JPS5954236A - ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 - Google Patents
ダイボンダ等におけるペレツト認識方法Info
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- JPS5954236A JPS5954236A JP57163827A JP16382782A JPS5954236A JP S5954236 A JPS5954236 A JP S5954236A JP 57163827 A JP57163827 A JP 57163827A JP 16382782 A JP16382782 A JP 16382782A JP S5954236 A JPS5954236 A JP S5954236A
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- pellets
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0611—Sorting devices
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0606—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W46/00—Marks applied to devices, e.g. for alignment or identification
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、半導体装置の製造に丸−けるペレ、７１・
認識方法に関し、さらに詳しくは分割された多数のペレ
ットかり１個のペレットヲピックアップする必要がある
ダイボンダやブローバ等の作業におけるベレット認識方
法に関するものである。
認識方法に関し、さらに詳しくは分割された多数のペレ
ットかり１個のペレットヲピックアップする必要がある
ダイボンダやブローバ等の作業におけるベレット認識方
法に関するものである。
〔発す」の枝術的背１ｊ）〕
半導体装置製造のタイポンチインク１−稈し１１、素子
が形ＩＭさノ１．たペレット（ダイとも吋は）しる）
＞。
が形ＩＭさノ１．たペレット（ダイとも吋は）しる）
＞。
多数、ダイボンダのＸＹスデージ」、シごｌ代置１７、
ぞのなか力・ら１個うつ拾い」−８けたペレットをリー
１−フレート十の１９＋ ′ＩＵ１缶１ｉｊ’ｉ、 Ｉ
／こ接合−するといつ作業を行うものである。このＸＹ
スデージ」−の多数ベレット配列状態ｔよ、自１図りこ
その−部を示した」、うに、ペレット１が−１−トノＩ
イｉに若１の間隔なｒ置いて基盤［］状ｅこ配列してい
る。この」、つなＸＹスデ−ジ＋のペレット配列０．Ｌ
１通’７ｊ’＋ 、１枚のウニ／・−１に多数の素仔ン
・形１戎したそのウニ・・を粘措／−１・十に貼りイ・
］け、次いでそのウエノ・を貼り伺は状態で縦横Ｖこ切
断し”〔多数の角形ペレ、１・１に分割し、しかる後粘
着／−１・を上下左右に引き伸して若Ｉの間隔をあけ、
こ）しをＸＹステージ上に固定″１−ることによって行
われているので、ペレットの基盤［１状の配列ＶＣはか
なりの乱れが生じている。また配列ペレットのなかには
、素子形成不良や分割１１８Ｊ欠は不良などの不良ペレ
ットがかなり存在している。
ぞのなか力・ら１個うつ拾い」−８けたペレットをリー
１−フレート十の１９＋ ′ＩＵ１缶１ｉｊ’ｉ、 Ｉ
／こ接合−するといつ作業を行うものである。このＸＹ
スデージ」−の多数ベレット配列状態ｔよ、自１図りこ
その−部を示した」、うに、ペレット１が−１−トノＩ
イｉに若１の間隔なｒ置いて基盤［］状ｅこ配列してい
る。この」、つなＸＹスデ−ジ＋のペレット配列０．Ｌ
１通’７ｊ’＋ 、１枚のウニ／・−１に多数の素仔ン
・形１戎したそのウニ・・を粘措／−１・十に貼りイ・
］け、次いでそのウエノ・を貼り伺は状態で縦横Ｖこ切
断し”〔多数の角形ペレ、１・１に分割し、しかる後粘
着／−１・を上下左右に引き伸して若Ｉの間隔をあけ、
