JPS5947784A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPS5947784A JPS5947784A JP57156746A JP15674682A JPS5947784A JP S5947784 A JPS5947784 A JP S5947784A JP 57156746 A JP57156746 A JP 57156746A JP 15674682 A JP15674682 A JP 15674682A JP S5947784 A JPS5947784 A JP S5947784A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
- C04B35/493—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT containing also other lead compounds
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波振動子、セラミックフィルタ等に用い
る圧電磁器に関するものである。
る圧電磁器に関するものである。
従来、この種の圧電磁器としてはジルコン・チタン酸鉛
（ＰｂＺｒ０３−ＰｂＴｉ０３）を主成分とするいわゆ
るＰＺＴ系圧器磁器やＢａＴｉＯｓ系磁器が用いられて
きたが、これらの磁器は本質的に高誘電率（１０００〜
３０００）磁器であるため高周波で用いる場合に素子の
入出力インピーダンスが低下し外部回路とのインピータ
ンス整合に同順がでてくる。特に最近では圧電素子の高
周波化が進んでおり、誘電率の比較的小さい（約２００
）ＰｂＴｉ０３系磁器が注目されている。このＰｂＴｉ
０．系磁器は、（１）誘電率が小さい他、（２）電気機
械結合係数の異方性すなわち厚み縦撮動と横方向振動の
電気機械結合係数比ｋ ｔ ／ ｋ ｐが極めて太きく
（ｋｔ／ｋｐ＝１０〜１５．ＰＺ’ｌ”やＢａＴｉ０
８磁器のｋ ｔ／ｋ ｐ ＝ １〜２）、かつ、（３）
厚み縦振動の電気機械結合係数１（ｔが比較的大きい（
ｋｔご０．５）という現在知られているどの圧１に磁器
にも見られない極めて特異な材料である。それゆえ、こ
の特色のある特性を利用した多くの応用素子が実用化さ
れている。たとえば、ＰｂＴ１０、磁器の電気機械結合
係数の大きな異方性は、近年、医用超音波診断装置等に
用いる超音波探触子用圧電磁器として着目されている。
（ＰｂＺｒ０３−ＰｂＴｉ０３）を主成分とするいわゆ
るＰＺＴ系圧器磁器やＢａＴｉＯｓ系磁器が用いられて
きたが、これらの磁器は本質的に高誘電率（１０００〜
３０００）磁器であるため高周波で用いる場合に素子の
入出力インピーダンスが低下し外部回路とのインピータ
ンス整合に同順がでてくる。特に最近では圧電素子の高
周波化が進んでおり、誘電率の比較的小さい（約２００
）ＰｂＴｉ０３系磁器が注目されている。このＰｂＴｉ
０．系磁器は、（１）誘電率が小さい他、（２）電気機
械結合係数の異方性すなわち厚み縦撮動と横方向振動の
電気機械結合係数比ｋ ｔ ／ ｋ ｐが極めて太きく
（ｋｔ／ｋｐ＝１０〜１５．ＰＺ’ｌ”やＢａＴｉ０
８磁器のｋ ｔ／ｋ ｐ ＝ １〜２）、かつ、（３）
厚み縦振動の電気機械結合係数１（ｔが比較的大きい（
ｋｔご０．５）という現在知られているどの圧１に磁器
にも見られない極めて特異な材料である。それゆえ、こ
の特色のある特性を利用した多くの応用素子が実用化さ
れている。たとえば、ＰｂＴ１０、磁器の電気機械結合
係数の大きな異方性は、近年、医用超音波診断装置等に
用いる超音波探触子用圧電磁器として着目されている。
すなわち、超音波診断装置の高周波化が進んでいるが、
周波数が５ＭＩ−ＴＺを越えると従来のＰ Ｚ Ｔ系圧
電磁器ではア１／イ探触子を構成することが加工上困難
になる。それはＰＺＴ系磁器の電気機械結合係数の異方
性が小さいため、アレイを構成する要素の厚みと巾の比
にＷ’／ｌ＜１という制約があることによる。
周波数が５ＭＩ−ＴＺを越えると従来のＰ Ｚ Ｔ系圧
電磁器ではア１／イ探触子を構成することが加工上困難
になる。それはＰＺＴ系磁器の電気機械結合係数の異方
性が小さいため、アレイを構成する要素の厚みと巾の比
にＷ’／ｌ＜１という制約があることによる。
そこで最近、この制約の原因となる不要な横方向撮動の
電気機械結合係数ｋｐが、必要な厚み方向振動のそれｋ
ｔに比較して小さいＰｂＴｉ０．系圧電磁器が高周波探
触子用材料として注目されている。これまで、（Ｐｂ、
、Ｃａｘ）（（ＣＯ＋７ｔ Ｗ＋４）ｙＴ ’＋ −ｙ
ｌ） ０３＋ＭｎＱ系磁器でｋｐ＝０．０５．ｋｔ−
０，５０（ｋｔ／ｋｐ〜１０）という特性をもつ材料が
開発され、その有用性が示されている。
電気機械結合係数ｋｐが、必要な厚み方向振動のそれｋ
ｔに比較して小さいＰｂＴｉ０．系圧電磁器が高周波探
触子用材料として注目されている。これまで、（Ｐｂ、
、Ｃａｘ）（（ＣＯ＋７ｔ Ｗ＋４）ｙＴ ’＋ −ｙ
ｌ） ０３＋ＭｎＱ系磁器でｋｐ＝０．０５．ｋｔ−
０，５０（ｋｔ／ｋｐ〜１０）という特性をもつ材料が
開発され、その有用性が示されている。
しかし１．ｐｂＴｉｏ、糸磁器を用いた探触子の検出感
度目串さく、さらに高周波化が進むと感度低下が増々順
著となる。それゆえ、検出感度を増大させることが高周
波用探角中子にとって大きな課題であり、そのために１
・ま、厚み縦振動の電気機械結合係数ｋｔを太きくしな
ければならない。
度目串さく、さらに高周波化が進むと感度低下が増々順
著となる。それゆえ、検出感度を増大させることが高周
波用探角中子にとって大きな課題であり、そのために１
・ま、厚み縦振動の電気機械結合係数ｋｔを太きくしな
ければならない。
本発明の目的は、上記ｒ’ｂ’ｒ；ｏ、磁器のもつ特異
な特性をさらに一歩進め、ＰｂＴｉ０．磁器よシさらに
低誘電率で大きな電気機械結合係数の異方性を有し、か
つ、厚み縦振動の電気機械結合係数がＰ ｂ ’ｌ’
ｉ’０．より大きな圧電Ａ故器組成物を提供することに
ある。
な特性をさらに一歩進め、ＰｂＴｉ０．磁器よシさらに
低誘電率で大きな電気機械結合係数の異方性を有し、か
つ、厚み縦振動の電気機械結合係数がＰ ｂ ’ｌ’
ｉ’０．より大きな圧電Ａ故器組成物を提供することに
ある。
本発明の圧電磁器組成物は、Ｘ Ｐ ｂ Ｚ ｒ Ｏ５
−ｙＰｂ （１１Ｊｎ＋７ｔ Ｎｂｔ／ｉ ）ｏ
ｓ （ｘ＋ｙ ＝ １、ｏｏ ） の２成分
固溶体、督よびｘＩ’ｂＺｒＯｓ ＶＰｂ（Ｍｎｌ／
／！Ｎｂｌ／２ ）Ｏｓ−２Ｐ ｂＴｔ Ｏｓ （ｘ
＋ ’ｆ ＋ Ｚ ＝ １．００ ）の３成分固溶体で
構成され、かつ％ Ｐ ｂ Ｚ ｒ ０３の配合比Ｘが
０．９以上含むことを特徴とする圧電磁器組成物である
。この２成分訃よび３成分固溶体の圧電磁器組成物は、
機械的品質係数が大きく、かつ、共据周波数の経時安定
性の優れた圧電性磁器としてすでに知られている。しか
し、これらの圧電性磁器はＰｂＺｒＯ３の配合比Ｘが０
．９を甥えると安定度は劣下し、圧電性も実用に耐えな
い程度に劣下するとされている。
−ｙＰｂ （１１Ｊｎ＋７ｔ Ｎｂｔ／ｉ ）ｏ
ｓ （ｘ＋ｙ ＝ １、ｏｏ ） の２成分
固溶体、督よびｘＩ’ｂＺｒＯｓ ＶＰｂ（Ｍｎｌ／
／！Ｎｂｌ／２ ）Ｏｓ−２Ｐ ｂＴｔ Ｏｓ （ｘ
＋ ’ｆ ＋ Ｚ ＝ １．００ ）の３成分固溶体で
構成され、かつ％ Ｐ ｂ Ｚ ｒ ０３の配合比Ｘが
０．９以上含むことを特徴とする圧電磁器組成物である
。この２成分訃よび３成分固溶体の圧電磁器組成物は、
機械的品質係数が大きく、かつ、共据周波数の経時安定
性の優れた圧電性磁器としてすでに知られている。しか
し、これらの圧電性磁器はＰｂＺｒＯ３の配合比Ｘが０
．９を甥えると安定度は劣下し、圧電性も実用に耐えな
い程度に劣下するとされている。
本発明の圧電磁器組成物は、上記２成分および３成分の
固溶体のうらＰｂＺｒ０．の配合比が０．９以上の組成
領域に属するものであり、配合イセ１１成比と合成条件
の詳細な検討からこれらの圧電磁器組成物が極めて優れ
た圧電特性を有することを見出した。特に、電気機械結
合係数の異方性および厚みたて振動の電気機械結合係数
がｐｂ’ｒｉｏ３より大きく、また、誘電率も小さい。
固溶体のうらＰｂＺｒ０．の配合比が０．９以上の組成
領域に属するものであり、配合イセ１１成比と合成条件
の詳細な検討からこれらの圧電磁器組成物が極めて優れ
た圧電特性を有することを見出した。特に、電気機械結
合係数の異方性および厚みたて振動の電気機械結合係数
がｐｂ’ｒｉｏ３より大きく、また、誘電率も小さい。
加えて機械的品質係数ＱＭもＰｂＴｉ０． より数倍
大きいため、高周波での使用に耐える優れた超音波振動
子あるいはフィルタ用材別となりえる。
大きいため、高周波での使用に耐える優れた超音波振動
子あるいはフィルタ用材別となりえる。
上記の優れた特性を示す磁器の組成範囲をさらに詳細に
表現ずればｘＰ ｂＺ ｒＱ３ ｙＰ ｂ ＜Ｍｎｌ
７２Ｎ ｂ＋７ｔ ） Ｏｓで構成される２成分固溶体
のうち、ｘ＋ｙ＝１．００としたとき、ｘ＝０．９０５
〜０．９６０． ｙ＝ｏ、ｏ４ｏ〜０．０９５ と表
わされる組成範囲内にある。この組成範囲内において、
誘電率が小さく、かつ、電気機種結合係数の異方性およ
び厚み縦振動の電気機械結合係数がともに大きな圧電磁
器組成物になる。
表現ずればｘＰ ｂＺ ｒＱ３ ｙＰ ｂ ＜Ｍｎｌ
７２Ｎ ｂ＋７ｔ ） Ｏｓで構成される２成分固溶体
のうち、ｘ＋ｙ＝１．００としたとき、ｘ＝０．９０５
〜０．９６０． ｙ＝ｏ、ｏ４ｏ〜０．０９５ と表
わされる組成範囲内にある。この組成範囲内において、
誘電率が小さく、かつ、電気機種結合係数の異方性およ
び厚み縦振動の電気機械結合係数がともに大きな圧電磁
器組成物になる。
この組成範囲よりもＰｂＺｒＯ３の配合比が多いと得ら
れる磁器は反強誘電体となシ辿常は圧電磁器として１吏
用できない。またＰｂＺｒＯ３の配合比が少ないと誘電
率が大きくなり、電気機械結合係数の異方性が小さくな
る。
れる磁器は反強誘電体となシ辿常は圧電磁器として１吏
用できない。またＰｂＺｒＯ３の配合比が少ないと誘電
率が大きくなり、電気機械結合係数の異方性が小さくな
る。
そして、ｘＰ ｂＺｒＯｓ ＹＰ ｂ （Ｍｎ＋／ｚ
Ｎｂｌ／２ ） ０３−ＺＰｂＴｉＯ，で構成される
３成分固溶体のうち、ｘ ＋ ｙ ＋ Ｚ ＝ １．
ＯＯとしたとき、Ｘ、ｙ、ｚがそれぞれ Ｘ Ｙ Ｚｆｆ’９
０５ ０．０９５ ０．００００．９６０
０．０４０ ０．００００．９３２ ０．０
０５ ０．０６３０．９０５ ０．００５
０．０９０と表わされる組成比で凹まれる組成範囲内
で、誘電率や横方向撮動の電気機械結合係数が小さく、
厚み縦振動の電気機械結合係数が大きくなる。加えて、
その他の圧電特性も良好な圧電磁器組成物となる。
Ｎｂｌ／２ ） ０３−ＺＰｂＴｉＯ，で構成される
３成分固溶体のうち、ｘ ＋ ｙ ＋ Ｚ ＝ １．
ＯＯとしたとき、Ｘ、ｙ、ｚがそれぞれ Ｘ Ｙ Ｚｆｆ’９
０５ ０．０９５ ０．００００．９６０
０．０４０ ０．００００．９３２ ０．０
０５ ０．０６３０．９０５ ０．００５
０．０９０と表わされる組成比で凹まれる組成範囲内
で、誘電率や横方向撮動の電気機械結合係数が小さく、
厚み縦振動の電気機械結合係数が大きくなる。加えて、
その他の圧電特性も良好な圧電磁器組成物となる。
ＰｂＺｒ０．の配合比が上記有効な配合比よりも多くな
ると、反強誘電体となり通常はＩＥ電磁器として使用で
きない。また、Ｐｂ （Ｍｎ＋７．Ｎｂ＋／１）Ｕｓお
よびＰｂ’［’ｉ０３の配合比が上記の有効な配合比よ
り多くなると機械的品質係数や誘電率が大きくなる。ま
た、横方向振動の電気機械結合係数ｋ ｐが大きくなり
、結合係数比が小さくなる。さらに、Ｐ ｂ （Ｍｎｔ
／ｚ Ｎ ｂｔ／ｌ ） Ｏｓの配合比が０．００５以
下の組成、すなわち従来から公知のＰＺＴ磁器に近い組
成では焼結時にＰｂＯの蒸発が著しく、安定な磁器を得
ることが困難である。加えて、電気抵抗が低下するだめ
分極処理が困難となり特性が不安定となるばかりでなく
、実効的に厚み縦振動の電気機械結合係数が低下する。
ると、反強誘電体となり通常はＩＥ電磁器として使用で
きない。また、Ｐｂ （Ｍｎ＋７．Ｎｂ＋／１）Ｕｓお
よびＰｂ’［’ｉ０３の配合比が上記の有効な配合比よ
り多くなると機械的品質係数や誘電率が大きくなる。ま
た、横方向振動の電気機械結合係数ｋ ｐが大きくなり
、結合係数比が小さくなる。さらに、Ｐ ｂ （Ｍｎｔ
／ｚ Ｎ ｂｔ／ｌ ） Ｏｓの配合比が０．００５以
下の組成、すなわち従来から公知のＰＺＴ磁器に近い組
成では焼結時にＰｂＯの蒸発が著しく、安定な磁器を得
ることが困難である。加えて、電気抵抗が低下するだめ
分極処理が困難となり特性が不安定となるばかりでなく
、実効的に厚み縦振動の電気機械結合係数が低下する。
以下、本発明を実施例を参照して詳細に説明する。
実施例１
第１表にＰ ｂＺ ｒ Ｏｓ Ｐ ｂ （Ｍ、’ｎ＋
、Ａ Ｎｂ＋７＝ ） Ｏｓ２成分固溶体に関する試料
（１〜７）をまとめて示す。本発明の磁器を得る出発原
料としては特にことわらないかぎり純度９９．９％以上
の酸化鉛（１’ ｂ Ｏ） 、酸化ジルコニウム’ Ｚ
ｒ０２） 、Ｍ化マンガン（ＭｎＯ）警よび酸化ニオブ
（Ｎ ｂ、０！ｌ ）の各粉末ケ用いた。
、Ａ Ｎｂ＋７＝ ） Ｏｓ２成分固溶体に関する試料
（１〜７）をまとめて示す。本発明の磁器を得る出発原
料としては特にことわらないかぎり純度９９．９％以上
の酸化鉛（１’ ｂ Ｏ） 、酸化ジルコニウム’ Ｚ
ｒ０２） 、Ｍ化マンガン（ＭｎＯ）警よび酸化ニオブ
（Ｎ ｂ、０！ｌ ）の各粉末ケ用いた。
第１表に示した範囲内の組成比の原料粉をボットミルを
用い約１時間湿式混合し、乾燥後、９ｏ。
用い約１時間湿式混合し、乾燥後、９ｏ。
Ｃで２時間仮焼結を行った。この仮焼結体をライカイ機
を用（八て粉砕後、再びボットミルを用い混合した。乾
燥後、３５０にダ／ ｃｍ ２の圧力でプレス成形し、
１２５０〜１２８０ｔ：’で５時間焼結した。
を用（八て粉砕後、再びボットミルを用い混合した。乾
燥後、３５０にダ／ ｃｍ ２の圧力でプレス成形し、
１２５０〜１２８０ｔ：’で５時間焼結した。
焼結体のザイズは１６φＸ１０ｗ＋ｍ である。この
焼結体を厚さ約１ｍに切断し、０．８＋ｏ＋厚まで研磨
して、両面に電極としてＣｒ−ＡＬＩを蒸着した。
焼結体を厚さ約１ｍに切断し、０．８＋ｏ＋厚まで研磨
して、両面に電極としてＣｒ−ＡＬＩを蒸着した。
さらに銀ペーストで銅のリード線を付は分極処理した。
分極処理は、７０〜１５０Ｃのシリコン・オイル中で２
０〜５０ｋＶ／ｃｒｎの直流電圧を１０分間印加するこ
とにより行った。その後、誘電および圧電特性の測定を
行った。
０〜５０ｋＶ／ｃｒｎの直流電圧を１０分間印加するこ
とにより行った。その後、誘電および圧電特性の測定を
行った。
第１表の試料１〜４がら明らかなように、本発明の圧電
磁器組成物は、誘電率が２００以下と小さく、電気機械
結合係数の異方性が１０以上と大きい。さらに、厚み縦
振動の電気機械結合係数ｋ ｔが０．５５ｋｍえるもの
がｔｂ’）、Ｐｂ’ｌ’ｉ０３ ｍ器より大きいのが
特徴である。
磁器組成物は、誘電率が２００以下と小さく、電気機械
結合係数の異方性が１０以上と大きい。さらに、厚み縦
振動の電気機械結合係数ｋ ｔが０．５５ｋｍえるもの
がｔｂ’）、Ｐｂ’ｌ’ｉ０３ ｍ器より大きいのが
特徴である。
ＫＲ５お！び６ｉｄ、Ｐｂ（Ｍｎｔ／ｌＮｒ／２）Ｏｓ
の配合比が０．１０を越えた場合であるが、この場合、
誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結合係
数も大きくなシ異方性が低下する。
の配合比が０．１０を越えた場合であるが、この場合、
誘電率が大きくなり、また横方向振動の電気機械結合係
数も大きくなシ異方性が低下する。
試料７は、Ｐ ｂ Ｚ ｒ Ｏｓ ノ配合比ｙｊＥ Ｏ
，９６ヲ越（る場合であり、この場合は得られた磁器は
反強誘電体となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にす
ることは不可能であり圧電磁器として使用することはで
きない。なお、反強誘電体となる磁器の結実施例２ Ｐ ｂＺ ｒ Ｏｓ Ｐ ｂ （％Ｉｎ、／２Ｎ ｂ
ｔ７ｚ ） Ｏｓ２成分固溶体の優れた特性は、さらに
ｐｂ’ｒｉｏ、を固溶させたｐｂｚｒｏ、 Ｐｂ（Ｍ
ｎ＋／１！Ｎｂｌ／２）０３ Ｐｂｉ’ｊＯｓ３成分
固溶体に督いても保存され、加えて機械的品質係数が大
きくなる。
，９６ヲ越（る場合であり、この場合は得られた磁器は
反強誘電体となる。それゆえ、分極処理で圧電活性にす
ることは不可能であり圧電磁器として使用することはで
きない。なお、反強誘電体となる磁器の結実施例２ Ｐ ｂＺ ｒ Ｏｓ Ｐ ｂ （％Ｉｎ、／２Ｎ ｂ
ｔ７ｚ ） Ｏｓ２成分固溶体の優れた特性は、さらに
ｐｂ’ｒｉｏ、を固溶させたｐｂｚｒｏ、 Ｐｂ（Ｍ
ｎ＋／１！Ｎｂｌ／２）０３ Ｐｂｉ’ｊＯｓ３成分
固溶体に督いても保存され、加えて機械的品質係数が大
きくなる。
試料の作成方法は実施１の場合と同じである。
なｔチタン（Ｔｉ）の出発原料として酸化チタン（Ｔｉ
０２）を用いた。
０２）を用いた。
第２表に試料８〜１５をまとめて示す。各試料から明ら
かなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質係
数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さく
なってνす、また厚み縦振動の電気機械結合係数がＰｂ
ＺｒＯ３Ｐｂ（Ｍｎ、／２Ｎｂ、７．）０，２成分固溶
体よシ改善されてｂる。
かなように、いずれも電気機械結合係数や機械的品質係
数が極めて大きく、かつ多くの組成物で誘電率が小さく
なってνす、また厚み縦振動の電気機械結合係数がＰｂ
ＺｒＯ３Ｐｂ（Ｍｎ、／２Ｎｂ、７．）０，２成分固溶
体よシ改善されてｂる。
上記の有効な組成比よ、りＰｂＺｒＯ３の配合比が少な
い場合、すなわら、Ｐ ｂ （Ｍｎｔ／ｚ Ｎ１）ｔ／
ｌ ）ｏｓおよびＰｂＴｉ０．組成比が多いと誘電率が
大きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さく
なる。
い場合、すなわら、Ｐ ｂ （Ｍｎｔ／ｚ Ｎ１）ｔ／
ｌ ）ｏｓおよびＰｂＴｉ０．組成比が多いと誘電率が
大きくなり、また、電気機械結合係数の異方性も小さく
なる。
また、ＰｂＺｒＯｓ の配合比が本発明の組成範囲よ
り多いと反強誘電体となる。
り多いと反強誘電体となる。
最後に、Ｐ ｂ （Ｍｎ＋／ｚ Ｎ ｂ１／２） Ｏｓ
を含まない、いわゆる１） ｂＺ ｒＯｓ−ｐ ｂ
’ｌ’ ｉ ｏｓ磁器では厚み縦振動の電気機械結合係
数が小さくなる。
を含まない、いわゆる１） ｂＺ ｒＯｓ−ｐ ｂ
’ｌ’ ｉ ｏｓ磁器では厚み縦振動の電気機械結合係
数が小さくなる。
以上説明したごとく、Ｘｐｂｚｒｏ３−ｙＰｂ（Ｍ”Ｉ
／２Ｎｂｌ／２ ）０３ ２成分固溶体のうら、ｘ ＋
ｙ＝１．００とした時、ｘ＝０．９０５〜０．９６０
．ｙ＝０．０４０〜０．０９５と表わされる組成範囲内
の圧電磁器組成物、そして、ｘＰｂＺｒＯ，ｙＰｂ（Ｍ
ｎｔ／１Ｎｂｔ、Ａ）Ｕｓ Ｚｐｂ’ｒｉｏ３ａ成分
固溶体のうら、ｘ ＋ ｙ −ｔ−ｚ ＝ １． ＯＯ
とした時、３元組成図で、Ｘ。
／２Ｎｂｌ／２ ）０３ ２成分固溶体のうら、ｘ ＋
ｙ＝１．００とした時、ｘ＝０．９０５〜０．９６０
．ｙ＝０．０４０〜０．０９５と表わされる組成範囲内
の圧電磁器組成物、そして、ｘＰｂＺｒＯ，ｙＰｂ（Ｍ
ｎｔ／１Ｎｂｔ、Ａ）Ｕｓ Ｚｐｂ’ｒｉｏ３ａ成分
固溶体のうら、ｘ ＋ ｙ −ｔ−ｚ ＝ １． ＯＯ
とした時、３元組成図で、Ｘ。
ｙ、ｚがそれぞれ
ｘ ｙ ｚＯ
，，９０５０，０９５０，０００ ０，９６００，０４００，０００ ０，９３２０，００５０，０６３ ０，９０５０，００５０，０９０ で表わされる組成比の点で囲まれる組成範囲内の圧電磁
器組成物は、優れた圧電性を保有しており、とくに低誘
電率でかつ、電気機械結合係数の異方性が大きく、υ目
えて厚みＢ撮動の電気機械結合係数も大きいため、Ｐｂ
Ｔｉ０．磁器に代る庄”＋ｔＣ磁器として、これ−まで
にない優れた特性を持つことは明らかである。
，，９０５０，０９５０，０００ ０，９６００，０４００，０００ ０，９３２０，００５０，０６３ ０，９０５０，００５０，０９０ で表わされる組成比の点で囲まれる組成範囲内の圧電磁
器組成物は、優れた圧電性を保有しており、とくに低誘
電率でかつ、電気機械結合係数の異方性が大きく、υ目
えて厚みＢ撮動の電気機械結合係数も大きいため、Ｐｂ
Ｔｉ０．磁器に代る庄”＋ｔＣ磁器として、これ−まで
にない優れた特性を持つことは明らかである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ｘＰｂＺｒ（Ｊｓ ｙＰｂ （Ｍｎ＋／ｌ
Ｎｂｌ／２ ）Ｏ３で構成される２成分固溶体のうち、
ｘ＋ｙ＝１．ｏＯとした時、ｘ ＝ ０．９０５〜０．
９６０．ｙ＝０、０４０〜０．０９５と表わされる組成
範囲内にあることを特徴とする圧電磁器組成物。 ２、 ｘＰｂＺｒｏｓ ＹＰｂ（Ｍｎ＋／ｚＮ
ｌ）＋／１）０３−ｚｐｂＴｉＱ、 で構成される３成
分固溶体のうら、ｘ＋ｙ＋Ｚ＝１．００とした時、３元
組成図において、 ｘ＝０．９０５ ｙ＝０．０９５ ｚ＝ｏ、ｏｏｏ
で表わされる組成 比、ｘ＝０．９６０ ｙ＝０．０４ｏ ｚ＝ｏ、ｏ
ｏｏ で表わ烙れる組成 比、ｘ＝０．９３２ ｙ＝０．００５ ２＝０．０６
３ で表わされる組成比 およびｘ＝ｏ、９０５ ｙ＝ｏ、ｏｏ５ Ｚ＝０．０
９０で表わされる組成比の点で囲まれる組成範囲内にあ
ることを特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57156746A JPS5947784A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 圧電磁器組成物 |
| US06/513,424 US4565642A (en) | 1982-07-14 | 1983-07-13 | Piezoelectric substances |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57156746A JPS5947784A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5947784A true JPS5947784A (ja) | 1984-03-17 |
| JPH0325954B2 JPH0325954B2 (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=15634404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57156746A Granted JPS5947784A (ja) | 1982-07-14 | 1982-09-10 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5947784A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62241825A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 |
| JPS62241826A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 |
| KR100431404B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2004-05-22 | 임기조 | 고출력 압전 디바이스용 압전 세라믹 조성물, 이를 이용한 압전 변압기 및 그 구동방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4922637A (ja) * | 1972-06-27 | 1974-02-28 | ||
| JPS4940435A (ja) * | 1972-08-18 | 1974-04-16 |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP57156746A patent/JPS5947784A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4922637A (ja) * | 1972-06-27 | 1974-02-28 | ||
| JPS4940435A (ja) * | 1972-08-18 | 1974-04-16 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62241825A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 |
| JPS62241826A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 |
| KR100431404B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2004-05-22 | 임기조 | 고출력 압전 디바이스용 압전 세라믹 조성물, 이를 이용한 압전 변압기 및 그 구동방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0325954B2 (ja) | 1991-04-09 |
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