JPH0639449Y2 - ウエハ受渡し機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は半導体の製造工程において、ウエハの上面に
形成完了した電子回路の検査を行なうプローバにおい
て、ウエハを載物用テーブルに搬入、搬出するための受
渡し機構に係るものである。

〈従来技術〉 プローバにおいて、ウエハを搬送するときウエハの上面
には多数の回路が作られているので、この上面に接触す
ることは望ましくない。またウエハは割れ易い材質で作
られているので静かに取扱う必要があり、かつ予め方向
を決められて送り込まれてくるので、その姿勢をそのま
まウエハテーブルに移す必要がある。そこで従来技術の
一つとしては、ベルヌーイチャックと呼ばれる吸着装置
によりウエハの外周をもって保持し、移送する方法が取
られてきたがウエハの上面を吸引して操作するので望ま
しくないとされていた。

また一部ウエハを下から支える方式が採用されている
が、テーブルに置くときの機構が複雑で高価につく欠点
があった。

〈本考案の問題解決方法〉 第１図によって本考案の構成の概要を示す。載物用テー
ブル１の上にウエハ３を正確にかつ静かに移すので、ウ
エハ３は、図Ａに示すようにベルト搬送機構２に載せら
れて、搬送機構２が右方向に移動し、Ｂにおいてウエハ
をテーブルの直上にまで搬ぶ。このときウエハはその中
央部においてウエハを支えている。またテーブル１の搬
送機構に邪魔にならない位置に複数本の上下動できるピ
ン４を立て、図Ｂの状態となったところで、Ｃに示すよ
うに、ピン４をもってウエハを下から支えて、搬送機構
から浮かせる。そして次の段階で搬送機構を左側に移
し、ピン４を下げて、ウエハ３をテーブル１の上に静か
に置く。本考案はピン４の上下動機構に係るものであ
る。なお従来方法ではウエハを下面において吸着保持し
て、テーブル上に搬送する方法があるが、このときにも
テーブルを貫通するピン４で吸着保持機構からウエハを
受け取り、テーブル面に下げる。

〈実施例〉 第２図において、テーブル１の中央下の中心軸５は固定
部の垂直円筒６の中に回転可能に入っている。そしてこ
の円筒６の外側に回転可能にプーリ８が横向きに取付け
られ、プーリ８は駆動用モータ７によって旋回する。

ここでプーリ８とテーブル１との連結機構を第３図、第
４図に示す。テーブル１には下向きにロッド10が固定さ
れており、プーリ８には余裕をもった溝11が切ってあっ
て、ロッド10はこの溝11を貫通する。溝の第３図の右側
にはロッドの接触位置を規制するコロ12が入っている。
そしてテーブル１とプーリ８との間に引張スプリング13
を設ける。

第４図において、スプリング13によってテーブル１（図
示せず）が傾斜突出部の上方に引張られたときの最低旋
回位置を固定部から立てられて、ロッド10の下端に当る
ストッパ14により、テーブルの旋回を規制する。

プーリ８の上面には、第５図に示すように３方向に同一
形状の傾斜突出部15、16、17が等間隔に同心円上に取付
けられる。円筒部６によって円筒部を取巻くリング18が
上下動のみ可能におかれ、このリング18には120°間隔
をもって放射状に３つのコロ19を設けこのコロ19をプー
リ上の傾斜突出部15、16、17に関係するように配置す
る。そしてリング18の上にその下端が位置し、かつ適宜
位置でテーブル１を垂直に貫通するピン４を設ける。

次に第５図によって、１つのコロ19がプーリ８の上面と
接する点について考える。ここで常時は中間点ａに接触
点はあって、ロッド10の下端とストッパ14とは離れてい
るので、ａ点を中心としてモータを（＋）（−）の回転
を行なえば、テーブルは（＋）（−）の旋回を行なっ
て、ウエハの位置決を行なう。すなわちｂ〜ｃの間はウ
エハ角度調整域である。そして接触点がＣに達するとテ
ーブルのロッド10の下端はストッパ14に当ってテーブル
は停止し、更にモータを回転するとプーリ８は回転し
て、スプリング13を引伸し、ロッド10は溝11の余裕区間
を移動し、リング18の３つのコロは傾斜面15、16、17を
同時に登って、リング18を上昇させ、リング上に位置す
るピン14をテーブル１の上面より突出させる。これによ
ってウエハを受け取る。そこでモータ７を逆転すれば、
コロは傾斜面を下降して、ピン４は一斉に下降して、ウ
エハをテーブル上に静かに置く。そこで更にａ点まで回
転し、精密位置合せの態勢をとる。

なお上記においてはプーリ上面の突出傾斜面によってリ
ングを上昇り、リングを介してピンを上昇させたが、こ
こでリングを省略して、傾斜面にピンの下端が値するよ
うにして、ピンを直接上下動させてもよい。このときに
は傾斜突出部はピンの位置に合せて取付ける。

〈効果〉 本考案においてはテーブルが備えているテーブル回転用
モータの機構を使用するため、従来のピン上下動機構を
付加されているテーブルに比較して、構成部品が少な
く、製造費用も良くすることができるだけでなく、テー
ブル重量を軽くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案が使用される状態の説明図、第２図は本
考案の構成を示す断面図、第３図はプーリとテーブルと
の連結機構を示す断面図、第４図はプーリの平面図、第
５図はプーリ上面の説明図、第６図はリング、プーリの
関係を示す説明図。 １……ウエハテーブル、２……ウエハ搬入出機構 ３……ウエハ、４……支持ピン、５……円筒７モータ、
８……プーリ、10……ロッド、11……溝、13……スプリ
ング、14……ストッパ、15、16、17……傾斜部、18……
リング、19……コロ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハを所定の精密送り可能な載物用テー
   ブルに搬入出する装置において、テーブルの回転駆動用
   モータによって回転するプーリ上面に設けられた複数の
   部分的傾斜突出部と、この突出部に関連して垂直に上下
   動するリングと、このリングに下端を接触し、かつテー
   ブルを垂直に貫通する複数本のピンとから構成されるウ
   エハ受渡し機構。
2. 【請求項２】請求項第１項において、プーリ上面の傾斜
   突出部の上にその下端を接し、かつテーブルを垂直に貫
   通する複数本のピンから構成されるウエハ受渡し機構。