JPS61167945A - 光可溶化組成物 - Google Patents
光可溶化組成物Info
- Publication number
- JPS61167945A JPS61167945A JP60008766A JP876685A JPS61167945A JP S61167945 A JPS61167945 A JP S61167945A JP 60008766 A JP60008766 A JP 60008766A JP 876685 A JP876685 A JP 876685A JP S61167945 A JPS61167945 A JP S61167945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound
- acid
- present
- compounds
- irradiated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 63
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 28
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical group [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 claims description 2
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 abstract description 12
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 abstract description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 7
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 abstract description 3
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract description 2
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- -1 Orthoquinone diazide compounds Chemical class 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 11
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 6
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 238000006303 photolysis reaction Methods 0.000 description 5
- 230000015843 photosynthesis, light reaction Effects 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 4
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 241000894007 species Species 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- YBBRCQOCSYXUOC-UHFFFAOYSA-N sulfuryl dichloride Chemical compound ClS(Cl)(=O)=O YBBRCQOCSYXUOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 2
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 150000002896 organic halogen compounds Chemical class 0.000 description 2
- 125000002092 orthoester group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002905 orthoesters Chemical class 0.000 description 2
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000003381 solubilizing effect Effects 0.000 description 2
- RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K trisodium phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])([O-])=O RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOAHJDHKFWSLKE-UHFFFAOYSA-N 1,2-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC=CC1=O WOAHJDHKFWSLKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBBOQIHGWMYDPM-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylphenol;formaldehyde Chemical compound O=C.CC(C)(C)C1=CC=CC=C1O LBBOQIHGWMYDPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930091051 Arenine Natural products 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 241000287462 Phalacrocorax carbo Species 0.000 description 1
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N aluminum;sodium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Na+].[Al+3] ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000981 basic dye Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- UIZLQMLDSWKZGC-UHFFFAOYSA-N cadmium helium Chemical compound [He].[Cd] UIZLQMLDSWKZGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSNJTIWCTNEOSW-UHFFFAOYSA-N carbamothioylsulfanyl carbamodithioate Chemical class NC(=S)SSC(N)=S CSNJTIWCTNEOSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- FHIVAFMUCKRCQO-UHFFFAOYSA-N diazinon Chemical compound CCOP(=S)(OCC)OC1=CC(C)=NC(C(C)C)=N1 FHIVAFMUCKRCQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O diazynium Chemical compound [NH+]#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 150000002019 disulfides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N formaldehyde Substances O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOOLKNUJNPZAHE-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;2-methylphenol Chemical compound O=C.CC1=CC=CC=C1O VOOLKNUJNPZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 125000004970 halomethyl group Chemical group 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N iodonium Chemical compound [IH2+] MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M malachite green Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)=C1C=CC(=[N+](C)C)C=C1 FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940107698 malachite green Drugs 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- CXKWCBBOMKCUKX-UHFFFAOYSA-M methylene blue Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC2=[S+]C3=CC(N(C)C)=CC=C3N=C21 CXKWCBBOMKCUKX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960000907 methylthioninium chloride Drugs 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical group C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUSFEBGYPWJUSS-UHFFFAOYSA-N pentaazanium;[oxido(phosphonatooxy)phosphoryl] phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O GUSFEBGYPWJUSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical group 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-O phosphonium Chemical compound [PH4+] XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910001388 sodium aluminate Inorganic materials 0.000 description 1
- WBHQBSYUUJJSRZ-UHFFFAOYSA-M sodium bisulfate Chemical compound [Na+].OS([O-])(=O)=O WBHQBSYUUJJSRZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000342 sodium bisulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- FQENQNTWSFEDLI-UHFFFAOYSA-J sodium diphosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O FQENQNTWSFEDLI-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001488 sodium phosphate Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004763 sulfides Chemical class 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium Chemical compound [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- VKFFEYLSKIYTSJ-UHFFFAOYSA-N tetraazanium;phosphonato phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O VKFFEYLSKIYTSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000406 trisodium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019801 trisodium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/72—Photosensitive compositions not covered by the groups G03C1/005 - G03C1/705
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドゾaジエクター用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する光度溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
a)活性光線の照射によυ、酸を発生し得る化合物、及
び(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも/個有する化合物、及び(C)活性光線の照射によ
りラジカル禁止種を発生し、(a)から発生した酸又は
酸前、駆体の2ジ力ル種を捕捉し得る化合物、を含有す
る新規な先回溶化組成物に関する。
ッドゾaジエクター用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する光度溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
a)活性光線の照射によυ、酸を発生し得る化合物、及
び(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも/個有する化合物、及び(C)活性光線の照射によ
りラジカル禁止種を発生し、(a)から発生した酸又は
酸前、駆体の2ジ力ル種を捕捉し得る化合物、を含有す
る新規な先回溶化組成物に関する。
「従来の技術」
活性光線〈より可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られてシシ、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきt、このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第J、744.//r
号、同第λ。
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られてシシ、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきt、このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第J、744.//r
号、同第λ。
7≦7,0デ4号、同第コ、77λ、り74号、同第コ
、rzり、//、2号、同第2 、907 、 jぶ2
号、同第J、Out、/10号、同’J/ZJ 、 。
、rzり、//、2号、同第2 、907 、 jぶ2
号、同第J、Out、/10号、同’J/ZJ 、 。
44.111号、同第3,04Ala、111号、同第
3,04t6,111号、同第J、Out、//り号、
同KJ、044./コ□号、同第J、ollぶ、741
号、同第J、0444./コλ号、同第j 、04A&
、123号、同第J、ot/、4430号、同第J、
102,102号、同第3,101a。
3,04t6,111号、同第J、Out、//り号、
同KJ、044./コ□号、同第J、ollぶ、741
号、同第J、0444./コλ号、同第j 、04A&
、123号、同第J、ot/、4430号、同第J、
102,102号、同第3,101a。
4Lぶ1号、同第J、tJJ、709号、同第3゜44
’7 、44≠3号の各明細書をはじめ、多数の刊行物
に記されている。
’7 、44≠3号の各明細書をはじめ、多数の刊行物
に記されている。
これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解t−起こしてI員環のカルメン酸を生じ、
アルカリ可溶性となることを利用したものであるが、い
ずれも感光性が不十分であるという欠点を有する。これ
は、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子
収率がlt−越えないということに由来するものである
。
射により分解t−起こしてI員環のカルメン酸を生じ、
アルカリ可溶性となることを利用したものであるが、い
ずれも感光性が不十分であるという欠点を有する。これ
は、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子
収率がlt−越えないということに由来するものである
。
オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭441−122442号、特開
昭7l−4AO/コ!号、米国特許第≠、107.17
3号などの明細書に記載され九内容を挙げることができ
る。
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭441−122442号、特開
昭7l−4AO/コ!号、米国特許第≠、107.17
3号などの明細書に記載され九内容を挙げることができ
る。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チプに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされて匹る。その1つとして、例えば特公昭!≦−
−t24号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステルit−有するポリマー化合物が挙げら
れる。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場
合と同じ理由で感光性が十分とは言えない。ま九、これ
とは別に接触作用により活性化される感光系を使用し、
感光性を高める方法として、光分解で生成する酸によっ
て第1の反応を生起させ、それによシ露光域を可溶化す
る全知の累層が適用されている。
チプに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされて匹る。その1つとして、例えば特公昭!≦−
−t24号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステルit−有するポリマー化合物が挙げら
れる。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場
合と同じ理由で感光性が十分とは言えない。ま九、これ
とは別に接触作用により活性化される感光系を使用し、
感光性を高める方法として、光分解で生成する酸によっ
て第1の反応を生起させ、それによシ露光域を可溶化す
る全知の累層が適用されている。
このような例として、例えば光分解によシ酸を発生する
化合物と、アセタール又は0、N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭at−rり003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せC特開昭11
−/−〇7/≠号)、主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーとの組合せ(特開昭1!−IJJ#−
タ号)、エノールエーテル化合物との組合せ(4!開昭
!j−71221号)、N−アシルイミノ炭酸化合物と
の組合せく4?開昭1!−726234号)、及び主鎖
にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ(4?
開昭j4−/7J弘j号)を挙げることができる。これ
らは原理的に量子収率が”/を越える為、高い感光性を
示す可能性があるが、アセタール又はU、N−アセター
ル化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸による第
2の反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光性を
示さない。teオルトエステル又はアミドアセタール化
合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、更に
N−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かだ高い感光性
を示すが、経時での安定が悪く、長期に保存することが
できない。主鎖にオルトエステル基を有するポリマーの
場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像許容性
が狭いという欠点を有する。
化合物と、アセタール又は0、N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭at−rり003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せC特開昭11
−/−〇7/≠号)、主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーとの組合せ(特開昭1!−IJJ#−
タ号)、エノールエーテル化合物との組合せ(4!開昭
!j−71221号)、N−アシルイミノ炭酸化合物と
の組合せく4?開昭1!−726234号)、及び主鎖
にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ(4?
