JPS5957366A - パタ−ン検査方法 - Google Patents
パタ−ン検査方法Info
- Publication number
- JPS5957366A JPS5957366A JP57167504A JP16750482A JPS5957366A JP S5957366 A JPS5957366 A JP S5957366A JP 57167504 A JP57167504 A JP 57167504A JP 16750482 A JP16750482 A JP 16750482A JP S5957366 A JPS5957366 A JP S5957366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- logic
- gate
- defect
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１） 発明の技術分野
本発明はパターン検に方式、時に光学的に検知したパタ
ーンを記憶装置に蓄え、該パターンが正常か異常か全検
査する方式に関する。
ーンを記憶装置に蓄え、該パターンが正常か異常か全検
査する方式に関する。
（２） 従来技術と問題点
現在、パターン検査方法が各種開発されているが、検査
対象であるパターンが増々多様化して来ている。
対象であるパターンが増々多様化して来ている。
このような多様化したパターンに対して、従来の単純な
パターンに採用されてぃ／こ倹食方法を採用したのでは
正置′なパターンをも欠陥のあるパターンとみなして誤
動作をするという問題点があった。
パターンに採用されてぃ／こ倹食方法を採用したのでは
正置′なパターンをも欠陥のあるパターンとみなして誤
動作をするという問題点があった。
即ち従来の検査方法はいわば十字形方法であって、第１
図（１）に示すようにＸ方向とｙ方向に連続する論理「
ｏ」の数を計測し、「ｏ」の数が特定の範囲α＜Ｘ＜β
γ＜ｙ＜δにあれば該パターンは正常であると判定し
ていた。しかしこの十字形検査方法によると、第１図（
２）に示すように、Ｌ形のパターンＰを検査する場合に
、全体としてｒよ正常であるにもかかわらず縁部の微小
な四部りにおいても、方向ｌにおける論理１０」の数は
止冨範囲を越えていると判断しこのパターンＰは欠陥で
あるとみなしてし゛まう。
図（１）に示すようにＸ方向とｙ方向に連続する論理「
ｏ」の数を計測し、「ｏ」の数が特定の範囲α＜Ｘ＜β
γ＜ｙ＜δにあれば該パターンは正常であると判定し
ていた。しかしこの十字形検査方法によると、第１図（
２）に示すように、Ｌ形のパターンＰを検査する場合に
、全体としてｒよ正常であるにもかかわらず縁部の微小
な四部りにおいても、方向ｌにおける論理１０」の数は
止冨範囲を越えていると判断しこのパターンＰは欠陥で
あるとみなしてし゛まう。
（３）発明の目的
本発明の目的は、パターン検査を井形に行うことにより
、多様化したパターンを正確に検査し正常なパターンを
欠陥とする誤動作を防止することにある。
、多様化したパターンを正確に検査し正常なパターンを
欠陥とする誤動作を防止することにある。
（４）発明のｌ１成
本発明によれば記憶装置ｋに蓄えられたパターンを互い
に垂直な２つの方向に走査するセンサにより検査するパ
ターン検査方法において、上記２方向に平行に走査する
センサを各方向にそれぞれ少なくとも２つ設けて各セン
サによって論理「０」が連続している故を計測し、同方
向のセンサの論理「０」の数の差が所定の値以下の場合
に２方向の各センナの論理「０」の数が所定の上限値以
下であり、かつ下限値以上であるか否かによりパターン
に欠陥があるか否かを検査することｉｗ徴とするパター
ン検査方法が提供される。
に垂直な２つの方向に走査するセンサにより検査するパ
ターン検査方法において、上記２方向に平行に走査する
センサを各方向にそれぞれ少なくとも２つ設けて各セン
サによって論理「０」が連続している故を計測し、同方
向のセンサの論理「０」の数の差が所定の値以下の場合
に２方向の各センナの論理「０」の数が所定の上限値以
下であり、かつ下限値以上であるか否かによりパターン
に欠陥があるか否かを検査することｉｗ徴とするパター
ン検査方法が提供される。
（５）発明の実施例
以下、本発明を実施例により添付図面を参照して説明す
る。
る。
第２図は本発明に係るパターン検査方法の概念図であり
、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄはそれぞれセンサで計測される論理「
ＯＪＯ数である。
、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄはそれぞれセンサで計測される論理「
ＯＪＯ数である。
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄについて次の（１）式の条件が満足され
かつ（２）式の条件が満足しないとき、検査対象である
パターンに欠陥がある。
かつ（２）式の条件が満足しないとき、検査対象である
パターンに欠陥がある。
ＩＡ−Ｂｌ≦αかつＩｃ−ＤＩ≦α ・・・・・・（
１）上記（１）（２）式を内容とする本発明方法を実施
するための回路構成図を第３図に示す。
１）上記（１）（２）式を内容とする本発明方法を実施
するための回路構成図を第３図に示す。
減痒器ｔｏ、ｉｔはそれぞれＩＡ−Ｂ１．ＩＣ−ＤＩを
計算する。比較器２０．２１はそれぞれＩＡ−８１とα
Ｉｃ−ＤＩと（χとを比較する。′また第１アンドゲー
ト３０は上記（１）式が満足されるか否か判断する。そ
して各上限比較器Ｕと下限比較器りはＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄが
（２）代金それぞれ満足するか否かを判のテする。最後
の第２アンドゲート５０はｈ ｉｉ’ｒ ｍ ＊ ＜２
）式共にン角足されるか否かを判断する○ 次に上記回路の動作全説明する。
計算する。比較器２０．２１はそれぞれＩＡ−８１とα
Ｉｃ−ＤＩと（χとを比較する。′また第１アンドゲー
ト３０は上記（１）式が満足されるか否か判断する。そ
して各上限比較器Ｕと下限比較器りはＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄが
（２）代金それぞれ満足するか否かを判のテする。最後
の第２アンドゲート５０はｈ ｉｉ’ｒ ｍ ＊ ＜２
）式共にン角足されるか否かを判断する○ 次に上記回路の動作全説明する。
各センサで８１側された論理「０」の数は各減算器ｔｏ
、ｉｔに供給されＩＡ−Ｂ１．ＩＣ−ＤＩがＲＨＷされ
る。この計算は比較器２０．２１に入力される。ＩＡ−
Ｂｌ≦α、ＩＣ−１）ｌ≦（ｔのｊ烏合にＶｉｉｉｌｉ
ｉｉ理「ｌ」が出力され・それぞれ第１アンドゲート３
０に入力される０人力が共に：ｒＩＪである、即ち（１
）式を満たすので論理「１」の出力は第２アントゲ−１
・５０に供給される。
、ｉｔに供給されＩＡ−Ｂ１．ＩＣ−ＤＩがＲＨＷされ
る。この計算は比較器２０．２１に入力される。ＩＡ−
Ｂｌ≦α、ＩＣ−１）ｌ≦（ｔのｊ烏合にＶｉｉｉｌｉ
ｉｉ理「ｌ」が出力され・それぞれ第１アンドゲート３
０に入力される０人力が共に：ｒＩＪである、即ち（１
）式を満たすので論理「１」の出力は第２アントゲ−１
・５０に供給される。
一方、Ａ、 ！己、Ｃ，Ｄの値は上限比較器Ｕ、丁眠比
較器ｆ７に入りされ、欠陥のあるとき即ち（２）式がＷ
％足されないときはＵ、Ｌの出力は論理「０」となりナ
ンドゲ−１・４０で反転されて論理１１」がル２アンド
ゲート５０へ入力される。
較器ｆ７に入りされ、欠陥のあるとき即ち（２）式がＷ
％足されないときはＵ、Ｌの出力は論理「０」となりナ
ンドゲ−１・４０で反転されて論理１１」がル２アンド
ゲート５０へ入力される。
従ってに１シ２ア：／トゲー１−５０は、パターンに欠
（慟があるとき、論１．；ｄ ｌ’ Ｉ Ｊ ｆ出力す
る。
（慟があるとき、論１．；ｄ ｌ’ Ｉ Ｊ ｆ出力す
る。
（６）発明の効果
本発明によれば、渠４図に示す如くＡとＢの差が大きい
場合ニ（１）式を満足せず正常パターンと判断するよう
に、複雑なパターンでも誤動作゛すること々く、パター
ン検ｆ：精１ｙが向−トする。
場合ニ（１）式を満足せず正常パターンと判断するよう
に、複雑なパターンでも誤動作゛すること々く、パター
ン検ｆ：精１ｙが向−トする。
第１図は従来技術の説明図、第２図は本発明に係るパタ
ーン検査方法の概念図、稟３図は第２図の方法を実施す
るための回路構成図、＠４図は本発明の効果説明図であ
る。 １０．１１・・・・・・減算器、２０．２１・・・・・
・比較器、３０・・・・・・第１アンドゲート、４ｏ・
旧・・ナントゲート、５０・・・・・・第２了ンドゲー
ト。 ！階軒出願人 富士通株式会に１： 特許出願代理人 弁理士 背 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 １）幸 男 弁理士 山 口 昭 之 ！’、’５１ １乎１ ３１′・ｊ ：：’、 ４１ ＋
ーン検査方法の概念図、稟３図は第２図の方法を実施す
るための回路構成図、＠４図は本発明の効果説明図であ
る。 １０．１１・・・・・・減算器、２０．２１・・・・・
・比較器、３０・・・・・・第１アンドゲート、４ｏ・
旧・・ナントゲート、５０・・・・・・第２了ンドゲー
ト。 ！階軒出願人 富士通株式会に１： 特許出願代理人 弁理士 背 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 １）幸 男 弁理士 山 口 昭 之 ！’、’５１ １乎１ ３１′・ｊ ：：’、 ４１ ＋
Claims (1)
- 記憶装置に蓄えられたパターンを互いに垂直な２つの方
向に走査するセンサにより検査するパターン検薩方法に
おいて、上記２方向に平行に走査するセンｆを各方向に
それぞｔ″Ｌ少なくとも２つ設けて各センサによって論
理「０」が連続している数を計測し、同方向のセンサの
論理「０」の数の差が所定の値以下の場合に２方向の各
センサの論理「０」の数が所定の上限値以下であり、か
つ下１（ｆｌ値以上であるか否かによシバターンに欠陥
があるか否かを検査することを特徴とするパターン検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57167504A JPS5957366A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | パタ−ン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57167504A JPS5957366A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | パタ−ン検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5957366A true JPS5957366A (ja) | 1984-04-02 |
Family
ID=15850906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57167504A Pending JPS5957366A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | パタ−ン検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5957366A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5042619A (en) * | 1988-09-21 | 1991-08-27 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Commodity data reading apparatus |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP57167504A patent/JPS5957366A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5042619A (en) * | 1988-09-21 | 1991-08-27 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Commodity data reading apparatus |
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