JPS61169836A - 光可溶化組成物 - Google Patents
光可溶化組成物Info
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- JPS61169836A JPS61169836A JP935085A JP935085A JPS61169836A JP S61169836 A JPS61169836 A JP S61169836A JP 935085 A JP935085 A JP 935085A JP 935085 A JP935085 A JP 935085A JP S61169836 A JPS61169836 A JP S61169836A
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- JP
- Japan
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- acid
- weight
- alkali
- compd
- compound
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−用図面、ＩＣ回路、ホトマスクの製
造に適する光可溶化組成物に関する。更に詳しくは（ａ
）活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、（ｂ）
分子中に酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも１個有する化合物及ヒ（ｃ）メチルセロソルブ：水
＝９０二１０重量−の！−溶液のコ！６ＣにおけるｐＨ
が３．ｔ〜り。
ッドプロジェクタ−用図面、ＩＣ回路、ホトマスクの製
造に適する光可溶化組成物に関する。更に詳しくは（ａ
）活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、（ｂ）
分子中に酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも１個有する化合物及ヒ（ｃ）メチルセロソルブ：水
＝９０二１０重量−の！−溶液のコ！６ＣにおけるｐＨ
が３．ｔ〜り。
Ｏのアルカリ可溶性樹脂からなる光可溶化組成物（；関
する。
する。
（従来技術）
活性光線（二より可溶化する、いわゆるポジチブに作用
する感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化
合物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等
に広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジ
ド化合物として、例えば米国特許２．７≦６，１１１号
、同第コ、７６り、０９２号の各明細書をはじめ、多数
の刊行物に記されている。
する感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化
合物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等
に広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジ
ド化合物として、例えば米国特許２．７≦６，１１１号
、同第コ、７６り、０９２号の各明細書をはじめ、多数
の刊行物に記されている。
これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こしてｊ員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性は不十分であるという欠点を有する。これは
オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収率
が／を越えないということに由来するものである。
射により分解を起こしてｊ員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性は不十分であるという欠点を有する。これは
オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収率
が／を越えないということに由来するものである。
オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、いずれも、２〜３倍の程度感度を高めるだけ
であった。例えば、このような試みの例として、特公昭
４１？−／、２コ４ｔ、２号、特開昭！−−４１０１２
ｊ号、米国特許第ダ、３θ７、／７３号などの明細書に
記載された内容を挙げることができる。
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、いずれも、２〜３倍の程度感度を高めるだけ
であった。例えば、このような試みの例として、特公昭
４１？−／、２コ４ｔ、２号、特開昭！−−４１０１２
ｊ号、米国特許第ダ、３θ７、／７３号などの明細書に
記載された内容を挙げることができる。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チプに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その７つとして、例えば特公昭７４−
２６９４号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステル基ヲ有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
第２の反応を生起させ、それ（二より露光域を可溶化す
る公知の原理が適用されている。
チプに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その７つとして、例えば特公昭７４−
２６９４号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステル基ヲ有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
第２の反応を生起させ、それ（二より露光域を可溶化す
る公知の原理が適用されている。
このような例として、例えば光分解により酸を発生する
化合物と、アセタール又はＯ，Ｎ−アセタール化合物と
の組合せ（特開昭４ｔ／−／り０θ３号）、オルトエス
テル又はアミドアセタール化合物との組合せ（特開昭７
／−／、２θ２／４を号）、主鎖にアセタール又はケタ
ール基を有するポリマーとの組合せ（特開昭１３−／３
３４１２り号）、エノールエーテル化合物との組合せ（
特開昭！！−７．２タタ！号）、Ｎ−アシルイミノ炭酸
化合物との組合せ（特開昭ｊｊ−／コロ２３ｇ号）、及
び主鎖にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ
（Ｉ！＃開昭！イー／り３４ｔ！号）を挙げることがで
きる。これらは原理的に量子収率が／を越える為、高い
感光性を示す可能性があるが、アセタール又はＮ−アセ
タール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケター
ル基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸によ
る第コの反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光
性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセター
ル化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、
更にＮ−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感
光性を示すが、経時での安定性が悪く一長期に保存する
ことが出来ない。主鎖にオルトエステル基を有するポリ
マーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像
許容性が狭いという欠点を有する。
化合物と、アセタール又はＯ，Ｎ−アセタール化合物と
の組合せ（特開昭４ｔ／−／り０θ３号）、オルトエス
テル又はアミドアセタール化合物との組合せ（特開昭７
／−／、２θ２／４を号）、主鎖にアセタール又はケタ
ール基を有するポリマーとの組合せ（特開昭１３−／３
３４１２り号）、エノールエーテル化合物との組合せ（
特開昭！！−７．２タタ！号）、Ｎ−アシルイミノ炭酸
化合物との組合せ（特開昭ｊｊ−／コロ２３ｇ号）、及
び主鎖にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ
（Ｉ！＃開昭！イー／り３４ｔ！号）を挙げることがで
きる。これらは原理的に量子収率が／を越える為、高い
感光性を示す可能性があるが、アセタール又はＮ−アセ
タール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケター
ル基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸によ
る第コの反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光
性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセター
ル化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、
更にＮ−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感
光性を示すが、経時での安定性が悪く一長期に保存する
ことが出来ない。主鎖にオルトエステル基を有するポリ
マーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像
許容性が狭いという欠点を有する。
（発明の目的）
本発明の目的は、これらの問題点が解決され、かつ経時
での安定性に優れ長期に保存が可能である光可溶化組成
物を提供することである。即ち高い感光性を有し、現像
時の現像許容性が広く、かつ経時での安定性に優れ長期
に保存が可能である光可溶化組成物を提供することであ
る。
での安定性に優れ長期に保存が可能である光可溶化組成
物を提供することである。即ち高い感光性を有し、現像
