JPS5994978A - 撮像装置試験器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えばイメージセンサ等と呼ばれる固体撮像
素子或はこの固体撮像素子を組込んだテレビカメラを試
験する撮像装置試験器に関し、特に各種のパターンを持
つ光を照射して、受光領域と非受光領域の境界条件を試
験するような場合、受光領域の位置が予め決められた位
置からズしても、そのズレを修正して実際に受光してい
る領域の受光データと期待値との比較を簡単に実行でき
るように構成したものである。

〈発明の背景〉 テレビジョンカメラの小形化及び低消費電力化等を目的
として固体撮像素子が開発され実用化−されつつある。

固体撮像素子は周知のように半導体によって構成される
光電変換セルが一面上に多数配列形成され、その光電変
換上′ルを選択信号によって逐次１個ずつ選択してその
光電変換セルに照射される光量に対応した画素信号を得
るようにし、その光電変換セルの選択を順次切換えて面
走査し、画像信号を得るものである。

各光電変換セルは半導体基板上に集積回路製造技術によ
多形成されるものであるからその製造過程における不都
合から光電変換セルの中に不良が発生することがある。

また各光電変換セルの相互間において例えば感光特性に
差が生じたり、或はダイナミックレンジに差が生じたり
、またセル相互ｍ］において電気的な漏洩が生じたシす
ることがある。

つまシ製造工程において光学マスクによるパターン焼付
は工程でわずかな位置ずれなどによ多形成パターンが位
置ずれを起し、その位置ずれが原因と々つて不良セルが
発生することが考えられる。

まだ部分的に不純物が混入し、それが原因となって不良
セルが発生することもある。

これらの各種の原因によって発生する不良は、■光電変
換セルが全く電気信号を発生しない状態になるもの（こ
れを黒キズと称しているり。

■光が照射されていないのに電気信号を出力してしまう
もの（これを白キズと称している）。

■比較的広い領域の光電変換セルに電気出力特性が異な
るもの（これをシミと称している）。

■縦方向及び横方向、斜め方向に不良セルが連続して発
生する不良（これをスジと呼ぶ）。

■光が当った光電変換セルの光電変換出力が他の光の当
らない光電変換セルに電気的に漏洩する不良（これをブ
ルーミング或はスミア等と呼んでいる）。

等がある。

〈発明の目的〉 この発明はこれら不良の中の特に■の不良を確実に発見
することができる撮像装置試験器を提供しようとするも
のである。

〈発明の概要〉 この発明では上記した■の不良を検出するために撮像素
子の特定した領域だけに光を照射し、この光が照射され
た領域の光電変換出力と、この領域に隣接する非照射領
域の光電変換出力との間の例えば比を求め、その比が予
め規定した値以下であるか否かを判定し、非照射領域に
照射領域から電気信号が漏洩しているか否かを判定する
とか、或は光の照射領域と非照射領域の境界の様子等を
試験することができるように構成するものである。

この場合光の照射領域が予め規定した位置に対し、位置
ずれを起こすことが考えられる。光の照射領域に位置ズ
レを生じるに本来であれば期待値を収納するメモリに対
し、期待値の収納アドレス領域を位置ズレに対応した分
だけずらし、データメモリの読出出力と期待値メモリの
双方を同一アドレス領域から得るように修正しなければ
ならない。

然し乍ら期待値の収納アドレス領域をずらすには光の照
射領域の位置ズレを検出し、その位置ズレに基づいて期
待値の収納領域を修正しなければならない。このように
するには制御手段として用いる制御器のプログラムが長
く、且つ複雑になる欠点がある。

この発明はこの位置ズレに伴なう修正を簡単に行なう構
成を提案するものである。

く固体撮像素子の全体的な説明〉 第１図にこの発明による試験器の全体の構成を示す。図
中１０１は被試験固体撮像素子を示す。この固体撮像素
子１０１はＣＣＤ形式或はＭＯ８形式、更にはこれらの
特徴を兼ね備えたＣＰＤ形式の何れを問わないものとす
る０これらの形式の違いは光電変換セルの形式構造と光
電変換セルから電荷を転送する方法が異なるだけで光学
的な特性は同じと考えてよい。

