JPS60246643A - テ−プボンダ - Google Patents
テ−プボンダInfo
- Publication number
- JPS60246643A JPS60246643A JP10170684A JP10170684A JPS60246643A JP S60246643 A JPS60246643 A JP S60246643A JP 10170684 A JP10170684 A JP 10170684A JP 10170684 A JP10170684 A JP 10170684A JP S60246643 A JPS60246643 A JP S60246643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- pellet
- bonding
- tape
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はフィルムキャリアのリートと半導体ベレットと
を熱圧着するポンディングツールのポンディング面をク
リーニングし整形する装置を備えたテープホンダに関す
る。
を熱圧着するポンディングツールのポンディング面をク
リーニングし整形する装置を備えたテープホンダに関す
る。
〔発明の背景]
フィルムキャリアのリードと半導体ベレットを熱圧着す
る方法には、周知のようにフンスタットヒート方式と、
パルスヒート方式がある。このうち、フンスタットヒー
ト方式によるテープポンダに用いるボッディングツール
は金属ンヤンクの先端に天然ダイヤまたは人丁ダイヤが
接着されている。そして、このボッディングツールはカ
ートリッジヒータによって約600℃に加熱されており
、これによってリートと半導体ベレットとを熱圧着する
。ところが、熱圧着によるポンディ7グを数回行うと、
ボッディングツールのポンディング面(前記ダイヤ部分
)にはリードのメッキや半導体ベレットの配線端子の全
滅の溶けかすが付着し、ポンディング面の平面度が劣化
するためりI)−二ソグする必要を生じる。
る方法には、周知のようにフンスタットヒート方式と、
パルスヒート方式がある。このうち、フンスタットヒー
ト方式によるテープポンダに用いるボッディングツール
は金属ンヤンクの先端に天然ダイヤまたは人丁ダイヤが
接着されている。そして、このボッディングツールはカ
ートリッジヒータによって約600℃に加熱されており
、これによってリートと半導体ベレットとを熱圧着する
。ところが、熱圧着によるポンディ7グを数回行うと、
ボッディングツールのポンディング面(前記ダイヤ部分
)にはリードのメッキや半導体ベレットの配線端子の全
滅の溶けかすが付着し、ポンディング面の平面度が劣化
するためりI)−二ソグする必要を生じる。
またパルスヒート方式によるテープポンダに用いるポン
ディングツールは金属板を折曲げた形状をしており、そ
の両端に電圧を加えて発熱させ、ポンディング面を般高
約600℃まで加熱し、これによってリートと゛ト導体
ペレットとを熱圧着する。ところが、やはり穀回ポンデ
イノグすると、ツールのポンディング面が変形したり、
またリ一トのインキや゛¥導体ペレットの配線端子の金
属の溶けかすが41青し、ボンディング面の平面度が、
き(なるので、その正面出しが必要となる。
ディングツールは金属板を折曲げた形状をしており、そ
の両端に電圧を加えて発熱させ、ポンディング面を般高
約600℃まで加熱し、これによってリートと゛ト導体
ペレットとを熱圧着する。ところが、やはり穀回ポンデ
イノグすると、ツールのポンディング面が変形したり、
またリ一トのインキや゛¥導体ペレットの配線端子の金
属の溶けかすが41青し、ボンディング面の平面度が、
き(なるので、その正面出しが必要となる。
ところで、従来、コンスタントヒート方式のテープホン
ダにおけるボッディングソールのクリーニングは、作業
者が砥石をボンディング面に滑らせて付着物を取り除き
、その後アルコールなとにより拭いて?■い、またパル
スヒート方式のテープホンダにおけるボッディングソー
ルの撃形は左右に動く硬質セラミックなとのラップ定盤
でソールのホノデイノグ面をラッピングして行い その
後作業者がツールの周囲に付いた異物をアルコールなと
で拭いていた。
ダにおけるボッディングソールのクリーニングは、作業
者が砥石をボンディング面に滑らせて付着物を取り除き
、その後アルコールなとにより拭いて?■い、またパル
スヒート方式のテープホンダにおけるボッディングソー
ルの撃形は左右に動く硬質セラミックなとのラップ定盤
でソールのホノデイノグ面をラッピングして行い その
後作業者がツールの周囲に付いた異物をアルコールなと
で拭いていた。
[発明の目的1
未発明の目的は、前記のように、従来、作業者のL作業
を必要としていたポンディングツールの々リーニノグ整
形を全自動で行い、もって作業能−ドを大幅に向−1さ
せることができるテープホンダを提供することにある。
を必要としていたポンディングツールの々リーニノグ整
形を全自動で行い、もって作業能−ドを大幅に向−1さ
せることができるテープホンダを提供することにある。
[発明の実施例]
以F、本発明の一実施例を第114及び第21Zにより
説明する。lはr・9体ベレットをポンディング位tに
供給するためのペレット供給テーブルで、図示しないf
′一段によってXYY方向びこれに眞直なZ方向1更に
Z方向に1i′4工な中心軸の周りに回転するθ方向の
位置決めが91能に構成されている。2はペレット供給
テーブル11.に設けられたホンディングのためのステ
ーノ、3はステー)2に4!LIJされる゛r4体ベレ
ツ)、4ハf=14;”:レット3をステーノ2に対し
止しく(☆置袂めするための開閉する1対の位置決め爪
5は図小しない供給装置によってペレット供給テーブ
ルlの真りのボンディング(り置に供給されるフィルム
キャリアのリート 6はボッディングソールで、ベレッ
ト供給テーブルlトのボンディング(々lと所′Cの後
退位置との間に前後動し、かつ夫々の(々lで1丁動す
ることができる。
説明する。lはr・9体ベレットをポンディング位tに
供給するためのペレット供給テーブルで、図示しないf
′一段によってXYY方向びこれに眞直なZ方向1更に
Z方向に1i′4工な中心軸の周りに回転するθ方向の
位置決めが91能に構成されている。2はペレット供給
テーブル11.に設けられたホンディングのためのステ
ーノ、3はステー)2に4!LIJされる゛r4体ベレ
ツ)、4ハf=14;”:レット3をステーノ2に対し
止しく(☆置袂めするための開閉する1対の位置決め爪
5は図小しない供給装置によってペレット供給テーブ
ルlの真りのボンディング(り置に供給されるフィルム
キャリアのリート 6はボッディングソールで、ベレッ
ト供給テーブルlトのボンディング(々lと所′Cの後
退位置との間に前後動し、かつ夫々の(々lで1丁動す
ることができる。
lOはペレット供給テーブルlに隣接し前記ボッディン
グノール6の後端(々置F方に設けられたXYテーブル
、11はxyYテーブル0に設けられたブラケット12
に回転o7能に支承されたリング、13はリング11の
外周に固定された金属ブラン、14はXYテーブル+0
1−に設けられベルト+IRI5によりリング11を回
転させるモータ、16はリング11に隣接しXYテーブ
ル101に設けられたラップ定盤である。
グノール6の後端(々置F方に設けられたXYテーブル
、11はxyYテーブル0に設けられたブラケット12
に回転o7能に支承されたリング、13はリング11の
外周に固定された金属ブラン、14はXYテーブル+0
1−に設けられベルト+IRI5によりリング11を回
転させるモータ、16はリング11に隣接しXYテーブ
ル101に設けられたラップ定盤である。
次に作動について説明する。ステージ2に半導体ベレッ
ト3が図示しない1段で112+されると。
ト3が図示しない1段で112+されると。
位置決め爪4が動作して半導体ベレット3を位置決めし
、その後1iinする。そして、ペレット供給テーブル
lがθ方向に回転して′P:4体ペレ体上レット3ルム
キャリアのリード5の(Lドに(Q置決めする。この時
、゛r−導体ペレット3とリート5の微妙な位η合せは
ペレット供給テーブルlのxY方向の移動によって行わ
れる1次にボッディングソール6がポンディング位tに
前進して下障すると、ペレット供給テーブル1がZ方向
にト昇し、これによって半導体ベレット3とリート5が
熱圧着される。このホンディ〉グ作業が開始されると、
コンスタントヒート方式のテープポンダの場合はリング
11がモータ14により同転され金属ブラシ13が回転
しながら待穆する。そして ボンブイノブ作業が1了す
ると、ボッディングソール6はl:胃しかつ?&退位置
に移動し、に&いてド岬してボッディングソール6のボ
ンディング面を回転する金属ブラン13に当て、これに
よってクリーニングが行われる。また必要に応じてXY
テーブル10が移動してボッディングソール6Iこ対す
る金属ブラン13の付置を変えることもできる。
、その後1iinする。そして、ペレット供給テーブル
lがθ方向に回転して′P:4体ペレ体上レット3ルム
キャリアのリード5の(Lドに(Q置決めする。この時
、゛r−導体ペレット3とリート5の微妙な位η合せは
ペレット供給テーブルlのxY方向の移動によって行わ
れる1次にボッディングソール6がポンディング位tに
前進して下障すると、ペレット供給テーブル1がZ方向
にト昇し、これによって半導体ベレット3とリート5が
熱圧着される。このホンディ〉グ作業が開始されると、
コンスタントヒート方式のテープポンダの場合はリング
11がモータ14により同転され金属ブラシ13が回転
しながら待穆する。そして ボンブイノブ作業が1了す
ると、ボッディングソール6はl:胃しかつ?&退位置
に移動し、に&いてド岬してボッディングソール6のボ
ンディング面を回転する金属ブラン13に当て、これに
よってクリーニングが行われる。また必要に応じてXY
テーブル10が移動してボッディングソール6Iこ対す
る金属ブラン13の付置を変えることもできる。
またパルスヒート方式のテープホンダの場合では、必1
jilこ心して作業者が自動ラップスイッチを押すか、
または予め119定さnたポンディノブ回数が経過する
と、XYテーブルlOが移動してラップ定盤16がボッ
ディングソール6の後退位置真Fに(々置する。その後
ボンディングノール6がF降してラップ定盤16に当た
り、その時からpめ設定された時間XYテーブル10が
左右lこ移動し、ボンディング面がラッピングされ平面
出しが行われる。ラッピングが終ると、ポンデイングツ
−Iシロは−11,l: )+ L、xyテーブル10
か移動して金属ブラン13がそのド力に位置し 金属ブ
ラシ13を同転さゼた後、ホンディノブソール6を11
i F Hさせ、ホンディノブ面をクリーニングする。
jilこ心して作業者が自動ラップスイッチを押すか、
または予め119定さnたポンディノブ回数が経過する
と、XYテーブルlOが移動してラップ定盤16がボッ
ディングソール6の後退位置真Fに(々置する。その後
ボンディングノール6がF降してラップ定盤16に当た
り、その時からpめ設定された時間XYテーブル10が
左右lこ移動し、ボンディング面がラッピングされ平面
出しが行われる。ラッピングが終ると、ポンデイングツ
−Iシロは−11,l: )+ L、xyテーブル10
か移動して金属ブラン13がそのド力に位置し 金属ブ
ラシ13を同転さゼた後、ホンディノブソール6を11
i F Hさせ、ホンディノブ面をクリーニングする。
[発明の効v1
以1の説明から明らかな如く、本発明によれば ホ/デ
ィ7クツールのクリーニング 中面出しを妃・夛lこ応
して11動的に行うことかできるので、’t #性の高
いテーブホノタが得られる。
ィ7クツールのクリーニング 中面出しを妃・夛lこ応
して11動的に行うことかできるので、’t #性の高
いテーブホノタが得られる。
図は未発明によるテープポノタの一実施例をポし 第1
1:Aは1[面図、第2図は平面図である。 l・・−ペレント供給テーブル。 31@I$導体ベレット、5・争・リート。 61・・ホノデイノグノール、 7・・IXYテーブル 3111リング91I・金属ブ
ラシ、12・IIラップ定盤。 第1図 第2図
1:Aは1[面図、第2図は平面図である。 l・・−ペレント供給テーブル。 31@I$導体ベレット、5・争・リート。 61・・ホノデイノグノール、 7・・IXYテーブル 3111リング91I・金属ブ
ラシ、12・IIラップ定盤。 第1図 第2図
Claims (1)
- フィルトキャリアのリードと、半導体ベレットとをポン
ディングツールにより熱圧着するテープホンダにおいて
、前記ポンディングツールをブラソノングする全屈ブラ
シを固定した回転可能なリングと、このリングを動力回
転させる手段と、前記ポンディングツールをラッピング
するためのラップ定盤と、前記リングと前記ラップ定盤
とを載置するXYテーブルを備えたテープホンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10170684A JPS60246643A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | テ−プボンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10170684A JPS60246643A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | テ−プボンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60246643A true JPS60246643A (ja) | 1985-12-06 |
| JPH022288B2 JPH022288B2 (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=14307749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10170684A Granted JPS60246643A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | テ−プボンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60246643A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0233436U (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | ||
| US5205460A (en) * | 1991-05-20 | 1993-04-27 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Bonding apparatus |
| KR100605313B1 (ko) * | 1999-12-13 | 2006-07-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 디바이스 제조용 다이 본딩 설비 |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP10170684A patent/JPS60246643A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0233436U (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | ||
| US5205460A (en) * | 1991-05-20 | 1993-04-27 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Bonding apparatus |
| KR100605313B1 (ko) * | 1999-12-13 | 2006-07-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 디바이스 제조용 다이 본딩 설비 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH022288B2 (ja) | 1990-01-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |