JPS60246643A - テ−プボンダ - Google Patents

テ−プボンダ

Info

Publication number
JPS60246643A
JPS60246643A JP10170684A JP10170684A JPS60246643A JP S60246643 A JPS60246643 A JP S60246643A JP 10170684 A JP10170684 A JP 10170684A JP 10170684 A JP10170684 A JP 10170684A JP S60246643 A JPS60246643 A JP S60246643A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tool
pellet
bonding
tape
lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10170684A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH022288B2 (ja
Inventor
Seiichi Chiba
誠一 千葉
Akihiro Nishimura
明浩 西村
Hisao Ishida
久雄 石田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinkawa Ltd
Original Assignee
Shinkawa Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinkawa Ltd filed Critical Shinkawa Ltd
Priority to JP10170684A priority Critical patent/JPS60246643A/ja
Publication of JPS60246643A publication Critical patent/JPS60246643A/ja
Publication of JPH022288B2 publication Critical patent/JPH022288B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はフィルムキャリアのリートと半導体ベレットと
を熱圧着するポンディングツールのポンディング面をク
リーニングし整形する装置を備えたテープホンダに関す
る。
〔発明の背景] フィルムキャリアのリードと半導体ベレットを熱圧着す
る方法には、周知のようにフンスタットヒート方式と、
パルスヒート方式がある。このうち、フンスタットヒー
ト方式によるテープポンダに用いるボッディングツール
は金属ンヤンクの先端に天然ダイヤまたは人丁ダイヤが
接着されている。そして、このボッディングツールはカ
ートリッジヒータによって約600℃に加熱されており
、これによってリートと半導体ベレットとを熱圧着する
。ところが、熱圧着によるポンディ7グを数回行うと、
ボッディングツールのポンディング面(前記ダイヤ部分
)にはリードのメッキや半導体ベレットの配線端子の全
滅の溶けかすが付着し、ポンディング面の平面度が劣化
するためりI)−二ソグする必要を生じる。
またパルスヒート方式によるテープポンダに用いるポン
ディングツールは金属板を折曲げた形状をしており、そ
の両端に電圧を加えて発熱させ、ポンディング面を般高
約600℃まで加熱し、これによってリートと゛ト導体
ペレットとを熱圧着する。ところが、やはり穀回ポンデ
イノグすると、ツールのポンディング面が変形したり、
またリ一トのインキや゛¥導体ペレットの配線端子の金
属の溶けかすが41青し、ボンディング面の平面度が、
き(なるので、その正面出しが必要となる。
ところで、従来、コンスタントヒート方式のテープホン
ダにおけるボッディングソールのクリーニングは、作業
者が砥石をボンディング面に滑らせて付着物を取り除き
、その後アルコールなとにより拭いて?■い、またパル
スヒート方式のテープホンダにおけるボッディングソー
ルの撃形は左右に動く硬質セラミックなとのラップ定盤
でソールのホノデイノグ面をラッピングして行い その
後作業者がツールの周囲に付いた異物をアルコールなと
で拭いていた。
[発明の目的1 未発明の目的は、前記のように、従来、作業者のL作業
を必要としていたポンディングツールの々リーニノグ整
形を全自動で行い、もって作業能−ドを大幅に向−1さ
せることができるテープホンダを提供することにある。
[発明の実施例] 以F、本発明の一実施例を第114及び第21Zにより
説明する。lはr・9体ベレットをポンディング位tに
供給するためのペレット供給テーブルで、図示しないf
′一段によってXYY方向びこれに眞直なZ方向1更に
Z方向に1i′4工な中心軸の周りに回転するθ方向の
位置決めが91能に構成されている。2はペレット供給
テーブル11.に設けられたホンディングのためのステ
ーノ、3はステー)2に4!LIJされる゛r4体ベレ
ツ)、4ハf=14;”:レット3をステーノ2に対し
止しく(☆置袂めするための開閉する1対の位置決め爪
 5は図小しない供給装置によってペレット供給テーブ
ルlの真りのボンディング(り置に供給されるフィルム
キャリアのリート 6はボッディングソールで、ベレッ
ト供給テーブルlトのボンディング(々lと所′Cの後
退位置との間に前後動し、かつ夫々の(々lで1丁動す
ることができる。
lOはペレット供給テーブルlに隣接し前記ボッディン
グノール6の後端(々置F方に設けられたXYテーブル
、11はxyYテーブル0に設けられたブラケット12
に回転o7能に支承されたリング、13はリング11の
外周に固定された金属ブラン、14はXYテーブル+0
1−に設けられベルト+IRI5によりリング11を回
転させるモータ、16はリング11に隣接しXYテーブ
ル101に設けられたラップ定盤である。
次に作動について説明する。ステージ2に半導体ベレッ
ト3が図示しない1段で112+されると。
位置決め爪4が動作して半導体ベレット3を位置決めし
、その後1iinする。そして、ペレット供給テーブル
lがθ方向に回転して′P:4体ペレ体上レット3ルム
キャリアのリード5の(Lドに(Q置決めする。この時
、゛r−導体ペレット3とリート5の微妙な位η合せは
ペレット供給テーブルlのxY方向の移動によって行わ
れる1次にボッディングソール6がポンディング位tに
前進して下障すると、ペレット供給テーブル1がZ方向
にト昇し、これによって半導体ベレット3とリート5が
熱圧着される。このホンディ〉グ作業が開始されると、
コンスタントヒート方式のテープポンダの場合はリング
11がモータ14により同転され金属ブラシ13が回転
しながら待穆する。そして ボンブイノブ作業が1了す
ると、ボッディングソール6はl:胃しかつ?&退位置
に移動し、に&いてド岬してボッディングソール6のボ
ンディング面を回転する金属ブラン13に当て、これに
よってクリーニングが行われる。また必要に応じてXY
テーブル10が移動してボッディングソール6Iこ対す
る金属ブラン13の付置を変えることもできる。
またパルスヒート方式のテープホンダの場合では、必1
jilこ心して作業者が自動ラップスイッチを押すか、
または予め119定さnたポンディノブ回数が経過する
と、XYテーブルlOが移動してラップ定盤16がボッ
ディングソール6の後退位置真Fに(々置する。その後
ボンディングノール6がF降してラップ定盤16に当た
り、その時からpめ設定された時間XYテーブル10が
左右lこ移動し、ボンディング面がラッピングされ平面
出しが行われる。ラッピングが終ると、ポンデイングツ
−Iシロは−11,l: )+ L、xyテーブル10
か移動して金属ブラン13がそのド力に位置し 金属ブ
ラシ13を同転さゼた後、ホンディノブソール6を11
i F Hさせ、ホンディノブ面をクリーニングする。
[発明の効v1 以1の説明から明らかな如く、本発明によれば ホ/デ
ィ7クツールのクリーニング 中面出しを妃・夛lこ応
して11動的に行うことかできるので、’t #性の高
いテーブホノタが得られる。
【図面の簡単な説明】
図は未発明によるテープポノタの一実施例をポし 第1
1:Aは1[面図、第2図は平面図である。 l・・−ペレント供給テーブル。 31@I$導体ベレット、5・争・リート。 61・・ホノデイノグノール、 7・・IXYテーブル 3111リング91I・金属ブ
ラシ、12・IIラップ定盤。 第1図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. フィルトキャリアのリードと、半導体ベレットとをポン
    ディングツールにより熱圧着するテープホンダにおいて
    、前記ポンディングツールをブラソノングする全屈ブラ
    シを固定した回転可能なリングと、このリングを動力回
    転させる手段と、前記ポンディングツールをラッピング
    するためのラップ定盤と、前記リングと前記ラップ定盤
    とを載置するXYテーブルを備えたテープホンダ。
JP10170684A 1984-05-22 1984-05-22 テ−プボンダ Granted JPS60246643A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10170684A JPS60246643A (ja) 1984-05-22 1984-05-22 テ−プボンダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10170684A JPS60246643A (ja) 1984-05-22 1984-05-22 テ−プボンダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60246643A true JPS60246643A (ja) 1985-12-06
JPH022288B2 JPH022288B2 (ja) 1990-01-17

Family

ID=14307749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10170684A Granted JPS60246643A (ja) 1984-05-22 1984-05-22 テ−プボンダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60246643A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0233436U (ja) * 1988-08-26 1990-03-02
US5205460A (en) * 1991-05-20 1993-04-27 Kabushiki Kaisha Shinkawa Bonding apparatus
KR100605313B1 (ko) * 1999-12-13 2006-07-28 삼성전자주식회사 반도체 디바이스 제조용 다이 본딩 설비

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0233436U (ja) * 1988-08-26 1990-03-02
US5205460A (en) * 1991-05-20 1993-04-27 Kabushiki Kaisha Shinkawa Bonding apparatus
KR100605313B1 (ko) * 1999-12-13 2006-07-28 삼성전자주식회사 반도체 디바이스 제조용 다이 본딩 설비

Also Published As

Publication number Publication date
JPH022288B2 (ja) 1990-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002100591A (ja) 電子部品の製造方法及び製造装置
US3665590A (en) Semiconductor flip-chip soldering method
CN212704873U (zh) 双y式激光焊锡机
JPS60246643A (ja) テ−プボンダ
JPH1187756A (ja) 太陽電地セル面への金属タブの重合状ハンダ付け方法及びその用具
US4583676A (en) Method of wire bonding a semiconductor die and apparatus therefor
JPH10335391A (ja) 基板加熱方法
JP2839673B2 (ja) ボンディングツールのクリーニング方法およびクリーニング装置
JP2011018858A (ja) 電極加工方法
CN110842315A (zh) 一种视频放大器生产工艺方法
CN213485531U (zh) 一种用于汽车egr、节气门传感器的半自动焊接热熔设备
JPH02248055A (ja) ワイヤボンディング装置
JP2000269243A (ja) ペレットボンディング方法及び装置
JP2753076B2 (ja) インナリードボンディング装置
JPH11273471A (ja) 絡め線の自動ロウ付け方法及びその装置
JPS5835936A (ja) ボンデイングチツプの処理方法
JPH11204669A (ja) Icチップの加工方法及びバーニング機構を備えたレーザーマーク装置
CN112333999A (zh) 一种用于汽车egr、节气门传感器的半自动焊接热熔设备
CN115020252A (zh) 一种tr组件的制作方法
JPS5828845A (ja) 半導体装置の製造装置
JP2960794B2 (ja) ボンディング方法
JPS60154540A (ja) バンプ形成装置
JP2005135967A (ja) 電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法
JPH04199526A (ja) ボンディング装置
JPH1022350A (ja) バンプ付きワークのボンディング装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees