JPS59973B2 - 自動外観検査装置 - Google Patents
自動外観検査装置Info
- Publication number
- JPS59973B2 JPS59973B2 JP52095073A JP9507377A JPS59973B2 JP S59973 B2 JPS59973 B2 JP S59973B2 JP 52095073 A JP52095073 A JP 52095073A JP 9507377 A JP9507377 A JP 9507377A JP S59973 B2 JPS59973 B2 JP S59973B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- counting
- scanning lines
- counting means
- pattern
- visual inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体ペレット（ダイオードペレット）など
の自動外観検査装置に関するものである。
の自動外観検査装置に関するものである。
従来トランジスタ・ダイオードなどの半導体素子のペレ
ットの欠け、表面異常、クラック等の欠陥は、目視で検
査するのが一般的である。自動外観検査装置の例におい
ては、面積、周囲長、外接四辺形の辺の長さ等を測定し
て、良品と不良品を弁別する方法がとられている。この
判定方法では大きな欠陥とか、特定の形状の欠陥は十分
検知可能であるが、ペレット内部に存在する表面汚れ、
表面メッキはがれのような微細な欠陥は、変化の程度が
少なく検知が困難であつた。本発明の目的は、上記従来
の欠点をなくし、半導体ペレットなどのように表面形状
が均一で凸形をした二次元パターンの外観形状検査を行
なう場合に微細な表面メッキはがれとか、表面汚れとい
つた欠陥に対しても敏感に検知できるようにパターン内
部の孤立部分を検出するようにした自動外観検査装置を
提供するにある。
ットの欠け、表面異常、クラック等の欠陥は、目視で検
査するのが一般的である。自動外観検査装置の例におい
ては、面積、周囲長、外接四辺形の辺の長さ等を測定し
て、良品と不良品を弁別する方法がとられている。この
判定方法では大きな欠陥とか、特定の形状の欠陥は十分
検知可能であるが、ペレット内部に存在する表面汚れ、
表面メッキはがれのような微細な欠陥は、変化の程度が
少なく検知が困難であつた。本発明の目的は、上記従来
の欠点をなくし、半導体ペレットなどのように表面形状
が均一で凸形をした二次元パターンの外観形状検査を行
なう場合に微細な表面メッキはがれとか、表面汚れとい
つた欠陥に対しても敏感に検知できるようにパターン内
部の孤立部分を検出するようにした自動外観検査装置を
提供するにある。
即ち本発明は、パターンに欠陥がない場合は、外方に向
つて凸形図形においては、パターンエッヂは一本の走査
線には二箇所だけ存在し、しかしながらパターンに欠陥
があつて内部に孤立点が存在する時は、パターンエッヂ
が３箇所以上存在することに着目し、パターンの走査時
に一本の走査線が何度パターンエッヂに出合つたかを検
知することによつて孤立した欠陥が存在するか否かを判
定するようにした。ただ走査線一本についてのチェック
では、何らかの外乱しによつてたまたまパターン内又は
外に１ビットだけ孤立点として本来無い孤立点が発生し
た時も、この点で欠陥として判定してしまう。そこで欠
陥の大きさを任意に設定して、設定値〜以上の大きさの
孤立点があつた時初めて欠陥有わと判定する方法をとる
。もちろん欠陥の大きさを最小１ビットにとることも可
能である。孤立点の大きさを判定する方法として、走査
に平行な方向の大きさは、パターンエツジが設定した距
離以内に複数個存在する時は、ひとつのエツジとみなす
ことによつて決めることができる。
つて凸形図形においては、パターンエッヂは一本の走査
線には二箇所だけ存在し、しかしながらパターンに欠陥
があつて内部に孤立点が存在する時は、パターンエッヂ
が３箇所以上存在することに着目し、パターンの走査時
に一本の走査線が何度パターンエッヂに出合つたかを検
知することによつて孤立した欠陥が存在するか否かを判
定するようにした。ただ走査線一本についてのチェック
では、何らかの外乱しによつてたまたまパターン内又は
外に１ビットだけ孤立点として本来無い孤立点が発生し
た時も、この点で欠陥として判定してしまう。そこで欠
陥の大きさを任意に設定して、設定値〜以上の大きさの
孤立点があつた時初めて欠陥有わと判定する方法をとる
。もちろん欠陥の大きさを最小１ビットにとることも可
能である。孤立点の大きさを判定する方法として、走査
に平行な方向の大きさは、パターンエツジが設定した距
離以内に複数個存在する時は、ひとつのエツジとみなす
ことによつて決めることができる。
走査に垂直な方向は、連続して設定した本数の走査線に
パターンエツジが３箇所以上存在する時、欠陥有りと判
定する。このようにして大きさも設定して孤立欠陥を検
出することが可能となる。本発明の具体例を第１図に示
すような図形パターン１の検査に適用したものについて
説明する。本発明では検査パタンを正方形にて説明して
いるが凸形図形であればよい。２〜６は走査線にして、
図形パタン１の状態に対応して第２図７〜１１のような
ビデオ信号になる。
パターンエツジが３箇所以上存在する時、欠陥有りと判
定する。このようにして大きさも設定して孤立欠陥を検
出することが可能となる。本発明の具体例を第１図に示
すような図形パターン１の検査に適用したものについて
説明する。本発明では検査パタンを正方形にて説明して
いるが凸形図形であればよい。２〜６は走査線にして、
図形パタン１の状態に対応して第２図７〜１１のような
ビデオ信号になる。
図形のエツジ部分でパルスを発生させ、これをカウント
すれば、画面の右はしの走査終了時点に訃いて、走査線
２〜６について、カウンタの値はそれぞれ２，４，４，
４，４のようになる。２以外の値をとるものは、その走
査線上に孤立点が存在することを示している。
すれば、画面の右はしの走査終了時点に訃いて、走査線
２〜６について、カウンタの値はそれぞれ２，４，４，
４，４のようになる。２以外の値をとるものは、その走
査線上に孤立点が存在することを示している。
孤立点の大きさは、カウンタの値が２以外の値をとる走
査線が連続して幾本あるかで決定できる。
査線が連続して幾本あるかで決定できる。
第３図は、Ｎ本以上連続して走査線中に孤立点が存在す
ることを検出するハードウエアの構成例である。１２は
被検査パターン１を走査しながら撮像する撮像器、１３
は撮像器１２から得られるビデオ信号を２値化する２値
化回路、１４は２値化回路１３で２値化されたものから
被検査パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出回路である。
ることを検出するハードウエアの構成例である。１２は
被検査パターン１を走査しながら撮像する撮像器、１３
は撮像器１２から得られるビデオ信号を２値化する２値
化回路、１４は２値化回路１３で２値化されたものから
被検査パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出回路である。
而して２値化ビデオ信号を微分して輪郭信号を抽出し、
これをフリツプフロツプ１５〜１７で構成されるカウン
ターによつて一本の走査線中にパターンエツジが３箇所
以上あつたか否かを検出する。
これをフリツプフロツプ１５〜１７で構成されるカウン
ターによつて一本の走査線中にパターンエツジが３箇所
以上あつたか否かを検出する。
これのカウンタは、走査線のスタート点、すなわち、二
次元画面の左はしにて出る走査スタートパルス１９でク
リアされ新たな計数に備える。カウンタの値は、走査線
の終了時、画面の右はしに到達した時でるスキヤンエン
ド信号２０を用いて３以上か否かを判定し、３以上の時
は、孤立点がその走査線中に存在したとしてカウンタ２
１にひとつ加算する。もし、走査線が画面の右はしに達
した時に孤立点が無い時は、ゲート１８の出力２４はエ
ツジの数が２以下であることから゛０１となり、スキヤ
ンエンド信号２０を遅延回路２５を通して遅延して得ら
れる信号２２はゲート２３を通してカウンタ２１をクリ
アする。従つてカウンタ２１が設定値Ｎ以内か否かをこ
のカウンタがＮ以上でオーバグローするように作つて｝
いて、オーバフロー（０ｖｅｒｆ１０ｗ）を検出すれば
、孤立点がＮ本の走査線にまたがつて存在したことを示
すことになる。本検出法は、厳密には孤立点がとびとび
に存在していてもＮ本の走査線にまたがつていれば結果
としては、Ｎ本の走査線の巾をひとつの孤立点が占める
場合と同様になるが、これでも実用上はさしつかえない
。以上説明したように本発明によれば、２次元図形に孤
立した微細な欠陥が存在するか否かについて、撮像装置
から出力される映像信号を記憶させることなく、簡単な
構成でもつて時系列で検出でき、しかも高速処理も可能
となる作用効果を奏する。
次元画面の左はしにて出る走査スタートパルス１９でク
リアされ新たな計数に備える。カウンタの値は、走査線
の終了時、画面の右はしに到達した時でるスキヤンエン
ド信号２０を用いて３以上か否かを判定し、３以上の時
は、孤立点がその走査線中に存在したとしてカウンタ２
１にひとつ加算する。もし、走査線が画面の右はしに達
した時に孤立点が無い時は、ゲート１８の出力２４はエ
ツジの数が２以下であることから゛０１となり、スキヤ
ンエンド信号２０を遅延回路２５を通して遅延して得ら
れる信号２２はゲート２３を通してカウンタ２１をクリ
アする。従つてカウンタ２１が設定値Ｎ以内か否かをこ
のカウンタがＮ以上でオーバグローするように作つて｝
いて、オーバフロー（０ｖｅｒｆ１０ｗ）を検出すれば
、孤立点がＮ本の走査線にまたがつて存在したことを示
すことになる。本検出法は、厳密には孤立点がとびとび
に存在していてもＮ本の走査線にまたがつていれば結果
としては、Ｎ本の走査線の巾をひとつの孤立点が占める
場合と同様になるが、これでも実用上はさしつかえない
。以上説明したように本発明によれば、２次元図形に孤
立した微細な欠陥が存在するか否かについて、撮像装置
から出力される映像信号を記憶させることなく、簡単な
構成でもつて時系列で検出でき、しかも高速処理も可能
となる作用効果を奏する。
また装置構成もカウンタ及びゲートを２，３組合せるだ
けのもので済み半導体ペレツトのような２次元凸形図形
の外観検査を自動化する場合の欠陥判定器として効果は
大きい。
けのもので済み半導体ペレツトのような２次元凸形図形
の外観検査を自動化する場合の欠陥判定器として効果は
大きい。
第１図は本発明の対象となる外方に向つて凸形状をした
被検査物体のパターンの一例を示した図、第２図は第１
図に示すパターンを撮像器で撮像した時の映像信号を２
値化して得られる映像信号を示した図、第３図は本発明
の自動外観検査装置の一実施例である概略構成を示した
図である。
被検査物体のパターンの一例を示した図、第２図は第１
図に示すパターンを撮像器で撮像した時の映像信号を２
値化して得られる映像信号を示した図、第３図は本発明
の自動外観検査装置の一実施例である概略構成を示した
図である。
Claims (1)
- １ ２次元図形を時系列で順次走査し、映像信号に変換
する撮像装置と、該撮像装置から得られる映像信号を２
値化信号に変換する２値化回路と、各走査線毎に上記２
値化回路から出力される２値映像信号の反転する回数を
計数する第１の計数手段と、該第１の計数手段により出
力された値が予め設定された指定数以上であるか否かを
比較判定する第１の比較手段と、該第１の比較手段で第
１の計数手段より出力された値が指定数以上であると検
出されたことが、連続する走査線に亘つて検出されたと
き、その走査線本数を計数する第２の計数手段と、該第
２の計数手段で計数された走査線本数が、予め設定され
た指定値以上であるか否かを比較判定する第２の比較手
段とを備え、該第２の比較手段で得られる信号によつて
二次元図形に孤立した欠陥が存在するか否かを判定する
ように構成したことを特徴とする自動外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52095073A JPS59973B2 (ja) | 1977-08-10 | 1977-08-10 | 自動外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52095073A JPS59973B2 (ja) | 1977-08-10 | 1977-08-10 | 自動外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5429982A JPS5429982A (en) | 1979-03-06 |
| JPS59973B2 true JPS59973B2 (ja) | 1984-01-10 |
Family
ID=14127800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52095073A Expired JPS59973B2 (ja) | 1977-08-10 | 1977-08-10 | 自動外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59973B2 (ja) |
-
1977
- 1977-08-10 JP JP52095073A patent/JPS59973B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5429982A (en) | 1979-03-06 |
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