JPS5938701A - Ndフイルタ− - Google Patents
Ndフイルタ−Info
- Publication number
- JPS5938701A JPS5938701A JP57150420A JP15042082A JPS5938701A JP S5938701 A JPS5938701 A JP S5938701A JP 57150420 A JP57150420 A JP 57150420A JP 15042082 A JP15042082 A JP 15042082A JP S5938701 A JPS5938701 A JP S5938701A
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- JP
- Japan
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- reflection
- film
- filter
- divided
- spectral
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ニュー1−?ル・デンジ子イ・フィルター(
以r;N+−)フrルターと言う)の改良に関する。
以r;N+−)フrルターと言う)の改良に関する。
カメラのような光学系においては開L1効甲や画角の違
いから透過光量は、光軸方向で最大で)■軸からずれる
と減少する。
いから透過光量は、光軸方向で最大で)■軸からずれる
と減少する。
即ち、像面では中心部分が明るく周辺に行くに従って暗
くなるという光量11うが生じている。例えば、第1図
にみられるような光学系では主として間1−1効率の要
因により周辺光量が減り、第21岡にみられるような光
学系では主として両角の要因(ゴザイン4乗則)により
周辺光量が減少する。
くなるという光量11うが生じている。例えば、第1図
にみられるような光学系では主として間1−1効率の要
因により周辺光量が減り、第21岡にみられるような光
学系では主として両角の要因(ゴザイン4乗則)により
周辺光量が減少する。
従って、像面での光量均一化のためには、透過光量が中
心部分より周辺部分で増加するC++・a+J、なNl
〕フィルターを周辺光路と光軸−4−光路とが明瞭に分
離する効果的な位置(例えば第1図、第2図において、
破線イの位置)に°配置することが望ま4する。このよ
うなGrad 、なNDフィルターは現在、中心から周
辺に向って漸次吸収膜jI7を変えて連続的に透過光量
変化を行なうものや不透明吸IPF II’!を小円ま
たはリング状にコートシその面積や密度分布で透過光量
を調整するものなどが案出さ、11.でいる。しかしな
がら、このようなN 1)フィルターについては従来、
反射防11−が施されていなかった、それは、−・般に
は、異なる光学定数を持つ下地に列しては同一・の反射
防止IFJが滴用出來i」:いわ(Jで、−に記N I
Jフィルターに反射防止膜を施したとしでも例えばガラ
ス基板については反射防止効果が出るが吸収膜があると
ころでは、jll−に保護11グ(的な効果しかなく反
射防止という面では不完全でゴース1へやフ1ツアーの
原因となる。
心部分より周辺部分で増加するC++・a+J、なNl
〕フィルターを周辺光路と光軸−4−光路とが明瞭に分
離する効果的な位置(例えば第1図、第2図において、
破線イの位置)に°配置することが望ま4する。このよ
うなGrad 、なNDフィルターは現在、中心から周
辺に向って漸次吸収膜jI7を変えて連続的に透過光量
変化を行なうものや不透明吸IPF II’!を小円ま
たはリング状にコートシその面積や密度分布で透過光量
を調整するものなどが案出さ、11.でいる。しかしな
がら、このようなN 1)フィルターについては従来、
反射防11−が施されていなかった、それは、−・般に
は、異なる光学定数を持つ下地に列しては同一・の反射
防止IFJが滴用出來i」:いわ(Jで、−に記N I
Jフィルターに反射防止膜を施したとしでも例えばガラ
ス基板については反射防止効果が出るが吸収膜があると
ころでは、jll−に保護11グ(的な効果しかなく反
射防止という面では不完全でゴース1へやフ1ツアーの
原因となる。
本発明は、以」―の点に鑑みてなされたものであり、中
心部と周辺部とで透過光抵の変わるト11つフィルター
にわいて吸収膜を薄い膜jゾにり1く−)もう)割し、
分割された吸収膜を一層又は多層の厄年1防11−膜に
対して、該反射防止膜の境界に自由に割込ま仕ることに
より、ガラス基板にツ、1しては勿論吸収膜に対しても
有効で全面一様な反射防止を行うことができるN I)
フィルターを提供せんとするものである。
心部と周辺部とで透過光抵の変わるト11つフィルター
にわいて吸収膜を薄い膜jゾにり1く−)もう)割し、
分割された吸収膜を一層又は多層の厄年1防11−膜に