時の現像許容性が広く、かつ経時での安定性に優れ長期
に保存が可能である光可溶化組成物を提供することであ
る。
本発明の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る光灯溶化物を提供することである。
る光灯溶化物を提供することである。
（発明の構成）
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を加えた
結果下記の光可溶化組成物を用いることで約記目的が達
成されることを見い出し本発明に致達した。
結果下記の光可溶化組成物を用いることで約記目的が達
成されることを見い出し本発明に致達した。
即ち本発明は、（ａ）活性光線の照射により酸を発生し
得る化合物０．０１〜７０重量％、Φ）分子中に酸によ
り分解し得るシリルエーテル基を少なくとも／個有する
化合物１０−１０重量％、及び（ｃ）メチルセロソルブ
：水＝９０：１０重量％の！チ溶液の２ｊ０Ｃにおける
ｐＨが３．！〜り、０のアルカリ可溶性樹脂４０〜？Ｑ
重量−からなる経時での安定性に優れ長期に保存が可能
である高感度光可溶化組成物を提供するものである。
得る化合物０．０１〜７０重量％、Φ）分子中に酸によ
り分解し得るシリルエーテル基を少なくとも／個有する
化合物１０−１０重量％、及び（ｃ）メチルセロソルブ
：水＝９０：１０重量％の！チ溶液の２ｊ０Ｃにおける
ｐＨが３．！〜り、０のアルカリ可溶性樹脂４０〜？Ｑ
重量−からなる経時での安定性に優れ長期に保存が可能
である高感度光可溶化組成物を提供するものである。
本発明に使用されるシリルエーテル基含有化合物として
は下記一般式（１）で示される、酸により分解し得るシ
リルエーテル基を少なくとも／個有する化合物である。
は下記一般式（１）で示される、酸により分解し得るシ
リルエーテル基を少なくとも／個有する化合物である。
具体的には特願昭！？−／４１６０？！号、特願昭！♂
−−３０３７７号、特願昭！ター号（昭和！り年りλ月
／ダ日付特許願（Ａ））及び特願昭！ター
号（昭和！り年／シリルエーテル基含有化合物の全組成
物中の添加量は７０〜４ｔθ重量％である。１０重量％
以下では画像が形成しない。また４０重量−以上では経
時的に不安定で好ましくない。より好ましい添加量は／
！〜３０重量−である。
−−３０３７７号、特願昭！ター号（昭和！り年りλ月
／ダ日付特許願（Ａ））及び特願昭！ター
号（昭和！り年／シリルエーテル基含有化合物の全組成
物中の添加量は７０〜４ｔθ重量％である。１０重量％
以下では画像が形成しない。また４０重量−以上では経
時的に不安定で好ましくない。より好ましい添加量は／
！〜３０重量−である。
本発明に使用される活性光線の照射により酸を発生し得
る好適な化合物としては多くの公知化合物及び混合物、
例えばジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
ヒヨードニウムのＢＦ４″、ＰＦ６−１Ｓ ｂ Ｆ ５
−１Ｓ １Ｆａ−−１Ｃ１ｏ４−すどの塩、有機ハロゲ
ン化合物、オルトキノンジアジドスルホニルクロライド
、及び有機金属／有機ノ・ロゲン化合物組合せ物が適当
である。もちろん米国特許第Ｊ 、７７？ 、７７？号
及び西ドイツ国特許第２゜ｔｌｏ、ｒ４１．２号の各明
細書中に記載された光分解により酸を発生させる化合物
も本発明の組成物として適する。
る好適な化合物としては多くの公知化合物及び混合物、
例えばジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及
ヒヨードニウムのＢＦ４″、ＰＦ６−１Ｓ ｂ Ｆ ５
−１Ｓ １Ｆａ−−１Ｃ１ｏ４−すどの塩、有機ハロゲ
ン化合物、オルトキノンジアジドスルホニルクロライド
、及び有機金属／有機ノ・ロゲン化合物組合せ物が適当
である。もちろん米国特許第Ｊ 、７７？ 、７７？号
及び西ドイツ国特許第２゜ｔｌｏ、ｒ４１．２号の各明
細書中に記載された光分解により酸を発生させる化合物
も本発明の組成物として適する。
上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特にハ
ロメチル−５−トリアジン化合物、ノ１０メチルオキサ
ジアゾール化合物等のトリノ・ロメチル化合物が好適で
ある。
ロメチル−５−トリアジン化合物、ノ１０メチルオキサ
ジアゾール化合物等のトリノ・ロメチル化合物が好適で
ある。
これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物の
全組成物中の添加量としては０．０／〜ｉｏ重量−であ
る。より好ましくは０６７〜２重量％である。
全組成物中の添加量としては０．０／〜ｉｏ重量−であ
る。より好ましくは０６７〜２重量％である。
本発明に使用される好適なアルカリ可溶性樹脂としては
フェノールホルムアルデヒド樹脂、クレゾールホルムア
ルデヒド樹脂、ｐ−ｔｅｒ−ブチルフェノールホルムア
ルデヒド樹脂、フェノール変性キシレン樹脂、フェノー
ル変性キシレンメシチレン樹脂等のノボラック樹脂、ピ
ロガロール・アセトン縮金物、ポリヒドロキシスチレン
ｆｃ合体及び共重合体、ポリハロゲン化ヒドロキシスチ
レン重合体及び共重合体、（メタ）アクリル酸と他のビ
ニル化合物（例えばメチルメタアクリレート）との共重
