JPS60231124A - 干渉分光光度計 - Google Patents
干渉分光光度計Info
- Publication number
- JPS60231124A JPS60231124A JP8735584A JP8735584A JPS60231124A JP S60231124 A JPS60231124 A JP S60231124A JP 8735584 A JP8735584 A JP 8735584A JP 8735584 A JP8735584 A JP 8735584A JP S60231124 A JPS60231124 A JP S60231124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- interferometer
- mirror
- main
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・ 産業上の利用分野
本発明はフーリエ変換型の干渉分光光度計における位置
信号を得る構成に関する。
信号を得る構成に関する。
口・従来技術
フーリエ変換型干渉分光光度計は、干渉計で一つの光束
を二元束に分割し、両光束の光路差を変えながら、両光
束を重ねて干渉を起させ、干渉光ラムを記録し、このイ
ンターフェログラムをフーリエ変換して光のスペクトル
をめるものである。
を二元束に分割し、両光束の光路差を変えながら、両光
束を重ねて干渉を起させ、干渉光ラムを記録し、このイ
ンターフェログラムをフーリエ変換して光のスペクトル
をめるものである。
もう少し具体的に説明すると、二元束の光路差を変える
ために可動鏡があって、この可動鏡の移動距離をＸ軸に
とり、干渉光強度をｙ軸にとって記録したものがインタ
ーフェログラムで、実際には測定のＳ／Ｎ比を向上させ
るために、可動鏡を一回だけ動かしてインターフェログ
ラムを測定するのではなく、何回か可動鏡を往復させて
・毎回のインターフェログラムのデータを積算するよう
にしている。この積算に当っては毎回のインターフェロ
グラムの位置が正しく合っていなければならない。即ち
毎回の測定において、正しく同じ可動鏡位置の測光デー
タ同士が加算されることが必要である。
ために可動鏡があって、この可動鏡の移動距離をＸ軸に
とり、干渉光強度をｙ軸にとって記録したものがインタ
ーフェログラムで、実際には測定のＳ／Ｎ比を向上させ
るために、可動鏡を一回だけ動かしてインターフェログ
ラムを測定するのではなく、何回か可動鏡を往復させて
・毎回のインターフェログラムのデータを積算するよう
にしている。この積算に当っては毎回のインターフェロ
グラムの位置が正しく合っていなければならない。即ち
毎回の測定において、正しく同じ可動鏡位置の測光デー
タ同士が加算されることが必要である。
このため可動鏡が基準位置にあることを検出して位置の
マーク信号を得このマーク信号によって位置合せをする
。このマーク信号を得るのＫ、従来は別のホワイトライ
ト干渉計を用いるとか、主壬渉針におげふ主壬渉弄の一
部を取出す等の方法が用いられていた。
マーク信号を得このマーク信号によって位置合せをする
。このマーク信号を得るのＫ、従来は別のホワイトライ
ト干渉計を用いるとか、主壬渉針におげふ主壬渉弄の一
部を取出す等の方法が用いられていた。
ホワイトライト干渉計を用いる方法と云うのは・主干渉
計とは別に副干渉計を構成し、副干渉計に白色光を入射
させておくと、副干接計によるインターフェログラムも
光路差Ｏの位置に強いピークが現れるから、このピーク
頂点の検出信号をマーク信号とするものである。
計とは別に副干渉計を構成し、副干渉計に白色光を入射
させておくと、副干接計によるインターフェログラムも
光路差Ｏの位置に強いピークが現れるから、このピーク
頂点の検出信号をマーク信号とするものである。
主干渉計の干渉光の一部を取出す方法と云うのは例えば
特開昭５５−１５９１２３号公報に記載されたような方
法で、試料を通らない主干渉光の一部でインターフェロ
グラムを記録すると１主干渉計の光路差０の位装置に強
いピークが現れるから、これによってマーク信号を得る
ものである。
特開昭５５−１５９１２３号公報に記載されたような方
法で、試料を通らない主干渉光の一部でインターフェロ
グラムを記録すると１主干渉計の光路差０の位装置に強
いピークが現れるから、これによってマーク信号を得る
ものである。
上述したホワイトライト干渉計を用いる方法は主干渉計
とは別に副干渉計を必要とするので、装置全体として複
雑になり、副干渉計の光路差０の位置を合わすのは繁雑
で調整がやっかいである。
とは別に副干渉計を必要とするので、装置全体として複
雑になり、副干渉計の光路差０の位置を合わすのは繁雑
で調整がやっかいである。
主干渉光の一部を取出す方法は装置構成及び調整等はホ
ワイトライト干渉計を用いる方法ぼりも簡単であるが、
主干渉光の一部を取出しているので、その分だけ光量が
損失となる〇 ヘト的 本発明は主干渉計で光源側に戻る光の干渉を利用してマ
ーク信号を得るようにして、副干渉計を必要とせず、主
干渉計を利用してしかも主干渉光の光量損失を来たさな
いマーク信号取得手段を提供するものである。
ワイトライト干渉計を用いる方法ぼりも簡単であるが、
主干渉光の一部を取出しているので、その分だけ光量が
損失となる〇 ヘト的 本発明は主干渉計で光源側に戻る光の干渉を利用してマ
ーク信号を得るようにして、副干渉計を必要とせず、主
干渉計を利用してしかも主干渉光の光量損失を来たさな
いマーク信号取得手段を提供するものである。
二・構成
本発明干渉分光光度計はマイケルソン干渉計の移動鏡を
凹の屋根彫工面鏡として、光源側へ戻る光が干渉計への
入射光とは重ならないようにし、この光源側へ戻る光の
干渉を測定して位置のマーク信号を得るようにしたもの
である。
凹の屋根彫工面鏡として、光源側へ戻る光が干渉計への
入射光とは重ならないようにし、この光源側へ戻る光の
干渉を測定して位置のマーク信号を得るようにしたもの
である。
ホ・実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。干渉計の基本構成は
マイケルソン干渉計で、Ｓが光源、１が移動鏡、２が固
定鏡で子がビームスプリッタ−１４が試料でＤｌは主干
渉光の測光を行う光検出器である。移動鏡１及び固定鏡
２は何れも内角が９０°の２面凹形屋根形鏡であシ、反
射光は入射光と平行で側方にずれるので、平面鏡の場合
と異って入射光と反射光とは重ならない。試料４を通る
光の経路はａ−ｂ−ｃ−ｄ−ｅの光路長可変光路と、ａ
−ｆ−ｇ−ｄ−ｅの固定光路である、これらの光路をと
る主干渉光とは別に、ａ−ｂ−ｃ−ｄ−ｈ及びａ −ｆ
−ｇ −ｄ−ｈの二元路をとる光がある。これらの光
路をとる光は従来のマイケルソン干渉計では入射光と重
なって光源に戻る光に相当しているが、移動鏡、固定鏡
とも屋根形であるので、平行にずれて入射光とは重なら
ず、そのため入射光を妨害することなしに、凹面鏡６等
を用いて光検出器Ｄ２に集光させることができる。
マイケルソン干渉計で、Ｓが光源、１が移動鏡、２が固
定鏡で子がビームスプリッタ−１４が試料でＤｌは主干
渉光の測光を行う光検出器である。移動鏡１及び固定鏡
２は何れも内角が９０°の２面凹形屋根形鏡であシ、反
射光は入射光と平行で側方にずれるので、平面鏡の場合
と異って入射光と反射光とは重ならない。試料４を通る
光の経路はａ−ｂ−ｃ−ｄ−ｅの光路長可変光路と、ａ
−ｆ−ｇ−ｄ−ｅの固定光路である、これらの光路をと
る主干渉光とは別に、ａ−ｂ−ｃ−ｄ−ｈ及びａ −ｆ
−ｇ −ｄ−ｈの二元路をとる光がある。これらの光
路をとる光は従来のマイケルソン干渉計では入射光と重
なって光源に戻る光に相当しているが、移動鏡、固定鏡
とも屋根形であるので、平行にずれて入射光とは重なら
ず、そのため入射光を妨害することなしに、凹面鏡６等
を用いて光検出器Ｄ２に集光させることができる。
金主干渉光において二元路の光路長が等しい場合の、光
検出器Ｄ２に入射する光（副干渉光と呼ぶ）の二元路長
を考えると、移動鏡を経由する主干渉光ａｂｅｄに対し
副干渉光もａｂｅｄ、固定鏡を経由する主干渉光ａｆｇ
ｄに対し副干渉光もａｆｇｄであるから、主干渉光の光
路差が０のときは副干渉光の光路差も０である。従って
光検出器ηＯｌ／ｒ ＆ Ａ／侶−ふフ割〒：ｎド立＾
□山山よ＾頻−大ピークを検出することによって、主干
渉光の二元路の光路差０に対応する移動鏡１の位置のマ
ーク信号が得られる。
検出器Ｄ２に入射する光（副干渉光と呼ぶ）の二元路長
を考えると、移動鏡を経由する主干渉光ａｂｅｄに対し
副干渉光もａｂｅｄ、固定鏡を経由する主干渉光ａｆｇ
ｄに対し副干渉光もａｆｇｄであるから、主干渉光の光
路差が０のときは副干渉光の光路差も０である。従って
光検出器ηＯｌ／ｒ ＆ Ａ／侶−ふフ割〒：ｎド立＾
□山山よ＾頻−大ピークを検出することによって、主干
渉光の二元路の光路差０に対応する移動鏡１の位置のマ
ーク信号が得られる。
第２図は上述実施例における信号処理回路の構成を示す
。主干渉光を受光する光検出器Ｄ１の出力はＡ ／ Ｄ
変換され、インターフェログラムのデータとしてＣＰＨ
の第１のメモリに格納される。
。主干渉光を受光する光検出器Ｄ１の出力はＡ ／ Ｄ
変換され、インターフェログラムのデータとしてＣＰＨ
の第１のメモリに格納される。
副干渉光を受光する光検出器Ｄ２の出力は位置信号パル
ス発生回路５に入力され、移動鏡１が干渉計の二元路の
光路長が等しくなる位置に来たとき回路５から位置信号
が出力される。第１のメモリのアドレス指定は移動鏡の
スタート位置を機構的に検出して、その位置を起点にし
て一定移動量毎に１ずつアドレスを進めて行く。従って
移動鏡の一行程毎に得られるインターフェログラムの位
置のデータ即ちメモリのアドレスはスタート位置の検出
精度に依存してインターフェログラムの絶対位置は毎回
具っている。そこで移動鏡の一行程中に、上記位置信号
があったタイミングにおける第１のノ：ＰＩ＋の７）、
＋１ノスｆＰＩＦ樒１イ七１か 倣私倍箇−回の行程の
終シにこの記憶しておいたアドレスが第２のメモリの特
定のアドレスに対応するように第１のメモリのデータを
第２のメモリに転送し、第２のメモリにおいて・複数回
の行程におけるインターフェログラムを積算する。
ス発生回路５に入力され、移動鏡１が干渉計の二元路の
光路長が等しくなる位置に来たとき回路５から位置信号
が出力される。第１のメモリのアドレス指定は移動鏡の
スタート位置を機構的に検出して、その位置を起点にし
て一定移動量毎に１ずつアドレスを進めて行く。従って
移動鏡の一行程毎に得られるインターフェログラムの位
置のデータ即ちメモリのアドレスはスタート位置の検出
精度に依存してインターフェログラムの絶対位置は毎回
具っている。そこで移動鏡の一行程中に、上記位置信号
があったタイミングにおける第１のノ：ＰＩ＋の７）、
＋１ノスｆＰＩＦ樒１イ七１か 倣私倍箇−回の行程の
終シにこの記憶しておいたアドレスが第２のメモリの特
定のアドレスに対応するように第１のメモリのデータを
第２のメモリに転送し、第２のメモリにおいて・複数回
の行程におけるインターフェログラムを積算する。
副干渉光によって得られるインターフェログラムは分析
上の必要データではないが、これによって光源の劣化及
び干渉強度の劣化をモニタするのに利用するため、Ａ
／ Ｄ変換してＣＰＵに送るようになっている。
上の必要データではないが、これによって光源の劣化及
び干渉強度の劣化をモニタするのに利用するため、Ａ
／ Ｄ変換してＣＰＵに送るようになっている。
へ、効果
本発明干渉分光光度計は上述したような構成で、干渉計
から光源側に戻る光の光路が干渉計への入射光の光路と
重ならないようにして、この戻シの光の干渉によって位
置のマーク信号を得るものであるから、副干渉計を用い
るものに比し構造も調整も簡単であり、主干渉光の一部
を取出すのでないから光量損失もない。
から光源側に戻る光の光路が干渉計への入射光の光路と
重ならないようにして、この戻シの光の干渉によって位
置のマーク信号を得るものであるから、副干渉計を用い
るものに比し構造も調整も簡単であり、主干渉光の一部
を取出すのでないから光量損失もない。
第１図は本発明の一実施例の光学系の平面図、第２図は
同じく信号処理回路のブロック図である。 １・・・移動鏡、２・・・固定鏡、３・・・ビームスプ
リッタ−１４・・・試料、Ｓ・・・光源、ＤＩ・・・主
干渉光を測光する光検出器、Ｄ２・・・副干渉光を測光
する光検出器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
同じく信号処理回路のブロック図である。 １・・・移動鏡、２・・・固定鏡、３・・・ビームスプ
リッタ−１４・・・試料、Ｓ・・・光源、ＤＩ・・・主
干渉光を測光する光検出器、Ｄ２・・・副干渉光を測光
する光検出器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- マイケルソン型干渉計の移動鏡と固定鏡を共に出射光が
入射光に対して平行移動するように凹形の屋根形２面鏡
とし、光源側に戻る光を主干渉光とは別の光検出器で受
光し、干渉計の二元路の光路差が０の位置において現れ
る上記光検出器の出力のピークを検出して移動鏡の基準
位置を示すマーク信号としたことを特徴とする干渉分光
光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8735584A JPS60231124A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 干渉分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8735584A JPS60231124A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 干渉分光光度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60231124A true JPS60231124A (ja) | 1985-11-16 |
Family
ID=13912571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8735584A Pending JPS60231124A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 干渉分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60231124A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5594103A (en) * | 1979-01-06 | 1980-07-17 | Maikeru Doiru Uorutaa | Interferometer |
| JPS55159123A (en) * | 1979-05-30 | 1980-12-11 | Japan Spectroscopic Co | Interference spectrophotometer |
-
1984
- 1984-04-30 JP JP8735584A patent/JPS60231124A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5594103A (en) * | 1979-01-06 | 1980-07-17 | Maikeru Doiru Uorutaa | Interferometer |
| JPS55159123A (en) * | 1979-05-30 | 1980-12-11 | Japan Spectroscopic Co | Interference spectrophotometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6208424B1 (en) | Interferometric apparatus and method for measuring motion along multiple axes | |
| US20230061358A1 (en) | Multi-frequency hybrid heterodyne laser tracker system based on single light source | |
| CN104568152B (zh) | 横向剪切干涉扫描傅里叶变换成像光谱仪 | |
| CN105547480A (zh) | 高通量双折射干涉成像光谱装置 | |
| CN108613742A (zh) | 一种双通道大孔径静态干涉成像光谱仪 | |
| JPH0663867B2 (ja) | 波面状態検出用の干渉装置 | |
| CN106895917B (zh) | 用于运动伪影校正的空间光谱编码并行oct系统和方法 | |
| JPS63193003A (ja) | 凹部深さ・膜厚測定装置 | |
| JPS59137802A (ja) | 長さ測定干渉計 | |
| JPH07190712A (ja) | 干渉計 | |
| JPS60231124A (ja) | 干渉分光光度計 | |
| CN108931298B (zh) | 一种紧凑型高通量高稳定性干涉成像光谱仪 | |
| US7701583B2 (en) | Coherence spectrometry devices | |
| JPS63289426A (ja) | フ−リエ変換分光分析計 | |
| CN216900213U (zh) | 一种飞点扫描白光光谱分光干涉仪 | |
| JPS61155902A (ja) | 干渉計測装置 | |
| JPS63167227A (ja) | 干渉計 | |
| RU2047085C1 (ru) | Интерферометр для измерения перемещений двухкоординатного стола | |
| JPS58100722A (ja) | フ−リエ変換型分光光度計 | |
| JPH0454405A (ja) | 光学式変位計 | |
| JPS59164926A (ja) | 干渉分光計 | |
| JPS6238324A (ja) | フ−リエ変換型分光光度計 | |
| RU2042961C1 (ru) | Способ фазирования многоапертурной оптической системы | |
| JPH01221602A (ja) | 二光束干渉型リニアエンコーダ | |
| RU2030764C1 (ru) | Способ фазирования многоапертурной системы |