JPS60200978A - クラツド容器 - Google Patents
クラツド容器Info
- Publication number
- JPS60200978A JPS60200978A JP5772384A JP5772384A JPS60200978A JP S60200978 A JPS60200978 A JP S60200978A JP 5772384 A JP5772384 A JP 5772384A JP 5772384 A JP5772384 A JP 5772384A JP S60200978 A JPS60200978 A JP S60200978A
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- JP
- Japan
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- vessel
- alloy
- life
- crucible
- container
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- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B14/00—Crucible or pot furnaces
- F27B14/08—Details specially adapted for crucible or pot furnaces
- F27B14/10—Crucibles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
- C03B5/06—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture in pot furnaces
- C03B5/08—Glass-melting pots
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クラッド容器に関するものである。
従来、′「a又はT a合金の容器は高温カラスや金属
酸化物を含む鉱石溶解用るつほや真空蒸着用のトレー、
ポー1−なとに広く用いられていた。これは、’1−
aの融点か約3000 ’Cと非當に高く、延性展性に
冨むため容易に加工てきるからである。ところか、1゛
aは400°Cをこえると空気中の酸素と反応して酸化
物を作りやすいため不活性雰囲気で使用しなければなら
ないというわずられしさかあった。さらに、このような
不活性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むカラス
や鉱石なとをl容)Wする場合には、l容器、4J!物
の中に含まれる酸素とT aが結合して酸化物を作り、
容器の1゛aか溶出して容器の寿命が短かいという欠点
かあった。このため他の金属を加えて合金とし耐消耗性
の向上か図られているが、′1゛aの酸化を防止するに
足る合金が発見されていないのか実情である。
酸化物を含む鉱石溶解用るつほや真空蒸着用のトレー、
ポー1−なとに広く用いられていた。これは、’1−
aの融点か約3000 ’Cと非當に高く、延性展性に
冨むため容易に加工てきるからである。ところか、1゛
aは400°Cをこえると空気中の酸素と反応して酸化
物を作りやすいため不活性雰囲気で使用しなければなら
ないというわずられしさかあった。さらに、このような
不活性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むカラス
や鉱石なとをl容)Wする場合には、l容器、4J!物
の中に含まれる酸素とT aが結合して酸化物を作り、
容器の1゛aか溶出して容器の寿命が短かいという欠点
かあった。このため他の金属を加えて合金とし耐消耗性
の向上か図られているが、′1゛aの酸化を防止するに
足る合金が発見されていないのか実情である。
本発明は上記欠点に漏みなされたものであり、耐消耗性
の優れた長寿命の容器を提供することを目的とする。
の優れた長寿命の容器を提供することを目的とする。
本発明は、T a又は′Fa合金の表面にRh又はRh
合金が被覆されていることを特徴とするクラッド容器で
ある。
合金が被覆されていることを特徴とするクラッド容器で
ある。
本発明において、l々h又はRh合金を用いるのは、R
hの融点か1960°Cと′1゛aと同様に高く、しか
も600℃をこえれば酸素と反応して酸化するものの1
100℃では分解し耐酸化性特に金属酸化物に対する耐
酸化性に優れているからである。しかし、無垢のRhや
Rh合金の容器は高価で加工か困藤なため被覆すること
とした。被覆はイオンブレーティングやスパツタリング
や蒸着なとの物理的蒸着が湿式蒸着よりも良い。これは
、物理的蒸着によれば゛pa容器の表面層にRh原子が
埋没されて’l’ aとHk+の接合面の密着強度か1
°bくなり、(浅域的強度。高いクラット容器が得られ
るからである。
hの融点か1960°Cと′1゛aと同様に高く、しか
も600℃をこえれば酸素と反応して酸化するものの1
100℃では分解し耐酸化性特に金属酸化物に対する耐
酸化性に優れているからである。しかし、無垢のRhや
Rh合金の容器は高価で加工か困藤なため被覆すること
とした。被覆はイオンブレーティングやスパツタリング
や蒸着なとの物理的蒸着が湿式蒸着よりも良い。これは
、物理的蒸着によれば゛pa容器の表面層にRh原子が
埋没されて’l’ aとHk+の接合面の密着強度か1
°bくなり、(浅域的強度。高いクラット容器が得られ
るからである。
このように、Rh又はRh合金を被覆したるつばは耐酸
化性に優れ、接合面の機械的強度も優れていることから
長寿命のものとなる。なお、Rh合金としては、pt−
Rh、1r−Rhがある。
化性に優れ、接合面の機械的強度も優れていることから
長寿命のものとなる。なお、Rh合金としては、pt−
Rh、1r−Rhがある。
以下、実施例と従来例について説明する。
〔実施例1〕
肉厚5im、II石さ 100mm 、内径80mmの
断面コの字形’I” a Mるつぼの内壁に次の条件で
Rhを厚さ10μmまでイオンブレーティングした。
断面コの字形’I” a Mるつぼの内壁に次の条件で
Rhを厚さ10μmまでイオンブレーティングした。
雰囲気ガス: 2.0X10 mll11gイオン化電
圧、電流:40V、5A 電子ビ−ムン容解: 9 k v、 300 +nA熱
電子 : IOV、1oOA これを実用品1とする。
圧、電流:40V、5A 電子ビ−ムン容解: 9 k v、 300 +nA熱
電子 : IOV、1oOA これを実用品1とする。
〔実施例2〕
実施例1と同一形状のT aMるつぼの内外壁に次の条
件でI) L −Rh合金を厚さ 0.1mmマグネト
ロンスパッタリンクした。
件でI) L −Rh合金を厚さ 0.1mmマグネト
ロンスパッタリンクした。
圧力ニArガス3 X iOmm l1g印加亀圧:
400V 高周波電源: 13.56 Mllz これを実用品2とする。
400V 高周波電源: 13.56 Mllz これを実用品2とする。
実施例1で用いた′r a Mるつぼを従来品とした。
次に、上記実用品1,2と従来品にアルカリ亜鉛硼珪酸
ガラスを500 g入れAr雰囲気、温度約1200℃
×60分間で使用した。これを10回くり返したところ
、従来品は50μmその′1゛a容器の表面から削られ
たのに対し、実用品1ば10μm、実用品2は5μm削
られたにととまった。
ガラスを500 g入れAr雰囲気、温度約1200℃
×60分間で使用した。これを10回くり返したところ
、従来品は50μmその′1゛a容器の表面から削られ
たのに対し、実用品1ば10μm、実用品2は5μm削
られたにととまった。
次に、実用品2と従来例の容器の底部を大気中で直接ヒ
ーター加熱して温度約1000°Cで10時間保持した
ところ、従来例ばTaが殆んど酸化されたのに対し、実
用品2ば殆んと酸化されなかった。
ーター加熱して温度約1000°Cで10時間保持した
ところ、従来例ばTaが殆んど酸化されたのに対し、実
用品2ば殆んと酸化されなかった。
なお、従来品の表面層の硬度と実用品1.2の境界層の
硬度はそれぞれ10011v、160Hv、13011
vでであった。
硬度はそれぞれ10011v、160Hv、13011
vでであった。
これらのことから本発明のクラットるつほは従来品に比
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく耐酸化性が
優れ、しかも外壁までRh合金被覆した実用品2は大気
加熱しても耐酸化性か優れていることかわかる。また、
実用品の境界層の硬度は従来品の表面層の硬度より高い
ことから、実用品は機械的強度に優れていることがわか
る。
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく耐酸化性が
優れ、しかも外壁までRh合金被覆した実用品2は大気
加熱しても耐酸化性か優れていることかわかる。また、
実用品の境界層の硬度は従来品の表面層の硬度より高い
ことから、実用品は機械的強度に優れていることがわか
る。
以上詳述したように本発明によれは、耐消耗性の優れた
し寿命のクラッド容器を提供することができる。しかも
、′1゛a製容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿命
のものかえられ、j口Jhlliな設Ojηを必要とせ
ず、高価なRhか少星ですむことと併せて安価なものと
なる。
し寿命のクラッド容器を提供することができる。しかも
、′1゛a製容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿命
のものかえられ、j口Jhlliな設Ojηを必要とせ
ず、高価なRhか少星ですむことと併せて安価なものと
なる。
出願人 田中貴金属工業株式会社
Claims (1)
- ′】′d又は′1゛a合金の表面に17h又は1211
合金を被覆されていることを特徴と3−るクラット容器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5772384A JPS60200978A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5772384A JPS60200978A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200978A true JPS60200978A (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0317069B2 JPH0317069B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=13063856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5772384A Granted JPS60200978A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200978A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01132751A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01279777A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-10 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP5772384A patent/JPS60200978A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01132751A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01279777A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-10 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0317069B2 (ja) | 1991-03-07 |
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