開昭j4−/7J弘j号)を挙げることができる。これ
らは原理的に量子収率が”/を越える為、高い感光性を
示す可能性があるが、アセタール又はU、N−アセター
ル化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸による第
2の反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光性を
示さない。teオルトエステル又はアミドアセタール化
合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、更に
N−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かだ高い感光性
を示すが、経時での安定が悪く、長期に保存することが
できない。主鎖にオルトエステル基を有するポリマーの
場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像許容性
が狭いという欠点を有する。
更にこのような酸分解性の化合物を基礎とする組成物の
実質感度は露光と現像の間に経過する時間により、徐々
に増大するという欠点き有する。
実質感度は露光と現像の間に経過する時間により、徐々
に増大するという欠点き有する。
「発明が解決しようとする問題点」
本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な光
可溶化組成物を提供することであるう即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な光可溶化組成物
を提供することである。
可溶化組成物を提供することであるう即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な光可溶化組成物
を提供することである。
本研究の別の目的は、感度が露光と現像の間の経過時間
に依らない新規な光可溶化組成物を提供することである
。
に依らない新規な光可溶化組成物を提供することである
。
本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る新規な光可溶化組成物を提供することである。
る新規な光可溶化組成物を提供することである。
「問題点を解決するための手段」
本発明者は、上記目的を達成すぺ〈鋭意検討を加え九結
果新規な光可溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達した。
果新規な光可溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達した。
即ち本発明は、
(Jl)活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物
、Φ)分子中に下記一般式(1)で示される酸によシ分
解し得るシリルエーテル基を少なくともI個有する化合
物、及び(C)活性光線の照射によりラジカル禁止種を
発生し、(a)から発生し九酸又は酸前駆体のラジカル
種を捕捉し得る化合物、を含有する元号溶化組成物、を
提供するものである。
、Φ)分子中に下記一般式(1)で示される酸によシ分
解し得るシリルエーテル基を少なくともI個有する化合
物、及び(C)活性光線の照射によりラジカル禁止種を
発生し、(a)から発生し九酸又は酸前駆体のラジカル
種を捕捉し得る化合物、を含有する元号溶化組成物、を
提供するものである。
本発明のΦ)に用いられる一般式(1)で示される酸に
より分解し得るシリルエーテル基を有する化合物として
は、好ましくは下記一般式([)の繰返し単位によって
化合物を表わすことができる。
より分解し得るシリルエーテル基を有する化合物として
は、好ましくは下記一般式([)の繰返し単位によって
化合物を表わすことができる。
式中R1は2価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示す。好
ましくは、親水性基、ウレタン基、ウレイド基、アミド
基、エステル基を有する2価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。
ましくは、親水性基、ウレタン基、ウレイド基、アミド
基、エステル基を有する2価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。
表お本発明でいう親水性基としては、具体的には下記に
示されるものがある。
示されるものがある。
千C1−120)12−U+。
((C1,−3−、u塗C)l、C)i、−〇÷。。
÷CHc)1.−0すC)i2C)l、−0す。 。
「
ト
式中、1はI−参の整数を示し、m、nは2以上の整数
、好ましくはλ〜100の整数、更に好ましくけ2〜−
〇の整数金示す。aはアルキル、又は置換基含有してい
てもよいフェニル基を示す。
、好ましくはλ〜100の整数、更に好ましくけ2〜−
〇の整数金示す。aはアルキル、又は置換基含有してい
てもよいフェニル基を示す。
特に好ましい親水性基は千CH2C)i、−〇+。
である。
R12、FL3は同一でも相異していてもよく、それぞ
れ水素原子、アルキル、アルケニル、置換基を有してい
てもよいアリール又はアラルキル、もしくは−oa4r
示す。好ましくは炭素数エーμ個のアルキル、又は−〇
R1を示す。R+4は置換基を有していてもよいアルキ
ル、アリール、もしくはアラルキル基、好ましくは炭素
数l−を個のアルキル、又は炭素数t、it個のアリー
ル基を示す。また本発明に用いられる化合物(b)は、
一般式(I)で示される繰返し単位を2種以上含有して
いてもよい。
れ水素原子、アルキル、アルケニル、置換基を有してい
てもよいアリール又はアラルキル、もしくは−oa4r
示す。好ましくは炭素数エーμ個のアルキル、又は−〇
R1を示す。R+4は置換基を有していてもよいアルキ
ル、アリール、もしくはアラルキル基、好ましくは炭素
数l−を個のアルキル、又は炭素数t、it個のアリー
ル基を示す。また本発明に用いられる化合物(b)は、
一般式(I)で示される繰返し単位を2種以上含有して
いてもよい。
本発明の(b)における化合物の具体例としては、次に
示すものが含まれる。
示すものが含まれる。
(I−コ)
(I−j)
(I−≠)
^ ^
^柄閥卜 一一 讐 誓 誓−ノ
〜ノ
−ノーノ 警
νNノ
−ノ +/ −ノー
−−甲 へ 書
町−ノ 〜
、t %+/1
ノ −ノ
%+/なお具体例中のnは2以上の整数を示す。
^柄閥卜 一一 讐 誓 誓−ノ
〜ノ
−ノーノ 警
νNノ
−ノ +/ −ノー
−−甲 へ 書
町−ノ 〜
、t %+/1
ノ −ノ
%+/なお具体例中のnは2以上の整数を示す。
また、Xs Ys zはモル比を示し、化合物例I−
≠3〜μ!ではx=IO〜rzモルチ、y=3〜fOモ
ルチ、z=10−1jモルチである。また化合物例i−
j〜/7、i−/PSl−2≠、■−3!、及び1−J
5’−12では、x;j〜りOモルチ、y=10−9j
モル係を示す。
≠3〜μ!ではx=IO〜rzモルチ、y=3〜fOモ
ルチ、z=10−1jモルチである。また化合物例i−
j〜/7、i−/PSl−2≠、■−3!、及び1−J
5’−12では、x;j〜りOモルチ、y=10−9j
モル係を示す。
これらの酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも7個有する化合物と組合せて用いる、本発明(a)
の活性光線の照射により酸を発生し得る化合物としては
、多くの公知化合物及び混合物、例えば、ジアゾニウム
、ホスホニウム、スルホニウム、及びヨードニウムのB
F −1PF、−1SbF −18iF 5−5c
tO4−などの塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノン
ジアジドスルホニルクロリド、及び有機金属/有機ハロ
ゲン化合物組合せ物が適当である。もちろん、米国特許
第J 、775’ 、771号及び西ドイツ国特許第λ
。
とも7個有する化合物と組合せて用いる、本発明(a)
の活性光線の照射により酸を発生し得る化合物としては
、多くの公知化合物及び混合物、例えば、ジアゾニウム
、ホスホニウム、スルホニウム、及びヨードニウムのB
F −1PF、−1SbF −18iF 5−5c
tO4−などの塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノン
ジアジドスルホニルクロリド、及び有機金属/有機ハロ
ゲン化合物組合せ物が適当である。もちろん、米国特許
第J 、775’ 、771号及び西ドイツ国特許第λ
。
&10.r≠2号の明細書中に記載され九光分解により
酸を発生させる化合物も本発明の組成物として適する。
酸を発生させる化合物も本発明の組成物として適する。
更に適当な染料と組合せて露光の際、未露光部と露光物
の間に可視的コントラストラ与えることを目的とし九化
合物、例えば特開昭よ!−7774c2号、同j7−/
6Jコ3弘号の明細書に記載された化合物も本発明の組
成物として使用することができる。
の間に可視的コントラストラ与えることを目的とし九化
合物、例えば特開昭よ!−7774c2号、同j7−/
6Jコ3弘号の明細書に記載された化合物も本発明の組
成物として使用することができる。
上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特にオ
ルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及びハロメチ
ル基が置換した$−トリアジン誘導体又はオキサジアゾ
ール誘導体が好ましい。というのは、例えばオルトキノ
ンジアジドスルホニルクロリドの場合、露光の際3つの
酸基(即ち塩酸、スルホン酸、カルボン酸)が形成され
る為、比較的大きい割合で前記シリルエーテル基を分解
させることができるからである。
ルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及びハロメチ
ル基が置換した$−トリアジン誘導体又はオキサジアゾ
ール誘導体が好ましい。というのは、例えばオルトキノ
ンジアジドスルホニルクロリドの場合、露光の際3つの
酸基(即ち塩酸、スルホン酸、カルボン酸)が形成され
る為、比較的大きい割合で前記シリルエーテル基を分解
させることができるからである。
本発明(a)における活性光線の照射により酸を発生し
得る化合物と、(b)における酸によシ分解し得るシリ
ルエーテル基を少なくとも1個有する化合物との割合は
、重量比でo、ooi:i−,2:/であシ、好ましく
は0.0λ:/−0,If:/”T:使用される。
得る化合物と、(b)における酸によシ分解し得るシリ
ルエーテル基を少なくとも1個有する化合物との割合は
、重量比でo、ooi:i−,2:/であシ、好ましく
は0.0λ:/−0,If:/”T:使用される。
また、本発明の(C)における活性光線の照射によジラ
ジカル禁止St−発生し、(a)から発生した酸又は酸
前駆体のラジカル種を捕捉し得る化合物(所謂radi
cal 1nhibitor precursor)と
しては、例えば芳香族ニトロ化合物、チウラムジスルフ
ィド化合物、ジスルフィド化合物、スルフィド化合物、
メルヵゾト化合物等が挙げられる。
ジカル禁止St−発生し、(a)から発生した酸又は酸
前駆体のラジカル種を捕捉し得る化合物(所謂radi
cal 1nhibitor precursor)と
しては、例えば芳香族ニトロ化合物、チウラムジスルフ
ィド化合物、ジスルフィド化合物、スルフィド化合物、
メルヵゾト化合物等が挙げられる。
具体的には以下の化合物が含まれる。
(C−t)(C−2)
(c−3) (C−4A)(C−a)
(C−7)
(C−r)
α
α
(C−2)
(C−io)
(C−//)
(C−/、2)
(c−i3>
(C−/弘)
(c−it)
(C−/j)
(C−/7)
(C−IP)
(C−20)
(C−コ/)
(C−22)
(C−コJ)
(C−コ≠)
(C−2り
(C−2≦)
(C−27)
(C−2g)
(C−=り)(C−30)
(C−J/) (C−32)(C−JJ
) 上記本発明(C)の化合物と、本発明(a)における活
性光線の照射により酸を発生し得る化合物との割合は、
モル比でo、oi:i−、lo:iであり、好ましくは
0./:/〜l:lで使用される。
) 上記本発明(C)の化合物と、本発明(a)における活
性光線の照射により酸を発生し得る化合物との割合は、
モル比でo、oi:i−、lo:iであり、好ましくは
0./:/〜l:lで使用される。
本発明の光可溶性組成物は、上記(a)、(b)、及び
(C)の化合物の組合せのみで使用することができるが
、アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた方が好ましい。
(C)の化合物の組合せのみで使用することができるが
、アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた方が好ましい。
好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラック型フェノー
ル樹脂が含まれ、具体的には、フェノールホルムアルデ
ヒドm脂、o−pvy−ルホルムアルデヒド樹脂、m−
クレゾールホルムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に
特開昭20−1λrrota号公報に記されている様に
上記のようなフェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノ
ールホルムアルデヒド樹脂のような炭素数3〜rのアル
キル基で置換されたフェノールま九はクレゾールとホル
ムアルデヒドとの縮合物とを併用すると、一層好ましい
うアルカリ可溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物
の全霊ff1t−基準として約4Ao〜約り0重量%、
よシ好ましくはto、r。
ル樹脂が含まれ、具体的には、フェノールホルムアルデ
ヒドm脂、o−pvy−ルホルムアルデヒド樹脂、m−
クレゾールホルムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に
特開昭20−1λrrota号公報に記されている様に
上記のようなフェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノ
ールホルムアルデヒド樹脂のような炭素数3〜rのアル
キル基で置換されたフェノールま九はクレゾールとホル
ムアルデヒドとの縮合物とを併用すると、一層好ましい
うアルカリ可溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物
の全霊ff1t−基準として約4Ao〜約り0重量%、
よシ好ましくはto、r。
重量%含有させられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸會発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所醐増感剤)などを含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的には、オイルイエコーHioi、
オイルイエロー15/JO、オイルピンク#3ノコ、オ
イルグリーンBG、オイルゾル−BU8.オイルブルー
#403、オイルプツツクBY、オイルゾ2ツクB8、
オイルブラックT−に’0!(以上、オリエント化学工
業株式会社製)クリスタルバイオレット(CI≠21!
!t)、メチルIンイオレット(CI≠2!3り、ロー
ダミyB(CI#ztyoB)、マラカイトグリー:/
(CI+1−2000ン、メチレンブルー(CIjコ0
1!〕などをあげることができる。
顔料、可塑剤及び前記酸會発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所醐増感剤)などを含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的には、オイルイエコーHioi、
オイルイエロー15/JO、オイルピンク#3ノコ、オ
イルグリーンBG、オイルゾル−BU8.オイルブルー
#403、オイルプツツクBY、オイルゾ2ツクB8、
オイルブラックT−に’0!(以上、オリエント化学工
業株式会社製)クリスタルバイオレット(CI≠21!
