JPS60196006A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS60196006A JPS60196006A JP5296384A JP5296384A JPS60196006A JP S60196006 A JPS60196006 A JP S60196006A JP 5296384 A JP5296384 A JP 5296384A JP 5296384 A JP5296384 A JP 5296384A JP S60196006 A JPS60196006 A JP S60196006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- substrate
- frame
- piezoelectric
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電振動子に関する。
たとえば、拡がり振動モードを用いる圧電振動子として
は、本発明者等が先に特願昭５８−２４８８２７号にお
いて提案した圧電振動子がある。第１図にこの圧電振動
子の要部の平面構成が示されて鳴る。
は、本発明者等が先に特願昭５８−２４８８２７号にお
いて提案した圧電振動子がある。第１図にこの圧電振動
子の要部の平面構成が示されて鳴る。
この図において、３は詠がり振動モードの圧電素子であ
る。この圧電素子３は恒弾性金属からなる振動基板６と
圧電薄膜８と振動電極膜９とを有し、正方形の振動基板
６の各端縁の中央部が２対の結合子４を介して該振動基
板６と一体成形された保持枠５に支持され、図示しない
浅箱形のケースの内部空間の所定位置に該保持枠５が支
持された状態で収納される。そして、このように圧電素
子３を結合子４を介して保持枠５に保持させ、この保持
枠５をケースに支持させるようにして、組み立てに際し
て高度な組み立て精度を必要とせず、小形化を図る場合
においても組み立て易くするとともに１．保持枠５が支
持点以外の箇所でケースに接触することがあったとしも
圧電素子３自体はケース１に接触せず、したがって、機
械的な振動、衝撃１こよって振動特性の狂いか生しなり
１ように工夫している。
る。この圧電素子３は恒弾性金属からなる振動基板６と
圧電薄膜８と振動電極膜９とを有し、正方形の振動基板
６の各端縁の中央部が２対の結合子４を介して該振動基
板６と一体成形された保持枠５に支持され、図示しない
浅箱形のケースの内部空間の所定位置に該保持枠５が支
持された状態で収納される。そして、このように圧電素
子３を結合子４を介して保持枠５に保持させ、この保持
枠５をケースに支持させるようにして、組み立てに際し
て高度な組み立て精度を必要とせず、小形化を図る場合
においても組み立て易くするとともに１．保持枠５が支
持点以外の箇所でケースに接触することがあったとしも
圧電素子３自体はケース１に接触せず、したがって、機
械的な振動、衝撃１こよって振動特性の狂いか生しなり
１ように工夫している。
ところで、第１図に示す圧電振動子にお０て、圧電素子
３の共振周波数を調整する場合、振動基板６の図におけ
るたとえば裏面全面に蒸着等の手法によって質量を付加
したり、あるし）は該振動基板６の一部１こ切１）込み
を入れるといった方法ｌこよっていた。しかしなから、
このような方法による場合、■調整作業時間が長くかか
る。■特性を劣化させる。■調整可能範囲か狭いとν・
すな欠点かあった。
３の共振周波数を調整する場合、振動基板６の図におけ
るたとえば裏面全面に蒸着等の手法によって質量を付加
したり、あるし）は該振動基板６の一部１こ切１）込み
を入れるといった方法ｌこよっていた。しかしなから、
このような方法による場合、■調整作業時間が長くかか
る。■特性を劣化させる。■調整可能範囲か狭いとν・
すな欠点かあった。
本発明は、かかる欠点に鑑み、振動基板の隅部から該振
動基板の面方向外力ｔこ突出する少なくとも１対のトリ
ミング用突起を該振動基板と一体に成形することにより
、容易にかつ正確に共振周波数を［リミングし得るよう
にするととも【こ、共振周波数特性に与える影響を非常
に少なくすることを目的する。
動基板の面方向外力ｔこ突出する少なくとも１対のトリ
ミング用突起を該振動基板と一体に成形することにより
、容易にかつ正確に共振周波数を［リミングし得るよう
にするととも【こ、共振周波数特性に与える影響を非常
に少なくすることを目的する。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づき詳細に説明す
る。
る。
第２図は本発明の一実施例に係る短辺の拡かり振動モー
Ｐ゛を用いすこ圧電共振子を示す断面図である。第２図
において、１はケースであり、このケース１は１対のハ
ーフケース２ａ、２ｂからなる。
Ｐ゛を用いすこ圧電共振子を示す断面図である。第２図
において、１はケースであり、このケース１は１対のハ
ーフケース２ａ、２ｂからなる。
各パーフケ−久２ａ、２旧±、互す）の対向面を開口さ
せた浅箱形に形成される。両ノ１−７ケース２ａ＋２）
〕をその対向面で突き合わせた状態で形成されるケース
１の内部空間に拡かり振動モードの圧電素子３か後述の
ことくに収納される。
せた浅箱形に形成される。両ノ１−７ケース２ａ＋２）
〕をその対向面で突き合わせた状態で形成されるケース
１の内部空間に拡かり振動モードの圧電素子３か後述の
ことくに収納される。
第３図に示すように、この圧電素子３は平面視長方形に
形成され、その短辺仙１各端縁の中央部が結合子４ａ、
４ｂを介して長方形の保持枠５に支持されている。また
、この圧電素子３の振動基板６、結合子４ａ、４ｂおよ
び保持枠５は、ニリンツク−、アンバー、コエリンノく
−などの恒弾性金属板をプレス、エツチング等の手法に
より一体枠７として形成される。そして、この一体枠７
の一面に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などよりなる圧電薄膜８
が所定の領域、すなわち、振動基板６の全面と、ここか
ら一方の結合子４ａを経て保持枠５の所定の隅部に至る
領域にスパッタリングなどの手法により固着される。更
に、振動基板６に月向するアルミニウム等からなる振動
電極膜９およびこの電極膜９７＞−ら前記一方の結合子
４ａを経て保持枠５の前記所定の隅部に至るリード部１
０が圧電薄膜８上に蒸着される。この一本枠７は引き出
し線１．１ａ、１１１〕のらち、一方の引き出し線１１
ａがリード部〕０の先端に、また、他方の引き出し線１
１１）か保持枠５に着けられてから、その両面か前記両
バーフケー又２ａ、２１〕で包み覆われ、その後、両ハ
ーフケース２ａ、２ｂの接合部か接着、融着などにより
密封される。ケース１の内部空間に挿入された一体枠マ
は、保持枠５の４隅を各ハーフケース２ａ。
形成され、その短辺仙１各端縁の中央部が結合子４ａ、
４ｂを介して長方形の保持枠５に支持されている。また
、この圧電素子３の振動基板６、結合子４ａ、４ｂおよ
び保持枠５は、ニリンツク−、アンバー、コエリンノく
−などの恒弾性金属板をプレス、エツチング等の手法に
より一体枠７として形成される。そして、この一体枠７
の一面に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などよりなる圧電薄膜８
が所定の領域、すなわち、振動基板６の全面と、ここか
ら一方の結合子４ａを経て保持枠５の所定の隅部に至る
領域にスパッタリングなどの手法により固着される。更
に、振動基板６に月向するアルミニウム等からなる振動
電極膜９およびこの電極膜９７＞−ら前記一方の結合子
４ａを経て保持枠５の前記所定の隅部に至るリード部１
０が圧電薄膜８上に蒸着される。この一本枠７は引き出
し線１．１ａ、１１１〕のらち、一方の引き出し線１１
ａがリード部〕０の先端に、また、他方の引き出し線１
１１）か保持枠５に着けられてから、その両面か前記両
バーフケー又２ａ、２１〕で包み覆われ、その後、両ハ
ーフケース２ａ、２ｂの接合部か接着、融着などにより
密封される。ケース１の内部空間に挿入された一体枠マ
は、保持枠５の４隅を各ハーフケース２ａ。
２１）の内面に突設された各突起１２，１２，１．２．
１２で点接触状に挟持することにより、ケース１内の所
定位置に保持される。
１２で点接触状に挟持することにより、ケース１内の所
定位置に保持される。
本発明では、上記構成の圧電素子３の振動基板６１こ少
なくとも）知ｊのトリミング用突起１３，１３．１３．
１３を該振動基板６と一木成形したことに特徴を有する
。この実施例では、トリミング用突起１３，１３，１３
．］３は振動基板６の４隅に設けられてお１）、各トリ
ミンク用突起］３は該振動基板６の４隅部から面方向外
力に突出する方形片として一体枠７の成形時に同時に成
形される。
なくとも）知ｊのトリミング用突起１３，１３．１３．
１３を該振動基板６と一木成形したことに特徴を有する
。この実施例では、トリミング用突起１３，１３，１３
．］３は振動基板６の４隅に設けられてお１）、各トリ
ミンク用突起］３は該振動基板６の４隅部から面方向外
力に突出する方形片として一体枠７の成形時に同時に成
形される。
いま、この圧電振動子の共振周波数のばらつきを補正す
るには、１ないし全部のトリミング用突起１３をレーザ
ー加工または放電加工によって、必要量だけ）・リミン
グすることになる。」二記構戒のトリミング用突起１３
の面積と共振周波数変化量との関係は第４図における特
性線Ｂで示される。
るには、１ないし全部のトリミング用突起１３をレーザ
ー加工または放電加工によって、必要量だけ）・リミン
グすることになる。」二記構戒のトリミング用突起１３
の面積と共振周波数変化量との関係は第４図における特
性線Ｂで示される。
この特性線Ｂから明らかなように、この実施例に従う圧
電共振子の場合、トリミンク用突起１３を僅かにトリミ
ングするたけで大きい周波数変化量を得ることかできる
。
電共振子の場合、トリミンク用突起１３を僅かにトリミ
ングするたけで大きい周波数変化量を得ることかできる
。
なお、トリミング用突起１３は振動基板６の中心点に関
して対称に配置されるものであれは、上記実施例におけ
る１リミング特性と同様の特性が得られる。
して対称に配置されるものであれは、上記実施例におけ
る１リミング特性と同様の特性が得られる。
第５図（イ）〜（へ）は、それぞれ振動基板６から延設
されるトリミング用突起１３の各種の変形例を示してい
る。第５図（イ）に示されるものは前記実施例の方形の
トリミング用突起１３に代えて円形のトリミング用突起
１３を振動基板６の４隅に設けたものである。第５図（
ロ）に示されるものは正方形のトリミング用突起１３を
振動基板６の各長辺側の両端に設けたものである。第５
図（ハ）に示されるものは同しく正方形のトリミング用
突起１３を振動基板６の各短辺側の両端に設けたものと
なっている。第５図（ニ）に示されるものは各長辺の全
長にわたって３角形のトリミング用突起１３を１月ずつ
設けたものである。第５図（ホ）および（へ）に示され
るものは粗調整用と微調整用の２種のトリミング用突起
１３ａ、１３ｂを振動基板６に設けたもので、このうち
、第５図（ホ）に示されるものは振動基板６の各長辺の
両端にそれぞれ３角形の粗調整用突起１３ａを設け、各
長辺の中央部に微ｓｙｌ整用突起１３ｂを配設したもの
であり、第５図（へ）に示されるものは、前記第５図（
イ）に示されるトリミング用突起をネ■調整用突起１３
ａとし、これに加えて振動基板６の各長辺の中央部に短
冊状の微調整用突起１３ｂを設けたものである。
されるトリミング用突起１３の各種の変形例を示してい
る。第５図（イ）に示されるものは前記実施例の方形の
トリミング用突起１３に代えて円形のトリミング用突起
１３を振動基板６の４隅に設けたものである。第５図（
ロ）に示されるものは正方形のトリミング用突起１３を
振動基板６の各長辺側の両端に設けたものである。第５
図（ハ）に示されるものは同しく正方形のトリミング用
突起１３を振動基板６の各短辺側の両端に設けたものと
なっている。第５図（ニ）に示されるものは各長辺の全
長にわたって３角形のトリミング用突起１３を１月ずつ
設けたものである。第５図（ホ）および（へ）に示され
るものは粗調整用と微調整用の２種のトリミング用突起
１３ａ、１３ｂを振動基板６に設けたもので、このうち
、第５図（ホ）に示されるものは振動基板６の各長辺の
両端にそれぞれ３角形の粗調整用突起１３ａを設け、各
長辺の中央部に微ｓｙｌ整用突起１３ｂを配設したもの
であり、第５図（へ）に示されるものは、前記第５図（
イ）に示されるトリミング用突起をネ■調整用突起１３
ａとし、これに加えて振動基板６の各長辺の中央部に短
冊状の微調整用突起１３ｂを設けたものである。
なお、微調整用突起１３１）の面積と共振周波数変化量
との関係は第４図における特性線Ａで示される。
との関係は第４図における特性線Ａで示される。
なお、本発明は振動基板６が前述の恒弾性金属材のほか
、セラミック材あるいは水晶などから構成されたものに
ついても適用が可能である。また、圧電素子３の形状も
長方形のほか、正方形や円形であっても適用することが
できる。
、セラミック材あるいは水晶などから構成されたものに
ついても適用が可能である。また、圧電素子３の形状も
長方形のほか、正方形や円形であっても適用することが
できる。
以上のように本発明によれば、振動基板にこれの隅部か
らその面方向外方に突出する少なくとも１対のトリミン
グ用突起を一体成形するものとしたので、該トリミング
用突起を僅かにトリミングするだけで、共振周波数を大
きく変化させることが可能であり、したがって、トリミ
ングレートを著しく向上させることができ、作業の効率
化に寄与する。また、圧電素子を作るに際して、振動基
板に予めトリミング用突起を成形するようにしたため、
トリミング用突起を形成することによる初期の共振周波
数特性に与える影響を極めて少なくすることかできるう
え、トリミング用突起を振動基板と同時に一木成形する
ことになるので、製造コストは従来のものと殆ど変わら
ず、従来のように、基板成形後にトリミング用突起を設
ける必要かなくなった分だけトータルな製造コストは低
減させることかでとる。
らその面方向外方に突出する少なくとも１対のトリミン
グ用突起を一体成形するものとしたので、該トリミング
用突起を僅かにトリミングするだけで、共振周波数を大
きく変化させることが可能であり、したがって、トリミ
ングレートを著しく向上させることができ、作業の効率
化に寄与する。また、圧電素子を作るに際して、振動基
板に予めトリミング用突起を成形するようにしたため、
トリミング用突起を形成することによる初期の共振周波
数特性に与える影響を極めて少なくすることかできるう
え、トリミング用突起を振動基板と同時に一木成形する
ことになるので、製造コストは従来のものと殆ど変わら
ず、従来のように、基板成形後にトリミング用突起を設
ける必要かなくなった分だけトータルな製造コストは低
減させることかでとる。
したかって、」二連の効果が相互に関連することにより
、製品の小型化、トリミングの自動化および高速化にλ
・］応できる。
、製品の小型化、トリミングの自動化および高速化にλ
・］応できる。
第１図は従来例の要部の断面図、第２図および第；（し
１は本発明の一笑施例を示し、第２図は縦断面し１、第
：（図はその一体枠の平面図、第４図はトリミング用突
起の面積と圧電振動子の周波数変化量との関係を示す特
性線図、第５図（イ）〜（へ）はそれぞれトリミンク用
突起の変形例を示す要部の・１１而し１である。 ３は圧電素子、４は結合子、５は保持枠、６は振動基板
、８は圧電薄膜、９は振動電極膜、１３゜１３ａ、１３
ｂはトリミング用突起。 出願人 材用製作所 代 理 人 弁理士 岡１］］ 和秀 第１図 第２図 第３図 第４図
１は本発明の一笑施例を示し、第２図は縦断面し１、第
：（図はその一体枠の平面図、第４図はトリミング用突
起の面積と圧電振動子の周波数変化量との関係を示す特
性線図、第５図（イ）〜（へ）はそれぞれトリミンク用
突起の変形例を示す要部の・１１而し１である。 ３は圧電素子、４は結合子、５は保持枠、６は振動基板
、８は圧電薄膜、９は振動電極膜、１３゜１３ａ、１３
ｂはトリミング用突起。 出願人 材用製作所 代 理 人 弁理士 岡１］］ 和秀 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (4)
- （１）振動基板と圧電薄膜と振動電極膜とを有する圧電
素子を備え、この圧電素子を結合子を介して保持枠に支
持した圧電振動子において、前記振動基板の隅部から該
振動基板の面方向外方に突出する少なくとも１対のトリ
ミング用突起を該振動基板と一体成形し、該トリミング
用突起のトリミング量の調整により共振周波数の調整が
可能な圧電振動子。 - （２）前記特許請求の範囲第１項に記載の圧電振動子に
おいて、この圧電振動子が拡がり振動モードのものであ
る圧電振動子。 - （３）前記特許請求の範囲第１項に記載の圧電振動子に
おいて、前記振動基板は恒弾性金属からなる圧電振動子
。 - （４）前記特許請求の範囲第１項に記載の圧電振動子に
おいて、前記トリミング用突起は振動基板の中心点に関
して対称に配置されている圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5296384A JPS60196006A (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5296384A JPS60196006A (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60196006A true JPS60196006A (ja) | 1985-10-04 |
Family
ID=12929538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5296384A Pending JPS60196006A (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60196006A (ja) |
-
1984
- 1984-03-19 JP JP5296384A patent/JPS60196006A/ja active Pending
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