするＦθレンズ３
と、このＦθレンズ３から出た平行光を２分して透過光
を被測定物４に照射するハーフミラ−５と、このハーフ
ミラ−５のＦθレンズ３からの反射光を検出するポジシ
ョンセンサ６と１、前記透過光の被測定物４からの反射
光をハーフミラ−５による反射を介して受光する受光素
子となるフォトダイオード７と、このフォトダイオード
７の検出出力をポジションセンサ６からの出力で周波数
補正する回路とを備えたものである。この回路は、第３
図のように、Ａ／Ｄコンバータ８と、アドレス信号発生
器９と、２値化回路１０と、データ処理回路１１とを有
している。
このように構成したため、等速でな（ｓｉｎ波でスキャ
ニングされてるスポット光はポジションセンサ６でその
光を受光することＫより、スキャニングの場所に対応し
た電圧を出力する。この電圧Ｔｈ Ａ／Ｄ変換すること
によシ、例えば８ビツトのＡ／Ｄコンバータ８であれば
、０から２５５段階で分割される（第４図）。そして、
フォトダイオード７からの信号を２値化して処理する。
ニングされてるスポット光はポジションセンサ６でその
光を受光することＫより、スキャニングの場所に対応し
た電圧を出力する。この電圧Ｔｈ Ａ／Ｄ変換すること
によシ、例えば８ビツトのＡ／Ｄコンバータ８であれば
、０から２５５段階で分割される（第４図）。そして、
フォトダイオード７からの信号を２値化して処理する。
その代表的な検出信号に、このアドレスデータを提供ス
ることにより、全スキャン幅に対して均等な路離で８ビ
ツトの場合、２５６分割される。アドレス分割比はＡ／
Ｄコンバータ８のビット数によって決定される。このよ
うに、振動ミラー２の欠点である応答遅れや、ｓｉｎ波
スキスキャンめの位置によるスピードのばらつき等が、
ポジションセンサ６を用いることにより正確なアドレス
設定が容易となったために、問題とならなくなった。こ
のように、簡単な構成で正確なアドレス設定ができ、か
つ振動ミラー２の応答性、スキャンスピードの変動にも
影響せず、またスキャン幅全部を検出用ラインとして使
うことができる。
ることにより、全スキャン幅に対して均等な路離で８ビ
ツトの場合、２５６分割される。アドレス分割比はＡ／
Ｄコンバータ８のビット数によって決定される。このよ
うに、振動ミラー２の欠点である応答遅れや、ｓｉｎ波
スキスキャンめの位置によるスピードのばらつき等が、
ポジションセンサ６を用いることにより正確なアドレス
設定が容易となったために、問題とならなくなった。こ
のように、簡単な構成で正確なアドレス設定ができ、か
つ振動ミラー２の応答性、スキャンスピードの変動にも
影響せず、またスキャン幅全部を検出用ラインとして使
うことができる。
第５図および第６図は、第２図のフォトダイオードの出
カフをポジションセンサ６の出力で補正する回路の変形
例を示す。第５図において、８′はＡ／Ｄコンバータ、
９′はアドレス信号発生器、１２はアンプ、１３は電圧
可変型バイパスフィルタ、１０′は２値化回路、１１′
はデータ処理回路、１４は微分回路、１５は絶対値回路
である。
カフをポジションセンサ６の出力で補正する回路の変形
例を示す。第５図において、８′はＡ／Ｄコンバータ、
９′はアドレス信号発生器、１２はアンプ、１３は電圧
可変型バイパスフィルタ、１０′は２値化回路、１１′
はデータ処理回路、１４は微分回路、１５は絶対値回路
である。
動作につき説明する。ポジションセンサ６からの出力を
Ａ／Ｄ変換してアドレス信号として使用するものと、微
分してｖｐ８ｉｎθのポジションセンサ出力信号をｖ、
、ｃｏｓθの速度に変換するものとに分ける。
Ａ／Ｄ変換してアドレス信号として使用するものと、微
分してｖｐ８ｉｎθのポジションセンサ出力信号をｖ、
、ｃｏｓθの速度に変換するものとに分ける。
そして、スキャンスピードに変換された電圧を絶対値回
路１５に入れ、第６図（８）に示すような信号に変換す
る。被測定物４から反射してくる光信号をフォトダイオ
ード７で電気に変換しアンプ１２で増幅する。増幅した
信号を外部電圧によるカットオフ周波数が変わるバイパ
スフィルタ１３に送（５） る。バイパスフィルタ１３では第６図（Ｂ）の信号を受
けてカットオフ周波数が第６図（Ｃ）で示すように、ｆ
ｏｍｉｎからｆ。ｍａｘまで可変する。フォトダイオー
ド７からの出力信号で、同一欠陥であっても欠陥の発生
の場所により、スキャンスピードの影響で変化する生信
号の周波数成分が変わるのに対して、バイパスフィルタ
１３の定数をスキャンスピードに合わせて変えることに
より、場所による検出の差はなくなる。その他は第１の
実施例と同様である。
路１５に入れ、第６図（８）に示すような信号に変換す
る。被測定物４から反射してくる光信号をフォトダイオ
ード７で電気に変換しアンプ１２で増幅する。増幅した
信号を外部電圧によるカットオフ周波数が変わるバイパ
スフィルタ１３に送（５） る。バイパスフィルタ１３では第６図（Ｂ）の信号を受
けてカットオフ周波数が第６図（Ｃ）で示すように、ｆ
ｏｍｉｎからｆ。ｍａｘまで可変する。フォトダイオー
ド７からの出力信号で、同一欠陥であっても欠陥の発生
の場所により、スキャンスピードの影響で変化する生信
号の周波数成分が変わるのに対して、バイパスフィルタ
１３の定数をスキャンスピードに合わせて変えることに
より、場所による検出の差はなくなる。その他は第１の
実施例と同様である。
以上のように、この発明の表面欠陥検出装置は、振動ミ
ラーと平行光線を得るレンズとによる光スキヤニング手
段を作り、ポジションセンサｅ用いて受光素子の出力を
周波数補正するようにしたものであるから、簡単な構成
で正確なアドレス設定ができ、振動ミラーの応答性やス
キャンスピードの変動に影響せず、しかもスキャン幅全
部を検出ラインとして使えるという効果がある。
ラーと平行光線を得るレンズとによる光スキヤニング手
段を作り、ポジションセンサｅ用いて受光素子の出力を
周波数補正するようにしたものであるから、簡単な構成
で正確なアドレス設定ができ、振動ミラーの応答性やス
キャンスピードの変動に影響せず、しかもスキャン幅全
部を検出ラインとして使えるという効果がある。
第１図は従来のｓｉｎ波駆動駆動題を示す説明図、（６
） 第２図はこの発明の一実施例の斜視図、第３図はその回
路ブロック図、第４図は同じくその動作説明図、第５図
は他の実施例の回路ブロック図、第６図（イ）〜（Ｆ）
はその動作説明図である。 １・・レーザ、２・・・振動ミラー、３・・・Ｆθレン
ズ、４・・・Ｍ 測定物、６・・・ポジションセンザ、
７・・・フォトダイオード（受光素子）、８．８’・・
・Ａ／Ｄコンバータ、９・・・アドレス信号発生器、１
０．１０’・・・２値化回路、１１ 、１１’・・・デ
ータ処理回路（７）
） 第２図はこの発明の一実施例の斜視図、第３図はその回
路ブロック図、第４図は同じくその動作説明図、第５図
は他の実施例の回路ブロック図、第６図（イ）〜（Ｆ）
はその動作説明図である。 １・・レーザ、２・・・振動ミラー、３・・・Ｆθレン
ズ、４・・・Ｍ 測定物、６・・・ポジションセンザ、
７・・・フォトダイオード（受光素子）、８．８’・・
・Ａ／Ｄコンバータ、９・・・アドレス信号発生器、１
０．１０’・・・２値化回路、１１ 、１１’・・・デ
ータ処理回路（７）
Claims (1)
- レーザと、ｓｉｎ波駆動駆動て前記レーザからの光線を
一定角度範囲で直線状にスキャンする振動ミラーと、こ
の振動ミラーでスキャンされた光線を平行光とするレン
ズと、このレンズから出た平行光を２分して透過光を被
測定物に照射するハーフミラ−と、このハーフミラ−の
前記レンズからの反射光を検出するポジションセンサと
、前記透過光の被測定物からの反射光を前記ハーフミラ
−による反射を介して受光する受光素子と、この受光素
子の検出出力を前記ポジションセンサからの出力で周波
数補正する回路とを備えた表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13461182A JPS5924202A (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13461182A JPS5924202A (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5924202A true JPS5924202A (ja) | 1984-02-07 |
| JPS6338083B2 JPS6338083B2 (ja) | 1988-07-28 |
Family
ID=15132437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13461182A Granted JPS5924202A (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924202A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62137504A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-20 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 部分クラッド材の幅測定装置 |
| JPS63177040A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nagoya Denki Kogyo Kk | 実装済プリント基板自動検査装置 |
| JPS63113949U (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-22 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4974815A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS54124784A (en) * | 1978-03-20 | 1979-09-27 | Ricoh Co Ltd | Laser flaw inspector |
-
1982
- 1982-07-30 JP JP13461182A patent/JPS5924202A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4974815A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS54124784A (en) * | 1978-03-20 | 1979-09-27 | Ricoh Co Ltd | Laser flaw inspector |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62137504A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-20 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 部分クラッド材の幅測定装置 |
| JPS63177040A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nagoya Denki Kogyo Kk | 実装済プリント基板自動検査装置 |
| JPS63113949U (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-22 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338083B2 (ja) | 1988-07-28 |
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