こ）しをＸＹステージ上に固定″１−ることによって行
われているので、ペレットの基盤［１状の配列ＶＣはか
なりの乱れが生じている。また配列ペレットのなかには
、素子形成不良や分割１１８Ｊ欠は不良などの不良ペレ
ットがかなり存在している。
従ってダイホ゛ンダにおけるように多数ペレット力）ら
１個うつ拾い」−げる作業（ピックアップという）には
、不良ペレ、１・を含みかつ配列の乱れプヒ多数ペレッ
１、から効率的に良品ペレットのみをピックアップでき
るペレ、１・認識処理を考える必要かある。
１個うつ拾い」−げる作業（ピックアップという）には
、不良ペレ、１・を含みかつ配列の乱れプヒ多数ペレッ
１、から効率的に良品ペレットのみをピックアップでき
るペレ、１・認識処理を考える必要かある。
従来のベレット認識処理では、下記するように効率的な
ピックアップ作業がなさｉしていなかったので、作業能
率、良品ペレットの取残し７、或は製品特性の低下の点
で多くの問題点があり、工程の完全自動化のためこノＬ
の解決が強く望まノしていた。
ピックアップ作業がなさｉしていなかったので、作業能
率、良品ペレットの取残し７、或は製品特性の低下の点
で多くの問題点があり、工程の完全自動化のためこノＬ
の解決が強く望まノしていた。
従来のベレット認識処理ｄ５、ピックアップしよつとす
るペレットの形状判別を行い、その結果良り。
るペレットの形状判別を行い、その結果良り。
品ベレットであｉｔは位置検出をしてピッシアツブ作業
を実施Ｉ〜、反対に不良品ペレットであればその列の次
のペレ、トヘビッチ送りをし、このように良品不良品に
かかわらず順次認識処理を行うものであった。
を実施Ｉ〜、反対に不良品ペレットであればその列の次
のペレ、トヘビッチ送りをし、このように良品不良品に
かかわらず順次認識処理を行うものであった。
ぞのブとめ従来のベレット認識処理υ（−、ｌ、・いで
υ」−１（Ｉ） 良品ペレット以夕）の小良品ペレッ
トＶごついても順次ベレット認識処理ｔ ’４Ｊうので
むノこな処理が繰り返さソしる。
υ」−１（Ｉ） 良品ペレット以夕）の小良品ペレッ
トＶごついても順次ベレット認識処理ｔ ’４Ｊうので
むノこな処理が繰り返さソしる。
（牙 不良品ペレットの認識処理λ：′□４−る／と
めタイポンチインクの作業能率が小良品ベレット数に左
右されることになり、従ってボンデインク能率が低下す
る。
めタイポンチインクの作業能率が小良品ベレット数に左
右されることになり、従ってボンデインク能率が低下す
る。
■ ボンティング作業速ＩＷが不良品ベレットの密度バ
ラツキのために不定となり、従ってボンディング品質の
安定化が１（ＩらｆＬない。
ラツキのために不定となり、従ってボンディング品質の
安定化が１（ＩらｆＬない。
■ ベレッＩ・の配列状態に乱れがあると、別の列に移
行したり作業ンゴ終了した列に移行したりし、その結果
良品ペレットの取残しが多くなる。
行したり作業ンゴ終了した列に移行したりし、その結果
良品ペレットの取残しが多くなる。
■ １列のペレット認識が終了したときに次の列に移行
させるために、エラー／センタのようなウニ・・夕１周
の検出手段が必要となる。
させるために、エラー／センタのようなウニ・・夕１周
の検出手段が必要となる。
この発明は、前記従来方法の問題点？ｉＪ’ｆ決するも
のであって、不良品ペレットを含む多数ベレッ）・のな
かから良品ペレットのみを効率よくピックアップするこ
とのできるペレット認識方法を提供することケ目的とす
る。またこの発明の別の［］的Ｕ５、ペレ、１・の配列
の乱ｉｔや、ウェハとペレットの形状に左右さｆｌ、ず
良品ペレットの取残しを少なくてきるペレット認識方法
を提供することにある。
のであって、不良品ペレットを含む多数ベレッ）・のな
かから良品ペレットのみを効率よくピックアップするこ
とのできるペレット認識方法を提供することケ目的とす
る。またこの発明の別の［］的Ｕ５、ペレ、１・の配列
の乱ｉｔや、ウェハとペレットの形状に左右さｆｌ、ず
良品ペレットの取残しを少なくてきるペレット認識方法
を提供することにある。
本発明は、ペレット認識装置がピックアップの優先順位
