JPS601401Y2 - 圧力計 - Google Patents
圧力計Info
- Publication number
- JPS601401Y2 JPS601401Y2 JP14974679U JP14974679U JPS601401Y2 JP S601401 Y2 JPS601401 Y2 JP S601401Y2 JP 14974679 U JP14974679 U JP 14974679U JP 14974679 U JP14974679 U JP 14974679U JP S601401 Y2 JPS601401 Y2 JP S601401Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure gauge
- capacitance electrode
- fixed capacitance
- fixed
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力計に関するものである。
更に詳述すれば、測定流体に接するダイアフラムを移動
容量電極とし、このダイアプラムに対向して固定容量電
極が配置され、測定流体の圧力の変動によるダイアプラ
ムの変位を静電容量変化として検出するようにされた圧
力計に関するものである。
容量電極とし、このダイアプラムに対向して固定容量電
極が配置され、測定流体の圧力の変動によるダイアプラ
ムの変位を静電容量変化として検出するようにされた圧
力計に関するものである。
第１図は、従来より一般に使用されている圧力計の従来
例である。
例である。
図において、１は底１１を有する円筒状のペースブ冶ツ
ク、２は底１１に固定され測定流体を受圧するベローで
ある。
ク、２は底１１に固定され測定流体を受圧するベローで
ある。
ベロー２の頂部にはゼロ調用スペーサ２１を介して円板
状の移動容量電極２２が固定されている。
状の移動容量電極２２が固定されている。
３１．３２はベースブ爾ツクに固定され、それぞれ移動
容量電極２２に対向して等間隔を置いて配置されたリン
グ状の第１、第２固定容量電極である。
容量電極２２に対向して等間隔を置いて配置されたリン
グ状の第１、第２固定容量電極である。
３３は第１、第２固定容量電極３１．３２にはさまれた
リング状の初期ギャップ用スペーサである。
リング状の初期ギャップ用スペーサである。
以上の構成において、ベロー２が測定流体を受圧すると
、移動容量電極２２が図の左右方向に移動して、移動容
量電極２２と第１、第２固定容量電極３１．３２との間
のそれぞれのギャップが変化し、それぞれの静電容量Ｃ
３１，Ｃ３２が変化する。
、移動容量電極２２が図の左右方向に移動して、移動容
量電極２２と第１、第２固定容量電極３１．３２との間
のそれぞれのギャップが変化し、それぞれの静電容量Ｃ
３１，Ｃ３２が変化する。
この静電容量Ｃ３１，Ｃ３゜を差動的に処理すれば、測
定圧Ｐに対応した電気信号が得られる。
定圧Ｐに対応した電気信号が得られる。
このようなものにおいては、２つの平行電極間の初期容
量を合わせるため、初期ギャップの調整が必要であり、
組立に時間が掛る。
量を合わせるため、初期ギャップの調整が必要であり、
組立に時間が掛る。
又２つの電極を対向して平行に組立てるためには構造も
複雑となり安価にできない。
複雑となり安価にできない。
本考案はこの問題点を解決したものである。
本考案の目的は、簡単な構成により組立が容易で、部品
点数も多く、安価にできる圧力計を提供するにある。
点数も多く、安価にできる圧力計を提供するにある。
第２図は本考案の一実施例の構成説明図である。
図において、１は円筒形のブロック１１と底部１２より
なるボデーである。
なるボデーである。
２は断面がほぼπ字形状に構成されたダイアフラムで、
ボデー１の凹部１３を覆い、ボデー１と室３を構成する
。
ボデー１の凹部１３を覆い、ボデー１と室３を構成する
。
４はダイアフラム２に対向して、室３内に設けられた円
板状の絶縁体で、この場合は、セラミックよりなる。
板状の絶縁体で、この場合は、セラミックよりなる。
４１．４２は第３図に示すごとく、絶縁体４のダイアフ
ラム２に対向する面に設けられた、この場合は、蒸着さ
れた、第１、第２固定容量電極である。
ラム２に対向する面に設けられた、この場合は、蒸着さ
れた、第１、第２固定容量電極である。
４３，４４は第１１第２固定容量電極４１．４２より外
部に導き出されるリードである。
部に導き出されるリードである。
５はボデー１に設けられ室３と外部を結ふ導通孔１４の
開口部に設けられた気密端子である。
開口部に設けられた気密端子である。
６はポデー１の底部分に設けられた凹部１５を覆うシー
ルダイアフラムで、凹部１５と室７を構成する。
ルダイアフラムで、凹部１５と室７を構成する。
１６は室３と室７とを連通ずる連通孔である。
６は室３、室７と連通孔１５を満す封入液で、この場合
は、シリコンオイルが用いられている。
は、シリコンオイルが用いられている。
４５は底部１２と絶縁体４との間に設けられたスプリン
グでオーバーレンジ時にダイアフラム２に押されて第１
、第２固定容量電極４１．４２が破壊されるのを防止す
るためのものである。
グでオーバーレンジ時にダイアフラム２に押されて第１
、第２固定容量電極４１．４２が破壊されるのを防止す
るためのものである。
以上の構成において、測定圧Ｐが加わると、ダイアフラ
ム２は第４図に示す如く変位し、ダイアフラム２は第１
固定容量電極４１に接近すると共に第２固定容量電極４
２からは遠ざかる。
ム２は第４図に示す如く変位し、ダイアフラム２は第１
固定容量電極４１に接近すると共に第２固定容量電極４
２からは遠ざかる。
したがって、ダイアフラム２と第１固定容量電極４１と
の静電容量Ｃ４１と、ダイアフラム２と第２固定容量電
極４２との静電容量Ｃ１２は第５図に示す如き特性を示
す。
の静電容量Ｃ４１と、ダイアフラム２と第２固定容量電
極４２との静電容量Ｃ１２は第５図に示す如き特性を示
す。
而して、静電容量Ｃ４□と０４゜とを差動的に処理すれ
ば、静電容量Ｃ４１とＣ４゜との差はダイアフラム２の
変位量に対応する。
ば、静電容量Ｃ４１とＣ４゜との差はダイアフラム２の
変位量に対応する。
したがって、測定圧Ｐに対応した電気信号を出力するこ
とができる。
とができる。
この場合、静電容量Ｃ４□とＣ１２は同一平面上に配置
することができるので、初期容量を容易にあわせること
ができ、組立が容易になる。
することができるので、初期容量を容易にあわせること
ができ、組立が容易になる。
又電極構造も簡単になり安価にできる。
また、絶縁体４に対向する面近くのダイアフラム２には
くびれ部２１が設けられているので、装置を組み付けた
場合に生ずる歪が、可変容量電極として機能する、ダイ
アフラム２の絶縁体５との対向面に伝わることがないも
のが得られる。
くびれ部２１が設けられているので、装置を組み付けた
場合に生ずる歪が、可変容量電極として機能する、ダイ
アフラム２の絶縁体５との対向面に伝わることがないも
のが得られる。
また、ダイアフラム２をπ形状に形成したので、ダイア
フラム２の変位の支点位置が一定したものを確実に製作
することができ特性の良好なものが得られる。
フラム２の変位の支点位置が一定したものを確実に製作
することができ特性の良好なものが得られる。
以上説明したように、本考案によれば、簡単な構成によ
り、組立が容易で、部品点数も少く、安価にでき特性の
良好な圧力計を実現することができる。
り、組立が容易で、部品点数も少く、安価にでき特性の
良好な圧力計を実現することができる。
第１図は、従来より一般に使用されている圧力計の従来
例、第２図は本考案の一実施例の構成説明図、第３〜５
図は第２図の説明図である。 １・・・ボデー １１・・・ブロック、１２・・・底部
、１３・・・凹部、２・・・ダイアフラム、３・・・室
、４・・・絶縁体、４１・・・第１固定容量電極、４２
・・・第２固定容量電極。
例、第２図は本考案の一実施例の構成説明図、第３〜５
図は第２図の説明図である。 １・・・ボデー １１・・・ブロック、１２・・・底部
、１３・・・凹部、２・・・ダイアフラム、３・・・室
、４・・・絶縁体、４１・・・第１固定容量電極、４２
・・・第２固定容量電極。
Claims (1)
- 測定流体に接するダイアフラムと、該ダイアフラムと室
を構成するホゾ−と、前記ダイアフラムに対向して平行
に設けられた固定容量電極とを具備する圧力計において
、前記固定容量電極に対向するダイアフラムをほぼ断面
π字形状に構成すると共に、π形状により構成される凹
部に測定流体が導入され、前記固定容量電極が同心形状
に構成されたことを特徴とする圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14974679U JPS601401Y2 (ja) | 1979-10-29 | 1979-10-29 | 圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14974679U JPS601401Y2 (ja) | 1979-10-29 | 1979-10-29 | 圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5666838U JPS5666838U (ja) | 1981-06-03 |
| JPS601401Y2 true JPS601401Y2 (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=29380826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14974679U Expired JPS601401Y2 (ja) | 1979-10-29 | 1979-10-29 | 圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601401Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-10-29 JP JP14974679U patent/JPS601401Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5666838U (ja) | 1981-06-03 |
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