JPS60144689A - 定盤およびその製造方法 - Google Patents
定盤およびその製造方法Info
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- JPS60144689A JPS60144689A JP172184A JP172184A JPS60144689A JP S60144689 A JPS60144689 A JP S60144689A JP 172184 A JP172184 A JP 172184A JP 172184 A JP172184 A JP 172184A JP S60144689 A JPS60144689 A JP S60144689A
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Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Manufacture Of Alloys Or Alloy Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、各種All定作業、罫書作業等の際に基準台
として用いられる定盤およびその製造方法に関する。
として用いられる定盤およびその製造方法に関する。
[背景技術]
従来の定盤は、鉄製の定盤および花崗岩等の天然石材製
の定盤が〜般的であった。これらのうち鉄製の定盤は、
磁性材であるところがら、マグネチックスタンド等の使
用ができるためワークや各種A11l定機、罫書装置等
の固定に便宜である反面、錆や打痕が発生し易く、更に
は高重量であるため取扱いに不便であるという欠点を有
していた。・方、天然石材製の定盤は、錆が発生するこ
ともなく、高剛性、耐摩耗性、高硬度、形状安定性等に
富む反面、このような性質を備えた天然石材を入手する
ことが近時極めて困難であり、41つ、J1磁性材であ
るところから、マグネチックスタンド′:9を使用する
ことができないという欠点を有していた。
の定盤が〜般的であった。これらのうち鉄製の定盤は、
磁性材であるところがら、マグネチックスタンド等の使
用ができるためワークや各種A11l定機、罫書装置等
の固定に便宜である反面、錆や打痕が発生し易く、更に
は高重量であるため取扱いに不便であるという欠点を有
していた。・方、天然石材製の定盤は、錆が発生するこ
ともなく、高剛性、耐摩耗性、高硬度、形状安定性等に
富む反面、このような性質を備えた天然石材を入手する
ことが近時極めて困難であり、41つ、J1磁性材であ
るところから、マグネチックスタンド′:9を使用する
ことができないという欠点を有していた。
そこで、近時、これら従来の定盤の欠点を克服するもの
としてセラミックス製定盤が提案されており、このセラ
ミックス製定盤にあっては天然イ1材のように入手が困
難なものではなく、高剛性、耐摩耗性、高硬度等の特性
を有し、更に、軽ムシなものであるが、磁性を持たない
ものが多く、また、謂わゆる磁性セラミック材料から形
成された磁性を有するものにあっても、磁性の均一性に
欠は或いは加工の困難性を伴なうものであり、実際にマ
グネチックスタンド等を使用できる程実用化されてはい
なかった。
としてセラミックス製定盤が提案されており、このセラ
ミックス製定盤にあっては天然イ1材のように入手が困
難なものではなく、高剛性、耐摩耗性、高硬度等の特性
を有し、更に、軽ムシなものであるが、磁性を持たない
ものが多く、また、謂わゆる磁性セラミック材料から形
成された磁性を有するものにあっても、磁性の均一性に
欠は或いは加工の困難性を伴なうものであり、実際にマ
グネチックスタンド等を使用できる程実用化されてはい
なかった。
[発明の目的]
本発明の目的は、セラミックス材料を利用しながら、し
かも、均一な磁性を備え、マグネチックスタンド等を十
分安定的に使用することができ、ワークや各種測定機、
罫書装置等の固定に便宜な定盤およびその製造方法を提
供することにある。
かも、均一な磁性を備え、マグネチックスタンド等を十
分安定的に使用することができ、ワークや各種測定機、
罫書装置等の固定に便宜な定盤およびその製造方法を提
供することにある。
[発明の構成]
そのため、本発明に係る定盤は、多孔質の発泡磁性金属
よりなる基体と、この基体の孔中に注入焼結されたセラ
ミックスと、から一体重に形成することにより、セラミ
ックスの有する高剛性、耐摩耗性、高硬度、軟部性等の
定盤にめられる特性を備えさせるとともに、発泡磁性金
属により均一な磁性をも備えさせるようにして前記目的
を達成するものである。
よりなる基体と、この基体の孔中に注入焼結されたセラ
ミックスと、から一体重に形成することにより、セラミ
ックスの有する高剛性、耐摩耗性、高硬度、軟部性等の
定盤にめられる特性を備えさせるとともに、発泡磁性金
属により均一な磁性をも備えさせるようにして前記目的
を達成するものである。
また、本発明に係る製造方法は、多孔質の発泡磁性金属
から少なくとも1つの平坦面を有する基体を形成し、つ
いで、前記基体の孔中にセラミックス粉末を注入分散さ
せ、孔中のセラミックス粉末を焼結させて基体とセラミ
ックスと不可分的に一体化させた後、前記平坦面を研削
加工して定盤面とすることにより前記定盤を製造して前
記目的を達成しようとするものである。
から少なくとも1つの平坦面を有する基体を形成し、つ
いで、前記基体の孔中にセラミックス粉末を注入分散さ
せ、孔中のセラミックス粉末を焼結させて基体とセラミ
ックスと不可分的に一体化させた後、前記平坦面を研削
加工して定盤面とすることにより前記定盤を製造して前
記目的を達成しようとするものである。
[実施例の説明コ