合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体及びそ
の部分エステル化物、イタコン酸共重合体等をあげるこ
とが出来る。上記の商業的に製造されるアルカリ可溶性
樹脂は遊離した酸を含有するためメテルセロンルブ：水
＝り０：１０重量％の！チ溶液の２！０ＣにおけるＰＨ
は、ある場合においては３．３以下である。
フェノールホルムアルデヒド樹脂、クレゾールホルムア
ルデヒド樹脂、ｐ−ｔｅｒ−ブチルフェノールホルムア
ルデヒド樹脂、フェノール変性キシレン樹脂、フェノー
ル変性キシレンメシチレン樹脂等のノボラック樹脂、ピ
ロガロール・アセトン縮金物、ポリヒドロキシスチレン
ｆｃ合体及び共重合体、ポリハロゲン化ヒドロキシスチ
レン重合体及び共重合体、（メタ）アクリル酸と他のビ
ニル化合物（例えばメチルメタアクリレート）との共重
合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体及びそ
の部分エステル化物、イタコン酸共重合体等をあげるこ
とが出来る。上記の商業的に製造されるアルカリ可溶性
樹脂は遊離した酸を含有するためメテルセロンルブ：水
＝り０：１０重量％の！チ溶液の２！０ＣにおけるＰＨ
は、ある場合においては３．３以下である。
本発明のΦ）におけるシリルエーテル基含有化合物は、
酸により分解するため、アルカリ可溶性樹脂が遊離した
酸を含有し、そのメチルセロソルブ：水；りＱ：１０重
量％のｊチ溶液の２！０Ｃｌ＝おけるｐＨが３．！以下
であると、本発明の（ｂ）におけるシリルエーテル基含
有化合物が経時で分解し、高感度光可溶化組成物とした
場合長期に保存することが不可能となる。
酸により分解するため、アルカリ可溶性樹脂が遊離した
酸を含有し、そのメチルセロソルブ：水；りＱ：１０重
量％のｊチ溶液の２！０Ｃｌ＝おけるｐＨが３．！以下
であると、本発明の（ｂ）におけるシリルエーテル基含
有化合物が経時で分解し、高感度光可溶化組成物とした
場合長期に保存することが不可能となる。
上記の商業的に製造されるアルカリ可溶性樹脂を有機溶
剤に溶解し、大量の水又は、大量のアルカリ水溶液（ｐ
Ｈは約り）に攪拌しながら徐々に加え、得られた沈殿生
成物を濾過、洗浄後乾燥して、遊離した酸を除去する。
剤に溶解し、大量の水又は、大量のアルカリ水溶液（ｐ
Ｈは約り）に攪拌しながら徐々に加え、得られた沈殿生
成物を濾過、洗浄後乾燥して、遊離した酸を除去する。
メチルセロソルブ：水＝り０：７０重量％の得られた生
成物！チ溶液のａｒｏｃにおけるｐＨは、上記の処理を
施さないものと比較して上昇する。このように商業的に
製造されるアルカリ可溶性樹脂に含有する遊離した酸を
除去し、メチルセロソルブ：水＝りＱ：１０重量％の１
％溶液の２！０ＣにおけるｐＨを上昇させることにより
、経時での安定性に優れ長期に保存が可能である高感度
光可溶化組成物を提供することができる。好ましいアル
カリ可溶性樹脂のメチルセロソルブ：水＝り０：１０重
量％の！チ溶液の、２ｊ０ＣにおけるｐＨの範囲は３．
ｔ〜り、Ｏである。より好ましい範囲は！、ｊ〜２゜０
である。これらアルカリ可溶性樹脂は単独で、又はコ種
以上混合して用いてもよい。
成物！チ溶液のａｒｏｃにおけるｐＨは、上記の処理を
施さないものと比較して上昇する。このように商業的に
製造されるアルカリ可溶性樹脂に含有する遊離した酸を
除去し、メチルセロソルブ：水＝りＱ：１０重量％の１
％溶液の２！０ＣにおけるｐＨを上昇させることにより
、経時での安定性に優れ長期に保存が可能である高感度
光可溶化組成物を提供することができる。好ましいアル
カリ可溶性樹脂のメチルセロソルブ：水＝り０：１０重
量％の！チ溶液の、２ｊ０ＣにおけるｐＨの範囲は３．
ｔ〜り、Ｏである。より好ましい範囲は！、ｊ〜２゜０
である。これらアルカリ可溶性樹脂は単独で、又はコ種
以上混合して用いてもよい。
アルカリ可溶性樹脂の全組成物中の添加量はぶ０〜９０
重量％でより好ましくは、７０−／ｊ重量−である。
重量％でより好ましくは、７０−／ｊ重量−である。
本発明の売可溶化組成物には必要に応じて更（二染料（
例えばＣ，１，ソルベントオレンジｔ、Ｃ４゜ソルベン
トレッド／４ｔＪ、 Ｃ，１，ソルベントレッド／４ｔ
ｊＳＣ４，ソルベントブルー３乙、Ｃ，Ｉ。
例えばＣ，１，ソルベントオレンジｔ、Ｃ４゜ソルベン
トレッド／４ｔＪ、 Ｃ，１，ソルベントレッド／４ｔ
ｊＳＣ４，ソルベントブルー３乙、Ｃ，Ｉ。
ソルベントブルー１ｒ−等のアント２キノン系染料やモ
ノアゾの金属錯塩系染料）、顔料（例えばＣ８工、ピグ
メントレッド４ｔ１．Ｃ，工、ピグメントブルー／ｊ）
、充てん剤（例えばシリカ粉末、ポリエチレン粉末、フ
ッ化ポリエチレン粉末、炭酸カルシウム粉末や硫酸バリ
ウム粉末等）、可塑剤、感度を高める環状酸無水物（例
えば無水７タル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水マ
レイン酸や無水コハク酸等）、や及び前記酸を発生し得
る化合物の酸発生効率を増大させる化合物（いわゆる増
感剤）などを含有させることができる。
ノアゾの金属錯塩系染料）、顔料（例えばＣ８工、ピグ
メントレッド４ｔ１．Ｃ，工、ピグメントブルー／ｊ）
、充てん剤（例えばシリカ粉末、ポリエチレン粉末、フ
ッ化ポリエチレン粉末、炭酸カルシウム粉末や硫酸バリ
