JPS5927402A - Plzt基板の製造方法 - Google Patents

Plzt基板の製造方法

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JPS5927402A
JPS5927402A JP57135684A JP13568482A JPS5927402A JP S5927402 A JPS5927402 A JP S5927402A JP 57135684 A JP57135684 A JP 57135684A JP 13568482 A JP13568482 A JP 13568482A JP S5927402 A JPS5927402 A JP S5927402A
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JP
Japan
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plzt
manufacturing
substrate
present
plzt substrate
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Pending
Application number
JP57135684A
Other languages
English (en)
Inventor
栗田 良夫
高志 河合
義広 三瓶
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ランタンチタン酸ジルコン酸鉛(pLzT)
基板の製造方法に関するものである。更に詳しくは、本
発明は、基板材料として用いられるPLZTの粉末を、
金属アルコキシドから調整するPLZT基板の製造方法
に関するものである。
本発明の目的は、成型性が良く、組成が均一でかつ透明
度の良好なPLZT基板が製造できる製造方法を提供し
ようとすゐものである。
本発明に係る製造方法は、Zr (OR)4と、Ti 
(OR)4と、Pb (OR)  と、La (OR)
aとを化学量論比に混合し、その溶液に水を加えて加水
分解を行い、析出物を乾燥し、これを800°C〜90
0°Cで仮焼後、所定量のpboを混入して成型処理す
ることを物量としている。
以下、本発明の製造方法の一例について、第1図のフロ
ーチャートを参照しながら説明する。
はじめに、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti) 、
鉛(pb)、およびランタン(La)の各々のインプロ
ポキシドのベンゼン溶液Zr (OR)  Ti (O
R)、、 Pb (OR)2tt La (OR)aを用意し、これらを化学i論比または
Pb(OR)2を少し過剰に混合する。次にこの混合溶
液に蒸留水を加え、攪拌しながら加水分解によって得ら
れた沈殿物をp過、洗浄後、自然乾燥し、PLZTの超
微粉末を得る。こねまでの工程は、特願昭55−156
841号のものと同様である。続いて、このPLZT超
微粉末を、800°C−900°Cで約1時間仮焼する
。このような仮焼工程によって、PLZTの粒径を大き
くする。次に、固相または液相のpboを所定i′(例
えば7工程度)加え、混合する。ここで加えるpboは
、PLZT微粉末の表面に付着し、焼結工程において各
PLZT微粉末が互いに滑って緻密化する役目をなす。
このような工程を経て得られたr’LZT微粉末を、例
えばホットプレスを用いて成型処理し、PLZT基板を
製造する。
なお、上記の製造工程において、第1図の破線に示すよ
うに、PbO添加し、これを混合した後に、例えば80
0°C〜900°Cで再び仮焼し、こわを例えばボール
ミルによって粉砕する工程を追加し、成型処理するよう
にしてもよい。
第2図は、第1図において、■の仮焼工程における仮焼
温度を種々変えて、それらによって得られた微粉末を成
型した場合(ここでは成型圧1500kg/cm2)の
、成型密度を示したものである。これらの実験結果から
、仮焼温度を高くすれば、するほど、成型密度が大きく
なり、成型性が良好になることが認めらねた。
第3図は、同じように■の仮焼工程における仮焼温度を
種々変えて、それらによって得られる微粉末の粒径な示
したものである。この実験結果から、粒径は多少バラツ
キはあるものの、仮焼温度を高くすると、大きくなるこ
とが認められた。
ここで、微粉末の粒径が余り大きくなると、成型処理し
て得られるPLZT基板の透明度が低下して好ましくな
い。
これらの実験結果から1.■の仮焼工程における仮焼温
度を、800°C〜900°Cにすることとした。
本発明に係る製造方法によれば、成壓性が良く、組成が
均一で、かつ透明度の良好なPLZT基板が実現できる
。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る製造方法の一例を示すフローチャ
ート、第2図は仮焼温度と成型密度との関係を示す線図
、第5図は仮焼温度と粒径との関係を示す線図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  Zr(OR)  と、’I’i (OR,)
      と、  Pb (OR)2と4 La (OR)a とを作字量論比に混合し、その溶液
    に水を加えて加水分解し、析出物を乾燥し、これを80
    0°C〜900°Cで仮焼後、所定量のpboを混入し
    て成型処理することを特徴とするPLZT基板の製造方
    法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62162670A (ja) * 1986-01-09 1987-07-18 住友金属鉱山株式会社 チタン酸ジルコン酸鉛焼結体の製法
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