対して、該反射防止膜の境界に自由に割込ま仕ることに
より、ガラス基板にツ、1しては勿論吸収膜に対しても
有効で全面一様な反射防止を行うことができるN I)
フィルターを提供せんとするものである。
以1ζ1図面に従いながら本発明の詳細な説明しで行く
。
。
表1は、本発明の一例を示すものであり、該表1に示さ
れるN I’)フィルターは、吸収膜材J”l ts番
JN1をfilj用し、反躬防11・月には屈折5f′
(例λ一番J二rl −2、U:1)の高いもの(以下
IIという)と、屈折宰(49りえl−J「1= I
、 :l II )の低いfノの(以1:+、と%Nう
)の2種類を使m L、2枚のガラスて()°ンド(ソ
チさA1、ろ文、1楠司1(にt、Llt I戊とずろ
。即ちカラス山(1反(13K−7’) /N’+/
II / 1.、/ It /Nj/ガラスJλ扱(1
3に=7)で吸収膜の厚さが中心から周辺に同一、て連
続的に符号1から4まで変化し中心から周辺に同一〕で
透過率70%〜100%の透過φ、テ性伝釦るために膜
設計されたものである。
れるN I’)フィルターは、吸収膜材J”l ts番
JN1をfilj用し、反躬防11・月には屈折5f′
(例λ一番J二rl −2、U:1)の高いもの(以下
IIという)と、屈折宰(49りえl−J「1= I
、 :l II )の低いfノの(以1:+、と%Nう
)の2種類を使m L、2枚のガラスて()°ンド(ソ
チさA1、ろ文、1楠司1(にt、Llt I戊とずろ
。即ちカラス山(1反(13K−7’) /N’+/
II / 1.、/ It /Nj/ガラスJλ扱(1
3に=7)で吸収膜の厚さが中心から周辺に同一、て連
続的に符号1から4まで変化し中心から周辺に同一〕で
透過率70%〜100%の透過φ、テ性伝釦るために膜
設計されたものである。
表 1
この例では、吸収膜を2層に分割して?i’/ < シ
、分割した吸収IP+iを反射防止■qと接する最も外
側の位IIπ℃しか)J膜構lid 1.対称の位置に
腫人している。
、分割した吸収IP+iを反射防止■qと接する最も外
側の位IIπ℃しか)J膜構lid 1.対称の位置に
腫人している。
第:’、 +21及び第4図シ、1、」二足−例の分光
透過率及び分光反n;しt;を示ずものてあり(縦軸は
透過率。
透過率及び分光反n;しt;を示ずものてあり(縦軸は
透過率。
反j1・1゛f1で、横軸は光線の波長、以1:図面同
じ)、膜Jl’l[か符″;31から4すて変化する名
吸収膜の光線ty+ ’4..!/長にりJするづン光
透;IZ !¥7は、はホ70%−100%に変化しC
,t;す1分光反射率は吸収膜Jl変化に対し1)l)
IIIlえI’lJL謂足出来るものである。
じ)、膜Jl’l[か符″;31から4すて変化する名
吸収膜の光線ty+ ’4..!/長にりJするづン光
透;IZ !¥7は、はホ70%−100%に変化しC
,t;す1分光反射率は吸収膜Jl変化に対し1)l)
IIIlえI’lJL謂足出来るものである。
1r(t−)−t=、1古己に示SSれる(+rad、
なN 1.−)フィルタ−シ]、8−光線の波長に勾し
C1・分d′「容できる分光透;IWI ”f:及び分
光反ルJ甲を有するtノのであり、Grad。
なN 1.−)フィルタ−シ]、8−光線の波長に勾し
C1・分d′「容できる分光透;IWI ”f:及び分
光反ルJ甲を有するtノのであり、Grad。
<−+: II・力p7変化をも一ノ吸収層に対して一
°様な反躬防11゜をfjうことかi(能であることを
示している。
°様な反躬防11゜をfjうことかi(能であることを
示している。
表21’J、 、 !1!z i!/ l1l−44’
4’ FI)N Jヲ’46 W 1.、: 分割シ、
膜a9t 成かI”J ・’1℃列弥の位百に大々挿入
したその他の例(?′I”;31〜3)を示すものであ
り、どの例をみて1)第51閃L1示1−如く、名光線
の波長に対する分光透過率及び分光反8j率は1・分許
容できる値を示しでいる。
4’ FI)N Jヲ’46 W 1.、: 分割シ、
膜a9t 成かI”J ・’1℃列弥の位百に大々挿入
したその他の例(?′I”;31〜3)を示すものであ
り、どの例をみて1)第51閃L1示1−如く、名光線
の波長に対する分光透過率及び分光反8j率は1・分許
容できる値を示しでいる。
(尚、上記各側はN Dフィルターの中心部yニー J
−;ける最も厚い膜厚のみ髪示したものであり、次第に
吸収膜厚ががqくなっていく周辺部では透過率か−1−
り反射防止効果はおとろえないことは第1例と同しであ
るためこの例より薄い吸収膜厚に苅するG1算例は消l
118する1、) 表:うけ、吸収11ぐ(材料としてC+を使用し、該C
rを多層ム゛二分割し、分割した吸収膜を膜構成からみ
て’n1K(7) l?fFi、L:、−大’/ 挿入