ウム粉末等）、可塑剤、感度を高める環状酸無水物（例
えば無水７タル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水マ
レイン酸や無水コハク酸等）、や及び前記酸を発生し得
る化合物の酸発生効率を増大させる化合物（いわゆる増
感剤）などを含有させることができる。
本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロ２イド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、コーメ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロ２イド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、コーメ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度（添加物を含む全固形分）は、
コ〜ｊＯ重量％である。このうち、本発明の組成（ａ）
＋ （ｂ）＋ （ｃ）の好ましい濃度（固形分）は００
ｌ−２工重量％である。また、塗布量は用途により異な
るが、例えば感光性平版印刷版についていえば一般的に
固形分としてθ、！〜Ｊ、Ｏｇ／ｍ２が好ましい。塗布
量が少くなるにつれ感光性は大になるが、感光膜の物性
は低下する。
コ〜ｊＯ重量％である。このうち、本発明の組成（ａ）
＋ （ｂ）＋ （ｃ）の好ましい濃度（固形分）は００
ｌ−２工重量％である。また、塗布量は用途により異な
るが、例えば感光性平版印刷版についていえば一般的に
固形分としてθ、！〜Ｊ、Ｏｇ／ｍ２が好ましい。塗布
量が少くなるにつれ感光性は大になるが、感光膜の物性
は低下する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目型てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目型てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第一原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造（＝適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウ
ム合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレー
トフィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレ
ートフィルムをあげることが出来る。
ィルム第一原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造（＝適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウ
ム合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレー
トフィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレ
ートフィルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の売可溶化組
成物を塗布して使用される。
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の売可溶化組
成物を塗布して使用される。
本発明に用いられる活性光線の光源としては例えば水銀
灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカル
ランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エネ
ルギービーム（レーザービーム又は電子線）（二よる走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレーザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカル
ランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エネ
ルギービーム（レーザービーム又は電子線）（二よる走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレーザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物に対する現像液としては、珪酸
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニリ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が０．１〜７０重量％、
好ましくは０．Ｊ−〜！重量％になるように添加される
。
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニリ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が０．１〜７０重量％、
好ましくは０．Ｊ−〜！重量％になるように添加される
。
また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
合成例／
／、♂−オクタンジオール７．３２ｆｌ（０，０！θ／
ｍｏｌｅ）、テトラエチレングリコールタ。
ｍｏｌｅ）、テトラエチレングリコールタ。
７７ｇ（０，０１００ｍｏｌｅ）、ピリジン／７゜グｇ
（０，２２ｇｍｏｌｅ）、脱水蒸留したトルエンｒＯｍ
ｌの混合物に、ジクロロジメチルシラン／コ、９ｇ（０
，１０ｇｍｏｌｅ）のトルエン、２０ｍ１溶液を攪拌及
び水冷下、滴下ロートより３０分間かけて添加した。添
加後ｚｏ０Ｃにて、５時間攪拌を続けた。生成した白色
の塩（ピリジンの塩酸塩）を濾別し、トルエン溶液を減
圧下濃縮した。その後、真空下（約／ｍｍＨｇ）、約ｒ
ｏ０ｃＩ＝加熱しなから７０時間乾燥させた。無色透明
液体、収量２０．７ｇ６ＮＭＢにより、その構造が化合
物例ＡＩであることを確認した。更にｖＰＯ（Ｖａｐｏ
ｕｒ ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｑｓｍｏｍｅｔｅｒ）
により数平均分子量を測定したところ、Ｆ７１゜＝／
りｔＯであった。
（０，２２ｇｍｏｌｅ）、脱水蒸留したトルエンｒＯｍ
ｌの混合物に、ジクロロジメチルシラン／コ、９ｇ（０
，１０ｇｍｏｌｅ）のトルエン、２０ｍ１溶液を攪拌及
び水冷下、滴下ロートより３０分間かけて添加した。添
加後ｚｏ０Ｃにて、５時間攪拌を続けた。生成した白色
の塩（ピリジンの塩酸塩）を濾別し、トルエン溶液を減
圧下濃縮した。その後、真空下（約／ｍｍＨｇ）、約ｒ
ｏ０ｃＩ＝加熱しなから７０時間乾燥させた。無色透明
液体、収量２０．７ｇ６ＮＭＢにより、その構造が化合
物例ＡＩであることを確認した。更にｖＰＯ（Ｖａｐｏ
ｕｒ ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｑｓｍｏｍｅｔｅｒ）
により数平均分子量を測定したところ、Ｆ７１゜＝／
りｔＯであった。
合成例コ
合成例／Ｃ：おける／、１−オクタンジオール、ナト２
エチレングリコールの代わりにそれぞれｐ−キシリレン
グリコール、！ｔ 、 Ｊ−Ｊｇ （θ、ＯダθＯｍｏ
ｌｅ）、ポリエチレングリコ−ルナ３Ｑθ（関東化学■
製、平均分子量３θ０）／ｒｇ（０゜０６ｇｍｏｌｅ）
を使用し、合成例／と同様に反応、後処理を行った。無
色透明粘稠液体、収量Ａｔ。
エチレングリコールの代わりにそれぞれｐ−キシリレン
グリコール、！ｔ 、 Ｊ−Ｊｇ （θ、ＯダθＯｍｏ
ｌｅ）、ポリエチレングリコ−ルナ３Ｑθ（関東化学■
製、平均分子量３θ０）／ｒｇ（０゜０６ｇｍｏｌｅ）
を使用し、合成例／と同様に反応、後処理を行った。無
色透明粘稠液体、収量Ａｔ。
／ｇ、ＮＭＲによりその構造が化合物例Ａ、２であるこ
とを確認し、ｖＰＯにより数平均分子量を測定したとこ
ろＭｎ＝／７３θであった。
とを確認し、ｖＰＯにより数平均分子量を測定したとこ
ろＭｎ＝／７３θであった。
合成例３
ジヒドロキシエチルハイドロキノン／９．９ｇ（０，７
θＯｍｏｌｅ）、ピリジ：ｙｉｙ、ａｇ（ｏ。
θＯｍｏｌｅ）、ピリジ：ｙｉｙ、ａｇ（ｏ。
ＪＪＯｍｏｌｅ）、脱水蒸留したトルエン？σｍｌｌの
混合物に、ジクロロジメチルシラン／−８りｇ（θ、１
０Ｏｍｏ ｌ ｅ ）のトル１７２０ｍｌｌ溶液を、合
成例／と同様に添加し、その後、反応、後処理を同様に
行った。やや褐色がかった白色固体、収量／９゜７ｇ、
ＮＭＲによりその構造が化合物例＆３であることを確認
し、ｖＰＯにより数平均分子量を測定したところｙ１ｎ
＝ｓｏ４ｔθであった。
混合物に、ジクロロジメチルシラン／−８りｇ（θ、１
０Ｏｍｏ ｌ ｅ ）のトル１７２０ｍｌｌ溶液を、合
成例／と同様に添加し、その後、反応、後処理を同様に
行った。やや褐色がかった白色固体、収量／９゜７ｇ、
ＮＭＲによりその構造が化合物例＆３であることを確認
し、ｖＰＯにより数平均分子量を測定したところｙ１ｎ
＝ｓｏ４ｔθであった。
実施例／
厚さＱ、λ４ｔｍｍのＪＳアルミニウム板を１００Ｃに
保った第３燐酸ナトリウムの１０％水溶液に３分間浸漬
して脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アルミン
酸ナトリウムで約７０秒間エツチングして、硫酸水素ナ
トリウム３チ水溶液でデスマット処理を行った。このア
ルミニウム板をコθチ硫酸中で電流密度−Ａ ／ ｄ
ｍ ２において２分間陽極酸化を行いアルミニウム板を
作製した。
保った第３燐酸ナトリウムの１０％水溶液に３分間浸漬
して脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アルミン
酸ナトリウムで約７０秒間エツチングして、硫酸水素ナ
トリウム３チ水溶液でデスマット処理を行った。このア
ルミニウム板をコθチ硫酸中で電流密度−Ａ ／ ｄ
ｍ ２において２分間陽極酸化を行いアルミニウム板を
作製した。
メチレングリコール７００ｇに商業的に製造されたアル
カリ可溶性樹であるクレゾール−ホルムアルデヒドノボ
ラック樹脂ｔｏｇを徐々に加え溶解した。次いで得られ
る化合物をＫＯＨ水溶液（ｐＨ＝９）／ｊθ０ｇ（；攪
