JPS5948322B2 - 移動面の端部検出装置 - Google Patents
移動面の端部検出装置Info
- Publication number
- JPS5948322B2 JPS5948322B2 JP3699879A JP3699879A JPS5948322B2 JP S5948322 B2 JPS5948322 B2 JP S5948322B2 JP 3699879 A JP3699879 A JP 3699879A JP 3699879 A JP3699879 A JP 3699879A JP S5948322 B2 JPS5948322 B2 JP S5948322B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- moving surface
- detection device
- end detection
- moving
- Prior art date
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- Expired
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は移動面の端部検出装置にかかり、特に静止面
上、または微速の移動面上を移動する膜状部材等の端部
を検出する装置に関する。
上、または微速の移動面上を移動する膜状部材等の端部
を検出する装置に関する。
一例の金属テープを用いた記録装置において、その金属
面上を移動する金属テープ等の動きは反射率が下地の金
属面等とあまり変らないほどの理由からテープの縁部の
位置を認識するのは困難である。
面上を移動する金属テープ等の動きは反射率が下地の金
属面等とあまり変らないほどの理由からテープの縁部の
位置を認識するのは困難である。
そして、従来上記問題を解決するに適した技術が見出さ
れていない。この発明は上記従来の問題点を改良するた
めの移動面の端部検出装置を提供するものである。
れていない。この発明は上記従来の問題点を改良するた
めの移動面の端部検出装置を提供するものである。
この発明にかかる移動面の端部検出装置は、連続出力の
レーザと、前記レーザ光を速度差のある二部材の境界近
傍において収斂し連続的もしくは段階的に走査させる光
学系と、前記レー、ザ光の反射散乱光を受ける受光系と
、検出された電気信号の周波数スペクトルを測定するス
ペクトルアナライザとを含み、スペクトルの変化により
二部材の境界位置を検出することを特徴とする。また、
この発明の特許請求の範囲第２項に記載の光学系はレー
ザ光を偏向させるための超音波変 、調素子を備えてな
ることを特徴とする。
レーザと、前記レーザ光を速度差のある二部材の境界近
傍において収斂し連続的もしくは段階的に走査させる光
学系と、前記レー、ザ光の反射散乱光を受ける受光系と
、検出された電気信号の周波数スペクトルを測定するス
ペクトルアナライザとを含み、スペクトルの変化により
二部材の境界位置を検出することを特徴とする。また、
この発明の特許請求の範囲第２項に記載の光学系はレー
ザ光を偏向させるための超音波変 、調素子を備えてな
ることを特徴とする。
次にこの発明を一実施例につき図面を参照して詳述する
。
。
第１図において、１は静止面、２は前記静止面上を破線
矢印の方向に速度Ｖにて移動する移動面にて、この移動
面２の端縁２ａが測定される境界部位である。次に３は
レーザ光で、上記静止面１および移動面２上にて適切な
るスポット径を有する如く収斂されてなり、上記二つの
面１、２上を軌跡４の如くに、平面上にて移動面の端縁
２ａに直角方向段階的に走査を施す。第１図において１
１はレーザ光発振部、１２はレーザ光走査部である。な
お、上記レーザ光を走査させる光学系において、レーザ
光を偏向させるに超音波変調素子を用いて好適する。上
記移動面の端縁２ａに直角に施される走査によつて生ず
る反射光５は面１、２の上方に設けられたある大きさの
受光部で検出される。また、面１、２からの反射光には
、いわゆるスペックルと称せられる強度の空間分布が生
じており、静止面１からの反射光の場合には時間的に定
常であるが、移動面２からの反射光は時間的に変動する
。このとき、検出器１３で受ける信号をスペクトルアナ
ライザ１４の如きもので周波数分析を施すと（Ａ）静止
部からの反射光を受ける場合には直流成分のみであり、
旧）移動部からの反射光を受ける場合には■』の周波数
成分が支配的になる。
矢印の方向に速度Ｖにて移動する移動面にて、この移動
面２の端縁２ａが測定される境界部位である。次に３は
レーザ光で、上記静止面１および移動面２上にて適切な
るスポット径を有する如く収斂されてなり、上記二つの
面１、２上を軌跡４の如くに、平面上にて移動面の端縁
２ａに直角方向段階的に走査を施す。第１図において１
１はレーザ光発振部、１２はレーザ光走査部である。な
お、上記レーザ光を走査させる光学系において、レーザ
光を偏向させるに超音波変調素子を用いて好適する。上
記移動面の端縁２ａに直角に施される走査によつて生ず
る反射光５は面１、２の上方に設けられたある大きさの
受光部で検出される。また、面１、２からの反射光には
、いわゆるスペックルと称せられる強度の空間分布が生
じており、静止面１からの反射光の場合には時間的に定
常であるが、移動面２からの反射光は時間的に変動する
。このとき、検出器１３で受ける信号をスペクトルアナ
ライザ１４の如きもので周波数分析を施すと（Ａ）静止
部からの反射光を受ける場合には直流成分のみであり、
旧）移動部からの反射光を受ける場合には■』の周波数
成分が支配的になる。
ここに、Ｖは移動部の移動速度、ｄはレーザ照射スポツ
ト径を夫々示す。また、図における１５は前記スペクト
ルアナライザ１４およびレーザ光走査部１２に連動した
Ｘ・Ｙプロツメである。
ト径を夫々示す。また、図における１５は前記スペクト
ルアナライザ１４およびレーザ光走査部１２に連動した
Ｘ・Ｙプロツメである。
さらに、面１，２上をレーザ光軌跡４にて示される如く
レーザ光を走査させ、検出出力のピークスペクトルを測
定した結果が第２図に示される。
レーザ光を走査させ、検出出力のピークスペクトルを測
定した結果が第２図に示される。
同図から静止面１と移動面２との間で受光侶号のスペク
トルが急変することが明白である。上記により二つの面
間の境界を確認できる。なお、第２図の縦軸はスペクト
ルのピークを■抱にて、横軸は面上の位置を夫々示す。
この発明の上記実施例によれば、見て動いている部分と
静止している部分とを容易に識別できないものに対して
、レーザ光等で照射走査してスぺツクルの変化で区別で
きる。
