JPS60191448A - 光デイスクの反射膜検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、コンノくクトテイヌクブレーヤに（吏用さ
れる光ディスクにおいて信号ビ゛ソト面上の金属反射膜
の膜厚および膜厚の均一性を検査する光ディヌクの反射
膜検査装置に関する。

〔従来技術〕

一般ニ、コンノくりトテイヌクブレーヤに使用すれる光
ティヌクは、第１図および第２図に示すように、光ティ
ヌク（１）の基盤となる円盤状の透明樹脂板（２）上に
信号ピット（３）が彫り込みにより形成され、樹脂板（
２）の上面にアルミニウム膜からなる金属反射膜（４）
を形成して信号ピット（３）に対応するプログラム領域
となる信号部（Ａ）と該信号部（Ａ、）の内外周部に位
置しブランク領域となる鏡面部（Ｂ）とが構成され、さ
らに、反射膜（４）上に保護膜（５）が設けられている
。

そして、前記光ティヌク（１）の樹脂板（２）側からレ
ーザー光を照射し、信号ピッｌ−（３）面上からの反射
光を検量することにより所定の再生を行なうようになっ
ている。

ところで、この種光ディヌク（１）では、その製造工程
の中でも、樹脂板（２）上に金属反射膜（４）を形成す
る工程が製品の品質を左右する最も重要な工程の１つで
あり、金属反射膜（４）について、樹脂板（２）の吸収
ロヌも含めて反射率が７０〜９０　％であること、１枚
の光ディヌク（１）における反射率の変動が３％以内で
あることが要求されている。

しかし、光ディヌク（１）における反射率の変動が３％
以内であるか否かを確かめることは大変困難である。

ここで、通常、鏡面をもった金属膜の反射率はレーザー
光などを使用すれば入射光量に対する反射光量の比とし
て簡単に測定できることはよく知られているが、前記光
ティヌク（１）の場合、前述したように、信号部（Ａ）
には可視光の波長の信号ピット（３）が彫シ込まれてい
るだめ、この方法では光が回折してしまい、反射率の測
定が簡単には行なえない。

壕だ、従来では、光ディヌク（１）の反射率測定機とし
て、光ディヌク（１）の信号のない内外周部の鏡面部（
Ｂ）に光を当て、光ティヌク（１）を回転することによ
って１周にわたる反射率を測定するものがある。

しかし、光ティヌク（１）において反射特性が必要とさ
れるのは信号の入っている領域、すなわち信号部（Ａ）
であり、このため前述の測定機では本質的な欠陥を持っ
ていることとなり、さらに、鏝面Ｔ？ｌ：５（Ｂ）にお
いても、内周部には当該光ディヌク（１）の記録内容等
を示す文字、記号を書き込むことが普通になってきたこ
とや、外周部には樹脂の歪等が入ること等により、１周
にわたる反射率すら満足に測定できないのが実情である
。

ところで、光ディヌク（１）の諸規格を定めたレッドブ
ックと称する規格文書によると、前述の事情を考慮し、
反射率の変動が３％以内であることを確かめるためにＴ
　ｔｏｐ値を測定することを推奨している。このＩ　ｔ
ｏｐ値とは、コンパクトディヌクプレーヤのピックアッ
プ光学系を用いて光ティヌク（１〕からの光信号を検出
しＤＣ再生したときの最大値。

すなわちＤＣ再生したＨＦ信号の最大値であり、ピット
とピットとの間の微少鋼面部分の反射光強度に対応する
値である。

しかし、このＩ　ｔｏｐ値は、反射率のみならず樹脂板
（２）の複屈折に依存することが知られており、実際に
光ティヌク（１）の１１・Ｏｐ値を全面にわたって測定
すると、３％程度の反射率の変動はしばしば観測される
が、そのほとんどは樹脂板（２）の複屈折の影響である
と推定される。

したがって、前述の方法は、樹脂板（２）の成形が理想
的に行なわれていることが前提であり、工程の実情から
すると反射膜（４）の管理に使用できる方法とは言い難
いものである。

〔発明の目的〕

この発明は、前記の点に留意するとともに、（１）反射
率の不均一は金属反射膜が薄い程問題となりこの厚み領
域では反射率の不均一が反射膜の厚みの不均一によって
生じていること、（１１）金属反射膜の厚みおよび厚み
むらは螢光灯や白熱電球等の普通の光源の光を拡散透過
させその透過光量を測定することによって知ることがで
きること、の観察結果にもとづいてなされたものであり
、光ディヌクの透過光量を測定することにより金属反射
膜の膜厚および膜厚の均一性を検査し、反射膜の反射率
を精度よく検査、評価することを目的とする。

〔発明の構成〕

この発明は、信号ピット面上に金属反射膜が形成された
光ティヌクの回転駆動系と、前記光ティ（５） ヌクの一面に光を照射する光源と、ｌｉＪ記光ティヌク
の他面側に設けられ該光ディヌクの透過光を受光し前記
反射膜の膜厚および膜厚均一性の検査用の前記光ティヌ
クの透過光量を出力する受光計とを備えたことを特徴と
する光ティヌクの反射膜検査装置である。

〔発明の効果〕

したがって、この発明の光ティヌクの反射膜検査装置に
よると、金属反射膜の反射率の不均一が該反射膜の厚み
の不均一によるものであシ、金属反射膜の厚みおよび厚
みむらが光源の光を拡散透過させその透過光量を測定す
ることによシ知ることができるため、光ティ７りの透過
光量を測定することにより金属反射膜の膜厚および膜厚
の均一性を検査することができ、金属反射膜の反射率を
検出することができるものであシ、反射率を精度よく検
出、評価、管理することができ、反射膜形成工程のモニ
ターとして極めて有益である。

〔実施例〕

つぎにこの発明を、その】実施例を示した第３図以下の
図面とともに詳細に説明する。なお、前記と同一記号は
同一物を示すものとする。

これらの図面において、（６）は上面が開口された箱体
状の装置本体、（７）は装置本体（６）内の中腹に水平
に設けられ中央部から左側縁にかけて左右方向のヌリツ
［（８）が形成きれた７リツ１−板、（９）はメリット
板（７）の中央部に軸受口Ｏを介して回転自在に支持さ
ｉまたヌピンドルであり、ヌピンドル（９）の上端部の
テーブル０１）上に光ティヌク（１）が載置される。

０４はマクネットを備えヌピンド／Ｉ／（９）の上端に
嵌着してテープ／ｌ／（ＩＩ）上の光ティヌク（１）を
保持するチャック装置、０３は装置本体（６）内の右側
底部に配設されたディヌク回転用モーターであり、その
出力軸θ４）にプーリー（］５１が軸着されるとともに
、該プーリー　０５）とヌピンド／Ｉ／　（９）の下端
部に軸着されたプーリー　（１６）との間にべ／ｌ／　
ｌ−（１７１が巻装されており、モーター０］の駆動に
よりヌピンドｚｌｚ　（９）が回転され、光ティヌク（
１）が回転される。

０８）は装置本体（６）内の左側底部に設けられた白熱
電球等の光源、Ｏｆ！は該光源０８）からの光を７リツ
１−板（７）のヌリツＩ・（８）に集光する反射鏡、（
イ）はメリット板（７）の下面に７リツト（８）を閉塞
するよう取シ付けられたガラヌ板等の熱線吸収板、（２
１）はヌリツト板（７）の上面にヌリツｌ−（８）を閉
塞するよう取シ付けられたヌリガラヌ等の拡散板であり
、光源０８）からの光を熱線吸収板（イ）で熱線吸収す
るとともに拡散板（２１）で拡散したのち、光ディヌク
（１）の下面に照射する。

（２２）は装置本体（６）の上部の左側内面に支持され
た四番、（２３ｊは蝶番（２２＋を介して上下に回動自
在に支持きれ中腹に２本の平行なヌライダー（２４）を
有する受光部支持体であり、装置本体（６）の右側内面
に固定さｈたストッパー（２５ｊにより支持体（２３＋
が水平に保持され、支持体（２３）を４番（２２）を介
して上方に回動することにより、光ティヌク（１）のテ
ーブル（１，１）上への取り付け、取シ外しが行なわれ
る。（２６１は２本の７ライダー（２）によりメリット
（８）の真上において該７リツト（８）に泪って左右方
向に摺動自在に支持された受光部であり、光ティヌク（
１）を透過した光源０８）の光を受光し金属反射膜（４
）の膜厚および膜厚均一性の検査のための透過光量を出
力する。

（イ）は支持体（２３）の先端部に収シ付けられたヌラ
イド用モーターであり、杉モーター（イ）の出力軸にプ
ーリー（支））が軸着さｈ、ている。のは一端が受光部
（２６）の右側面に係着され他端がブーＩＪ　−（２８
＋および支持体（２３）の基部のプーリー　＋３０１を
介して受光部（分の左側面に係着されたワイヤーであシ
、ｉＪ記モモ−ター５）を駆動することによりワイヤー
（２９）を介して受光部０６）が左右に摺動される。

そして、第３図に示す光ティヌク（１）の装着状態にお
いて、光源０８）を駆動すると、光源０８）からの光が
直接および反射鏡０９を反射して熱線吸収板（イ）。

メリット（８）および拡散板１２１）を通り、光ディヌ
ク（１）に下面より照射される。

この状態で、モーターα→を駆動して光ディヌク（１）
を回転させるとともに、モーター＠を駆動して受光部０
８１を摺動させることにより、光ティヌク（１）の全面
にわたって該ディヌク（１）の透過光量を得ることがで
きる。

ここで、（１）光ティヌク（１）の金属反射膜（４）に
おける反射率の不均一は該反射膜（４）が薄い程問題と
なり、この厚み領域では反射率の不均一が反射膜（４）
の厚みの不均一によって生じていること、（ｉ＋）反射
膜【４）の厚みおよび厚みむらは普通の光源α８）の光
を拡散透過させこの透過光量を測定することによって知
ることができること、の観察結果にもとづくと、受光部
ｔ２６＋で得られた透過光量により光ティヌク（１）に
おける金属反射膜（４）の膜厚および膜厚の均一性を検
出することができ、反射率の均一性を評価できることに
なる。

ところで、との種光ティヌク（１）における光の透過率
と金属反射膜（４）の反射率とは第５図に示すような関
係になっており、ここで、金属反射膜（４）における反
射率は前述したように７０％以上あればよいが、反射率
の均一性を得るためには膜厚は厚い方が有利であるため
、たとえば、透過率が１０−２以下の領域になるように
管理し、かつ、光ディヌク（１）の全面にわたって、受
光した透過光量による透過率がこの範囲内に入っている
か否かを調べることにより、金属反射膜（４）の反射率
を精度よく管埋することが可能となる。

したがって、前記実施例によると、光ティヌク（１）の
透過光量を検出することにより、金属反射膜（４）の膜
厚および膜厚の均一性を検査することができ、しかも、
全１萬反射膜（４）の反射率の変化が第５図より明らか
なように透過率の対数的な変化に対応しているため、透
過光量の監視により反射率を精度よく管理することがで
きるものであシ、金属反射膜（４）の形成工程のモニタ
ーとして極めて有益であり、製品の品質向上に大きく寄
与できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は一般の光ティヌクの平面図および
切断正面図、第３図以下の図面はこの発明の光ティヌク
の反射膜検査装置の１実施例を示し、第３図は切断正面
図、第４図はヌリット板の斜視図、第５図は余塵反射膜
の透過率と反射率との関係図である。 （１）・・・光ティヌク、（３）・・・信号ピッｌ−、
（４）・・・金属反射膜、（１３・・・モーター、（９
）・・・ヌピンドル、０８）・・・光源、（２６）・・
・蛍光計。 代理人　弁理士　藤田龍犬部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （Ｏ信号ビット面上に金属反射膜力；形成された光ディ
   ヌクの回転駆動系と、ｍＪ記光テ゛イヌクの一面に光を
   照射する光源と、前記光ディヌクの他面１貝１１に設け
   られ該光ティヌクの透過光を受光し前記反射膜の膜厚お
   よび膜厚均一性の検査用の前記光ティヌクの透過光量を
   出力する蛍光計とを備えたことを特徴とする光ティヌク
   の反射膜検査装置。