JPS5961157A - キヤリヤテ−プの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体集積回路（ＩＣ）素子用リード線を供給
するためのキャリヤテープの製造方法に関するものであ
る。

ＩＣ素子上の電極と外部リードとの接続は、ワイヤーボ
ンディングで行なうのが一般的であるが、近年ＩＣ素子
の実装を自動化するため、第１図に示すようなキャリヤ
テープを用いるようになってきた。

このキャリヤテープは２００μ程度又はそれ以下の厚さ
の銅、鉄、鉄−ニッケル合金等の金属箔テープ１の両縁
部にスプロケット孔２と中央部に複数の微細リード３の
集合体であるフィンガーリードを長手方向に多数組連続
的に形成し、必要に応じて表面を金、錫等で被覆したも
ので、このフィンガーのインナーリードをＩＣ素子上の
電極に重ね合せて一括ボンディングする方法で多数のＩ
Ｃ素子を前記テープに取付けておき、次いでアウターリ
ードを一括切断して所要の外部リードに接続するように
使用される。その際、スプロケット孔２は上記一括ボン
ディングと一括切断の位置合せに用いられる。

このようなキャリヤテープの製造は基本的には従来の連
続的フォトエツチングを適用し得るが、テープ厚が通常
の素材に比べて極めて薄く、特別の配慮が必要である。

例えば通常の素材の場合、先ずスプロケット孔を設け、
これをテープ送りと露光位置合せに用いることができる
が、金属箔テープに、この方法を適用するとスプロケッ
ト孔２が変形してＩＣ素子の一括ボンディングを正確に
行なうことができなくなる。このため、金属箔テープの
送りをピンチローラ−で行なうようにしていた。ところ
が、この方法によると折角、精密パターンで露光したフ
ォトレジストをローラーテ押すため、潜像パターンが変
形し、駅、像したとき所要のスプロケット孔及びフィン
ガーリード用のパターンが変形してしまう欠点があった
。

このような欠点を解消するには米国特許第４，２２７．
９８３号に記載の方法のように、所要のキャリヤテープ
幅より広幅の金属箔テープを素材とし、余白部をグリッ
プローラーで挾んで送るようにすれば良い。しか１７な
がら、フォトレジストを塗布した金に１箔テープに連続
的に露光する場合、位置決めをグリップローラーの送り
とローラーガイドで行なうとスプロケット孔及びフィン
ガーリードを１組とする各組閣で距離の不揃いや、方向
の不揃いが生じ易い。これはグリップローラーの送り精
度及びローラーガイドと金属箔テープとのクリアランス
に寄因する。各組閣の距離及び方向の不揃いが大き過ぎ
るとＩＣ素子の一括ボンディングの際、スプロケット孔
２で位置は多少修正されるものの修正途中でボンディン
グされてしオうことになる。こｎを避けるにはボンディ
ングの位置合せに要する時間を長くする以外にはない。

本発明は、とのような従来の欠点を除去するもので、ス
プロケット孔用パターン及びフィンガーリード用パター
ンの方向が正確に揃えられ、かつ各組閣の距離が一定の
キャリヤテープを製造する方法を提供するものである。

以下本発明の一実施例を図面により詳細に説明する。

第２図は本発明キャリヤテープの製造方法における各工
程の一実施例を説明するための図で、（Ａ）乃至（Ｇ）
はその金絹箔テープの変化の様子を断面で示１７たもの
である。第２図に示すように、素材の金属箔テープ４は
キャリヤテープの所要幅の両側に位置合せ用貫通孔を形
成し得る幅を有するものを用いる（人工程）。この金属
箔テープ４に先ずプレス加工によυテープ両縁部に一定
間隔の貫通孔５を形成する（Ｂ工程）。テープ４の送り
はグリップローラー等で行なわ才りるが、プレス金型後
工程に位置決めピンを設けておけば貫通孔５の間の距離
及びテープ幅方向のずれは最少限に避けられる。次いで
、このテープ４の両面全面にフォトレジスト６を塗布す
る（Ｃ工程）。フォトレジストにはネガ型、ポジ型があ
るが、露光マスクを何れかの種類に合わせたものを用い
れば、どちらでも差支えない。レジスト６を塗布した金
属箔テープ４は所要のマ、スクを用いて両面露光し、レ
ジスト６の層にスプロケット孔用パターン７、フィ（第
　７　酊） ンガーリード用パターン８及びスプロケット孔用パター
ン７の両外側にスリットパターン９の潜像を形成する（
Ｄ工程）。露光後、感光した又は感光していないレジス
トを溶解除去しくこれを現像と称する。Ｅ工程）、両面
からエツチング液を噴射すれば露出金属部が溶解されて
表裏貫通する（Ｆ工程）。エツチング後、残留フォトレ
ジスト６を除去し、両側のプレス貫通孔５を有する部分
のテープを別々に巻き取って分離すれば、中央部１０　
（Ｉｉ第１図に示すようなキャリヤテープとなる（Ｇ工
程）。

これらの各工程は連続して行なっても良いし、各工程毎
に、又はいくつかの工程に分割して行なっても良い。な
お、上記工程中、プレス工程及び露光工程は間欠送りを
必要とするが、これらを連続し７た工程中で行なう場合
は各工程の前後で金属箔テープをたる１せておくように
すればよい。父上訂臂丁程における（Ｉ３）工程と（Ｃ
）　Ｉｎ稈は順序を入れ替えても差支えない。即ら、先
ず金属箔テープ４の両面全面にフォトレジストアを塗布
し、次いでプレス加工によりテープ両縁部に一定間隔で
貫通孔５を形成するようにするのである。このようにし
ても露光の位置合せに何ら支障はなく、貫通孔５の内面
はレジスト６で被覆されていないので、エツチング工程
（Ｆ）で、その両面がエツチングされ孔径は拡大するが
、この貫通孔５は既に不用となっているので一向構わな
い。父上記（Ｃ）工程のレジスト塗布を全面でなく、所
要幅より幾分か広い範囲としても良いことは容易に了解
し得る。

上記の実施例は金属箔テープから１本のキャリヤテープ
を製造する場合について述べたが、複数本のキャリヤテ
ープを同時に製造するには複数本分の幅より広幅の金属
箔テープを用い、露光において幅方向に複数組のスプロ
ケット孔用パターン、フィンガーリード用パターン及び
各組閣とスプロケット孔用パターンの両外側とに切離し
用スリットパターンを有するフォトマスクを用いれば良
い。

又、一度の露光でテープ長手方向に複数組のスプロケッ
ト孔用パターン及びフィンガーリード用パターンを露光
することも可能である。　　　・（第　９　頁） 以上詳細に説明したように、本発明によればスプロケッ
ト孔及びフィンガーリードの各組閣の距離及び方向が正
確に揃ったキャリヤテープが製造できるようになり、ボ
ンディング速度の向上とボンディングの低下に犬き々効
果がある。

【図面の簡単な説明】 第１図はキャリヤテープの説明図、第２図は本発明キャ
リヤテープの製造方法における各工程の一実施例を示す
説明図である。 ４・・・金属箔テープ素材、５・・・スプロケット孔、
６・・・フォトレジスト。 ＾　　　　へ　　　　＋−／−，１６へ０：１　　　　
　む　　　　Ｑ　　　　頃　　　　頃　　　　っ２６０

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）テープの両縁部にスプロケット孔を、中央部にフ
   ィンガーリードを多数組連続的に形成したキャリヤテー
   プを製造する方法において、所要のテープ幅より広い金
   属箔テープを素材とし、該金属箔テープの両縁部にプレ
   ス打抜きで一定間隔の貫通孔を形成する工程及び該テー
   プの全面又は所要幅より広く、かつ両面にフォトレジス
   トを塗布する工程を行なった後、前記貫通孔を用いて位
   置合せし、スプロケット孔用パターン、フィンガーリー
   ド用パターン及び該スプロケット孔用パターンの両外側
   に切離し用スリットパターンを両面露光し、感光した又
   は感光していないレジストのみを除去した後、露出金属
   部をエツチングし、残留レジストを除去し最後に両縁部
   を分離することを特徴とするキャリヤテープの製造方法
   。
2. （２）テープの両縁部にスプロケット孔を、中央部にフ
   ィンガーリードを多数組連続的に形成したキャリヤテー
   プを製造する方法において、所要のテープ複数本分の幅
   より広い金属箔テープを素材とし、該金属箔テープの両
   級部にプレス打抜きで一定間隔の貫通孔を形成する工程
   及び該テープの全面又は所要幅より広く、かつ両面にフ
   ォトレジスタを塗布する工程を行なった後、前記貫通孔
   を用いて位置合せし、テープ幅方向に複数組のスプロケ
   ット孔用パターン、フィンガーリード用パターン及び各
   組閣とスプロケット孔用パターンの両外側とに切離し用
   スリットパターンを両面露光し、感光した又は感光して
   いないレジストのみを除去した後、露出金属部をエツチ
   ングし、残留レジストを除去し、最後に両縁部及び複数
   本のキャリヤテープを分離して同時に複数本が得られる
   ようにしたキャリヤテープの製造方法。
3. （３）両面露光工程において、金属箔テープ長手方向に
   複数組のスプロケット孔用パターン及びフィンガーリー
   ド用パターンを同時に露光することを特徴とする特ｒｒ
   請求の範囲第１項又は第２項記載のキャリヤテープの製
   造方法。