テーブルとペレッ・１・月１２億テーブルと位置記憶デ
ープルとケイ］シ、良品ペレットのビックアップ移動に
つｉｔで認識範囲内に収まった複数べＩ／ットの形状判
別と位置検出と配列側ｎを行ってそ一ノデータを得、ベ
レット記１意デ、−プルに良品ベレットをその座標値で
ｄ１２憶さぜ、寸た位置記１λ＼テーブルに認識範囲内
の良品ペレットヲビックアップペレットのｆ’＋シ’、
ｆｊ′４″を・基準と１−た位置ズレ媚で記憶さぜる
。そして既に認識さｔ’ｔた良品ペレットり・すべて記
憶させたペレット記憶テーブルと認識範囲内の良品ペレ
ットヲ記１、（１さぜた位置記憶テーブルとを参照して
ピックアップすることにより、良品ペレットのみを効率
的にピックアップすることを〒１１能にするとともに、
ピックアップの優先順位テーブルと認識範囲夕）の良品
ペレッＩ・もすへでトド標値で記憶さズしたペレッｌ−
記Ｌｔ′５デープルと瞳１識１・１）、凹円の良品ペレ
ットがピックアップペレットからの０１置ズレＭで記憶
された缶置記憶デーブ／Ｌ−とを参照してピックアップ
することＶこ」：す、ベレット耐１列の乱ズし舌による
誤まった列への移行防１１やウニ・・ペレットの形状に
無関係なピックアップができる」：うにし、そのため良
品ペレットの取り（にン・少々〈−支ることヲｎＪ能と
するものである。
テーブルとペレッ・１・月１２億テーブルと位置記憶デ
ープルとケイ］シ、良品ペレットのビックアップ移動に
つｉｔで認識範囲内に収まった複数べＩ／ットの形状判
別と位置検出と配列側ｎを行ってそ一ノデータを得、ベ
レット記１意デ、−プルに良品ベレットをその座標値で
ｄ１２憶さぜ、寸た位置記１λ＼テーブルに認識範囲内
の良品ペレットヲビックアップペレットのｆ’＋シ’、
ｆｊ′４″を・基準と１−た位置ズレ媚で記憶さぜる
。そして既に認識さｔ’ｔた良品ペレットり・すべて記
憶させたペレット記憶テーブルと認識範囲内の良品ペレ
ットヲ記１、（１さぜた位置記憶テーブルとを参照して
ピックアップすることにより、良品ペレットのみを効率
的にピックアップすることを〒１１能にするとともに、
ピックアップの優先順位テーブルと認識範囲夕）の良品
ペレッＩ・もすへでトド標値で記憶さズしたペレッｌ−
記Ｌｔ′５デープルと瞳１識１・１）、凹円の良品ペレ
ットがピックアップペレットからの０１置ズレＭで記憶
された缶置記憶デーブ／Ｌ−とを参照してピックアップ
することＶこ」：す、ベレット耐１列の乱ズし舌による
誤まった列への移行防１１やウニ・・ペレットの形状に
無関係なピックアップができる」：うにし、そのため良
品ペレットの取り（にン・少々〈−支ることヲｎＪ能と
するものである。
また本発明のベレッ１認識方法に−１，・いてＱ」１、
相関係数割３′１によって形状′Ｉ′ｌｌ別と（’Ｈ’
Ｉ ｉ＆ｉ検出をすることが好適である。ここで（１１
関係数泪３９とＱま人力テークと予め用意さｙｔた基’
ｔｌｐ、データとの相関係数奇・言１３１シ、泪３９回
路の出力から基ｔ（（データと最も・２クーンが一致す
る人力データを判定−４−ることである（本出願人の特
願１１７ｊ５６−２３８６８号参照つ。従来の形状判別
や位置検出には投影法を利用した認識処理方法があるが
、その方法の認識範囲ｄ４ケのベレッ＋−）ｌ：ｒｉ
Ｉ具の限界があり、また・そのノ５ ｒｂσ）言忍識ヰ
ｄ、ペレットの表面輝度や表面ノζター−・σ）・ダｌ
古りにより低−［・することが避１ｉｃ−）、Ｉｔない
。こノｕζ文・１して相関係数＊１１’＞ ｒｒｃよノ
］、は認識範囲カミよりν、く、／Ｊｌｌえて撮像出力
の変動によって認識率のイ■！Ｘ、−Ｉバカ（なｌ／）
。
相関係数割３′１によって形状′Ｉ′ｌｌ別と（’Ｈ’
Ｉ ｉ＆ｉ検出をすることが好適である。ここで（１１
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ｔｌｐ、データとの相関係数奇・言１３１シ、泪３９回
路の出力から基ｔ（（データと最も・２クーンが一致す
る人力データを判定−４−ることである（本出願人の特
願１１７ｊ５６−２３８６８号参照つ。従来の形状判別
や位置検出には投影法を利用した認識処理方法があるが
、その方法の認識範囲ｄ４ケのベレッ＋−）ｌ：ｒｉ
Ｉ具の限界があり、また・そのノ５ ｒｂσ）言忍識ヰ
ｄ、ペレットの表面輝度や表面ノζター−・σ）・ダｌ
古りにより低−［・することが避１ｉｃ−）、Ｉｔない
。こノｕζ文・１して相関係数＊１１’＞ ｒｒｃよノ
］、は認識範囲カミよりν、く、／Ｊｌｌえて撮像出力
の変動によって認識率のイ■！Ｘ、−Ｉバカ（なｌ／）
。
別の観点か１つみ゛でも、従来の認識処ＪｌｌてＬｒＪ
−Ｊ！２ Ｊｉ！′］σ９２値化処理による方法がある
が、この方法てＱｌ、被写体全体を均一な照ＩＷ下で認
識１７々けノ１、はム（、）、そのため光学系が商価に
なるとともに技術ｒ１４１にケ１「かしい。この方法に
幻して相関係数割詩に」： ｉ」、 ｆ＋；ｌ’、、２
（ｉ１′を化の必要がないから篩価な）１Ｃ学系はｌ
／）らない。
−Ｊ！２ Ｊｉ！′］σ９２値化処理による方法がある
が、この方法てＱｌ、被写体全体を均一な照ＩＷ下で認
識１７々けノ１、はム（、）、そのため光学系が商価に
なるとともに技術ｒ１４１にケ１「かしい。この方法に
幻して相関係数割詩に」： ｉ」、 ｆ＋；ｌ’、、２
（ｉ１′を化の必要がないから篩価な）１Ｃ学系はｌ
／）らない。
以−トに本発明の一実施例を１司而りｆ参照してハシ１
．明する。
．明する。
０！１図に示されるような複数ペレ、）について工業用
テレビフノメラなどの画像入力データＰ （Ｘ）（アナ
ログ信じあるいはテジタ７し信号）を得る。
テレビフノメラなどの画像入力データＰ （Ｘ）（アナ
ログ信じあるいはテジタ７し信号）を得る。
この人カテ゛−タＰ （ｘ）と・（クーンイ灸１−１１
）％＄と力るシ（準データＲ（Ｘ）とを相関係数係数回
路に導入（７、次式（１）に基く相関係＃！ ｆ（ｘ）
を割算する。
）％＄と力るシ（準データＲ（Ｘ）とを相関係数係数回
路に導入（７、次式（１）に基く相関係＃！ ｆ（ｘ）
を割算する。
但し １（：積分１す硅１１
ぞこで？１ら）１．た相関係数ｆ（ｘ）υＪ装１〜０〜
−−１σ）値となり、ｒ＋ＩＪで最ノ〈の基ｉ％Ｉノ々
クーンとの一致度をヌ１じ「ことになる。
−−１σ）値となり、ｒ＋ＩＪで最ノ〈の基ｉ％Ｉノ々
クーンとの一致度をヌ１じ「ことになる。
」、述（−たような相関係数割１′）にＪ、る形状１′
１１別、荀、１停検出においてに１１、入力データを正
月１．化［７′Ｃい）るため、パターン像の輝度に対応
−１−る信５士振幅、明るさに対応する内光成分の変化
にも十分な余裕をもってい、ろ。また、弓値化を１１う
必要がなく、相関係数には雑音面積／検出面積て鼾（音
が関係−シーるので、原理的に鼾（−８に対しても余裕
所・もっている、従ってパターン検出率の向」−と′７
／：定住が７ｊ」能である。なお、入力テークの縮少百
−行ったり泪算方法σ）」−夫乏・行うことに」；す、
ノ２り一ン処理１１．’１間ｆ−ｔｉ７縮することが可
能である。
１１別、荀、１停検出においてに１１、入力データを正
月１．化［７′Ｃい）るため、パターン像の輝度に対応
−１−る信５士振幅、明るさに対応する内光成分の変化
にも十分な余裕をもってい、ろ。また、弓値化を１１う
必要がなく、相関係数には雑音面積／検出面積て鼾（音
が関係−シーるので、原理的に鼾（−８に対しても余裕
所・もっている、従ってパターン検出率の向」−と′７
／：定住が７ｊ」能である。なお、入力テークの縮少百
−行ったり泪算方法σ）」−夫乏・行うことに」；す、
ノ２り一ン処理１１．’１間ｆ−ｔｉ７縮することが可
能である。
、ＩＪ、Ｉ、上の如く１−７で得らｉ”した相関係数は
、別Ｖこ指定した基準定数と比較することにより、複数
ペレ。
、別Ｖこ指定した基準定数と比較することにより、複数
ペレ。
１・の彰状判別と０７置検出を行いその配列を削９゛１
−る。
−る。
第１１シ１の杓数ベレットの相関係数荀ｘｌ豹し、相関
係数−７トす、クスを作成する。その係数グ）大きいも
のから順に（−’ｔ−の係数がイ＼゛装置していた位柩
、情報と夕１に）並へ換え、一番大きな係数が得らｉし
た係数とイ１ｙＩＨ？ｉ： ｌ”ｉ’ｉ報より第２図の
位置記憶テーブルにノ古？ｐイ、装置（ピックアップ 力向及びＹ方向のズレ■）を登録；する。こ６′）とき
係数が良否判定基準値」：す大きい」場合、第６図σ）
ベレットＦｊＬ ｌ：ｊ：ｊテーブルに良品であること
を登録１ノ％さらにＸ座標チーフル′１゛ＸとＹ ｌ’
ｌ＜ ｊ票テーブルＴｙへ現在のＸＹスーアーー〜ジの
ＸＹ座１３ｊｔｊ値を加豹］〜た良品ベレ，Ｉ・のｊ・
ｉ’ｒ ｌ’ｉ％ イ１ｔ１？ｉ２登録する。この様Ｖ
Ｃ順次繰返す。しかし１つのベレットに対して相関係数
は複数個のテークが得らノ１，乙のてε（４ ２図の位
置記憶テーブルＶＣＶよ最初σ）もσ）（相関係数（Ｉ
Ｃ【の−悉大きなもの９たけ登録−す゛る。
係数−７トす、クスを作成する。その係数グ）大きいも
のから順に（−’ｔ−の係数がイ＼゛装置していた位柩
、情報と夕１に）並へ換え、一番大きな係数が得らｉし
た係数とイ１ｙＩＨ？ｉ： ｌ”ｉ’ｉ報より第２図の
位置記憶テーブルにノ古？ｐイ、装置（ピックアップ 力向及びＹ方向のズレ■）を登録；する。こ６′）とき
係数が良否判定基準値」：す大きい」場合、第６図σ）
ベレットＦｊＬ ｌ：ｊ：ｊテーブルに良品であること
を登録１ノ％さらにＸ座標チーフル′１゛ＸとＹ ｌ’
ｌ＜ ｊ票テーブルＴｙへ現在のＸＹスーアーー〜ジの
ＸＹ座１３ｊｔｊ値を加豹］〜た良品ベレ，Ｉ・のｊ・
ｉ’ｒ ｌ’ｉ％ イ１ｔ１？ｉ２登録する。この様Ｖ
Ｃ順次繰返す。しかし１つのベレットに対して相関係数
は複数個のテークが得らノ１，乙のてε（４ ２図の位
置記憶テーブルＶＣＶよ最初σ）もσ）（相関係数（Ｉ
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この４）ｐ ｖこＩＶ数個のベレットの処理を終了１−
ると第２図のイｘ装置記憶デーフルにｖ」、良品ペレッ
トのみのｆ１胃占情報と配列がへ己憶さノ１、第６図σ
）ベレットパＣ憶テーブルにに［良品ペレットのＦトｌ
］ｊ’ｉ ６”と良品ベレ，１・を表わ寸フラッグ（
ｈｌ’，ｌ’１．ｌ ）とピックアップの状況（済、未
済９がｉｌｌ： ’ｌ’．じさｊしる。
ると第２図のイｘ装置記憶デーフルにｖ」、良品ペレッ
トのみのｆ１胃占情報と配列がへ己憶さノ１、第６図σ
）ベレットパＣ憶テーブルにに［良品ペレットのＦトｌ
］ｊ’ｉ ６”と良品ベレ，１・を表わ寸フラッグ（
ｈｌ’，ｌ’１．ｌ ）とピックアップの状況（済、未
済９がｉｌｌ： ’ｌ’．じさｊしる。
第４図及び第５図は、ピックアップの優先１１１ｔ’ｊ
位デープルである。第４１図はペレットビックア，プが
左取りの場合の優先＋１１１’ｉ位デープルであり、第
５図はピックアップ位ｉＰ１′（二重枠の位置〕の左側
Ｖこ良品ペレットが存在しないとき右１１′Ｊ．りをー
「る場合の優先１１１］’４位テーブルである。
位デープルである。第４１図はペレットビックア，プが
左取りの場合の優先＋１１１’ｉ位デープルであり、第
５図はピックアップ位ｉＰ１′（二重枠の位置〕の左側
Ｖこ良品ペレットが存在しないとき右１１′Ｊ．りをー
「る場合の優先１１１］’４位テーブルである。
そこでグイボンブイングのためＶζζペッツ灸ビ７クア
ッフ゛する９二しＪ、、第４図のノド月υす１脅−先）
１１自位ヴーブルＶこ従って、第２図の位１′１“２ｊ
ｔｉｔ２ ’臓デー”ノル（１）良品ベレットの存在
クー検索１−，、良品ペレットがイ「在したならＱ、１
、・そ−のｆ立）ｉ５゛記１，０、デーフル”’ ｉｉ
１２’１．＋ｉさ１Ｌでいる位置ズレ有ＩＸＹステージ
を移動さぜでそ（７）良品ペレ，１・不：ビ７，クアッ
プする。唱（−２）ｉ：ｆｕｌｌに良品ペレットが存在
しない場合ｖｃ ＬＪ第５図の右ＪＩＶ．り優つ１１−
： Ｉｌｌｔ’ｉ Ｇ’ｆデープルに従って第２１シｊ
の１１ン−高−ＩＨｊ意テーブルにより良品ペレットの
検索ピックアップを行う。
ッフ゛する９二しＪ、、第４図のノド月υす１脅−先）
１１自位ヴーブルＶこ従って、第２図の位１′１“２ｊ
ｔｉｔ２ ’臓デー”ノル（１）良品ベレットの存在
クー検索１−，、良品ペレットがイ「在したならＱ、１
、・そ−のｆ立）ｉ５゛記１，０、デーフル”’ ｉｉ
１２’１．＋ｉさ１Ｌでいる位置ズレ有ＩＸＹステージ
を移動さぜでそ（７）良品ペレ，１・不：ビ７，クアッ
プする。唱（−２）ｉ：ｆｕｌｌに良品ペレットが存在
しない場合ｖｃ ＬＪ第５図の右ＪＩＶ．り優つ１１−
： Ｉｌｌｔ’ｉ Ｇ’ｆデープルに従って第２１シｊ
の１１ン−高−ＩＨｊ意テーブルにより良品ペレットの
検索ピックアップを行う。
１ノｒっで１＋−Ｉｔンリ又はＩ−１取りのビツクア，
ツブ進行力向とビック−アップ列の！ｔｉ制御υ制御箱
４図及び５図の優りｒ； ｌｌｌｔｉ（１’ｔデープル
と第２図の位ｉ，７，：記″ｌｔ”１テーブルに」、ツ
でなさハ、、１：Ｊ品ペレ，１−の取残しクニ少なく（
−、効率のよいクイポンティング作業が実現される。
ツブ進行力向とビック−アップ列の！ｔｉ制御υ制御箱
４図及び５図の優りｒ； ｌｌｌｔｉ（１’ｔデープル
と第２図の位ｉ，７，：記″ｌｔ”１テーブルに」、ツ
でなさハ、、１：Ｊ品ペレ，１−の取残しクニ少なく（
−、効率のよいクイポンティング作業が実現される。
次ｒＬ詔ｊｉＦｊｌ，範囲内−（Ａわち第２１゛ン１の
６シー置記１ドアー〜フル内に良品ペレ，１・の情報が
イイ在（−ない場合（心は、第６図のペレ，１・ｊｊｌ
’．： ｔｔ：Ｙデーブルク・参照し、Ｌ；−Ｊ、前に
良品ベレ２１冑二認識さハ，たーζし，１・位１１べに
ＸＹスｊ−・／が移動する。この移動は」Ｊ（、化ステ
ー７（ｙ装置から！尼も近い良品ペレットの位置が選択
される。ベレットＦｉ１２１’．τ：ｔテーブル内Ｖζ
も良品ペレットがＴｒ’ ｒｔ シ２（：い場合このウ
エノ・ｆついてピックアップが終了１７ブとものと判別
できる。
６シー置記１ドアー〜フル内に良品ペレ，１・の情報が
イイ在（−ない場合（心は、第６図のペレ，１・ｊｊｌ
’．： ｔｔ：Ｙデーブルク・参照し、Ｌ；−Ｊ、前に
良品ベレ２１冑二認識さハ，たーζし，１・位１１べに
ＸＹスｊ−・／が移動する。この移動は」Ｊ（、化ステ
ー７（ｙ装置から！尼も近い良品ペレットの位置が選択
される。ベレットＦｉ１２１’．τ：ｔテーブル内Ｖζ
も良品ペレットがＴｒ’ ｒｔ シ２（：い場合このウ
エノ・ｆついてピックアップが終了１７ブとものと判別
できる。
な停、良品ペレットがピックアップさ力またとき１／Ｃ
Ｌｔ第６［之ｌのペレ，１・ｈ１土（τテーフ゛ルの
ビ７クア。
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ビ７クア。
〕状況ｄ、済の標識がイ・］さｆ’Ｌる。ビックア，フ
ゴ′［業客・数回実行１−だ＆ｊ’ｘＩＬども粘着シー
トの粘着力のバラツキなどによりピックアップてきな刀
・つたとき（・よ、べ１／ツト！ｊ１４ Ｊ’．ぴチー
フルのピックアップ状況を（ｎ ］］ＷＢｆｉＨＣＦ
＝ ｉｌ−シ’ｃノヘＬ／ 、ｌノ−二°ツク７ 、、
フ”（’（ｆ′ｌ−街中什して敗残−ＦとともＶＣ次
回のビック−〕′ツソ作業Ｃ」禁１−１−するσ）が」
、い。
ゴ′［業客・数回実行１−だ＆ｊ’ｘＩＬども粘着シー
トの粘着力のバラツキなどによりピックアップてきな刀
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＝ ｉｌ−シ’ｃノヘＬ／ 、ｌノ−二°ツク７ 、、
フ”（’（ｆ′ｌ−街中什して敗残−ＦとともＶＣ次
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本発明＆ｉ二．Ｊ．：／ｌ−は ＜’Ｊイボンダ等の多
数配回さ七たベレッ１ン］ｅ識する方法に１，・いＣ次
の」、つな効！．’： ’（Ｔ： ２￥”げることかで
きた。
数配回さ七たベレッ１ン］ｅ識する方法に１，・いＣ次
の」、つな効！．’： ’（Ｔ： ２￥”げることかで
きた。
（ｉ゛）良品ぺし／ットの→のピックアップがわ１；げ
で行わ肛るので、むノＣのない高床ダイポンプインクと
なるとともｐｔ二、ポンチインクｆ′１診１中１埃が同
一速度ででき、ベレットの受けるべ゛！９的劣化も（ｉ
ｌｒｉｒｌｌｌできる。
で行わ肛るので、むノＣのない高床ダイポンプインクと
なるとともｐｔ二、ポンチインクｆ′１診１中１埃が同
一速度ででき、ベレットの受けるべ゛！９的劣化も（ｉ
ｌｒｉｒｌｌｌできる。
■ ぺＬ・ットの配列の乱．１１，などシこ、■、リベ
レ，ｌ・収１１）率の低下などがなく、良品ベレッ）・
の取残しが減少する。
レ，ｌ・収１１）率の低下などがなく、良品ベレッ）・
の取残しが減少する。
■ このペレット認識方法に」、るとウニ・・周辺の検
出が不要となり、またペレ，ｌ・の形状ウエノ・の形状
に無関係であり汎用性のあるダイホンダ装置が（１／Ｎ
成できる。
出が不要となり、またペレ，ｌ・の形状ウエノ・の形状
に無関係であり汎用性のあるダイホンダ装置が（１／Ｎ
成できる。
第１図Ｖ」、本発明しく−おいて言１Ｐ識の利象となＺ
）複数ペレッ］・の配列状態を説［ｊ、ｌＪｉる］′／
、１、第２Ｎｄ、本発明ＶＣ、ｔ、−’ｔ−Ｊル（ｉ＞
−置記憶ｉ−フルの説明図、ｒｆｙ ３図（６１回しく
−、レット記憶デーフルの’Ｎ、ｉｉ、明図、第４図及
び第５図に、回しぐ優先順位テーフ′ルの説明図である
。 １・・ベレ、１・。 第１図 ロロロ ロロロ 日口口 ２（・、４図 第５図 ■・
）複数ペレッ］・の配列状態を説［ｊ、ｌＪｉる］′／
、１、第２Ｎｄ、本発明ＶＣ、ｔ、−’ｔ−Ｊル（ｉ＞
−置記憶ｉ−フルの説明図、ｒｆｙ ３図（６１回しく
−、レット記憶デーフルの’Ｎ、ｉｉ、明図、第４図及
び第５図に、回しぐ優先順位テーフ′ルの説明図である
。 １・・ベレ、１・。 第１図 ロロロ ロロロ 日口口 ２（・、４図 第５図 ■・
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ダイボンダ笠における配列させた多数ペレットのな
か力・ら順次良品ペレッｌ−ｆピックアップするための
ペレット認識方法に赴いて、ピックアップ移動につれて
認識範囲内に収まった複数ペレットの形状判別と位置検
出と配列割算を逐次行ってデータを得た後、ピックアッ
プの優先順位テーブルに従って該複数ペレッ１、がら１
個＋７）ペレットをピックアップするとともに、該ピッ
クアップペレット以外の良品ペレッ）を座標値で記憶す
るペレット記憶チーフルと、該ピックアップペレット以
夕１の認識範囲内に存在する良品ペレットヲ該ピックア
ップペレットの位ｔ６を基準とした位置すれ量で記憶す
る位１６記憶テーブルとに夫々前記データを格納し、上
記優先１ｊｎ［位テーブルと上記ペレット記憶テーブル
と」−記位置記憶デーブルとり：参照゛１−ることＵこ
Ｊ、す、Ｉｌｌ＋’ｉ次良品ペレットのみンービックア
ッグすることｇ： ！１、胃１文と−するペレｙ１・認
識方法。 ２ 相関係数欠削ｑすることにより、形状判別と位置検
出を行う、特許請求の範囲第１項ｎ１ｗ載のペレット認
識方法。 ろ 相関係数７トリツクスを大きい係数個順に並べ、最
大の係数値が１１Ｉらノシたビックフ゛ツブペレットの
位ア１°孕基準にして配列ｎ１３９り、する、！１！を
許請求の範囲第１項記載のベレッ！・認識方法。 ４ ピックアップの優先順位デーフルと位置記憶テーブ
ルの６ン置情報とにより、ピックアップの進行方向と列
を制御し、ＩＩＩ＋′４□次良品ペレットのみピックア
ップをする特許請求の範囲第１項記載のペレット認識方
法。 ５ 認識範囲内に良品ぺ、レットが存在１〜ない場合、
ペレット記憶テーブルを参照して以前に良品ペレットと
判定さｆした座標値に復帰１〜た後、ｌｌＴｈ’ｊ次良
品ペレ、１・のみピックアップする、！Ｉ！１８′已ｉ
’ｉ求の１１１）間第１ ＪＪ：ｉ記載のベレット認識
力法。 ６ 認識範囲内に良品べ［／ットが０在せず、またペレ
ット記憶デープルにも良品ペレットが台在しない場合、
ピックアップ作業の終了を検１１旨する、特許請求の範
囲第１項記載のペレット認識方法。 ７ 良品ペレット全ピックアップしたが、ピックアップ
ができな力・った場合、ペレット記憶テーブルを修正］
−で、以後当該ピ、クア、ツブでキナかったペレットの
ビックア、ツブ？ｉ：禁止する、特許請求の範囲第１項
記載のベレット認識力法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163827A JPH0722166B2 (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 |
| DE8383109392T DE3381543D1 (de) | 1982-09-22 | 1983-09-21 | Verfahren zur erkennung von kuegelchen-mustern. |
| US06/534,496 US4543659A (en) | 1982-09-22 | 1983-09-21 | Method for recognizing a pellet pattern |
| EP83109392A EP0108893B1 (en) | 1982-09-22 | 1983-09-21 | A method for recognizing a pellet pattern |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163827A JPH0722166B2 (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954236A true JPS5954236A (ja) | 1984-03-29 |
| JPH0722166B2 JPH0722166B2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=15781489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57163827A Expired - Lifetime JPH0722166B2 (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ダイボンダ等におけるペレツト認識方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4543659A (ja) |
| EP (1) | EP0108893B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0722166B2 (ja) |
| DE (1) | DE3381543D1 (ja) |
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| DE3728818A1 (de) * | 1987-08-28 | 1989-03-16 | Muet Gmbh | Anordnung zum ermitteln und beseitigen von fertigungsfehlern einer elektrischen baugruppe |
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- 1982-09-22 JP JP57163827A patent/JPH0722166B2/ja not_active Expired - Lifetime
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1983
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- 1983-09-21 EP EP83109392A patent/EP0108893B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-09-21 DE DE8383109392T patent/DE3381543D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0108893A2 (en) | 1984-05-23 |
| US4543659A (en) | 1985-09-24 |
| DE3381543D1 (de) | 1990-06-13 |
| JPH0722166B2 (ja) | 1995-03-08 |
| EP0108893B1 (en) | 1990-05-09 |
| EP0108893A3 (en) | 1987-06-03 |
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