JPS5946831A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5946831A JPS5946831A JP57158329A JP15832982A JPS5946831A JP S5946831 A JPS5946831 A JP S5946831A JP 57158329 A JP57158329 A JP 57158329A JP 15832982 A JP15832982 A JP 15832982A JP S5946831 A JPS5946831 A JP S5946831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- thin plate
- pressure sensor
- magnetic alloy
- caulking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、非晶質磁１つ一合金の４１８歪効果を用いた
近年非晶質磁性合金の４Ｂ歪効果を用いた圧力センサが
挟案されているが、非晶貿磁１／１−合金ンｉＱ板をダ
イヤフラムとし２ても用いるため、その固定方法の開発
が望まれている。
近年非晶質磁性合金の４Ｂ歪効果を用いた圧力センサが
挟案されているが、非晶貿磁１／１−合金ンｉＱ板をダ
イヤフラムとし２ても用いるため、その固定方法の開発
が望まれている。
第１図は従来のかし７めによって非晶質磁性合金薄板を
固定した圧カセンザの構造を小ず。図において、１は非
晶質磁性合金薄板、２ば筒状底部支持容器、３はコイル
で、３１ ｉ１コイル☆ｔ１、：了、４はつぼ型軟磁性
体、６は透孔６１を・有する前部で、筒状底部支持容器
２のかし７め部２５て固定さ）１ている。６は圧力伝達
媒質の６１ｊ出をＩＳ旧Ｊ−する／こめのＯリングであ
る。
固定した圧カセンザの構造を小ず。図において、１は非
晶質磁性合金薄板、２ば筒状底部支持容器、３はコイル
で、３１ ｉ１コイル☆ｔ１、：了、４はつぼ型軟磁性
体、６は透孔６１を・有する前部で、筒状底部支持容器
２のかし７め部２５て固定さ）１ている。６は圧力伝達
媒質の６１ｊ出をＩＳ旧Ｊ−する／こめのＯリングであ
る。
圧力Ｐが透孔５１を通じて非晶質磁性合金薄板１に加わ
り、その結果、非晶質磁性合金薄板１はつぼ型軟磁性体
４の溝部方向に変形し、非晶質磁。
り、その結果、非晶質磁性合金薄板１はつぼ型軟磁性体
４の溝部方向に変形し、非晶質磁。
性合金薄板１に内部応力が発生する。このとき、コイル
端子３１間のインダクタンスは圧力に応じて変化するの
で、コイル端子３１間のインダクタンスを測定すること
によって圧力を測定することができる。
端子３１間のインダクタンスは圧力に応じて変化するの
で、コイル端子３１間のインダクタンスを測定すること
によって圧力を測定することができる。
このような構造の圧力センサにおいては、かしめ部２６
が良品生産のだめの重要部分となる。かしめ部２６はか
しめ工程でわずかながら弾性変Ｊ杉を含むため、戻りが
生ずる。この場合、蓋部６はてし７まう。たとえば、圧
力Ｐが次第に増加して行くと、非晶質磁性合金薄板１は
つぼ型軟磁性体４戻ろうとするが、機械的ノ＜・ノクラ
・ノ・／−のため、完全には元の形状に４帰し７ない。
が良品生産のだめの重要部分となる。かしめ部２６はか
しめ工程でわずかながら弾性変Ｊ杉を含むため、戻りが
生ずる。この場合、蓋部６はてし７まう。たとえば、圧
力Ｐが次第に増加して行くと、非晶質磁性合金薄板１は
つぼ型軟磁性体４戻ろうとするが、機械的ノ＜・ノクラ
・ノ・／−のため、完全には元の形状に４帰し７ない。
そのため同一圧力にもかかわらず内部応力が異なり、出
力のインダクタンスも一定値にならず、圧力センサの出
力に誤差を生じる。
力のインダクタンスも一定値にならず、圧力センサの出
力に誤差を生じる。
また、第２図に示すように円筒状容器の先端部分が角を
持つ場合では、かし７め−１１一工程にお・いて、蓋部
５に切り込みが溝状に作られる。これは、スムーズなか
しめを阻害しかつ先述のかし７め部の戻りを大きくする
原因となる。
持つ場合では、かし７め−１１一工程にお・いて、蓋部
５に切り込みが溝状に作られる。これは、スムーズなか
しめを阻害しかつ先述のかし７め部の戻りを大きくする
原因となる。
→発明の目的
本発明は上述のような非晶′白磁性合金１ｊり板の固定
におけるかしめの不都合を除去しかｌ、めを完全に行な
うことのできる構造を提供することを目的とするもので
ある。
におけるかしめの不都合を除去しかｌ、めを完全に行な
うことのできる構造を提供することを目的とするもので
ある。
発明の構成
上述の目的を達成するために、本発明にツタいてはかし
めの戻りを吸収するだめに、円筒状容Ｒ５と蓋部の材質
より軟く、かつＯリングのコ′ム利より硬い弾性体を、
つぼ型軟磁性体と円筒状容器との間に設けている。そし
て、つぼ型軟磁性体に対する非晶質磁性合金薄板のかし
め固定をスムーズに行ない、またかしめ部の戻りを最少
とするため、かしめ部分である円筒状部分を先端に向う
に従って薄くなるようにあらかじめ加工している。
めの戻りを吸収するだめに、円筒状容Ｒ５と蓋部の材質
より軟く、かつＯリングのコ′ム利より硬い弾性体を、