!t)、メチルIンイオレット(CI≠2!3り、ロー
ダミyB(CI#ztyoB)、マラカイトグリー:/
(CI+1−2000ン、メチレンブルー(CIjコ0
1!〕などをあげることができる。
本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に汰布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールそノエチルエーテル、コーメ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
に溶かして支持体上に汰布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールそノエチルエーテル、コーメ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は、
λ〜10重量−である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(m形分)は0./−23重量−である。また
、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷
版についていえば一般的に固形分として0,2〜J、O
f/fn が好ましい。
λ〜10重量−である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(m形分)は0./−23重量−である。また
、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷
版についていえば一般的に固形分として0,2〜J、O
f/fn が好ましい。
塗布量が少くなるにつれ感光性は大になるが、感光膜の
物性は低下する。
物性は低下する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があシ、その他亜鉛板、
ステンレス板、ククーム処理銅板、親水化処理し次プラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があシ、その他亜鉛板、
ステンレス板、ククーム処理銅板、親水化処理し次プラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来るウホトマスク用フィルムの製
造に遣する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させ九ポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来るウホトマスク用フィルムの製
造に遣する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させ九ポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の光可溶性組
成物を塗布して使用される。
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の光可溶性組
成物を塗布して使用される。
本発明に用いられる活性光線の光源として祉例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発IjliK使用することができる。このよ
うなレーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−
、アルゴンレーザー、クリゾトンイオンレーザー、ヘリ
ウム・カドミウムレーザーなどが挙げられる。
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発IjliK使用することができる。このよ
うなレーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−
、アルゴンレーザー、クリゾトンイオンレーザー、ヘリ
ウム・カドミウムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物にたいする現像液としては、珪
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア木表どのような無機アルカリ剤の水
溶液が適当であシ、それらの濃度が0./〜io重量慢
、好ましくは003〜3重量−になるように添加される
。
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア木表どのような無機アルカリ剤の水
溶液が適当であシ、それらの濃度が0./〜io重量慢
、好ましくは003〜3重量−になるように添加される
。
また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
「実施例」
以下、本発明を実施例によシ更に詳細に説明するが、本
発明の内容がこれによシ限定されるものではない。
発明の内容がこれによシ限定されるものではない。
実施例 1
厚さ0.14cmmoコ8アルミニウム板を10@Cに
保つ九第3燐酸ナトリウムの10−水溶液に3分間浸漬
して脱脂し、ナイロンブラフで砂目立てした後アルミン
酸ナトリウムで約10秒間エツチングして、硫酸水素ナ
トリウム3肴水溶液でデスマット処理を行った。とのア
ルミニウム板をλ0チ硫酸中で電流密度−人/ d m
” K訃いて1分間陽極酸化を行いアルミニウム板を
作製し次。
保つ九第3燐酸ナトリウムの10−水溶液に3分間浸漬
して脱脂し、ナイロンブラフで砂目立てした後アルミン
酸ナトリウムで約10秒間エツチングして、硫酸水素ナ
トリウム3肴水溶液でデスマット処理を行った。とのア
ルミニウム板をλ0チ硫酸中で電流密度−人/ d m
” K訃いて1分間陽極酸化を行いアルミニウム板を
作製し次。
次に下記感光液(A)の本発明の化合物(C)の種類を
変えて2種類の感光液(A)−/〜(A)−rt−調整
し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に
塗布し、100”Cで2分間乾燥して、それぞれ感光性
平版印刷版(A)−/〜(A)−rt−作製した。また
感光液(A)の本発明の化合物(b)としては、化合物
例(1−/コ)(n =x 4C1X / ’I 2
u O/ 40 、分子量はGPC(Gel Per
meation Chromatography)ポリ
スチレン標準でJ 、!TOOであった。)で示される
ものを使用した。このときの塗布量は全て乾燥重量でt
、zy/m であつ友。
変えて2種類の感光液(A)−/〜(A)−rt−調整
し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に
塗布し、100”Cで2分間乾燥して、それぞれ感光性
平版印刷版(A)−/〜(A)−rt−作製した。また
感光液(A)の本発明の化合物(b)としては、化合物
例(1−/コ)(n =x 4C1X / ’I 2
u O/ 40 、分子量はGPC(Gel Per
meation Chromatography)ポリ
スチレン標準でJ 、!TOOであった。)で示される
ものを使用した。このときの塗布量は全て乾燥重量でt
、zy/m であつ友。
また、感光液〔人)−/〜(A)−1に用いた本発明の
化合物(c)及びその添加量は第7表に示す。
化合物(c)及びその添加量は第7表に示す。
感光液(A)
次に比較例として下記の感光液CB)、及び感光液(A
)において本発明の化合物(C)’を含まない感光液(
C)?同様に塗布し、感光性平版印刷版CB)、(C)
を作製した。
)において本発明の化合物(C)’を含まない感光液(
C)?同様に塗布し、感光性平版印刷版CB)、(C)
を作製した。
感光液CB)
乾燥後の塗布重量はともに/、117m であった。
感光性平版印刷版(A)−/〜(A )−’5(B)、
及び〔C〕の感光層上に濃度差0./jのグレースケー
ルを密着させ、30アンペアのカーボンアーク灯で70
C111の距離から露光を行った。
及び〔C〕の感光層上に濃度差0./jのグレースケー
ルを密着させ、30アンペアのカーボンアーク灯で70
C111の距離から露光を行った。
本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版(A)−/〜(A)−、r、CB)、及び(C)
=iDP−4c(商品名:富士写真フィルム■g)の2
倍希釈水溶液でλz ’Cにおいて40秒間浸漬現像し
、濃度差0./よのグレースケールで1段目が完全にク
リアーとなる露光時間を求めたつ 更に露光、現像間の経時に対する優れた感度安定性を示
す為に感光性平版印刷版(A)−/〜(A)−r、CB
)、及び(C,It−上記方法によ#)40秒間露光後
、30秒間及び4o分間経時させた。その後同様に現像
を行い、30秒秒間時及び60分分間時において、濃度
差Q、/!のグレースケールで完全にクリアーとなる段
数の差を求めたところ第1表に示すとおりとなったつ第
1表かられかるように本発明の化合物上用いた感光性平
版印刷版(A)−/〜(:A)−4は、ナフトキノンジ
アジド化合物を用いたCB)より、いずれも露光時間が
少く、感度が高い。
印刷版(A)−/〜(A)−、r、CB)、及び(C)
=iDP−4c(商品名:富士写真フィルム■g)の2
倍希釈水溶液でλz ’Cにおいて40秒間浸漬現像し
、濃度差0./よのグレースケールで1段目が完全にク
リアーとなる露光時間を求めたつ 更に露光、現像間の経時に対する優れた感度安定性を示
す為に感光性平版印刷版(A)−/〜(A)−r、CB
)、及び(C,It−上記方法によ#)40秒間露光後
、30秒間及び4o分間経時させた。その後同様に現像
を行い、30秒秒間時及び60分分間時において、濃度
差Q、/!のグレースケールで完全にクリアーとなる段
数の差を求めたところ第1表に示すとおりとなったつ第
1表かられかるように本発明の化合物上用いた感光性平
版印刷版(A)−/〜(:A)−4は、ナフトキノンジ
アジド化合物を用いたCB)より、いずれも露光時間が
少く、感度が高い。
更に本発明の化合物(C) を含まない(C)に比べ、
経時によるグレースケール段数差が小さく、露光、現像
間の経時に対する感度安定性が優れる。
経時によるグレースケール段数差が小さく、露光、現像
間の経時に対する感度安定性が優れる。
実施例 2
実施例/の感光液(A)において、本発明の化合物(b
)の覆類を変え几感光液(A)−2〜(A)−/コを用
い、実施例1と同様にして感光性平版印刷版(A)−タ
〜(A)−12f作製した。同じく、感光液(A)−2
〜(A、l−/−における本発明の化合物(C)を含ま
ない感光液(C)−5’〜(C)−/コを用い、感光性
平版印刷版(C) −2〜(C)−/コを作製した。な
お感光液(A)−タ〜(A)−/コの本発明の化合物(
C)としては、化合切倒(C−/7)のものをo、o、
2oy使用した。塗布量はすべて乾燥重量で/、197
m2であった。また感光液(A)−2〜(A、l−/2
に用いた本発明の化合物(b)は第1表に示す。
)の覆類を変え几感光液(A)−2〜(A)−/コを用
い、実施例1と同様にして感光性平版印刷版(A)−タ
〜(A)−12f作製した。同じく、感光液(A)−2
〜(A、l−/−における本発明の化合物(C)を含ま
ない感光液(C)−5’〜(C)−/コを用い、感光性
平版印刷版(C) −2〜(C)−/コを作製した。な
お感光液(A)−タ〜(A)−/コの本発明の化合物(
C)としては、化合切倒(C−/7)のものをo、o、
2oy使用した。塗布量はすべて乾燥重量で/、197
m2であった。また感光液(A)−2〜(A、l−/2
に用いた本発明の化合物(b)は第1表に示す。
感光性平版印刷版(A)−タ〜[A]−/λ及び(C)
−f〜(C)−/λを実*例ノに示した方法によシ、露
光、現像を行い、露光後30秒経時及び60分分間時に
おける、濃度差0./jのグレースケールで完全にクリ
アーとなる段数の差を求めたところ第1表に示すとおシ
となった。
−f〜(C)−/λを実*例ノに示した方法によシ、露
光、現像を行い、露光後30秒経時及び60分分間時に
おける、濃度差0./jのグレースケールで完全にクリ
アーとなる段数の差を求めたところ第1表に示すとおシ
となった。
第1表
昔 比較例(本発明の化合物(C)1−含まない)。
なお第1表における本発明の化合物(1−4)、(1−
/?)ではx / y = j O/ j O(モル比
)、n=≠のものを使用した。また第−表における本発
明の化合物(b)の分子量は、(I−j)、(I−15
F)ではvPO(Vapour PressureO
smometer )で/10ONλ100.(1−λ
り、(1−jr)でH1GPCポリスチレ/標準で2!
0O−joooのものであった。
/?)ではx / y = j O/ j O(モル比
)、n=≠のものを使用した。また第−表における本発
明の化合物(b)の分子量は、(I−j)、(I−15
F)ではvPO(Vapour PressureO
smometer )で/10ONλ100.(1−λ
り、(1−jr)でH1GPCポリスチレ/標準で2!
0O−joooのものであった。
第1表かられかるように本発明の化合物上用いた感光性
平版印刷版(A)−F〜(A)−/jは、それぞれ対応
する本発明の化合物(C−/7)i含まない(C)−タ
〜(C)−/λに比べ、経時によるグレースケール段数
差が小さく、露光、現像間の経時に対する感度安定性が
優れる。
平版印刷版(A)−F〜(A)−/jは、それぞれ対応
する本発明の化合物(C−/7)i含まない(C)−タ
〜(C)−/λに比べ、経時によるグレースケール段数
差が小さく、露光、現像間の経時に対する感度安定性が
優れる。
特許出願人 富士写真フィルム株式会社手続補正書
昭和60年2月10日
う
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (a)活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、
(b)分子中に下記一般式( I )で示される酸により
分解し得るシリルエーテル基を少なくとも1個有する化
合物、及び(c)活性光線の照射によりラジカル禁止種
を発生し、(a)から発生した酸又は酸前駆体のラジカ
ル種を捕捉し得る化合物、を含有する光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I )
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60008766A JPS61167945A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | 光可溶化組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60008766A JPS61167945A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | 光可溶化組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61167945A true JPS61167945A (ja) | 1986-07-29 |
| JPH0545024B2 JPH0545024B2 (ja) | 1993-07-08 |
Family
ID=11702030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60008766A Granted JPS61167945A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | 光可溶化組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61167945A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61167946A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-07-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色光可溶化組成物 |
| JPS61169836A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JP2008266331A (ja) * | 2004-04-05 | 2008-11-06 | Alnylam Pharmaceuticals Inc | オリゴヌクレオチドの合成および精製に使用する方法および反応試薬 |
| US20140295332A1 (en) * | 2011-12-28 | 2014-10-02 | Fujifilm Corporation | Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film and pattern forming method, each using the same |
-
1985
- 1985-01-21 JP JP60008766A patent/JPS61167945A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61167946A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-07-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色光可溶化組成物 |
| JPS61169836A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JP2008266331A (ja) * | 2004-04-05 | 2008-11-06 | Alnylam Pharmaceuticals Inc | オリゴヌクレオチドの合成および精製に使用する方法および反応試薬 |
| US20140295332A1 (en) * | 2011-12-28 | 2014-10-02 | Fujifilm Corporation | Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film and pattern forming method, each using the same |
| US9188862B2 (en) * | 2011-12-28 | 2015-11-17 | Fujifilm Corporation | Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film and pattern forming method, each using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0545024B2 (ja) | 1993-07-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2525568B2 (ja) | 光可溶化組成物 | |
| US4752552A (en) | Photosolubilizable composition | |
| US3885964A (en) | Photoimaging process using nitroso dimer | |
| JPS6240450A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPS61169835A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPS61169837A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPH0380298B2 (ja) | ||
| JPH07508840A (ja) | ポジ型放射線感応性混合物およびそれを使用して製造した記録材料 | |
| JPH0480758A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPS61141442A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPS5974551A (ja) | N↓−アルキルインドリリデンおよびn↓−アルキルベンゾチアゾリリデンアルカノン類 | |
| JPS60121446A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| US5227276A (en) | Negative-working radiation-sensitive mixture, and radiation-sensitive recording material produced with this mixture | |
| JPH047502B2 (ja) | ||
| JPH0262544A (ja) | フォトレジスト組成物 | |
| JPH03154059A (ja) | ポジ型感光性組成物 | |
| US3901705A (en) | Method of using variable depth photopolymerization imaging systems | |
| JPS61167945A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPS603625A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| US4877719A (en) | Process for preparing image-bearing plates | |
| JPS6238450A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPH048783B2 (ja) | ||
| GB1587476A (en) | Photopolymerizable compositions and elements and methods of imaging | |
| JPS61166543A (ja) | 光可溶化組成物 | |
| JPS6238453A (ja) | 光可溶化組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |