JPS5980463U - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5980463U JPS5980463U JP17655282U JP17655282U JPS5980463U JP S5980463 U JPS5980463 U JP S5980463U JP 17655282 U JP17655282 U JP 17655282U JP 17655282 U JP17655282 U JP 17655282U JP S5980463 U JPS5980463 U JP S5980463U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition equipment
- vacuum chamber
- filter
- abstract
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案に係る蒸着装置の実施例を示す断面図である
。 １・・・ベルジャ、２・・・るつぼ、３・・・電子銃式
蒸発源、４・・・基板ホルタ、５・・・フィルタ、６Ａ
、 ６Ｂ・・・真空排気系。
。 １・・・ベルジャ、２・・・るつぼ、３・・・電子銃式
蒸発源、４・・・基板ホルタ、５・・・フィルタ、６Ａ
、 ６Ｂ・・・真空排気系。
Claims (1)
- 真空室内の底部に蒸発源を配置し、上部に基板ホルダを
設けた蒸着装置において、真空室内の側面にフィルタを
立設し、該フィルタ背面より前面方向にガスを送出する
ことを特徴とする蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17655282U JPS5980463U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17655282U JPS5980463U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980463U true JPS5980463U (ja) | 1984-05-31 |
| JPH0139712Y2 JPH0139712Y2 (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=30383819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17655282U Granted JPS5980463U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5980463U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5742866A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-10 | Diesel Kiki Co Ltd | Obstacle detector |
| JPS57176554A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-29 | Philips Nv | Magnetic tape cassette device |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP17655282U patent/JPS5980463U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5742866A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-10 | Diesel Kiki Co Ltd | Obstacle detector |
| JPS57176554A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-29 | Philips Nv | Magnetic tape cassette device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0139712Y2 (ja) | 1989-11-29 |
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