JPS5984837U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS5984837U JPS5984837U JP16627083U JP16627083U JPS5984837U JP S5984837 U JPS5984837 U JP S5984837U JP 16627083 U JP16627083 U JP 16627083U JP 16627083 U JP16627083 U JP 16627083U JP S5984837 U JPS5984837 U JP S5984837U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processed
- substrate
- susceptors
- vapor phase
- phase growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の気相成長装置の概略の構成を示−す断面
図、第２図ａは縦置き方式による気相成長に用いるサセ
プタの要部正面図、同図すは同図ａのＢ−Ｂ’断面図、
第３図および第４図は本考案による気相成長装置の概略
構成を示す要部平面図および要部断面図である。 図において、１・・・・・・被処理基板、２・・・・・
・平置き方式サセプタ、４・・・・・・反応管、５・・
・・・・ポケット状切り込み、１２．１２’・・・・・
・縦置き方式サセプタ。
図、第２図ａは縦置き方式による気相成長に用いるサセ
プタの要部正面図、同図すは同図ａのＢ−Ｂ’断面図、
第３図および第４図は本考案による気相成長装置の概略
構成を示す要部平面図および要部断面図である。 図において、１・・・・・・被処理基板、２・・・・・
・平置き方式サセプタ、４・・・・・・反応管、５・・
・・・・ポケット状切り込み、１２．１２’・・・・・
・縦置き方式サセプタ。
Claims (1)
- 、 均一径の反応管内に被処理基板が搭載されたサ
セプタを少なくとも２枚収容し、該サセプタの被処理基
板を搭載した面を互いに対向させ、具つ該被処理基板上
に成長する成長膜の膜厚が略均−になるよう該サセプタ
相互の間隔をガス流の上流から下流に行くに従って次第
に狭くし、前記均一径の反応管内の処理空間を該サセプ
タにより制御したことを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16627083U JPS5984837U (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16627083U JPS5984837U (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984837U true JPS5984837U (ja) | 1984-06-08 |
Family
ID=30364047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16627083U Pending JPS5984837U (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984837U (ja) |
-
1983
- 1983-10-27 JP JP16627083U patent/JPS5984837U/ja active Pending
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