JPS60183881U - エネルギ−分散型ｘ線検出装置 - Google Patents

エネルギ−分散型ｘ線検出装置

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JPS60183881U
JPS60183881U JP7241184U JP7241184U JPS60183881U JP S60183881 U JPS60183881 U JP S60183881U JP 7241184 U JP7241184 U JP 7241184U JP 7241184 U JP7241184 U JP 7241184U JP S60183881 U JPS60183881 U JP S60183881U
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JP
Japan
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detection device
energy dispersive
ray detector
ray detection
thermal conductor
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JP7241184U
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栄一 渡辺
中西　正紀
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Jeol Ltd
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Jeol Ltd
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の構成断面図、第２図は本考案の一実
施例を示す構成断面図、第３図は動作状態を説明するた
めの図である。 １：冷却槽、２：断熱材、３：液体窒素、４：栓、５：
保護パイプ、６：フランジ、７：鏡筒、８：熱伝導棒、
９：Ｘ線検出器、１ｏ：試料、１１：電子線、１２：特
性Ｘ線、２０：保護パイプ、２１：ベローズ、２２：熱
伝導棒、２３：ワイヤー、２４：金具、２５：アーム、
２６：検出器移動棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料よりのＸ線を検出するためのＸ線検出器と、該Ｘ線
    検出器を冷却槽に接続するための熱伝導体と、該Ｘ線検
    出器及び熱伝導体を真空封入すると共に、これらを支持
    して試料室内に挿入するための保護パイプとを備えた装
    置において、該保護パイプの試料室内に挿入される少く
    とも一部分はベローズで形成されていると共に、該熱伝
    導体の少くとも一部分は可撓性部材で形成されており、
    該Ｘ線検出器を移動又は傾斜するための手段が具備され
    ていることを特徴とするエネルギー分散型Ｘ線検出装置
    。
JP7241184U 1984-05-17 1984-05-17 エネルギ−分散型ｘ線検出装置 Granted JPS60183881U (ja)

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JP7241184U JPS60183881U (ja) 1984-05-17 1984-05-17 エネルギ−分散型ｘ線検出装置

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JPS60183881U true JPS60183881U (ja) 1985-12-06
JPH0446227Y2 JPH0446227Y2 (ja) 1992-10-29

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