JPS60132402A - 高周波用誘電体素子の電極形成方法 - Google Patents
高周波用誘電体素子の電極形成方法Info
- Publication number
- JPS60132402A JPS60132402A JP58239905A JP23990583A JPS60132402A JP S60132402 A JPS60132402 A JP S60132402A JP 58239905 A JP58239905 A JP 58239905A JP 23990583 A JP23990583 A JP 23990583A JP S60132402 A JPS60132402 A JP S60132402A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- high frequency
- dielectric
- dielectric element
- forming method
- Prior art date
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P7/00—Resonators of the waveguide type
- H01P7/04—Coaxial resonators
Landscapes
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
不発明は、通信機器等に用いられる同軸共振器等の皮膜
強度が高くまたＱ値が大きい高周波用誘電体素子の電極
形成方法に関する。
強度が高くまたＱ値が大きい高周波用誘電体素子の電極
形成方法に関する。
（従来例の構成とその問題点）
ＶＨＦ帯もしくはＵＨＦ帯で用いられるフづルタとして
は同軸共振器等があり、これらにはＱ値の高い誘電体素
子が用いられている。該誘電体素子のＱ％性を最大限に
引き出すには、デバイス関係及び電極を検討する必要が
ある。特に電極は共振器の寿命に深い関係があシ、電極
皮膜−誘電体素手表面間の界面状態に依存している。
は同軸共振器等があり、これらにはＱ値の高い誘電体素
子が用いられている。該誘電体素子のＱ％性を最大限に
引き出すには、デバイス関係及び電極を検討する必要が
ある。特に電極は共振器の寿命に深い関係があシ、電極
皮膜−誘電体素手表面間の界面状態に依存している。
従来同軸構造の誘電体の内周面及び外周面に第１図の如
く銀電極やメッキによる銅電極を形成させたものがある
。前者は、銀ペースト全誘電体に塗布し焼付けしたもの
であるが、その電極厚と共振器の無負荷Ｑの関係を、第
２図に示す。ここでＱＩＴｌは実測値、Ｑ、は理論値、
Ｅは電極厚み、δは表皮厚さでおる。δについては次式
で与えられる◇ここで、ｆは共振周波数、μは透磁率（
４Ｘ１０”−７Ｈ／ ｍ ）、σは電極金属の電気伝導
度、πは円周率でおる。これより、銀電極を用いた場合
の電極必要厚みをめると、共振周波数Ｙ ９００ ＭＪ
（ｚとした場合、δ（表皮厚）は２．１μｍとなる。Ｑ
の劣化を少なくするには第２図よシ、電極厚は２１μｍ
以上は必要となる。この必要電極厚みを得るには、少な
くとも、３回以上の塗布焼付を行なわなければならなく
、非常に工数がかかる。また接着強度に関しては、鎖中
に含まれるガラスフリット量に比例するが、ガラスフリ
ット量とＱ値は反比例の関係にある。第３図にガラスフ
リット量とＱ値、接着強度の関係を示す。これによると
、高いＱ値を満たすには、ガラスフリット量をｌ、 Ｑ
ｍｏ１％以下にしなければならず、その為接着強度が
５００ｇ ｒ／ａｎ２以下とな９、該誘電体共振器は振
動等の条件に弱く、寿命が短かい等の欠点が生じる。
く銀電極やメッキによる銅電極を形成させたものがある
。前者は、銀ペースト全誘電体に塗布し焼付けしたもの
であるが、その電極厚と共振器の無負荷Ｑの関係を、第
２図に示す。ここでＱＩＴｌは実測値、Ｑ、は理論値、
Ｅは電極厚み、δは表皮厚さでおる。δについては次式
で与えられる◇ここで、ｆは共振周波数、μは透磁率（
４Ｘ１０”−７Ｈ／ ｍ ）、σは電極金属の電気伝導
度、πは円周率でおる。これより、銀電極を用いた場合
の電極必要厚みをめると、共振周波数Ｙ ９００ ＭＪ
（ｚとした場合、δ（表皮厚）は２．１μｍとなる。Ｑ
の劣化を少なくするには第２図よシ、電極厚は２１μｍ
以上は必要となる。この必要電極厚みを得るには、少な
くとも、３回以上の塗布焼付を行なわなければならなく
、非常に工数がかかる。また接着強度に関しては、鎖中
に含まれるガラスフリット量に比例するが、ガラスフリ
ット量とＱ値は反比例の関係にある。第３図にガラスフ
リット量とＱ値、接着強度の関係を示す。これによると
、高いＱ値を満たすには、ガラスフリット量をｌ、 Ｑ
ｍｏ１％以下にしなければならず、その為接着強度が
５００ｇ ｒ／ａｎ２以下とな９、該誘電体共振器は振
動等の条件に弱く、寿命が短かい等の欠点が生じる。
メッキによる銅電極形成方法（特願昭５３−１５７’１
２号）があるが、これは電極と誘電体表面との接着強度
が非常に弱く、ヒートサイクル試験等で電極が剥離する
などの欠点がある。接着強度を上げるにはエツチング等
で誘電体表面の表面粗さを粗くする方法があるが、第４
図に示すように、粗くすれば共振器の無負荷Ｑが劣化す
るという問題点がある。ここでＱｍは実測値、Ｑ（は理
論値、ρは表面粗さく平均値）、δは表皮厚である。
２号）があるが、これは電極と誘電体表面との接着強度
が非常に弱く、ヒートサイクル試験等で電極が剥離する
などの欠点がある。接着強度を上げるにはエツチング等
で誘電体表面の表面粗さを粗くする方法があるが、第４
図に示すように、粗くすれば共振器の無負荷Ｑが劣化す
るという問題点がある。ここでＱｍは実測値、Ｑ（は理
論値、ρは表面粗さく平均値）、δは表皮厚である。
（発明の目的）
本発明は高周波用誘電体素子の電極に於いて、電極と誘
電体表面との接着強度が強く、Ｑ値の劣化が少ない電極
形成方法を提供するものである。
電体表面との接着強度が強く、Ｑ値の劣化が少ない電極
形成方法を提供するものである。
（発明の構成）
不発明は上記目的を達成するため、高周波用誘電体素子
表面に電極を形成後、熱間静水圧プレスするものである
。
表面に電極を形成後、熱間静水圧プレスするものである
。
（実施列の説明）
実施例−１
試料としては、Ｂ ａ Ｔ ｒ ４０ ｑ系セラミック
を用い、第１図に示す如＜’、ＴＥＭλ／４共振器とし
た。同軸構造の誘電体１の内周部２、外周部３、及び両
端面４．５に銀電極６を薄く塗布し、８００℃−１０分
焼付けを行なった。電極厚は１５μｍとした。該素子を
Ａｒガス中２００℃〜７００℃、２００〜２０００ ｋ
ｇ、７ｃｍ２にて熱間静水圧プレスする。然る後に該素
子の片端面４を除去し、第５図、第６図に示す各緒特性
を調べた。
を用い、第１図に示す如＜’、ＴＥＭλ／４共振器とし
た。同軸構造の誘電体１の内周部２、外周部３、及び両
端面４．５に銀電極６を薄く塗布し、８００℃−１０分
焼付けを行なった。電極厚は１５μｍとした。該素子を
Ａｒガス中２００℃〜７００℃、２００〜２０００ ｋ
ｇ、７ｃｍ２にて熱間静水圧プレスする。然る後に該素
子の片端面４を除去し、第５図、第６図に示す各緒特性
を調べた。
実施例−２
試料としては実施例−１と同一素子を用い、該素子をＨ
Ｆｌ０ωｔ％液にて１０分エツチング処理を行なった。
Ｆｌ０ωｔ％液にて１０分エツチング処理を行なった。
該素子に無電解銅メッキにて４μｍ銅膜を形成後、電解
銅メッキにて１０μｍ、計１４μｍの銅電極を形成させ
る。該素子ｆＡｒガス中７００℃−１０００に９７ｃｍ
２にて熱間静水圧プレスし、然る後に片端面４を除去す
る。該素子の緒特性を表に示す。
銅メッキにて１０μｍ、計１４μｍの銅電極を形成させ
る。該素子ｆＡｒガス中７００℃−１０００に９７ｃｍ
２にて熱間静水圧プレスし、然る後に片端面４を除去す
る。該素子の緒特性を表に示す。
表
以上の結果よシ本発明による電極形成方法は、従来の方
法に比べて電極接着強度が強く、Ｑの劣化が少ない高周
波用誘電体素子を提供する事が可能となった。
法に比べて電極接着強度が強く、Ｑの劣化が少ない高周
波用誘電体素子を提供する事が可能となった。
尚本実施例では、銀、銅を用いたが金や他の電極でも同
等の結果が得られた。又、熱間静水圧プレスでは、Ａｒ
ガスを用いたが、耐熱性オイル等（但し、使用温度はｍ
ａｘ ８００℃）を用いても同等の結果が得られた。
等の結果が得られた。又、熱間静水圧プレスでは、Ａｒ
ガスを用いたが、耐熱性オイル等（但し、使用温度はｍ
ａｘ ８００℃）を用いても同等の結果が得られた。
（発明の効果）
本発明により、従来の方法（焼付け、メッキ等）に比べ
て、Ｑ値の劣化を少なくシ、電極の接着強度を強くする
事ができ、高周波用誘電体素子としての信頼性が向上し
た。以上のことから、本発明は誘電体共振器等の各種機
器への応用についても適用されることは明白である。
て、Ｑ値の劣化を少なくシ、電極の接着強度を強くする
事ができ、高周波用誘電体素子としての信頼性が向上し
た。以上のことから、本発明は誘電体共振器等の各種機
器への応用についても適用されることは明白である。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を説明するだめの、同
軸型共振器の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ −Ａ
’断面図、第２図は銀型極厚と共振器の無負荷Ｑの関係
を示す図、第３図は銀電極中のガラスフリット成分含有
量と電極接着強度及び共振器無負荷Ｑの関係を示す図、
第４図は誘電体素子表面粗さと共振器の無負荷Ｑの関係
を示す図、第５図、第６図は熱間静水圧プレス条件と電
極接着強度及び共振器の無負荷Ｑの関係を示す図である
。 １・・・誘電体、２・・・内周部、３・・・外周部、４
．５・・・端面、６・・・電極。 第１図 （ａ） ・ （ｂ） 第２図 ｔ／６ ｔｊＪ３図 １ ２ ３ ４ Ｓ１○２系庁ラス刀ツト量（ｍｏ！、’ｌｏ）第４図 、ｆ／ｇ 第５図 Ｈ，１，Ｐ圧力（ｋｍ７ｃ ｒｒ４ ）第６図 Ｈ１Ｐ圧力（ｋｇ／ｃｍ２）
軸型共振器の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ −Ａ
’断面図、第２図は銀型極厚と共振器の無負荷Ｑの関係
を示す図、第３図は銀電極中のガラスフリット成分含有
量と電極接着強度及び共振器無負荷Ｑの関係を示す図、
第４図は誘電体素子表面粗さと共振器の無負荷Ｑの関係
を示す図、第５図、第６図は熱間静水圧プレス条件と電
極接着強度及び共振器の無負荷Ｑの関係を示す図である
。 １・・・誘電体、２・・・内周部、３・・・外周部、４
．５・・・端面、６・・・電極。 第１図 （ａ） ・ （ｂ） 第２図 ｔ／６ ｔｊＪ３図 １ ２ ３ ４ Ｓ１○２系庁ラス刀ツト量（ｍｏ！、’ｌｏ）第４図 、ｆ／ｇ 第５図 Ｈ，１，Ｐ圧力（ｋｍ７ｃ ｒｒ４ ）第６図 Ｈ１Ｐ圧力（ｋｇ／ｃｍ２）
Claims (2)
- （１）高周波用誘電体素子表面に電極全メッキまたは焼
付によ多形成させた後、熱間静水圧プレスする事を特徴
とする高周波用誘電体素子の電極形成方法。 - （２） 電極がＡｇまたはＣｕまたはＡｕである事を特
徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の高周波用誘電
体素子の電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58239905A JPS60132402A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 高周波用誘電体素子の電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58239905A JPS60132402A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 高周波用誘電体素子の電極形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132402A true JPS60132402A (ja) | 1985-07-15 |
| JPS6366081B2 JPS6366081B2 (ja) | 1988-12-19 |
Family
ID=17051592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58239905A Granted JPS60132402A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 高周波用誘電体素子の電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132402A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04284003A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 平面型誘電体フィルタ |
-
1983
- 1983-12-21 JP JP58239905A patent/JPS60132402A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04284003A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 平面型誘電体フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6366081B2 (ja) | 1988-12-19 |
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