拌しながら徐々に加え、得られた沈殿生成物を濾過、洗
浄後乾燥して遊離した酸を除去した。メチルセロソルブ
：水＝り０１７０重量％の得られる化合物！チ溶液のコ
ｚ ’ＣにおけるｐＨはご、ｊであった。
カリ可溶性樹であるクレゾール−ホルムアルデヒドノボ
ラック樹脂ｔｏｇを徐々に加え溶解した。次いで得られ
る化合物をＫＯＨ水溶液（ｐＨ＝９）／ｊθ０ｇ（；攪
拌しながら徐々に加え、得られた沈殿生成物を濾過、洗
浄後乾燥して遊離した酸を除去した。メチルセロソルブ
：水＝り０１７０重量％の得られる化合物！チ溶液のコ
ｚ ’ＣにおけるｐＨはご、ｊであった。
同様にして、上記の処理を施していない商業的に製造さ
れたクレゾール−ホルムアルデヒドノボラック樹脂のメ
チルセロソルブ：水＝り０１７０重量％の！チ溶液の２
！０ＣにおけるｐＨはコ。
れたクレゾール−ホルムアルデヒドノボラック樹脂のメ
チルセロソルブ：水＝り０１７０重量％の！チ溶液の２
！０ＣにおけるｐＨはコ。
！であった。
得られた本発明の遊離した酸を除去したアルカリ可溶性
樹脂であるクレゾール−ホルムアルデヒドノボラック樹
脂を添加した感光液を（Ａ〕−／、及び上記の処理を施
していない商業的に製造されたクレゾール−ホルムアル
デヒドノボラック樹脂を添加したものを比較例［Ａ）−
−２として同時に調整し、この感光液を陽極酸化された
アルミニウム板の上に塗布し、１０θ０Ｃで２分間乾燥
して、それぞれの感光性平版印刷版［Ａ）−／〜［Ａ］
−２を作製した。このときの塗布量は全て乾燥重量でコ
、Ｏｇ／ｍ２であった。
樹脂であるクレゾール−ホルムアルデヒドノボラック樹
脂を添加した感光液を（Ａ〕−／、及び上記の処理を施
していない商業的に製造されたクレゾール−ホルムアル
デヒドノボラック樹脂を添加したものを比較例［Ａ）−
−２として同時に調整し、この感光液を陽極酸化された
アルミニウム板の上に塗布し、１０θ０Ｃで２分間乾燥
して、それぞれの感光性平版印刷版［Ａ）−／〜［Ａ］
−２を作製した。このときの塗布量は全て乾燥重量でコ
、Ｏｇ／ｍ２であった。
感光液（Ａ）
次に別の比較例として下記の感光液〔Ｂ〕を感光液（Ａ
）と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔Ｂ〕を作製した
。
）と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔Ｂ〕を作製した
。
感光液〔Ｂ〕
乾燥後の塗布重量は−〇ｇ ７ｍ２であった。
得られた感光性平版印刷版〔Ａ〕、〔Ｂ〕を９０°Ｃｒ
１１７％Ｒ１（、及びｔｒｏｃ＜約／１ｓＲａ）の条件
に、それぞれ！日間放置した。
１１７％Ｒ１（、及びｔｒｏｃ＜約／１ｓＲａ）の条件
に、それぞれ！日間放置した。
こうした感光性平版印刷版（Ａ）−／〜〔Ａ〕−２及び
〔Ｂ〕の感光層上に濃度差Ｏ１／！のグレースケールを
密着させ、１０アンはアの高圧水銀灯で７０ Ｃｍの距
離から露光を行った。
〔Ｂ〕の感光層上に濃度差Ｏ１／！のグレースケールを
密着させ、１０アンはアの高圧水銀灯で７０ Ｃｍの距
離から露光を行った。
本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版（Ａ：］−／〜〔Ａ〕−２及び〔Ｂ〕を露光３０
秒後にＤＰ−３（商品名：富士写真フィルム■製）の７
０倍希釈水溶液で−ｊ０Ｃにおいて６０秒間浸漬現像し
、濃度差θ、／ｊのグレースケールでｊ段目が完全にク
リアーとなる露光時間を求めたところ第１表に示すとお
りとなった。
印刷版（Ａ：］−／〜〔Ａ〕−２及び〔Ｂ〕を露光３０
秒後にＤＰ−３（商品名：富士写真フィルム■製）の７
０倍希釈水溶液で−ｊ０Ｃにおいて６０秒間浸漬現像し
、濃度差θ、／ｊのグレースケールでｊ段目が完全にク
リアーとなる露光時間を求めたところ第１表に示すとお
りとなった。
表／かられかるように本発明の遊離した酸を除去したア
ルカリ可溶性樹脂を用いたものは、経時での安定性に優
れ、長期に保存が可能であり、かつＣＢ）のオルトナフ
トキノンジアジド系感光物より高感であった。
ルカリ可溶性樹脂を用いたものは、経時での安定性に優
れ、長期に保存が可能であり、かつＣＢ）のオルトナフ
トキノンジアジド系感光物より高感であった。
実施例コ
実施例／の感光液（Ａ）−／の合成例コの代りに合成例
／及び合成例３のシリルエーテル樹脂を用い、実施例／
と同様にして感光性平版印刷版〔ＣＤ及びＣＤ）を作製
した。実施例／で示した方法により、濃度差Ｏ１／！の
グレースケールで４段目が完全にクリアーとなる露光時
間を求めたところ感光性平版印刷版（ｃ）は、第１表に
示したすべての条件下で約ダ秒、感光性平版印刷版ＣＤ
）は約３秒であった。
／及び合成例３のシリルエーテル樹脂を用い、実施例／
と同様にして感光性平版印刷版〔ＣＤ及びＣＤ）を作製
した。実施例／で示した方法により、濃度差Ｏ１／！の
グレースケールで４段目が完全にクリアーとなる露光時
間を求めたところ感光性平版印刷版（ｃ）は、第１表に
示したすべての条件下で約ダ秒、感光性平版印刷版ＣＤ
）は約３秒であった。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （ａ）活性光線の照射により酸を発生し得る化合物０．
０１〜１０重量％、 （ｂ）分子中に下記一般式（ I ）で示される、酸によ