１０２は固体撮像素子１０１にセルの選択信号を与える
駆動回路を示す。この駆動回路１０２によシＣＣＤ形式
或はＭＯ８形式、　ＣＰＤ形式の各固体撮像素子がその
各光電変換セルの配列に従って選択されて走査され画素
信号が順次得られるものとする。

コノ走査速度はテレビジョン信号における標準走査速度
と同等に設定することができる。

固体撮像素子１０１から得られた画素信号１０３は前置
増幅器１０４によシ増幅され、ＡＤ変換器１０５に与え
られる。ＡＤ変換器１０５は駆動回路１０２から与えら
れるクロックパルス１００と同期して画素信号をＡＤ変
換し、例えば８ビツトのディジタル画素信号に変換する
。

ＡＤ変換器１０５でＡＤ変換された画素信号はデータメ
モリ１０６に取込まれる。データメモリ１０６は駆動回
路１０２から与えられるクロックパルスをアドレスカウ
ンタ１０７で計数し、その計数出力によりアドレスが順
次１番地ずつ歩進されＡＤ変換器１０５から出力される
ディジタル画素信号を順次記憶する。

データメモリ１０６に取込まれたディジタル画素信号は
データプロセッサ１０８に逐次転送される。

このデータプロセッサ１ｏ８は、後述するように各種の
比較及び判定手段を有し、この判定手段により光電変換
セルの良否及び固体撮像素子１０１全体の良否を判定す
る。

１０９はコントローラである。このコントローラ１０９
により駆動回路１０２の起動停止及びデータプロセッサ
１０８の制御を行なう。また光学制御系１１１に制御信
号を与え光源１１２の光量を試験の進行に伴なって漸次
変化させる等の制御を行なう。

１１３はモニタを示し、データメモリ１０６に取込んだ
ディジタル画素信号をＤＡ変換して画面に各光電変換セ
ルから得られた画素信号に基づく画像を映出するように
している。

〈データメモリ１０６の詳細説明〉 固体撮像素子１０１においてたソ一度の走査によって得
られた画素信号によってその固体撮像素子１旧の良否を
判定した場合、たまたま混入したノイズによって期待値
と不一致が生じ、これが基で不良と判定されるおそれが
ある。このような不都合を解消するためにこの例では撮
像素子１０１の各光電変換セルを複数回走査して得られ
た各光電変換セルの画素信号の平均値をデータメモリ１
０６に記憶するようにしている。

この平均値を得るだめの構成を第２図に示す。

第２図において１０５は第１図で説明したＡＤ変換器で
ある。このＡＤ変換器１０５から出力される例えば８ビ
ツトのＡＤ＆換出力出力−タメモリ１０６に供給される
。データメモリ１０６は加算器２０１゛と、メモリ部２
０２とによって構成される。メモリ部２０２はＡＤ変換
器１０５から出力されるディジタル画素信号と同一の前
回の画素信号を読出し、その読出出力と今回得られたデ
ィジタル画素信号とを加算器２０１において加算し、そ
の加算結果をメモリ部２０２の同一アドレスに再書込を
行なう。

ここで読出と書込を高速度で行なわなくてはならないた
め、この例ではメモリ部２０２を４枚のメモリカード２
０２ａ　、　２０２ｂ　、　２０２ｃ　、　２０２ｃｊ
によって構成し、これら複数のメモリカード２０２ａ〜
２０２ｄを時分割的に使用することによシ各メモリカー
ド２０２ａ〜２０２ｄを遅い速度で動作させるようにし
ている。

各メモリカード２０２ａ〜２０２ｄはそれぞれ同一の構
造である。つまシメモリカード２０２ａに示すようにカ
ードセレクタ２０３と、メモリ本体２０４と、出力ラッ
チ回路２０５と、入力ラッチ回路２０６とによって構成
される。

カードセレクタ２０３には制御バス２０７からカードセ
レクタ信号と、アドレスバス２０８からアドレス信号を
受け、自己が呼び出されたことを知り、そのときのアド
レス信号を取込んでそのアドレス信号によシメモリ本体
２０４をアクセスする。メモリ本体２０４はアクセスの
初期状態でそのアドレスにストアされているデータを読
出し、出力ラッチ回路２０５にラッチさせる。そのラッ
チ出力を加算器２０Ｉに与え、この加算器２０１におい
て前回と今回のディジタル画素信号を加算し、その加算
結果を入力ラッチ回路２０６にラッチする。

入力ラッチ回路２０６に加算結果をラッチすると、カー
ドの選択は次のカードに移される。従って各メモリカー
ド２０２ａ〜２０２ｄが加算器２０１に接続されている
時間は出力ラッチ回路２０５がメモリ本体２０４の読出
出力をラッチした時点から入力ラッチ回路２０６が加算
結果をラッチするまでの時間でよく、入力ラッチ回路２
０６に加算結果がラッチされると、その直後にカードは
加算器２０１から切離される。よって次に選択されたメ
モリカード例えば２０２ｂが加算器２０１に接続されて
いる状態でメモリカード２０２ａは入力ラッチ回路２０
６にラッチした加算結果を同一アドレスに再書込すれば
よい。よって各メモリカードでは読出から書込終了まで
の処理をＡＤ変換器１０５の変換速度の４倍の時間で実
行すればよく、各メモリカード２０２ａ〜２０２ｄの動
作速度の負担を軽減するようにしている。

このようにして各メモリカード２０２ａ〜２０２ｄのメ
モリ本体２０４に同一画素の毎回のディジタル画素の加
算値が同一アドレスに積算される。ここでその加算値か
ら平均値を得る方法としては、例えばＡ、Ｄ変換器１０
５の出力を８ビツトとした場合、メモリ本体２０４の書
込データのビット容量を例えば１６ビツトとする。この
ようにして８ビツトのディジタル信号を１２８回加算し
、その加算結果の桁上出力として得られた上位８ビツト
を取出すと各画素の１２８回分の平均値を得ることがで
きる。この上位８ビツトのデータを出力端子２０９から
取出すことによシ固体撮像素子１０１の各光電変換セル
を１２８回走査１．て得られた画素信号の平均値を得る
ととができる。

このように画素子信号を平均化することにより雑音の混
入があってもその雑音の影響を軽減できる。固体撮像素
子はアナログ素子で非常に小さい信号レベルであるため
、ＳＺＮ比が悪いと云われている。よって一度の走査結
果だけで各光電変換セルの良否を判定すると、その判定
結果は信頼性の低いものとなるが、上記したようにこの
発明では複数回の走査結果を平均して良否の判定を行な
うから信頼性の高い判定結果を得ることができる。

〈データプロセッサについて〉 データプロセッサ１０８はデータメモリ１０６の出力端
子２０９から出力される平均化されたディジタル画素信
号を取込み、その値が所定の許容範囲にあるか否かを判
定する。

第３図にこの判定を行なう部分の構成を示す。

第３図において３０１は期待値データファイルを示す。

この期待値データファイル３０１は光源１１２から固体
撮像素子に与えた各光量に対応した期待値が収納され、
コントローラ１０９からの制御信号によシ光源１１２の
光量に対応した期待値が取出される。この期待値はその
光量における上限値と下限値とから成シ、その上限値と
下限値とから成る期待値が比較器３０２に与えられる。

比較器３０２には第２図で説明したデータメモリ１０６
から各光電変換セルの画素信号を平均化した値が与えら
れ、その平均化し゛た値が期待値で定められる許容範囲
内にあるか否かを比較器３０２が判定する。この判定動
作は光源１１２の光量を変化させる都度性なわれる。よ
って低照度から高照度に致る間の各光電変換セルの光電
変換特性を試験することができ、各光電変換セルのダイ
ナミックレンジ及び光量に対する直線性等を試験するこ
とができる。

比較器３０２において入力データが許容範囲を外れたと
き、その光電変換セルについて不良と判定する信号を出
力する。この判定信号は不良セル計数手段３０３で計数
する。この計数は例えば光源１１２の光量を変化させる
都度不良の光電変換セルの数を集計し、その集計値が比
較器３０４に供給される。この比較器３０４では許容値
メモリ３０５から読出される許容値と比較され、不良セ
ルの数が許容値を越えたとき、その固体撮像素子は不良
と判定する。その判定結果は例えば表示器３０６に表示
すると共に固体撮像素子１０１を不良品のルートに仕分
けを行なう自動仕分は装置を動作させることができる。

以上により固体撮像素子試験器の全体の構成が理解でき
よう。

〈発明の要部実施例〉 この発明では上記した試験の外に冒頭で説明したブルー
ミノグ等を検出するに適した試験器を提供するものであ
る。

第４図にこの発明の要部の実施例を示す。図中第１図乃
至第３図と対応する部分には同一符号を付して示す。こ
の発明においてはアドレス変換手段４０１を設けた点を
特徴とするものである。このアドレス変換手段４０１は
第２図で説明したデータメモリ１０６を読出す場合に用
いられるものである。

アドレス変換手段４０１には読出位置修正用アドレスデ
コーダ４０２Ｘ　、　４０３Ｙと、読出位置の修正を演
算によシ実行する位置修正用演算器４０４Ｘ　、　４０
５Ｙとが設けられる。

４０６　、４０７はＸ、Ｙアドレス発生器を示す。この
Ｘ、Ｙアドレス発生器４０６　、４０７は第１図で説明
した躯動回路１０２から供給されるクロックパルス１０
０を受けて撮像素子１０１に与えるのと同様のｘ、ｙア
ドレスを発生する。

４０８　、４０９はマルチプレクサである。このマルチ
プレクサ４０８　、４０９はデータメモリ１０６に対し
て書込を行なう場合と、ブルーミング試験乃至はその他
の試験を行なう場合に応じて切換制御される０ つまりデータメモリ１０６にＡＤ変換器からのディジタ
ル画素信号を書込むにはマルチプレクサ４０８　、４０
９は配線４１１　、４１２を選択し、Ｘ、Ｙアドレス発
生器５０６　、５０７から出力されるＸ、Ｙアドレス信
号を直接データメモリ１０６０Ｘ、Ｙアドレス端子４１
３Ｘ　、　４１３Ｙに与える。これによりデータメモリ
１０６は撮像素子１０１の走査と同期して各光電変換セ
ルと同一アドレスにその光電変換セルの平均値を取込む
。

くブルーミング試験の方法〉 ブルーミング試験を行々う場合、固体撮像素子１０１に
は例えば第５図に示すように固体撮像素子１０１の中央
にだけ光を照射する。この照射光の光量は光電変換セル
が充分飽和する程度、つ′１シダイナミツクレンジの上
限値より１００倍程度強い光量を与える。光を与えた照
射領域をＡとし、この領域Ａに光を与えた状態で撮像素
子１０１の全領域の光電変換セルの出力の平均値をデー
タメモリ１０６に取込む。

照射領域Ａが予め規定した位置と一致しているものとし
た場合、照射領域Ａ内に設定した領域Ａ′と照射領域Ａ
の外側に設定した領域Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅの画素データをメ
モリ１０６から取出し、その各領域の画素データをデー
タプロセッサ１０８に転送スる。データプロセッサ１０
８では各領域Ａ’　、　Ｂ　、　Ｃ。

Ｄ、Ｅの画素データの平均値を求め、領域Ａ′の平均値
と領域Ｂの平均値の比及びＡ′とＣの平均値の比、Ａ′
とＤの平均値の比、Ａ′とＥの平均値の比を求める。

各領域Ａ’　、　Ｂ　、　Ｃ、Ｄ　、　Ｅの平均値と、
領域Ａ′に対するＢ、Ｃ，Ｄ、Ｅの平均値の比を求める
手段としてはデータプロセッサ１０８に設けた演算部４
１４によって行なわれる。

演算部４１４によって算出された領域Ａ′とＢ、Ｃ。

Ｄ、Ｅの各領域の平均値の比はデータファイル４１５に
収納した許容値と比較する。４１６はその比較手段を示
す。比較手段４１６において演算部４１４で算出した各
領域の画素データの平均値の比が許容値から外れている
ことが検出されるとその領域に電気信号が漏洩している
ことが解る。よって比較器４１６から各領域の平均値の
比が許容値から外れていることが検出されるとその固体
撮像素子１０１はブルーミング現像が有シと判定され不
良と判定される。

ところで上記したブルーミング試験方法において光の照
射領域Ａが予め規定した位置に一致しているものとして
説明したが、実際には固体撮像素子１０１は高々数ミリ
角の微小形状であることと、１個ずつ人手によってその
測定位置に装着するか或は自動搬送装置によシ送られて
来て、光源１１２と対向する位置で自動停止し、試験状
態に入るように構成される。従って人手による場合及び
自動搬送手段による場合の何れにおいてもマスクに対し
てわずかな位置ズレが生じることが考えられる。

またその停止位置においてわずかな高低差によシ設定し
た照射領域Ａが予め規定した領域の太きさに対して大小
差が発生するおそれがある。

照射領域Ａの位置ズレ及び領域Ａに大小差が発生すると
非照射領域に設定した測定領域Ｂ、Ｃ，Ｄ。

Ｅに対して相対的な位置ズレとなって表われる。

この位置ズレが存在する状態で領域Ａ′に対する領域Ｂ
、Ｃ，Ｄ、Ｅの平均値の比を求めたとすると、その平均
値の比は大きく変動することとなる。つまシ図では領域
Ａ′とＢ、Ｃ，Ｄ、Ｅが大きく離れている状態に図示し
ているが、実際は領域Ａ′は照射領域Ａとほぼ同じ大き
さの領域とされ、他の領域Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅは照射領域Ａ
に可及的に近接して設置される。

このため照射領域Ａがわずかに位置ズレすると、他の領
域Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅに喰い込むおそれがある。

この状態で各領域相互間の受光量の比を求めたとすると
正常な固体撮像素子でも不良の判定結果が出されること
となる。

このような点からこの発明では照射領域Ａの位置ズレを
検出し、この位置ズレの量から領域Ａ′とＢ、Ｃ，Ｄ、
Ｅの各読出領域の位置を修正するようにしだものである
。

従ってデータメモリ１０６に照射領域Ａを含む各光電変
換セルの画素データを取込むと、その画素データを読出
してデータプロセッサ１０８に転送スる。この転送によ
り演算部４１４はデータファイル４１５に収納した標準
照射領域を規定する位置データとメモリ１０６に収納し
た照射領域Ａの位置を比較し、実際の照射領域Ａのズレ
量を検出する。また実際上の照射領域Ａと標準照射領域
との面積の大小を検出する。

一方、アドレス位置修正用演算器４０４Ｘと４０５Ｙは
演算部４１４から照射領域Ａの位置ズレから算出した定
数ａ、ｂ、ｃ、ｄをアドレス位置修正用演算器４０４Ｘ
と４０５Ｙに与え、この演算器４０４Ｘと４０５Ｙにお
いてＸアドレスに関して（Ｘ−ａ）十すを演算し、Ｘア
ドレスに関して（Ｙ−ｃ）＋ｄを演算する。

つまシＸの先頭アドレスは、 （（Ｘ＋　　ａ）十ｂ）　　　　　　　　・・・・・・
・・・・・・・・・・・・（１）Ｘの最終アドレスは、 （（Ｘ２＋ａ　）十ｂ　）　　　　　　　　・・・・・
・・・・・・・・・曲（２）Ｙの先頭アドレスは （（Ｙ＋　　ｃ）＋ｄ）　　　　　　　　・開面・曲面
（３）Ｙの最終アドレスは （（’Ｙ＋＋ｃ　）＋ｄ　）　　　　　　　　・・・・
・・・・・・曲間（４）のように記憶される。

また測定領域についてもこれら第１式から第４式のよう
にその先頭アドレスと最終アドレスが設定され、この設
定されたアドレスの領域を読出すようにしている。

ここで実際の光の照射領域Ａを読出してその面積と位置
をデータプロセッサ１０８において判定する。照射領域
Ａが予め設定１〜だ標準照射領域と面積及び位置に関し
て一致しているときは上記した第１式〜第４式のａ、ｂ
、ｃ、ｄは全て０に設定される。従ってこの場合は第６
図に６０１として示すようにＸアドレスに関してはＸ１
〜Ｘ２がアクセスされ、址たＸアドレスに関してはＹ＋
　−Ｙ２がアクセスされる。尚６図ではデータメモリ１
０６のアドレスを撮像素子１旧の面上の位置に対応させ
て表示している０ 光の照射領域Ａが標準照射領域に対して位置ズレが生じ
ていた場合はその位置ズレの量をデータプロセッサ１０
８で検出する。例えば第６図に６０２として示すように
照射領域Ａが光電変換セルの１列分だけズしてＸアドレ
ス領域がＸ１＋１〜Ｘ２＋１となりＸアドレス領域がＹ
ｌ＋１〜Ｙ２＋１となった場合には第１式〜第４式のａ
　−ｄをａ＝０．ｂ＝１　、ｃ＝０　、ｄ＝１に設定す
る。このようにすればメモリ１０６の読出領域は光が照
射されている実際の照射領域６０２を読出すことができ
る。またこのとき非照射領域Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅの読出アド
レスに関しても、それぞれａ＝ｏ　、　ｂ＝＝１　、　
ｃ＝Ｑ　。

ｄ＝１に設定して読出しを行ない、照射領域Ａと被測定
領域Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅの相対的な位置ズレを修正する。

一方照射領域Ａの面積が例えば第７図に７０１として示
すように標準照射領域６０１の面積より各辺について１
光電変換セル分だけ大きくなっている場合には、第１式
〜第４式のａ　−ｄをＢ＝ｌ、ｌ）＝　０　、　ｃ　＝
　１　、　ｄ　＝　０に設定する。このように設定する
ことによりデータメモリ１０６の読出領域はＸ及びＹ方
向に関してそれぞれ＋２ずつアドレスが増加し、実際の
照射領域Ａのデータを読出すことができる。

これに伴なって周縁に設定した測定領域Ｂ、Ｃ。

Ｄ、Ｅの読出アドレスは領域ＢとＣについてはｂをｂ＝
−１に設定し、領域りとＥについてはｄをｄ−＋１に設
定する。このようにして測定領域Ｂ。

Ｃ，Ｄ、Ｅの位置を修正することにより照射領域Ａに対
する相対的な位置関係を正規の位置関係となるように修
正することができる。

このようにしてプルーミング試験を行なう場合において
照射領域Ａの位置ズレ及び面積の大小に応じてデータメ
モリ１０６の読出アドレス領域を修正すると共に周縁に
設定した測定領域Ｂ、Ｃ，Ｄ。

Ｅの読出アドレスを修正することによシ照射領域と測定
領域Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅの位置関係を規定の位置関係となる
ように修正することができ、正しいブルーミング試験を
行なうことができる。

然もデータメモリ１０６の読出アドレスを修正して領域
Ａ’　、　Ｂ　、　Ｃ、Ｄ　、　Ｅの位置を修正したか
らデータプロセッサ１０８のデータファイル４１５の読
出アドレスを変更しなくともデータメモリ１０６から読
出されるデータとデータファイル４１５から読出される
期待値を撮像素子１０１の同一領域のものに対応付けで
きる。よってデータファイル４１５の読出アドレスを修
正する場合よシデータプロセッサ１０８のプログラムを
簡素化することができる。

上＝ａしたように位置修正用演算器４０４Ｘ　、　４０
５Ｙは演算部４１４から与えられる定数ａ、ｂ、ｃ、ｄ
に基づいて読出アドレスの位置を修正する演算動作を、
ｆ１々っている。演算には時間が掛るためデータメモリ
１０６を（ｉ１度も繰返して読出す必要がある場合には
読出位隨修正用アドレスデコーダ４０２Ｘ。

４０３Ｙが用いられる。この読出位置修正用アドレスデ
−タ４０２Ｘ　、　４０３Ｙはメモリによって構成され
る。

メモリに位置ズレを修正したアドレス情報を記憶してお
き、元のアドレス信号によシアクセスすることによシ、
位置ズレが修正されたアドレス信号が読出され、このア
ドレス信号によシデータメモリ１０６をアクセスする。

従って位置修正用アドレスデコーダ４０２Ｘ　、　４０
３Ｙを用いるときは位置修正動作が瞬時に実行され短時
間にデータメモリ１０６の読出を行なうことができる。

〈発明の効果〉 上記したようにマルチプレクサ４０８と４０９によって
ブルーミング試験用アドレス変換手段４０２Ｘと４０３
Ｙを是択することによシブルーミング試験を行なうこと
ができる。

ブルーミング試験では実際の照射領域Ａのズレに応じて
データメモリ１０６の読出アドレスを修正するから固体
撮像素子１０１に照射する照射領域Ａのズレに基づく測
定誤差を小さくすることができ、信頼性の高いプルーミ
ング試験を行なうことができる。

４０２Ｘと４０３Ｙに予め位置ズレを修正したアドレス
データを記憶しておき、これを読出してデータメモリ１
０６をアクセスすることによりその読出を短時間に行な
うことができ、この結果試験に要する時間も短縮できる
効果も得られる。

尚上述ではブルーミング試験について説明したが、固体
撮像素子１０１に複数の光パターンを照射し、その各光
パターン内の各光電変換値の平均値を求めて、その平均
値が規定値にあるか否かを見るような試験を行なう場合
にも各光パターンの位置ズレを修正することが要求され
る。この場合にも上記したアドレス変換手段４０１を用
いることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による撮像装置試験器の全体の構成を
説明するだめのブロック図、第２図は第１図に示したデ
ータメモリの構成を説明するだめのブロック図、第３図
は第１図に示したデータプロセッサの一部を説明するた
めのブロック図、第４図はこの発明の要部の一実施例を
示すブロック図、第５図はブルーミング試験の方法を説
明するための正面図、第６図乃至第７図はこの発明の要
部の動作を説明するための正面図である。 １０１：固体撮像素子、１０５　：　ＡＤ変換器、１０
６：データメモリ、１０８：データプロセッサ、４０２
　、４０３　：ブルーミング試験用アドレス変換手段、
４０４　、４０５　：スジ検出用アドレス変換手段、Ａ
：照射領域、Ａ′：照射読出領域、４１４：各領域の画
素データの平均値とその平均値の比を求める手段、４１
６：各領域の平均値の比が許容範囲内にあるか否かを判
定する比較手段、４１５：各領域の平均値の比の許容値
を収納したデータファイル。 特許出願人　　タケダ理研工業株式会社代理人　草野　
卓 第４図 第５囮 第６図 ｓ７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ａ、撮像素子の特定した領域に光を照射する手段
   と、 Ｂ、この撮像素子から得られる各光電変換セルの出力を
   ＡＤ変換するＡＤ変換手段と、 Ｃ６このＡＤ変換手段のＡＤ変換出力を各光電変換セル
   毎に決められたアドレスに収納するデータメモリと、 Ｄ、このデータメモリに取込まれた画素データの読出ア
   ドレスから光の照射領域のズレ量を算出する手段と、 Ｅ、この算出手段によシ算出されたズレ量から上記メモ
   リに収納された光の照射領域の読出アドレスを修正する
   アドレス変換手段と、 を具備して成る撮像装置試験器。