JPS5969732A - 薄膜型２次元フオ−カシング装置 - Google Patents
薄膜型２次元フオ−カシング装置Info
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- JPS5969732A JPS5969732A JP57180257A JP18025782A JPS5969732A JP S5969732 A JPS5969732 A JP S5969732A JP 57180257 A JP57180257 A JP 57180257A JP 18025782 A JP18025782 A JP 18025782A JP S5969732 A JPS5969732 A JP S5969732A
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- JP
- Japan
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- waveguide
- grating
- lens
- thin film
- voltage
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
- G11B7/08547—Arrangements for positioning the light beam only without moving the head, e.g. using static electro-optical elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/123—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
- G11B7/124—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides
- G11B7/1245—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides the waveguides including means for electro-optical or acousto-optical deflection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の分野
この発明は各種の光応用機器に利用されるフォーカシン
グ装置に関し、特に、焦点位置が可変で２次元のフォー
力シングの可能なグレーティングレンズを用いた薄膜型
の装置に関づる。
グ装置に関し、特に、焦点位置が可変で２次元のフォー
力シングの可能なグレーティングレンズを用いた薄膜型
の装置に関づる。
（２）発明の背景
周知のように、レーザから出射されるレーザ光は位相の
そろったコヒーレントな光であり、このコヒーレント特
性のゆえに種々の計測に使用されており、また光通信等
にも利用されている。
そろったコヒーレントな光であり、このコヒーレント特
性のゆえに種々の計測に使用されており、また光通信等
にも利用されている。
レーザ“光のビーム径を絞るためにはレンズが使用され
ている。レンズは、例えば通常の凸レンズでは、レーザ
光のビームを数μｍＰｉＩｇＩまで絞り込める。この絞
り込みは２次元的に行なえる。これに対して２次元のフ
ォー力シングが行なえないレンズ′としては例えば、カ
マボコレンズ（シリンドリカルレンズ）があり、このレ
ンズで・は光ビームを一方向にしか絞り込めない（１次
元の）Ａ−力レンズしか行なえない）。
ている。レンズは、例えば通常の凸レンズでは、レーザ
光のビームを数μｍＰｉＩｇＩまで絞り込める。この絞
り込みは２次元的に行なえる。これに対して２次元のフ
ォー力シングが行なえないレンズ′としては例えば、カ
マボコレンズ（シリンドリカルレンズ）があり、このレ
ンズで・は光ビームを一方向にしか絞り込めない（１次
元の）Ａ−力レンズしか行なえない）。
現在、レーザ光の２次元のフォーカシングはしンズのみ
によって行われている。２次元のフォーカシングを行な
えることがレンズの最大の長所であるが、レンズには次
のような欠点も指摘されている。
によって行われている。２次元のフォーカシングを行な
えることがレンズの最大の長所であるが、レンズには次
のような欠点も指摘されている。
（Ａ）・・・焦点距離が一定であり、焦点距離を変える
ことができない。
ことができない。
（Ｂ）・・・そのため物体の移動等に合せ（焦点を移動
させる必要がある場合、レンズを移動させな１）ればな
らず、レンズ系の移動機構おＪ、び駆動機構が必要とな
る。
させる必要がある場合、レンズを移動させな１）ればな
らず、レンズ系の移動機構おＪ、び駆動機構が必要とな
る。
（Ｃ）・・・レンズ系の移動機構おＪ：び駆動機構は決
して小さなものではないし、レンズ自体Ｊ３よびそのホ
ルダも決してコンバク１−なものではなく、従ってフォ
ーカシング装置全体としては相当に大型の装置にならざ
るを嵜ず、また部品点数も多く高価なものとなってしま
う。
して小さなものではないし、レンズ自体Ｊ３よびそのホ
ルダも決してコンバク１−なものではなく、従ってフォ
ーカシング装置全体としては相当に大型の装置にならざ
るを嵜ず、また部品点数も多く高価なものとなってしま
う。
レーザビームをコンパクトな装置で絞り込もうとすれば
、上述のような通常のレンズに替えて、薄膜光導波路上
に作成されたグレーティングレンズを用いることが考え
られる。しかし、従来のグレーティングレンズでは上記
カマボコレンズと同様に１次元のみのフォーカシングし
か行なえず、また焦点位置も一定となってしま・う。
、上述のような通常のレンズに替えて、薄膜光導波路上
に作成されたグレーティングレンズを用いることが考え
られる。しかし、従来のグレーティングレンズでは上記
カマボコレンズと同様に１次元のみのフォーカシングし
か行なえず、また焦点位置も一定となってしま・う。
（３）発明の目的
この発明の目的は、通常のレンズと同様な２次元の光ビ
ームの絞り込み（）Ａ−カシング）が行なえるどともに
、かつ焦点位−を変化させることができる装置で、しか
も従来のようなレンズの移動ａ３よび駆動系が必要なく
、コンパクトにこれを実現づることのできるフォーカシ
ング装置を提供Ｊることにある。
ームの絞り込み（）Ａ−カシング）が行なえるどともに
、かつ焦点位−を変化させることができる装置で、しか
も従来のようなレンズの移動ａ３よび駆動系が必要なく
、コンパクトにこれを実現づることのできるフォーカシ
ング装置を提供Ｊることにある。
（４）発明の構成と効果
上記の目的を達成するために、この発明は、薄膜光導波
路を伝搬する光ビームを該導波路の平面内においてフォ
ーカシング１べく該導波路上に形成されたグレーティン
グレンズと、このグレーティングレンズの近傍の」−記
導波路十に形成され、印加電圧に応じて上記グレーティ
ングレンズの屈折率を変化させる電極と、上記グレーテ
ィングレンズを経た光ビームを上記導波路の表面から外
部に出射させるとともにその出射光ビームを該導波路ど
垂直な平面内においてフォーカシングすべく該導波路上
に形成されたヂャープ型グレーティングと、このチャー
プ型グレーテインクの近傍の上記導波路上に形成され、
印加電圧に応じて上記チセーブ型グレーティングの屈折
率を変化させる電極どを備えたことを特徴とづる。
路を伝搬する光ビームを該導波路の平面内においてフォ
ーカシング１べく該導波路上に形成されたグレーティン
グレンズと、このグレーティングレンズの近傍の」−記
導波路十に形成され、印加電圧に応じて上記グレーティ
ングレンズの屈折率を変化させる電極と、上記グレーテ
ィングレンズを経た光ビームを上記導波路の表面から外
部に出射させるとともにその出射光ビームを該導波路ど
垂直な平面内においてフォーカシングすべく該導波路上
に形成されたヂャープ型グレーティングと、このチャー
プ型グレーテインクの近傍の上記導波路上に形成され、
印加電圧に応じて上記チセーブ型グレーティングの屈折
率を変化させる電極どを備えたことを特徴とづる。
この装置によれば、非常にコンパクトな先導波路を持っ
た基板上に全体を集積して作り込むことができ、２次元
フォーカシングと、電気的な制御による焦点位置の調整
が可能となる。
た基板上に全体を集積して作り込むことができ、２次元
フォーカシングと、電気的な制御による焦点位置の調整
が可能となる。
（５）実施例の説明
第１図はこの発明の一実施例による薄膜型２次元フォー
カシング装置を示す。この装置は、［１ＮｂＯｓ結晶か
らなる基板１に集積形成されたもので、基板１の表面に
は薄膜光導波路２が形成されている。導波路２上にはリ
フトＡ）法を用いた選択スパッタリングにより上部層３
ａを所定パターンで蒸着してなるグレーティングレンズ
３が形成されでいる。また、このグレーティングレンズ
３の両側部には電極４．４が形成されており、この電極
４．４間に直流電源５から適宜な電圧が印加される。グ
レーティングレンズ３には簿膜光導波路２上を矢印Ｐで
示すように平行に伝搬する光が入射し、この光を矢印Ｑ
で示づ−ように、導波路２の平面内においてフォーカシ
ングする。
カシング装置を示す。この装置は、［１ＮｂＯｓ結晶か
らなる基板１に集積形成されたもので、基板１の表面に
は薄膜光導波路２が形成されている。導波路２上にはリ
フトＡ）法を用いた選択スパッタリングにより上部層３
ａを所定パターンで蒸着してなるグレーティングレンズ
３が形成されでいる。また、このグレーティングレンズ
３の両側部には電極４．４が形成されており、この電極
４．４間に直流電源５から適宜な電圧が印加される。グ
レーティングレンズ３には簿膜光導波路２上を矢印Ｐで
示すように平行に伝搬する光が入射し、この光を矢印Ｑ
で示づ−ように、導波路２の平面内においてフォーカシ
ングする。
グレーディングレンズ３を軽た光ビーム９の進行方向側
におりる導波路２上には、ホログラフィック露光法とイ
オンスパッタ法により、場所により周期の異なるブヤー
プ型グレーディング６が作成されている。また、このブ
ーｔｒ−プ型グレーティング６の両側には電極７．７が
形成され、この電極７．７間に直流電源８により適宜な
電圧が印加される。
におりる導波路２上には、ホログラフィック露光法とイ
オンスパッタ法により、場所により周期の異なるブヤー
プ型グレーディング６が作成されている。また、このブ
ーｔｒ−プ型グレーティング６の両側には電極７．７が
形成され、この電極７．７間に直流電源８により適宜な
電圧が印加される。
矢印Ｑのように導波路２を伝搬してブト−プ型クレーテ
ィング６に入射した光ビームは、矢印Ｒで承りように導
波路２の表面から斜め」−りへ出射づるどともに、導波
路２の平向と垂直な平面内においてフォーカシングの作
用が働く。
ィング６に入射した光ビームは、矢印Ｒで承りように導
波路２の表面から斜め」−りへ出射づるどともに、導波
路２の平向と垂直な平面内においてフォーカシングの作
用が働く。
次に、上記の構成の動作をより詳細に説明する。
まず、グレーティングレンズ３の作用の詳細について、
この部分のみを抽出して示づ第２図に基づいて１２明す
る。このグレーティングレンズ３は導波路２上のＢ点に
焦点を結ぶように設計されている。グレーティングレン
ズ３からのビーム光が集光される位置までの距１ｌｌｌ
ｆは、導波路２の基板１からの屈折率変化がΔ「１．レ
ンズ３の中心からの距離がＬ）／２であると、このフレ
ネル型のクレーティングレンズ３では、 Δｎｃｃｃｔｍ（Ｂｆ八へ／２＞ ２＋ｆ ”−ｆ ）
’）・・・（１ン という関係式がある。ここでβは導波路２中のモードの
位相定数である。グレーディングレンズ３を挾む電極４
にＮ源５より電圧を印加することでし述のモードの位相
定数βが変化する。この位相定数βの変化によりクレー
ティングレンズ３の焦点距離ｆを変化させ冑る。電極４
．４の間隔が導波路２の躾厚に比較して１桁程度大きい
ならば、位相定数βの変化量は電極４．４間に印加する
電圧に比例し、屈折率変化Δｎは一定である。つまり、
Ｄ／２＜＜ｆであるので、式１より、β（、４’ ＜
ｏ ／２’ ）−ｉ−￥−ｊ’−２’ｆ）＝一定となる
から、 β／（−一定となる。位相定数βが増加ジれば焦点外Ｍ
ｆもβに比例して増加し、例えば第２図の０点に移動す
る。またある電圧で位相定数βが減少すれば焦点はＡ点
に移動４る。このように、矢印Ｐのように入射する平行
なし、−ザビームがグレーティングレンズ３によって導
波路２の平面内で絞り込Ｊ、れる（フォーカシング）と
ともに、その焦点外＃ｔは電極４．４に印加する電圧を
調整してクレーティングレンズ３の屈折率を変化させる
ことで変えることができる。
この部分のみを抽出して示づ第２図に基づいて１２明す
る。このグレーティングレンズ３は導波路２上のＢ点に
焦点を結ぶように設計されている。グレーティングレン
ズ３からのビーム光が集光される位置までの距１ｌｌｌ
ｆは、導波路２の基板１からの屈折率変化がΔ「１．レ
ンズ３の中心からの距離がＬ）／２であると、このフレ
ネル型のクレーティングレンズ３では、 Δｎｃｃｃｔｍ（Ｂｆ八へ／２＞ ２＋ｆ ”−ｆ ）
’）・・・（１ン という関係式がある。ここでβは導波路２中のモードの
位相定数である。グレーディングレンズ３を挾む電極４
にＮ源５より電圧を印加することでし述のモードの位相
定数βが変化する。この位相定数βの変化によりクレー
ティングレンズ３の焦点距離ｆを変化させ冑る。電極４
．４の間隔が導波路２の躾厚に比較して１桁程度大きい
ならば、位相定数βの変化量は電極４．４間に印加する
電圧に比例し、屈折率変化Δｎは一定である。つまり、
Ｄ／２＜＜ｆであるので、式１より、β（、４’ ＜
ｏ ／２’ ）−ｉ−￥−ｊ’−２’ｆ）＝一定となる
から、 β／（−一定となる。位相定数βが増加ジれば焦点外Ｍ
ｆもβに比例して増加し、例えば第２図の０点に移動す
る。またある電圧で位相定数βが減少すれば焦点はＡ点
に移動４る。このように、矢印Ｐのように入射する平行
なし、−ザビームがグレーティングレンズ３によって導
波路２の平面内で絞り込Ｊ、れる（フォーカシング）と
ともに、その焦点外＃ｔは電極４．４に印加する電圧を
調整してクレーティングレンズ３の屈折率を変化させる
ことで変えることができる。
次に、チャープ型グレーディング６の作用について、こ
の部分のみの詳細を示り第３図に従って説明りる。導波
路２上に長さしにわたって作成したチャープ型グレーテ
ィング６は場所により周期が’１４なってａ３す、導波
路２を矢印。のように侵入しでくるレーザ光はこのクレ
ーティング６で外部に出射するが、その出射場所により
出射方向が巽なり、その結果出射した光はある点に集光
する。
の部分のみの詳細を示り第３図に従って説明りる。導波
路２上に長さしにわたって作成したチャープ型グレーテ
ィング６は場所により周期が’１４なってａ３す、導波
路２を矢印。のように侵入しでくるレーザ光はこのクレ
ーティング６で外部に出射するが、その出射場所により
出射方向が巽なり、その結果出射した光はある点に集光
する。
第３図に示すように座標径を取れば、Ｓ （Ｘ。
Ｚ）は、
Ｘ＝ ［（ｋ ２−β０２）下／β０］Ｚλで示される
点になる。ここでｋ （＝２π／λ）は波数であり、
また、 β０ミｋｚ （０）−β−２π／Δ（０）βＬミｋＺ（
Ｌ）−β−２π／Δ（Ｌ）である。更に、βは導波路２
のモードの位相定数である。Δ（０）はＺ＝０にお１ノ
るグレーティング６の周期であり、Δ（Ｌ）はＺ＝Ｌに
おけるクレーティング６の周期である。グレーティング
６の周期をＺ−０で０．３３μｍ 、Ｚ＝Ｌで０５２９
５μｍどすると、Ｌ ＝ ｌ ｃｍ、λ＝０．６３２８
μｍならば、Ｓ（Ｘ、Ｚ）÷（４，０５，１゜２８）と
なる（単位はｃｍ）。
点になる。ここでｋ （＝２π／λ）は波数であり、
また、 β０ミｋｚ （０）−β−２π／Δ（０）βＬミｋＺ（
Ｌ）−β−２π／Δ（Ｌ）である。更に、βは導波路２
のモードの位相定数である。Δ（０）はＺ＝０にお１ノ
るグレーティング６の周期であり、Δ（Ｌ）はＺ＝Ｌに
おけるクレーティング６の周期である。グレーティング
６の周期をＺ−０で０．３３μｍ 、Ｚ＝Ｌで０５２９
５μｍどすると、Ｌ ＝ ｌ ｃｍ、λ＝０．６３２８
μｍならば、Ｓ（Ｘ、Ｚ）÷（４，０５，１゜２８）と
なる（単位はｃｍ）。
グレーティング６の作成においては、レジストとしてＰ
ＭＭＡを使用し、マイクロコンピュータ制御の電子ビー
ム露光機を使用することで、任意の周期を簡単に得られ
る。
ＭＭＡを使用し、マイクロコンピュータ制御の電子ビー
ム露光機を使用することで、任意の周期を簡単に得られ
る。
上記チャープ型グレーディング６の焦点は、電極７．７
間に電圧を印加し、電極７，７間の導波路２の屈折率お
よびモードの位相定数を変化さけることで移動すること
ができる。焦点の移動は、」：記の８点では導波路２面
に垂直にリニアに変化すると考えて良い。以上により、
導波路２面に垂直な面でのフォーカシングと焦点の移動
が可能となる。
間に電圧を印加し、電極７，７間の導波路２の屈折率お
よびモードの位相定数を変化さけることで移動すること
ができる。焦点の移動は、」：記の８点では導波路２面
に垂直にリニアに変化すると考えて良い。以上により、
導波路２面に垂直な面でのフォーカシングと焦点の移動
が可能となる。
以上の２系統のフォーカシングにより通常のレンズと同
じように２次元の゛ノＡ−カシングが可能となり、しか
も焦点位置は電気的にＩＩＩＩＪＩＩｌツることができ
、この制御系には従来のようなレンズを移動さＶる句動
部分は含まず、非常にコンパクトに１つの薄膜光導波路
上に構成することができる。
じように２次元の゛ノＡ−カシングが可能となり、しか
も焦点位置は電気的にＩＩＩＩＪＩＩｌツることができ
、この制御系には従来のようなレンズを移動さＶる句動
部分は含まず、非常にコンパクトに１つの薄膜光導波路
上に構成することができる。
第４図は以上説明し／ｊこの発明の薄膜型２次元フォー
カシング装置の応用例を示している。この応用例は、デ
ィジタルＡ−ディオディスクシスデ、Ｉ！Ａ （７）光
学式ピックアップに本発明を適用したちのである。
カシング装置の応用例を示している。この応用例は、デ
ィジタルＡ−ディオディスクシスデ、Ｉ！Ａ （７）光
学式ピックアップに本発明を適用したちのである。
第４図において、第１図〜第３図と同一または対応する
部分に同一符号を付している。レーザダイオード９から
出射したビームは＝１リメートレンズ１４にＪζり平行
化される。この平行化さ４′シたレープビームとＩＤＩ
’（１’ｌｌ形電極焔音波発振子１０から発生した弾性
表面波がブラッグ角で交差し、光ビームの進行方向が適
宜に変化させられる。その後、光ビームは上述したグレ
ーティンクレンズ３４３よびチセープ型グレーティング
６を経て光導波路２から斜め上方に出射し、ディジタル
オーディオディスク１２上のビット１３に照射される。
部分に同一符号を付している。レーザダイオード９から
出射したビームは＝１リメートレンズ１４にＪζり平行
化される。この平行化さ４′シたレープビームとＩＤＩ
’（１’ｌｌ形電極焔音波発振子１０から発生した弾性
表面波がブラッグ角で交差し、光ビームの進行方向が適
宜に変化させられる。その後、光ビームは上述したグレ
ーティンクレンズ３４３よびチセープ型グレーティング
６を経て光導波路２から斜め上方に出射し、ディジタル
オーディオディスク１２上のビット１３に照射される。
ディスク１２からの反射光は、シリコン基板８−ヒに上
記薄膜先導波路２と同一平面を成して形成されたフォト
ダイオードアレイＡ１〜Ｃ２からなる受光部に照射され
、）ＡトダイＡ−ドアレイＡ１〜Ｃ２の出力は同じくシ
リコン基板８上に集積形成された制御回路（マイク上１
プロセツ１）を含む）に入力され、この回路の演搾処理
によりフォーカス誤差、トラッキング誤差およびデータ
信号が検知される。また制御回路１１は、」記フォーカ
ス誤差信号に基づいてグレーティングレンズ３の電極４
およびヂャーブ型クレーティング６の電極７に印加づる
電圧を制御し、ディスク１２上のピッ１〜１３３に正し
く焦点を結ぶようにいわゆるフＡ −カスサーボの制御
を行なう。また、Ｉ Ｄ ’ｌ−１０に加える高周波信
号の周波数を制御Ｊることで、い１〕ゆるトラッキング
サーボの制御を行なう。
記薄膜先導波路２と同一平面を成して形成されたフォト
ダイオードアレイＡ１〜Ｃ２からなる受光部に照射され
、）ＡトダイＡ−ドアレイＡ１〜Ｃ２の出力は同じくシ
リコン基板８上に集積形成された制御回路（マイク上１
プロセツ１）を含む）に入力され、この回路の演搾処理
によりフォーカス誤差、トラッキング誤差およびデータ
信号が検知される。また制御回路１１は、」記フォーカ
ス誤差信号に基づいてグレーティングレンズ３の電極４
およびヂャーブ型クレーティング６の電極７に印加づる
電圧を制御し、ディスク１２上のピッ１〜１３３に正し
く焦点を結ぶようにいわゆるフＡ −カスサーボの制御
を行なう。また、Ｉ Ｄ ’ｌ−１０に加える高周波信
号の周波数を制御Ｊることで、い１〕ゆるトラッキング
サーボの制御を行なう。
第１図はこの発明の一実施例による薄膜型２次元フォー
カシング装置の構成を承り斜視図、第２図は同」−装置
にお（）るグレーディングレンズ３の作用を示す図、第
３図は同上装置におけるヂｐ −ブ型グレーティング６
の作用を示づ図、第４図はこの発明の装置を応用しで構
成されるディジタルＡ−ディＡディスクシステムの光学
式ピックアップを示１図である。 １・・・結晶基板 ２・・・薄膜先導波路 ３・・・グレーティングレンズ ４・・・電極 ６・・・チャーブ型グレーｉイング ア・・・電極 特Ｗ１出願人 立石電機株式会社 第１図 、５ １ 第２図 第３図
カシング装置の構成を承り斜視図、第２図は同」−装置
にお（）るグレーディングレンズ３の作用を示す図、第
３図は同上装置におけるヂｐ −ブ型グレーティング６
の作用を示づ図、第４図はこの発明の装置を応用しで構
成されるディジタルＡ−ディＡディスクシステムの光学
式ピックアップを示１図である。 １・・・結晶基板 ２・・・薄膜先導波路 ３・・・グレーティングレンズ ４・・・電極 ６・・・チャーブ型グレーｉイング ア・・・電極 特Ｗ１出願人 立石電機株式会社 第１図 、５ １ 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）薄膜先導波路を伝搬゛する光ビームを該導波路の
平面内においてフォーカシングづべく該導波路上に形成
されたグレーティングレンズと、このグレーティングレ
ンズの近傍の上記導波路上に形成され、印加電圧に応じ
て」：記グレ〜ティングレンズの屈折率を変化させる電
極と、上記グレーティングレンズを経１＝光ビームを上
記導波路の表面から外部に出射させるとともにその出射
光ビームを該導波路と重両な平面内においてフォーカシ
ングすべく該導波路上に形成されたチャープ型グレーテ
ィングと、このチャープ型グレーティングの近傍の上記
導波路上に形成され、印加電圧に応じて上記チャープ型
グレーティングの屈折率を変化させる電極とを備えてな
る薄膜型２次元フォーカシング装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180257A JPS5969732A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | 薄膜型２次元フオ−カシング装置 |
| US06/559,050 US4747090A (en) | 1982-10-14 | 1983-10-13 | Integral pickup for an optical digital disc using saw deflection and lenses |
| US07/548,203 US5111447A (en) | 1982-10-14 | 1990-07-05 | Integral pick up for an optical digital disc using saw deflection and lense |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180257A JPS5969732A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | 薄膜型２次元フオ−カシング装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1263190A Division JPH02139723A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 光ピックアップ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969732A true JPS5969732A (ja) | 1984-04-20 |
| JPH041890B2 JPH041890B2 (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=16080092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57180257A Granted JPS5969732A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | 薄膜型２次元フオ−カシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969732A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6163821A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-02 | Omron Tateisi Electronics Co | 光情報処理装置 |
| JPS6286327A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光変調器 |
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1982
- 1982-10-14 JP JP57180257A patent/JPS5969732A/ja active Granted
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