JPS60234230A - 磁気記録媒体の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、所謂強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体の製法
に関するものであり、さらに詳細には酸素雰囲気中での
蒸着方法の改良に関するものである０ 〔背景技術とその問題点〕 従来、磁気記録媒体としては、γ−Ｆｅ２Ｏ３の如き磁
性粉末を樹脂結合剤中に分散し、非磁性基材上に塗布し
た塗布型の磁気記録媒体が広く用いられているが、高密
度記録に対する要求が高まるにつれ、非磁性基材上にＣ
ｏ　−Ｎ　ｉ　合金等の強磁性金属材料からなる金属薄
膜を真空蒸着法により直接被着形成した強磁性金属薄膜
型磁気記録媒体が注目を集めている。

この強磁性金属薄膜型磁気記録媒体においては、磁性層
に例えば塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体やポリウレタ
ン樹脂等の樹脂結着剤（バインダ）を混入する必要がな
いため磁性金属材側の充填密度を飛躍的に高めることが
でき、上記高密度記録を容易に達成し得るとともに、磁
性層の厚みを極めて薄くすることができるため記録減磁
や再生時の厚み損失等が著しく小さなものとなっている
。

ところで、この種の磁気記録媒体にあっては、高記録密
度においても高出力を得るために抗磁力Ｈｃｋより一層
高めることが要望されており、例えば上記強磁性金属材
料を非磁性基材に対して斜め方向から蒸着する斜方蒸着
や蒸着装置内の酸素分圧音信の気体の分圧よりも高くし
た酸素雰囲気中で強磁性金属材料を非磁性基材上に蒸着
する雰囲気制御により、得られる磁気記録媒体の抗磁力
ｌ−Ｉｃｆｆ１向上することが可能であることが報告さ
れている。

しかしながら、上記斜方蒸着では蒸着効率が著しく低下
し生産性の低下を招来してし１つという欠点ケ有し、一
方、上記酸素雰囲気中での蒸着では抗磁力Ｈｃの向上ケ
達成するために大量の酸素ガス全蒸着装置内に導入する
と、蒸発した強磁性金属材料原子が酸素によって散乱さ
れ得られる磁気記録媒体の磁気特性（例えば角形比Ｒｓ
）’に低下してし丑うという欠点を有することが分かっ
た。

〔発明の目的〕

本発明は、前述の如き従来技術の有する欠点孕解消する
７こめに提案されたものであって、角形比Ｒｓに優れ、
かつ高抗磁力Ｈｃｋ有する磁気記録媒体ケ製造し得る磁
気記録媒体の製法を提供することを目的とする。

〔問題点ヲ消決するプζめの手段〕 本発明者等は、上述の目的ケ達成せんと鋭意研究の結果
、導入する酸素ガスを冷却して酸素分子の運動ｆｔ　ｋ
抑制することにより蒸発磁性材料の散乱を減少し得るこ
とを見出し本発明を完成するに至ったものであり、酸素
雰囲気中において非磁性基材上に磁性材料を蒸着させて
磁気記録妓８体を製造するに際し、蒸発磁性イ２料原子
の運動量と導入酸素分子の運動量の比が４．０以上とな
るように蒸着することを特徴とするものである。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について説明する。

第１図は本発明を実施するための蒸着装置の一例ヶ示す
ものであって、真空ポンプ１により所定の真空度、例え
ば約Ｉ　Ｘ　Ｉ　Ｏ’−３Ｔｏｒｒ以下にした真空槽２
内に、磁１住材料を蒸着させる非磁性暴利３がローラ４
７１）ら案内ローラ５を介して巻取りローラ６に巻取ら
れるように配置され、蒸発源である磁１件材料７を電熱
線、電子線などの加熱手段８により加熱して蒸発させ、
蒸発礎１住拐料を上記非磁性基材３表面に蒸着させて強
磁性薄膜を形成するように構成されている。

上記非磁性基材３の素材としては通常使用されるもので
あれば如何なるものであってもよく、例エハポリエチレ
ンテレフクレート等のポリエステル類、ポリエチレン、
ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セルローストリ
アセテート、セルロースダイアセテート、セルロースア
セテートブチレート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビ
ニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカー
ボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド等のプラスナ
ック等が使用される。

一方、上記磁性材料７としては、通常この種の磁気記録
媒体に使用されるものであれば如何なるものでも使用可
能であって、例えば鉄Ｆｅ１　コノ（ルトＣｏ１ニッケ
ルＮｉ等の金属あるいはＣｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合
金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｎ１−Ｆｅ−Ｂ合金あるいはこれらにＣｒ　、　ＡＪ
、等の金属が含有されたもの等が使用される。

さらに、上記蒸着装置には、酸素ガスを蒸着領域に吹き
伺けるためのノズル９を設けたガス導入管１０が内設さ
肛ており、強磁性薄膜が形成される非磁性基材３位置の
近傍に酸素ガスの流れ全形成するようになっている。

そして、本発明において重要なことは、上記ノズル９か
ら吹き出される酸素ガス（酸素分子）の運動量と蒸発源
から蒸発される蒸発磁１住材料原子の運動量全制御する
ことである。

一般に、蒸発源から蒸発する蒸発磁性材料原子やノズル
９刀１ら吹き出す酸素分子は、次式ｍ；原子はたは分子
の質量 ■：原子または分子の速度 に；ボルツマン定数 Ｔ；蒸発源または導入管内壁の絶対温度で示される運動
エネルギＪ’に有することが知られており、この式から
上記蒸発磁１住材別原子や酸素分子の運動量ケ求めるこ
とができる。

例えば、磁性材料７としてコバルトｃｏ　ｋ使用した場
合には、蒸発するコバルト原子の運動量は蒸発源の温度
から第１表に示す如くめられる。

第１表 同様に、ノズル９から吹き出される酸素分子の運動量は
、ガス導入管１０内壁の温度から第２表に示す如くめら
れる。

第２表 （ただし、酸素分子の質量ｍ＝５．３ＸｌＯ−２６Ｋｙ
）本発明者等の実験によれは、上記コバルト原子の運動
量が太きければ大きいほど、また酸素分子の運動量が小
さければ小さいほど衝突時のコバルト原子の散乱量が少
なくなることが判明した。すなわち、酸素分子の運動量
に対するコバルト原子の運動量の比が大きいほど上記コ
バルト原子の散乱が防止さ九るのである。第３表に酸素
分子の運動量とコバルト原子の運動量の比を示す。

第３　表 ここで、」二記運動量の比は４．０以上であることが好
丑しく、５．０以上であることがより好丑しい。上記運
動量の比が４．０未満であると効果がほとんど期待でき
ない。

ところで、上記運動量の比が４゜０以上となるように制
卸する方法としては、具体的には、例えば酸素ガスを導
入するためのガス導入管１０の内壁やノズル９付近全液
体窒素等により冷却するとともに、このガス導入管１０
を蒸発源からの熱輻射を直接受けないように投雪して導
入管１０の温度上昇全防ぎ、吹き出さする酸素ガスを冷
却して酸素分子の運動量を抑制しておけばよい。

」二連の製法に従い、磁性材料７としてＣｏ８０重量係
、Ｎ１８０重′量％を含有するＣ　ｏ　−Ｎ　ｉ合金を
使用し、ガス導入管１０温度を１３０°に１蒸発源温度
に２３０００Ｋ　に設定して蒸着を行ない、磁気記録媒
体を作製した。なお、ここで導入酸素量は５０　ｃｃ　
／ｍｉｎ　とした。

得られた磁気記録媒体の抗磁力Ｈｅ及び角形比Ｒｓ？ｒ
測定した。結果ケ第４表に示す。ここで、ガス導入管１
０温度を７００°Ｋに設定して得られた磁気記録媒体に
ついても比較例として併せて第４表に示す。

第４表 この第４表より、吹き伺ける酸素分子の運動量に対する
蒸発磁性材料原子の運動量の比が４．０以上となるよう
に、この例では６．５に設定することにより、得られる
磁気記録媒体の抗磁力Ｈｃ及び角形比Ｒｓはいずれも向
上することが分かる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明の製法においては、導入する
酸素分子の運動量及び蒸発する蒸発磁１住材料原子の運
動量を制御しているので、上記蒸発磁性材料原子の散乱
が防止され、角形比Ｒｓに優れ７１＼つ高抗磁力Ｈｃｋ
有する磁気記録媒体を簡単に生産性良く製造することが
可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製法を実施するために使用される蒸
着装置の一例を示す断面図である。 ３・・・非磁性基材 ７・・・磁性材料 １０・・・ガス導入管 特許出願人　ンニー株式会社 代理人　弁理士　小　池　晃 同　１）　村　榮　− １１−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 酸素雰囲気中において非磁性基材上に磁性材料を蒸着さ
   せて磁気記録媒体を製造するに際し、蒸発磁性材料原子
   の運動量と導入酸素分子の運動量の比が４．０以上とな
   るように蒸着することを特徴とする磁気記録媒体の製法
   。