つぼ型軟磁性体と円筒状容器との間に設けている。そし
て、つぼ型軟磁性体に対する非晶質磁性合金薄板のかし
め固定をスムーズに行ない、またかしめ部の戻りを最少
とするため、かしめ部分である円筒状部分を先端に向う
に従って薄くなるようにあらかじめ加工している。
実施例の説明
第３図は本発明の一実施例の圧力センサの断面図である
。図において、７は磁歪を有する非晶質磁性合金薄板、
８は円筒状底部支持容器、９はつぼ型磁性体で、円形底
部と円環状外内壁部、この外内壁部に囲まれ、頂面が同
一面上に位置する円柱部とで一体に構成されている。１
０は前記円柱部に巻装されたコイルで、１０１はその端
子である。１１は透孔１１１を有する蓋部で、支持容器
８でつぼ型軟磁性体９に固定され、つぼ型軟磁性体９の
開口部側に非晶質磁性合金薄板７を保持している。１２
は圧力伝達媒質の漏出を阻止するためのＯリングである
。１３は支持容器８や蓋部１１よりヤング率が小さく、
Ｏリング１２よりもヤング率の大きい弾性体である。支
持容器８のかしめ部１１８は第３図に示ずように端縁部
分１１９が薄くなるよう加工されており、かしめ時に蓋
部１１の表面に切り込みが作られないように構成されて
いる。
。図において、７は磁歪を有する非晶質磁性合金薄板、
８は円筒状底部支持容器、９はつぼ型磁性体で、円形底
部と円環状外内壁部、この外内壁部に囲まれ、頂面が同
一面上に位置する円柱部とで一体に構成されている。１
０は前記円柱部に巻装されたコイルで、１０１はその端
子である。１１は透孔１１１を有する蓋部で、支持容器
８でつぼ型軟磁性体９に固定され、つぼ型軟磁性体９の
開口部側に非晶質磁性合金薄板７を保持している。１２
は圧力伝達媒質の漏出を阻止するためのＯリングである
。１３は支持容器８や蓋部１１よりヤング率が小さく、
Ｏリング１２よりもヤング率の大きい弾性体である。支
持容器８のかしめ部１１８は第３図に示ずように端縁部
分１１９が薄くなるよう加工されており、かしめ時に蓋
部１１の表面に切り込みが作られないように構成されて
いる。
このように構成された圧力センサにおいて、非晶質磁性
合金薄板７をつば型状イＩμ性体９にかし７め固定する
と、かしめのわずかな戻りが生じたとしでも、その戻り
は弾性体１３によって吸収され、Ｏリング１２の部分は
なんら変化ない。その結果、非晶質磁性合金薄板７のｌ
ｉ！：１定は、蓋部１１ならびにＱ ＩＪン°グ１２と
、つは型磁性体９との間で行なわれ、非晶質磁性合金薄
板７のすべり変形が阻止され、圧力の印加によって生じ
る内部応力がこの圧力に対応する。すなわち、圧力セン
サとしての誤差が除去される。
合金薄板７をつば型状イＩμ性体９にかし７め固定する
と、かしめのわずかな戻りが生じたとしでも、その戻り
は弾性体１３によって吸収され、Ｏリング１２の部分は
なんら変化ない。その結果、非晶質磁性合金薄板７のｌ
ｉ！：１定は、蓋部１１ならびにＱ ＩＪン°グ１２と
、つは型磁性体９との間で行なわれ、非晶質磁性合金薄
板７のすべり変形が阻止され、圧力の印加によって生じ
る内部応力がこの圧力に対応する。すなわち、圧力セン
サとしての誤差が除去される。
また、支持容器８の端縁部分１１９が薄くなっているた
め、そのかし７めがスムーズに行なわれ、蓋部１１に切
り込みが生ぜず、差部１１がかし７め工程で動き、非晶
質磁性合金薄板車に不要な応力が加わることを避けるこ
とができる。また、かし５めを深く行なうことができ、
支持容器８の塑性変形の領域を利用して確実に非晶質磁
性合金薄板７をつぼ型軟磁性体９に固定することができ
る。
め、そのかし７めがスムーズに行なわれ、蓋部１１に切
り込みが生ぜず、差部１１がかし７め工程で動き、非晶
質磁性合金薄板車に不要な応力が加わることを避けるこ
とができる。また、かし５めを深く行なうことができ、
支持容器８の塑性変形の領域を利用して確実に非晶質磁
性合金薄板７をつぼ型軟磁性体９に固定することができ
る。
発明の効果
本発明によれば、非晶質磁性合金薄板の磁歪を応用した
・圧カセ／すにおいて、かしめの戻りによる出力の不安
定性を解決することができ、それにより圧力センサとし
ての測定精度の向上が可能となる。
・圧カセ／すにおいて、かしめの戻りによる出力の不安
定性を解決することができ、それにより圧力センサとし
ての測定精度の向上が可能となる。
第１図は従来の圧力センサの一例の断面図、第２図はそ
のかしめ部の拡大図である。第３図は本発明の一実施例
の圧力センサの断面図、第４図はそのかしめ部の拡大図
である。 ７・・・・・・非晶質磁性合金薄板、８・・・・・・筒
状底部支持容器、９・・・・・・つぼ型軟磁性体、１０
・・・・・コイル、１１・・・・・・蓋部、１２・・・
・・・Ｑ ＩＪング、１３・・・・・・弾性体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 第２図 ２
のかしめ部の拡大図である。第３図は本発明の一実施例
の圧力センサの断面図、第４図はそのかしめ部の拡大図
である。 ７・・・・・・非晶質磁性合金薄板、８・・・・・・筒
状底部支持容器、９・・・・・・つぼ型軟磁性体、１０
・・・・・コイル、１１・・・・・・蓋部、１２・・・
・・・Ｑ ＩＪング、１３・・・・・・弾性体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 第２図 ２
Claims (2)
- （１）外周壁と、底部と、前記底部上に前外周壁に囲ま
れ、かつ頂面が前記外周壁の頂面と同一面上にある柱状
とが一体に形成された軟磁性体、前記軟磁性体開口部上
に設けられた磁歪を有する非晶質磁性合金薄板、前記軟
磁性体の柱状部に巻装され／Ｃコイル、前記軟磁性体に
前記非晶質磁性合金薄板を保持するだめの、前記軟磁性
体の側面部分を包持する筒状容器、前記筒状容器と前記
軟磁性体との間に介在させた両者よりヤング率の小さい
月別よりなる弾性体、および、前記非晶質磁性合金薄板
上でこれに接し７、透孔を有し２、その外側に、前記弾
性体よりもヤング率の小さいＯリングが装着された溝部
が設けられている蓋部を有し、前記筒状容器の端縁部分
をかしめて前記蓋部と前記非晶質磁性合金薄板とを前記
軟磁性体の開口部側に固定しまたことを特徴とする圧力
センサ。 - （２）筒状容器の端縁部分が先端に向かって薄く形成さ
れていることを特徴とするＪ（１，♂１請求の範囲第１
項記載の圧カセンザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57158329A JPS5946831A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57158329A JPS5946831A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946831A true JPS5946831A (ja) | 1984-03-16 |
Family
ID=15669256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57158329A Pending JPS5946831A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946831A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107084813A (zh) * | 2016-02-16 | 2017-08-22 | 株式会社不二工机 | 压力检测单元以及采用该压力检测单元的压力传感器 |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP57158329A patent/JPS5946831A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107084813A (zh) * | 2016-02-16 | 2017-08-22 | 株式会社不二工机 | 压力检测单元以及采用该压力检测单元的压力传感器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS587672Y2 (ja) | 圧電振動子の密閉構造 | |
| JPS6022287B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JPS5838719Y2 (ja) | 圧電ブザ− | |
| JPS5946831A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH0298576A (ja) | チップ型電子部品の保持治具およびその取り扱い方法 | |
| US4364259A (en) | Vibration sensor for an automotive vehicle engine | |
| JPS6132017A (ja) | レンズ保持装置 | |
| JPH084735Y2 (ja) | 圧電振動部品 | |
| JPS6029277Y2 (ja) | 薄形スピ−カ | |
| JPS6312395Y2 (ja) | ||
| JPH083061Y2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5940226A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH0380939B2 (ja) | ||
| JPH0322703B2 (ja) | ||
| JPH059026U (ja) | 電子部品 | |
| JPS59112118U (ja) | 半導体秤り | |
| JPH0289375A (ja) | 半導体圧力センサの製造方法 | |
| JP2768802B2 (ja) | 圧力センサーおよびその製造方法 | |
| JP3010617U (ja) | カップタイプモータ | |
| JPH02201302A (ja) | レンズ鏡胴 | |
| JPS5979826A (ja) | 圧力センサ | |
| JPS6336848Y2 (ja) | ||
| JPH0543599Y2 (ja) | ||
| JPH0751484Y2 (ja) | 貯蔵容器用パッキング | |
| JPH0298573A (ja) | チップ型電子部品の保持治具およびその取り扱い方法 |