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図には本発明の一実施例が示され、図中。
定盤lは所定の厚さの方形板状に形成され、この定盤l
の上端面である定盤面2は極めて平滑に仕上げられてい
る。また、定mlは多孔質の発泡磁性金属よりなる基体
3(第2図参照)と、この基体3の孔中に注入焼結され
たセラミフクスと、から一体重に形成されている。
の上端面である定盤面2は極めて平滑に仕上げられてい
る。また、定mlは多孔質の発泡磁性金属よりなる基体
3(第2図参照)と、この基体3の孔中に注入焼結され
たセラミフクスと、から一体重に形成されている。
次に、前記定盤lの製造方法につき説明する。
まず、多孔質の発泡磁性金属により、上端面が平坦な平
坦面4とされるとともに全体として前記定盤lと同様に
所定の厚さの方形板状とされた基体3(第2図参照)を
形成する。この基体3を構成する多孔質の発泡磁性金属
は、ニッケル系金属材等であり、磁性を有している。ま
た、第3図に拡大して示されるように、発泡倍率が88
〜98%程度の多孔率の極めて高い多孔質構造であるこ
□とが望ましい。なお、ここでいう多孔率とは次式で表
わされる数値である。
坦面4とされるとともに全体として前記定盤lと同様に
所定の厚さの方形板状とされた基体3(第2図参照)を
形成する。この基体3を構成する多孔質の発泡磁性金属
は、ニッケル系金属材等であり、磁性を有している。ま
た、第3図に拡大して示されるように、発泡倍率が88
〜98%程度の多孔率の極めて高い多孔質構造であるこ
□とが望ましい。なお、ここでいう多孔率とは次式で表
わされる数値である。
このような基体3を成形した後、この基体3の多孔中に
セラミックス粉末を注入分散させ、別りすれば孔中にセ
ラミックス粉末を充填し、しかるのち、所定温瓜にて孔
中のセラミックス粉末を焼結させて、基体3とセラミッ
クスとカニいに不可分的に強固に一体化結合させる。
セラミックス粉末を注入分散させ、別りすれば孔中にセ
ラミックス粉末を充填し、しかるのち、所定温瓜にて孔
中のセラミックス粉末を焼結させて、基体3とセラミッ
クスとカニいに不可分的に強固に一体化結合させる。
、こうして、第41ズに示されるように、前記定盤lと
同様に所定の厚さの方形板状とされた結合体5が形成さ
れる。なお、基体3にセラミックス粉末を注入する際に
は、基体3の各周面より注入することができるため、基
体3が微小孔を有する構造であっても基体3の全域にセ
ラミックス粉末を十分に分散させることができる。また
、この際、セラミックス粉末を孔中に圧入したり、セラ
ミックス粉末と基体3との接着度を特に高めるための接
着要素を混在させて一層の形状安定を図ることとしても
よい。
同様に所定の厚さの方形板状とされた結合体5が形成さ
れる。なお、基体3にセラミックス粉末を注入する際に
は、基体3の各周面より注入することができるため、基
体3が微小孔を有する構造であっても基体3の全域にセ
ラミックス粉末を十分に分散させることができる。また
、この際、セラミックス粉末を孔中に圧入したり、セラ
ミックス粉末と基体3との接着度を特に高めるための接
着要素を混在させて一層の形状安定を図ることとしても
よい。
このように形成した結合体5の周面、その内でも特に平
坦面4を研削加工することにより極めて平滑な定盤面2
をその」二輪に有する前記定@1を製造することができ
る。
坦面4を研削加工することにより極めて平滑な定盤面2
をその」二輪に有する前記定@1を製造することができ
る。
このような本実施例によれば次のような効果がある。
セラミックス材料を利用しているため、入r困難な天然
石材を用いることなく、高剛性、耐摩耗性、高硬度等の
定盤にめられる種々の特性を備えさせることができる。
石材を用いることなく、高剛性、耐摩耗性、高硬度等の
定盤にめられる種々の特性を備えさせることができる。
また、軽量な多孔質の発泡磁性金属を基体3として、こ
の基体3とセラミックスとを互いに不可分的に一体化結
合させたものであるため、形状安定性に優れ、軽量であ
り、取扱性にも優れている。
の基体3とセラミックスとを互いに不可分的に一体化結
合させたものであるため、形状安定性に優れ、軽量であ
り、取扱性にも優れている。
また、基体3の孔中にセラミックス粉末を注入分散させ
た状態にてセラミックス粉末を焼結させて基体3とセラ
ミックス粉末とを結合させているため、製造に際して、
セラミックス粉末を所望の形状に保持するための枠体等
の格別道具を必要とすることなく形状安定性を確保する
ことができる。したがって、炉中に結合体5を密な状態
で多数収容することができ、製造効率にも優れている。
た状態にてセラミックス粉末を焼結させて基体3とセラ
ミックス粉末とを結合させているため、製造に際して、
セラミックス粉末を所望の形状に保持するための枠体等
の格別道具を必要とすることなく形状安定性を確保する
ことができる。したがって、炉中に結合体5を密な状態
で多数収容することができ、製造効率にも優れている。
また、基体3として多孔質の発泡磁性金属を用いている
ため、この金属により定盤面2の全域にわたり極めて均
一で且つ十分な磁性を備えさせることかでき、マグネチ
ックスタンド等を十分強固に固定させることができ、ワ
ークや各種測定機、罫−(装器等の固定に便宜である。
ため、この金属により定盤面2の全域にわたり極めて均
一で且つ十分な磁性を備えさせることかでき、マグネチ
ックスタンド等を十分強固に固定させることができ、ワ
ークや各種測定機、罫−(装器等の固定に便宜である。
なお、実施にあたり、セラミックスの熱収縮率は金属よ
り一般に小さいが、セラミックスの熱収縮率を大きなも
のとさせておくことにより基体3とセラミックスとを一
層強固に結合させることができる。
り一般に小さいが、セラミックスの熱収縮率を大きなも
のとさせておくことにより基体3とセラミックスとを一
層強固に結合させることができる。
また、前記実施例では定盤lの形状は所定の厚さの方形
板状であるとしたが、これに限らず他の形状の板状或い
は立体形状等であってもよく、脚部や穴加工、ねじ穴加
工(金属埋め込み式)、T溝加工(金属埋め込み式)溝
加工等を施す等してもよい。更に、研削加工するのは定
盤面2に限らず他の周面についても研削加工を施す等し
てもよいし、定盤面2を複数設けてもよい。更にまた、
前記実施例ではセラミックス粉末は特に磁性を看するも
のではなかったが、磁性作用を特に強化するため、セラ
ミックス粉末自体も磁性を有するものを採用してもよい
。
板状であるとしたが、これに限らず他の形状の板状或い
は立体形状等であってもよく、脚部や穴加工、ねじ穴加
工(金属埋め込み式)、T溝加工(金属埋め込み式)溝
加工等を施す等してもよい。更に、研削加工するのは定
盤面2に限らず他の周面についても研削加工を施す等し
てもよいし、定盤面2を複数設けてもよい。更にまた、
前記実施例ではセラミックス粉末は特に磁性を看するも
のではなかったが、磁性作用を特に強化するため、セラ
ミックス粉末自体も磁性を有するものを採用してもよい
。
[発明の効果]
上述のように本発明によれば、セラミックス材ネ(を利
用しながら、しかも、均一な磁f1を備え。
用しながら、しかも、均一な磁f1を備え。
マグネチックスタンド等を十分安定的に使用することの
でき、ワークや各種測定機、罫書装置等の固定に便宜な
定盤およびその製造方法を提供することができる。
でき、ワークや各種測定機、罫書装置等の固定に便宜な
定盤およびその製造方法を提供することができる。
第1図は本発明に係る定盤の一実施例を示す斜視図、第
2図は前記実施例に用いられる基体を示す斜視図、第3
図は前記基体の内部構造を示す拡大図、第4図は前記基
体より形成される結合体を示す斜視図である。 ■・・・定盤、2・・・定盤面、3・・・基体、4・・
・平坦面、5・・・結合体。 代理人 Jt理士 木下 実= (ほか1名)第1図 請2図 第41」
2図は前記実施例に用いられる基体を示す斜視図、第3
図は前記基体の内部構造を示す拡大図、第4図は前記基
体より形成される結合体を示す斜視図である。 ■・・・定盤、2・・・定盤面、3・・・基体、4・・
・平坦面、5・・・結合体。 代理人 Jt理士 木下 実= (ほか1名)第1図 請2図 第41」
Claims (2)
- (1)多孔質の発泡磁性金属よりなる基体と、この基体
の孔中に注入焼結されたセラミックスと、から一体重に
形成されていることを特徴とする定盤。 - (2)多孔質の発泡磁性金属から少なくとも1つの平坦
面を有する基体を形成し、ついで、前記基体の孔中にセ
ラミックス粉末を打入分散させ、孔中のセラミックス粉
末を焼結させて基体とセラミックスと不I+f分的に一
体化させた後、Ijう2平坦面を研削加工して定盤面と
することを特徴とする定盤の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP172184A JPS60144689A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 定盤およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP172184A JPS60144689A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 定盤およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144689A true JPS60144689A (ja) | 1985-07-31 |
| JPH0372956B2 JPH0372956B2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=11509426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP172184A Granted JPS60144689A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 定盤およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144689A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005027206A1 (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-24 | Nikon Corporation | 定盤、ステージ装置及び露光装置 |
-
1984
- 1984-01-09 JP JP172184A patent/JPS60144689A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005027206A1 (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-24 | Nikon Corporation | 定盤、ステージ装置及び露光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372956B2 (ja) | 1991-11-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |