JPS626111A - 反射光による表面粗さ計 - Google Patents

反射光による表面粗さ計

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JPS626111A
JPS626111A JP14618985A JP14618985A JPS626111A JP S626111 A JPS626111 A JP S626111A JP 14618985 A JP14618985 A JP 14618985A JP 14618985 A JP14618985 A JP 14618985A JP S626111 A JPS626111 A JP S626111A
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JP
Japan
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light
detector
measured
reflected light
half mirror
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JP14618985A
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JPH0569165B2 (ja
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Yoshizo Honda
芳三 本多
Tokuyasu Oki
沖　十九康
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）発明の技術分野 この発明は、ＶＬ測定物に光源の光を照射し、被測定物
からの鏡面反射光と散乱光とを検出して被測定物の表面
の粗さを測定する場合において、被測定物と検出器との
距離が多少変化しても、鏡面反射光とともに一定の散乱
角をもった散乱光を検出することができるようにした表
面粗さ計に関するものである。
（ｂ）従来技術と問題点 反射光による表面粗さ計は、被測定物に光源の光を照射
し、被測定物からの反射光を検出して被測定物の表面の
粗さを測定する。この場合、測定パラメータとして、鏡
面反射光の光強度と、ある特定の反射方向の散乱光強度
とを求め、これらを比較して被測定物の表面の粗さを測
定する。
このような場合の従来技術の構成図を第２図に示す。
第２図の１は光源、２と３は検出器、４は被測定物であ
る。
第２図では、光源１の光を被測定物４に入射角ｅで照射
し、被測定物４からの鏡面反射光が反射角θで反射して
いる。検出器２は反射角θの鏡面反射光を検出する。
被測定物４からは、表面の粗さに応じて鏡面反射光以外
の散乱光が発生する。
検出器３は、鏡面反射光以外の特定の反射角に対する散
乱光を検出するためのものである。
第２図のような従来技術では、検出器２と検出器３の距
離を固定しているので、検出器２と被測定物４の間の距
離が変化すると、被測定物４からの一定の散乱角をもっ
た散乱光を検出器３で検出することはできなくなる。
次に、検出器２．検出器３と被測定物４の距離が変化し
た場合の状態を第３図により説明する。
第３図のＬｌは検出器２と検出器３の距離、Ｌ２とＬ３
は検出器２と被測定物４の距離である。
第３図では、Ｌ３＞Ｌ２になっており、距離Ｌ２のとき
の散乱角θ２と、距離Ｌ３のときの散乱角ｅ３との関係
はθ２〉θ３になる。
第３図から明らかなように、検出器２と被測定物４の距
離が変化すると、検出器３に達する散乱光の散乱角が変
わってしまうようになる。
このような問題をなくすためには、光源１、被測定物４
、検出器２および検出器３の位置関係を一定に保たなけ
ればならない。
（ｃ）発明の目的 この発明は、被測定物４と検出器２、検出器３の距離が
変わっても、鏡面反射光とともに一定の散乱角をもった
散乱光を検出できるようにした表面粗さ計の提供を目的
とする。
（ｄ）発明の実施例 この発明による実施例の構成図を第１図に示す。
第１図の５はハーフミラ−１６はレンズ、７は軸であり
、その他の部分は第２図と同じである。
軸７は、鏡面反射光の進行方向である。
第１図では、ハーフミラ−５を次のような状態になるよ
うに配置する。
ハーフミラ−５により、光８１からの光を反射し、この
反射光を軸７に沿って被測定物４に導き、被測定物４か
らの鏡面反射光を被測定物４への入射光と正反対の方向
の軸７に沿って通過させるとともに、被測定物４からの
散乱光を通過させる。
レンズ６の中心は軸７と一致するようにし、検出器３を
レンズ６の後側焦点面に配置し、レンズ６に入射する一
定角の散乱光を検出器３で検出させるようにレンズ６を
構成する。
第１図から明らかなように、ＶＬ測定物４とハーフミラ
−５との距離がＬｌｌ、Ｌ１２、Ｌｌ３のように変化し
ても、レンズ６により常に同じ散乱角θ１１の光線を検
出器３で検出することができる。
（ｅ）発明の効果 この発明によれば、ハーフミラ−５と、一定の散乱角を
もった散乱光を集光するレンズ６を採用しているので、
検出器３と被測定物４の距離が多少変化しても、鏡面反
射光と一定の散乱角をもった散乱光を確実に測定するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明による実施例の構成図、第２図は従来
技術の構成図、 第３図は検出器２、検出器３と［ｌＪ定物４の距離が変
化した場合の状態説明図。 ■・・・・・・光源、２・・・・・・検出器、３・・・
・・・検出器、４・・・・・・被測定物、５・・・・・
・ハーフミラ−１８・・・・・・レンズ、７・・・・・
・軸。 代理人　　弁理士　　小　俣　飲　司 第　　　１　　　図 被胴定物 第　　２　　図 第　　３　　図 被測定物

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １　光源の光を被測定物に照射し、前記被測定物からの
    鏡面反射光と散乱光を検出器で検出する表面粗さ計にお
    いて、 前記光源からの光を反射して前記被測定物への照射光と
    し、前記照射光と前記鏡面反射光とが正反対になるよう
    にするとともに、前記鏡面反射光と前記散乱光が通過す
    るように配置したハーフミラーと、 中心を前記鏡面反射光の進行方向と一致するように配置
    し、前記検出器と前記被測定物との距離が変化しても前
    記被測定物からの一定の散乱角をもった散乱光を前記検
    出器で検出するようにしたレンズとを備えることを特徴
    とする反射光による表面粗さ計。
JP14618985A 1985-06-28 1985-07-03 反射光による表面粗さ計 Granted JPS626111A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14618985A JPS626111A (ja) 1985-07-03 1985-07-03 反射光による表面粗さ計
GB8615726A GB2177793B (en) 1985-06-28 1986-06-27 Reflected light type surface roughness analyzer
DE19863621567 DE3621567A1 (de) 1985-06-28 1986-06-27 Mit reflektiertem licht arbeitender oberflaechenrauheitsanalysator
GB8901426A GB2211711B (en) 1985-06-28 1989-01-23 Reflected light type surface roughness analyzer
GB8901427A GB2211712B (en) 1985-06-28 1989-01-23 Reflected light type surface roughness analyzer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14618985A JPS626111A (ja) 1985-07-03 1985-07-03 反射光による表面粗さ計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS626111A true JPS626111A (ja) 1987-01-13
JPH0569165B2 JPH0569165B2 (ja) 1993-09-30

Family

ID=15402147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14618985A Granted JPS626111A (ja) 1985-06-28 1985-07-03 反射光による表面粗さ計

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JP (1) JPS626111A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5577810A (en) * 1994-03-18 1996-11-26 Topy Kogyo Kabushiki Kaisha Wheel disk having a non-uniform thickness
KR100488305B1 (ko) * 2002-03-21 2005-05-11 주식회사 새 미 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5577810A (en) * 1994-03-18 1996-11-26 Topy Kogyo Kabushiki Kaisha Wheel disk having a non-uniform thickness
KR100488305B1 (ko) * 2002-03-21 2005-05-11 주식회사 새 미 비접촉식 휴대용 표면거칠기 측정장치

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JPH0569165B2 (ja) 1993-09-30

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