トルが急変することが明白である。上記により二つの面
間の境界を確認できる。なお、第２図の縦軸はスペクト
ルのピークを■抱にて、横軸は面上の位置を夫々示す。
この発明の上記実施例によれば、見て動いている部分と
静止している部分とを容易に識別できないものに対して
、レーザ光等で照射走査してスぺツクルの変化で区別で
きる。
上記により金属テープ等の端面の動き（偏動）を反射型
で非接触に検出、測定できるという顕著な利点を有する
。なお、この発明において変動信号のピーク位置を識別
するにスペクトルアナライザを用いた実施例を上述した
が、単なる周波数フイル汐によつても達成できた。また
、走査されるレーザ光の走査方法として、物体面上にお
いて、移動面の速度に比して充分遅い速度で連続的に走
査させてもよく、あるいは少しづつ段階的にずらしては
停めてスぺクトルをとつていつてもよい。（実施例では
レーザ光を段階的に走査する方法で説明してある）さら
に、レーザ光による面１，２の照明は特には限定しない
が、スポツト照明の場合にはｌＯｐｍφ程度の大きさが
好ましく、長円形の照明でもその短径方向に移動面２の
移動方向をとるのが好ましい。また、この発明は面１，
２の双方が速度差を有して移動する場合、たとえば面１
が微速で、面２が前記面１より優速にて移動する場合で
も識別が容易である。
で非接触に検出、測定できるという顕著な利点を有する
。なお、この発明において変動信号のピーク位置を識別
するにスペクトルアナライザを用いた実施例を上述した
が、単なる周波数フイル汐によつても達成できた。また
、走査されるレーザ光の走査方法として、物体面上にお
いて、移動面の速度に比して充分遅い速度で連続的に走
査させてもよく、あるいは少しづつ段階的にずらしては
停めてスぺクトルをとつていつてもよい。（実施例では
レーザ光を段階的に走査する方法で説明してある）さら
に、レーザ光による面１，２の照明は特には限定しない
が、スポツト照明の場合にはｌＯｐｍφ程度の大きさが
好ましく、長円形の照明でもその短径方向に移動面２の
移動方向をとるのが好ましい。また、この発明は面１，
２の双方が速度差を有して移動する場合、たとえば面１
が微速で、面２が前記面１より優速にて移動する場合で
も識別が容易である。
第１図はこの発明の構成につき一部を斜視図にて説明す
る図、第２図は検出器で得られる信号の一例を示す線図
である。 １・・・静止面、２・・・移動面、２ａ・・・移動面の
端縁、３・・・レーザ光、４・・・レーザ光軌跡、５・
・・レーザ光の反射光、１１・・・レーザ光発振部、１
２・・・レーザ光走査部、１３・・・検出器、１４・・
スペクトルアナライザ、１５・・・Ｘ−Ｙプロツメ。
る図、第２図は検出器で得られる信号の一例を示す線図
である。 １・・・静止面、２・・・移動面、２ａ・・・移動面の
端縁、３・・・レーザ光、４・・・レーザ光軌跡、５・
・・レーザ光の反射光、１１・・・レーザ光発振部、１
２・・・レーザ光走査部、１３・・・検出器、１４・・
スペクトルアナライザ、１５・・・Ｘ−Ｙプロツメ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 連続出力のレーザと、前記レーザ光を速度差のある
二部材の境界近傍において収斂し連続的もしくは段階的
に走査させる光学系と、前記レーザ光の反射散乱光を受
ける受光系と、検出された電気信号の周波数スペクトル
を測定するスペクトルアナライザとを含み、スペクトル
の変化により二部材の境界位置を検出することを特徴と
する移動面の端部検出装置。 ２ 光学系がレーザ光を偏向させるための超音波変調素
子を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の移動面の端部検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3699879A JPS5948322B2 (ja) | 1979-03-30 | 1979-03-30 | 移動面の端部検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3699879A JPS5948322B2 (ja) | 1979-03-30 | 1979-03-30 | 移動面の端部検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55129703A JPS55129703A (en) | 1980-10-07 |
| JPS5948322B2 true JPS5948322B2 (ja) | 1984-11-26 |
Family
ID=12485393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3699879A Expired JPS5948322B2 (ja) | 1979-03-30 | 1979-03-30 | 移動面の端部検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948322B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6167621U (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-09 | ||
| JPS61503011A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-12-25 | ダ−ム、カ−リン | 化粧料用ペンシル形装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6046485B2 (ja) * | 2012-12-26 | 2016-12-14 | 株式会社リコー | 検査装置及び検査方法 |
-
1979
- 1979-03-30 JP JP3699879A patent/JPS5948322B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61503011A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-12-25 | ダ−ム、カ−リン | 化粧料用ペンシル形装置 |
| JPS6167621U (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55129703A (en) | 1980-10-07 |
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