JPS6021957U - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS6021957U JPS6021957U JP11281183U JP11281183U JPS6021957U JP S6021957 U JPS6021957 U JP S6021957U JP 11281183 U JP11281183 U JP 11281183U JP 11281183 U JP11281183 U JP 11281183U JP S6021957 U JPS6021957 U JP S6021957U
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- JP
- Japan
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- defect inspection
- surface defect
- inspection equipment
- inspected
- diffraction image
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案になる表面欠陥検査装置の一実施例の概
略構成図、第２図はそのセンサボードの要部の拡大平面
図、第３図〜第５図は夫々被検査体からの反射光の回折
像を示す図である。 １・・・レーザ光発生器、２・・・レーザ光、６・・・
被検査体、７・・・センサボード、８・・・アクチュエ
ータ、９・・・マスク、１０ （１０ａ〜１０ｄ）・・
・センサ、１１・・・判別回路、１２・・・ディスプレ
イ、１３・・・投影板、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ・・・
正規の回折像、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ・・・欠陥があ
る場合の回折像。
略構成図、第２図はそのセンサボードの要部の拡大平面
図、第３図〜第５図は夫々被検査体からの反射光の回折
像を示す図である。 １・・・レーザ光発生器、２・・・レーザ光、６・・・
被検査体、７・・・センサボード、８・・・アクチュエ
ータ、９・・・マスク、１０ （１０ａ〜１０ｄ）・・
・センサ、１１・・・判別回路、１２・・・ディスプレ
イ、１３・・・投影板、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ・・・
正規の回折像、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ・・・欠陥があ
る場合の回折像。
Claims (1)
- 被検査体の表面に光を照射する照射手段と、該被検査体
からの反射光の回折像を結像させる結像手段と、該結像
手段において被検査体に傷がない場合の正規の回折像の
周囲に略沿って配された複数のセンサと、該センサの出
力を判別して該被検査体の傷の有無を検出する判別手段
とより構成してなる表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11281183U JPS6021957U (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11281183U JPS6021957U (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021957U true JPS6021957U (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=30261382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11281183U Pending JPS6021957U (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021957U (ja) |
-
1983
- 1983-07-20 JP JP11281183U patent/JPS6021957U/ja active Pending
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