シタr+lI C’If 号1−4 ) & 示:t’
tJのであり、これについても、第〔;図に示す如く
、3 )’6線の波長に対して分光透過イ′及び分光反
Q1宇は、1分11′1容できるものであイ)。
−;ける最も厚い膜厚のみ髪示したものであり、次第に
吸収膜厚ががqくなっていく周辺部では透過率か−1−
り反射防止効果はおとろえないことは第1例と同しであ
るためこの例より薄い吸収膜厚に苅するG1算例は消l
118する1、) 表:うけ、吸収11ぐ(材料としてC+を使用し、該C
rを多層ム゛二分割し、分割した吸収膜を膜構成からみ
て’n1K(7) l?fFi、L:、−大’/ 挿入
シタr+lI C’If 号1−4 ) & 示:t’
tJのであり、これについても、第〔;図に示す如く
、3 )’6線の波長に対して分光透過イ′及び分光反
Q1宇は、1分11′1容できるものであイ)。
(尚、二の実施例についてもト11J)rルターの中心
部り才9番−1ろ11(〜JIメのみを示し、た。)表
4は、吸収膜+]料として]jを使用し、該T1を多層
に分割し、分割された夫々の吸収11りを++*構成か
らみて苅称の位置に夫々挿入しへ例(符月1〜4)を示
゛すものであり、この実施例についても、第7図に示す
111〈名光線の波長に対して1−分許容できる分光透
過A′及び分光反射!f1を示すものである。1 以1の、τとから明12.かな如く、従来、反、11防
1)。
部り才9番−1ろ11(〜JIメのみを示し、た。)表
4は、吸収膜+]料として]jを使用し、該T1を多層
に分割し、分割された夫々の吸収11りを++*構成か
らみて苅称の位置に夫々挿入しへ例(符月1〜4)を示
゛すものであり、この実施例についても、第7図に示す
111〈名光線の波長に対して1−分許容できる分光透
過A′及び分光反射!f1を示すものである。1 以1の、τとから明12.かな如く、従来、反、11防
1)。
++1;!を蒸iI′t して七j1・分に反射防止効
果の現われなか一、 )−、吸収膜の部分について、該
吸収膜を多層に分割し、こ−薄くシ、詠4)割された吸
I+!/ 11分を該反躬防11−11’lj (1’
l Il’f、 VI′に自由に割込よ仕れは、C+r
ad、な吸収膜IUIの全面に 1:aな反射防11−
を施すことが出来るt)ので、11)イ、1゜ 以上述べてきた実施例の夫々の膜構成のタイプは、−・
方のガラス基板に全層コートシた」二でバルサム等の接
合剤によりもう一方のガラス基板を貼り合わせる対称n
1ff成のものであるが、本発明によれば非対称の膜構
成についても一様な反射防止を施すことができる。その
実施例を以下に説明すると、該実施例は、フィルターの
一方の媒質を空気としたものであり、かかる実施例の膜
構成は表5に示すように、空気/ L / H/ M
/ Nj、 / I(/ r。
果の現われなか一、 )−、吸収膜の部分について、該
吸収膜を多層に分割し、こ−薄くシ、詠4)割された吸
I+!/ 11分を該反躬防11−11’lj (1’
l Il’f、 VI′に自由に割込よ仕れは、C+r
ad、な吸収膜IUIの全面に 1:aな反射防11−
を施すことが出来るt)ので、11)イ、1゜ 以上述べてきた実施例の夫々の膜構成のタイプは、−・
方のガラス基板に全層コートシた」二でバルサム等の接
合剤によりもう一方のガラス基板を貼り合わせる対称n
1ff成のものであるが、本発明によれば非対称の膜構
成についても一様な反射防止を施すことができる。その
実施例を以下に説明すると、該実施例は、フィルターの
一方の媒質を空気としたものであり、かかる実施例の膜
構成は表5に示すように、空気/ L / H/ M
/ Nj、 / I(/ r。
/II/Ili/ガラス基板で構成されており、(Mは
、屈折率が11とLの中間、例えば1,62程度の反射
防止膜材を示している)この膜構成の分光透過率並びに
分光反射率特性は第8図、第9図に示される。
、屈折率が11とLの中間、例えば1,62程度の反射
防止膜材を示している)この膜構成の分光透過率並びに
分光反射率特性は第8図、第9図に示される。
図中、符号■は透過率70%を得るために夫々N1層膜
厚t5 nd = 8.25mμとした時の空気側から
の入射光に対しての分光特性であり、符号中′は(T)
の構成に於て基板側からの入射光に対しての分光特性で
あり、符号■が吸収膜厚が0とした時の分光特性であり
1分光透過率も分光反射率も十分許容できる値を示して
いる。
厚t5 nd = 8.25mμとした時の空気側から
の入射光に対しての分光特性であり、符号中′は(T)
の構成に於て基板側からの入射光に対しての分光特性で
あり、符号■が吸収膜厚が0とした時の分光特性であり
1分光透過率も分光反射率も十分許容できる値を示して
いる。
表 5
本発明は以−L述べたように、一般には異なる光学定数
を持つ材料に列する反射防止は、異なる反11防11.
膜構成を必要とするが、薄い膜厚の場合には、その層を
無視できることを利用して吸収11ψ層を多層に勺割し
中心より周辺に向って次第に1模ノフが変化する吸収膜
パターンに対し全面一様に反射防止を施すことができる
。
を持つ材料に列する反射防止は、異なる反11防11.
膜構成を必要とするが、薄い膜厚の場合には、その層を
無視できることを利用して吸収11ψ層を多層に勺割し
中心より周辺に向って次第に1模ノフが変化する吸収膜
パターンに対し全面一様に反射防止を施すことができる
。
第1図、第2図はカメラの一般的な光学系の説明図、第
3図〜第9図は分光透過率9分光反射率を示すグラフ図
。 −15了12〕 手続補正書(方式) 昭和57年12月22日 特許庁長官 殿 /、事件の表示 昭和57年特許願第150420号 −0発明の名称 NDフィルター 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都板橋区前野町2丁目36番9号〒174電
話03−960−5]5] り、補正命令の日付 昭和57年11月12日発送日
昭和57年11月30目 6、補正の対象 図 面(第3.4,8.9図) ” 2 @ 噸 ・戴
3図〜第9図は分光透過率9分光反射率を示すグラフ図
。 −15了12〕 手続補正書(方式) 昭和57年12月22日 特許庁長官 殿 /、事件の表示 昭和57年特許願第150420号 −0発明の名称 NDフィルター 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都板橋区前野町2丁目36番9号〒174電
話03−960−5]5] り、補正命令の日付 昭和57年11月12日発送日
昭和57年11月30目 6、補正の対象 図 面(第3.4,8.9図) ” 2 @ 噸 ・戴
Claims (1)
- 金属H料を吸収1漠に用い、反射防止膜をもつ中心より
半径方向に連続的に透過光量の変わるNDフィルターに
おいて、」二足吸収膜を多層に薄く分割し、分割した吸
収膜を反射防止膜の境界に挿入したことを特徴とするN
I)フィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57150420A JPS5938701A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | Ndフイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57150420A JPS5938701A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | Ndフイルタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5938701A true JPS5938701A (ja) | 1984-03-02 |
| JPH0247722B2 JPH0247722B2 (ja) | 1990-10-22 |
Family
ID=15496544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57150420A Granted JPS5938701A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | Ndフイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5938701A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4838266A (en) * | 1986-09-08 | 1989-06-13 | Koziol Jeffrey E | Lens shaping device using a laser attenuator |
| US5715103A (en) * | 1993-08-26 | 1998-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Neutral density (ND) filter |
| US6671109B2 (en) | 2001-07-27 | 2003-12-30 | Nidec Copal Corporation | ND filter having composite PVD film of metal and its oxide |
| US7230779B2 (en) | 2004-05-14 | 2007-06-12 | Nidec Copal Corporation | ND filter and aperture diaphragm apparatus |
| JP2010266889A (ja) * | 2004-07-20 | 2010-11-25 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルターの製造方法 |
| JP2010277094A (ja) * | 2004-11-24 | 2010-12-09 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルターの製造方法 |
| US11513440B2 (en) | 2018-11-13 | 2022-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element, optical system, and optical apparatus |
-
1982
- 1982-08-30 JP JP57150420A patent/JPS5938701A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4838266A (en) * | 1986-09-08 | 1989-06-13 | Koziol Jeffrey E | Lens shaping device using a laser attenuator |
| US5715103A (en) * | 1993-08-26 | 1998-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Neutral density (ND) filter |
| US6671109B2 (en) | 2001-07-27 | 2003-12-30 | Nidec Copal Corporation | ND filter having composite PVD film of metal and its oxide |
| US7230779B2 (en) | 2004-05-14 | 2007-06-12 | Nidec Copal Corporation | ND filter and aperture diaphragm apparatus |
| JP2010266889A (ja) * | 2004-07-20 | 2010-11-25 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルターの製造方法 |
| JP2010277094A (ja) * | 2004-11-24 | 2010-12-09 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ndフィルターの製造方法 |
| US11513440B2 (en) | 2018-11-13 | 2022-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element, optical system, and optical apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0247722B2 (ja) | 1990-10-22 |
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