り分解し得るシリルエーテル基を少なくとも１個有する
化合物１０〜４０重量％、及び （ｃ）メチルセロソルブ：水＝９０：１０重量％の５％
溶液の２５℃におけるｐＨが３．５〜９．０のアルカリ
可溶性樹脂６０〜９０重量％からなる光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60009350A JPH067260B2 (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 光可溶化組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60009350A JPH067260B2 (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 光可溶化組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61169836A true JPS61169836A (ja) | 1986-07-31 |
| JPH067260B2 JPH067260B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=11718017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60009350A Expired - Fee Related JPH067260B2 (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 光可溶化組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067260B2 (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57212436A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-27 | Polychrome Corp | Composition of forming highly visible image before development following exposure to radiation |
| JPS6010247A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS6037549A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS60121446A (ja) * | 1983-12-06 | 1985-06-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS61141442A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-06-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS61151643A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS61167945A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
-
1985
- 1985-01-22 JP JP60009350A patent/JPH067260B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57212436A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-27 | Polychrome Corp | Composition of forming highly visible image before development following exposure to radiation |
| JPS6010247A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS6037549A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS60121446A (ja) * | 1983-12-06 | 1985-06-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS61141442A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-06-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS61151643A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS61167945A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH067260B2 (ja) | 1994-01-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |