JPS6033559Y2 - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPS6033559Y2 JPS6033559Y2 JP4643179U JP4643179U JPS6033559Y2 JP S6033559 Y2 JPS6033559 Y2 JP S6033559Y2 JP 4643179 U JP4643179 U JP 4643179U JP 4643179 U JP4643179 U JP 4643179U JP S6033559 Y2 JPS6033559 Y2 JP S6033559Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron gun
- metal
- heating element
- chip
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子銃の改良に関する。
従来より電子顕微鏡などに用いられている電子銃は第１
図に示す如き構造を有している。
図に示す如き構造を有している。
この電子銃は硼化物で形成されたチップ１の両面に夫々
発熱体２，２′を置き、その外側を１対の金属電極３，
３′により挾持している。
発熱体２，２′を置き、その外側を１対の金属電極３，
３′により挾持している。
そして発熱体２．２′をには通常パイロリティックグラ
ファイトが用いられ、金属電極３，３′には高温に耐え
られるようにタンタルＴａが用いられている。
ファイトが用いられ、金属電極３，３′には高温に耐え
られるようにタンタルＴａが用いられている。
このような電子銃が使用されるときは金属電極３゜３′
の一方より他方に電流を流して発熱体２゜２′を１４０
０〜２００００Ｃの温度になるように発熱せしめ、この
熱でチップ１を加熱して電子を放出せしめるのである。
の一方より他方に電流を流して発熱体２゜２′を１４０
０〜２００００Ｃの温度になるように発熱せしめ、この
熱でチップ１を加熱して電子を放出せしめるのである。
とこれがこの状態で敷用時間使用するとパイロリティッ
クグラファイトの発熱体２．２′が金属電極３，３′に
融着ないしはその原子が金属電極３，３′の中に拡散浸
透してその表面の電気抵抗を著しく高くする。
クグラファイトの発熱体２．２′が金属電極３，３′に
融着ないしはその原子が金属電極３，３′の中に拡散浸
透してその表面の電気抵抗を著しく高くする。
このため発熱体あるいはチップが消耗しく通常１０００
時間以下）これらを新品に交換したとき金属電極の再使
用が不可能となる。
時間以下）これらを新品に交換したとき金属電極の再使
用が不可能となる。
この金属電極は材料がタンタルであることと、発熱体お
よびチップを挾んで安定に保持できるように精密な加工
を要することなどから高価である。
よびチップを挾んで安定に保持できるように精密な加工
を要することなどから高価である。
そのためこの金属電極の再使用のできるような方法の開
発が要求されている。
発が要求されている。
本考案はこの要求に基づいて案出されたものである。
このため本考案においては、硼化物で形成されたチップ
の両側に夫々パイロリティックグラファイト製発熱体を
置き、その外側よりタンタル等の耐熱性金属電極には挾
持した電子銃において、前記発熱体は金属電極と接触す
る面にタンタル等の金属皮膜を付着せしめたものである
ことを特徴とするものである。
の両側に夫々パイロリティックグラファイト製発熱体を
置き、その外側よりタンタル等の耐熱性金属電極には挾
持した電子銃において、前記発熱体は金属電極と接触す
る面にタンタル等の金属皮膜を付着せしめたものである
ことを特徴とするものである。
以下添付図面に基づいて本考案の実施例につき詳細に説
明する。
明する。
第２図にその斜視図を示す。
これは発熱体２の表面にタンタル等の高温に耐える金属
の皮膜４を形成したものである。
の皮膜４を形成したものである。
この金属皮膜４の被着方法にはスパッタリング等の手段
を用いることができる。
を用いることができる。
このように金属皮膜４を被着した発熱体２は第３図の如
くチップ１を挾み、金属皮膜４が金属電極３，３′に接
するようにして組込まれる。
くチップ１を挾み、金属皮膜４が金属電極３，３′に接
するようにして組込まれる。
このよに組立てられた電子銃は、発熱体２゜２′が高温
になるとその原子は金属皮膜４に浸透する。
になるとその原子は金属皮膜４に浸透する。
その浸透は熱拡散によるものであり接触面の温度は高々
４００ｏＣであり、パイロリテイツクグラファイトの炭
素原子のＴａ金接極３３′への浸透深さは約１μｍであ
る。
４００ｏＣであり、パイロリテイツクグラファイトの炭
素原子のＴａ金接極３３′への浸透深さは約１μｍであ
る。
従って金属皮膜４の厚さを１μｍ以上に選んでおけば金
属電極３，３′への浸透は防止される。
属電極３，３′への浸透は防止される。
従って金属電極３，３′はその表面抵抗を増加すること
もなく再使用が可能である。
もなく再使用が可能である。
以上説明した如く本考案の電子銃は、その金属電極に接
する発熱体の面に金属皮膜を付着させることにより、金
属電極への発熱体の付着およびその浸入を防止して金属
電極の寿命を延長することを可能にしたものである。
する発熱体の面に金属皮膜を付着させることにより、金
属電極への発熱体の付着およびその浸入を防止して金属
電極の寿命を延長することを可能にしたものである。
第１図は従来の電子銃の正面図、第２図は本考案の電子
銃に用いる発熱体の斜視図、第３図は本考案にかかる実
施例の電子銃の正面図である。 １・・・・・・チップ、２，２′・・・・・・・・・発
熱体、３゜３′・・・・・・金属電極、４・・・・・・
金属皮膜。
銃に用いる発熱体の斜視図、第３図は本考案にかかる実
施例の電子銃の正面図である。 １・・・・・・チップ、２，２′・・・・・・・・・発
熱体、３゜３′・・・・・・金属電極、４・・・・・・
金属皮膜。
Claims (1)
- 硼化物で形成されたチップの両側に夫々パイロリティッ
クグラファイト製発熱体を置き、その外側よりタンタル
等の耐熱性金属電極にて挾持した電子銃において、前記
発熱体は金属電極と接触する面にタンタル等の耐熱金属
皮膜を付着せしめたものであることを特徴とする電子銃
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4643179U JPS6033559Y2 (ja) | 1979-04-10 | 1979-04-10 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4643179U JPS6033559Y2 (ja) | 1979-04-10 | 1979-04-10 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55146665U JPS55146665U (ja) | 1980-10-21 |
| JPS6033559Y2 true JPS6033559Y2 (ja) | 1985-10-05 |
Family
ID=28926534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4643179U Expired JPS6033559Y2 (ja) | 1979-04-10 | 1979-04-10 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033559Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-04-10 JP JP4643179U patent/JPS6033559Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55146665U (ja) | 1980-10-21 |
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