JPH03182088A - アルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材 - Google Patents

アルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材

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JPH03182088A
JPH03182088A JP1318766A JP31876689A JPH03182088A JP H03182088 A JPH03182088 A JP H03182088A JP 1318766 A JP1318766 A JP 1318766A JP 31876689 A JP31876689 A JP 31876689A JP H03182088 A JPH03182088 A JP H03182088A
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ceramic
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  • Detail Structures Of Washing Machines And Dryers (AREA)
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  • Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野J 本発明は、アルミニウム製フィン付きセラミック発熱部
材に関し、詳しくは、ヘアードライヤー、温風機、乾燥
機等に使用するアルミニウム製フィン付き抵抗加熱式セ
ラミック発熱部材に関する。
[従来技術] 近年、抵抗加熱形セラミック基板よりなる発熱体にアル
ミニウム製のフィンを接着してなるアルミニウム製フィ
ン付きセラミック発熱部材を使用したヘアードライヤー
、温風機、乾燥機等のヒーターが普及してきている。こ
のタイプのヒーターは、アルミニウム製フィンを介して
通電することによりセラミック基板発熱体に熱を発生さ
せ、この熱の熱伝導により高温に加熱されたフィンの間
隙に送風することにより、熱風や温風を取り出すもので
ある。
[発明が解決しようとする問題点] 上記の従来のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱
部材は、アルミニウム製フィンのセラミック基板発熱体
への取付けを、例えば導電性カーボンや金属粉末等を分
散したエポキシ、アクリル、フェノール系等の導電性有
機接着剤を使用した接着によっているため、接着部分の
耐熱性に限界があり、また耐久性にも劣るという欠点が
あった。
従来のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材の
かかる欠点は、上記のような導電性有機接着剤を使わず
に、抵抗発熱形セラミ−7り基板にアルミニウム薄膜を
真空蒸着、スパンタリング、メツキ等で形成し、形成さ
れた薄層に対するろう接等により直接アルミニウム製フ
ィンをセラミック発熱体に接合することが出来れば、解
決しうるのであるが、かかる方法では、使用に耐える接
合強度は得られ無い、従って、アルミニウム製フィンの
セラミック基板発熱体への接合は、上記のような接着剤
に頼るしか無かったのである。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、従来技術の上記のような問題点を解決し、ア
ルミニウム製フィンのセラミック基板発熱体への接合が
充分な接合強度を有し、且つその接合部分の耐熱性が改
良されたアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材
を提供することを目的とする。
この目的を達成するために1本発明は、つぎのような構
成をとる。即ち1本発明は、表面アルミニウム薄膜層と
抵抗加熱形セラミック基板との間にイオンビームミキシ
ング層が形成されているセラミック発熱体に、アルミニ
ウム製フィンをろう接してなるアルミニウム製フィン付
きセラミック発熱部材を提供するものである。
[作用] 本発明のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材
は、そのセラミック発熱体において、その表面のアルミ
ニウム薄膜層とセラミック基板との間に両者の構成成分
の混ざり合ったイオンビームミキシング層が形成されて
いるため、アルミニウム薄膜層とセラミック基板との間
の密着強度は極めて高く、且つ上記アルミニウム薄膜層
に対してアルミニウム製フィンがろう接されているので
、セラミック発熱体とアルミニウム製フィンの接合は極
めて強い、しかも、上記のようなろう接でセラミック発
熱体とアルミニウム製フィンの接合を行っているので、
接合部分は約600℃位まで溶融することは無く、接合
部分の耐熱性は極めて高い、なお、ここで言うイオンビ
ームミキシング層とは、イオンビームの照射による衝突
エネルギーでアルミニウム原子等をセラミック基板中に
たたき込んで形成される原子混合層である。
[実施例] 次に、添付図面を参照しつつ、実施例を挙げて本発明の
詳細な説明するが1本発明が実施例に限定されるもので
無いことは言うまでも無い。
第1図は、本発明のアルミニウム製フィン付きセラミッ
ク発熱部材の一例のフィンとセラミック発熱体との接合
部分の拡大横断面図であり、本発明の構成を分かり易く
示したものである。セラミック発熱体lは、セラミック
基板11上にイオンビームミキシング層12、更にその
上にアルミニウム薄11Qfi13を有している。上述
したように、イオンビームミキシング層12は、イオン
ビームの照射によりアルミニウム原子等をセラミック基
板中に押込むことにより形成されているので、居間の界
面は図示のような明確なものでは必ずしもない、アルミ
ニウム製フィン2は、芯材21の両面にアルミニウムろ
う材(AI−Si系合金又はAl−51−Mg系合金)
等のろう材層22及び23を有している。アルミニウム
製フィン2とセラミック発熱体lとの間には、ろう核部
分3が形成されている。
第2図は、本発明のアルミニウム製フィン付きセラミッ
ク発熱部材の一例の斜視図である。この図においては、
第1図に示したような細かい層構造の図示は省略した。
セラミック発熱体重のアルミニウム薄膜層とアルミニウ
ム製フィン2の−ろう材層とはろう接により接合されて
おり、またアルミニウム製フィン2のもう一つのろう材
層は、配線のための端子部分A及びBが設けられている
アルミニウム製の外枠4及び5とろう接されており、ア
ルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材を構成して
いる。従来のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱
部材では、第2図におけるアルミニウム製フィン2とセ
ラミック発熱体lとの間が、第1図のような構成の接合
ではなく、セラミック基板発熱体とアルミニウム製フィ
ンとの間に該フィンとろう接されたアルミニウム板を設
け、更に該セラミック基板発熱体と該アルミニウム板と
を導電性有機接着剤により接着していると考えればよい
次ぎに、上述のようなアルミニウム製フィン付きセラミ
ック発熱部材を製造する方法を説明する。
抵抗加熱形のセラミック基板11としては、種々のタイ
プのものを使用することができる0例えば、炭化ケイ素
やケイ化モリブデン等のセラミック材料自体が導電性の
ものを主成分として焼成や焼結を行って製造したセラミ
ック基板、金属の粉末や短m、維、カーボンブラック、
黒鉛粉末、炭素繊維、導電性金属酸化物の粉末やウィス
カー等をセラミック材料中に均一分散し焼成や焼結を行
って製造したセラミック基板、導電性物質含有塗料をセ
ラミック基材に含浸し、必要に応じて焼成や焼結して製
造したセラミック基板等を挙げることができる。また、
例えばBaT i03を特徴とする特性(PTC)セラ
ミックサーミスター基板を、セラミック基板11として
使用することもできる。かかるPTCセラミックサーミ
スター基板は、低温では電流を通しその抵抗で発熱する
が、特定温度領域に達すると電気抵抗が急増し、殆ど電
流を通さなくなる。従って、かかるPTCセラミックサ
ーミスター基板を使用すると、温度調節ができ且つ安全
性の高いヒーターとすることができる。
セラミック基板11にイオンビームミキシング!fj1
2とアルミニウム薄膜層13を形成する方法について説
明する。セラミック基板上へのアルミニウム薄膜層の形
成と同時又は形成後に、イオンビームをセラミック基板
に向けて照射することによりイオンビームミキシング層
を形成する。アルミニウム薄膜層の形成方法は、特に限
定されるものではなく、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法
、スパッタリング法、イオンブレーティング法メツキ法
等の公知の薄膜形成方法でよい、前四者の方法では、ア
ルミニウム薄膜層の形成と同時にアルゴン(Ar)イオ
ン、ネオン(Ne)イオン、窒素(N)イオン等のイオ
ンビームの照射を行いイオンビームミキシング層を形成
する場合と、アルミニウム薄膜層の形成後にイオンビー
ムの照射を行いイオンビームミキシング層を形成する場
合とがある。アルミニウム薄膜層の形成と同時にイオン
ビームの照射を行いイオンビームミキシング層を形成す
る場合には、アルミニウム蒸発源等に加えてAr、 N
e、 N等のイオンビーム源を設けた装置を使用する。
一方、メツキ法の場合には、アルミニウム薄膜層の形f
&後にイオンビームの照射を行いイオンビームミキシン
グ層を形成する。アルミニウム薄膜層の組成は、純アル
ミニウムでもよいし、導電性が確保される限りアルミニ
ウムを主成分とする合金等でもよい。
イオンビームの照射を行うと、アルミニウムPi膜Pf
構成成分である原子等がイオンの衝突エネルギーによっ
て、セラミック基板の表面部分内にたたき込まれ該表面
部分にイオンビームミキシング層が形成され、アルミニ
ウム蒸発源層を構成する原子等がセラミック基板にくい
込んだ状態となるので、いわゆるアンカー効果を生じ、
アルミニウム薄膜層がセラミック基板に強固に密着する
こととなる。
イオンビーム照射の効果は、基板あるいは薄膜表面のス
パッタリング効果と原子混合、さらに電子励起による化
学結合、吸着状態の促進効果等をほぼ室温においてさえ
も実現できることである。従って、ここに言うイオンビ
ームミキシング層、即ち原子混合層とは、単なる原子混
合に加えて上記のような化学結合等をも含む層を含めて
意味するのは勿論である。
イオン照射とアルミニウム等の薄膜の形成とを同時に行
う方法をイオン蒸着法(IVD)と言い、薄膜堆vI後
にイオン照射を行う方法より好ましい、イオン蒸着法の
場合は、イオンビーム照射前に堆積膜が無いため低エネ
ルギーイオン照射で充分な深さの原子混合層を信頼性の
高い高密着強度で容易に形成できる等の利点があるから
である。かかるイオン蒸着では、基板上に付着した蒸着
物を衝突イオンで基板内部にたたき込み、基板と堆積膜
との境界付近でミキシング層が形成され、イオン蒸着を
続けると該ミキシング層の上に薄膜が形成される。
次ぎに、上述のイオン蒸着法により、イオン蒸着薄膜形
成装置を用いてセラミック基板にイオンビームミキシン
グ層とアルミニウム薄膜層を形成する一旦体例を説明す
る。装置の真空蒸着室内の基板ホルタ−に取り付けられ
たセラミック基板11の表面上にアルミニウム蒸発源か
らのアルミニウム蒸気を真空蒸着しつつ、イオンビ一ム
源から20keVの加速電圧で加速されたアルゴンイオ
ンビームを照射し、約50OA厚のイオンビームミキシ
ング層12を形成し、更に、アルゴンイオンビーム照射
無しでアルミニウムの真空蒸着を行い、約950OA厚
のアルミニウム薄膜層13を形成する。
次ぎに、イオンビームミキシング層12とアルミニウム
薄膜層13とを両面に形成されたセラミック基板からな
るセラミック発熱体lとアルミニウム製フィン2とのろ
う接を行う0本実施例において使用するアルミニウム製
フィン2は、合せ圧延によりお互いに接合された第1図
に示すようなアルミニウム芯材21とアルミニウムろう
材層22及び23とからなっている。二つのアルミニウ
ム製フィン2、セラミック発熱体l、アルミニウム製外
枠4及び5を第2図に示すように配置し、600〜62
0℃の真空加熱炉中で真空炉中ろう付けを行う、この際
1例えば、室温近傍から600〜620℃への昇温時間
は約1o分。
600〜620℃での保持時間は約3分、600〜62
0℃から室温近傍への冷却時間を約10分とすればよい
、アルミニウム芯材21の両面にアルミニウムろう材層
22と23が設けられているので、アルミニウム製フィ
ン2とセラミック発熱体lとのろう接と、アルミニウム
製フィン2とアルミニウム製外枠4及び5とのろう接は
、同時に行われ、目的とするアルミニウム製フィン付き
セラミック発熱部材が製造される。なお、アルミニウム
芯材とアルミニウム製外枠の材料は、純アルミニウムで
もよいし、導電性が確保される限りアルミニウムを主成
分とする合金等でもよい。
本実施例では、アルミニウム芯材21の両面にアルミニ
ウムろう材層22と23が設けられているアルミニウム
製フィン2を使用したが、アルミニウム芯材の片面にア
ルミニウムろう材層を設けたアルミニウム製フィンとア
ルミニウム薄膜層上にアルミニウムろう材層を設けたセ
ラミック発熱体を使用しても本発明のアルミニウム製フ
ィン付きセラミック発熱部材が製造できることは言うま
でも無いし、最低限アルミニウム製フィンとセラミック
発熱体との接触部にろう材が在れば本発明の目的は達成
され得る。しかし、コスト的に本実施例の方法が有利で
ある。
以上1本発明の実施例につき述べてきたが、本発明は実
施例に限られるものではなく、またアルミニウム製フィ
ン付きセラミック発熱部材が第2図に示された構造に限
定されるものでもない。
例えば、上記の実施例においては、アルミニウム製フィ
ンとセラミック発熱体とのろう接を直接行ったが、両者
間にアルミニウム板を介してろう接を行ってもよい、即
ち、例えば片面にろう材層が設けられたアルミニウム板
を上記実施例で使用したと同様なアルミニウム製フィン
とセラミック発熱体との間に該ろう材層をセラミック発
熱体と接触させて配した点を除けば第2図と同じ組立体
に各部品を配置し、上記実施例と同様に加熱ろう接を行
っても、目的とするアルミニウム製フィン付きセラミッ
ク発熱部材を製造することができる。
【効果] 本発明のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材
は、表面アルミニウム薄膜層とセラミック基板との間に
両者の構成成分の混ざり合ったイオンビームミキシング
層が形成されているため該両者間の密着強度が極めて高
いセラミック発熱体を使用し、上記アルミニウム薄膜層
に対してアルミニウム製フィンがろう接されている構成
なので、セラミック発熱体とアルミニウム製フィンの接
合は極めて強い、しかも、上記のようなろう接でセラミ
ック発熱体とアルミニウム製フィンの接合を行っている
ので、接合部分は約600℃位まで溶融することは無く
、接合部分の間熱性は極めて高く、#久性も優れている
。従って、導電性有機接着剤を使用した従来のアルミニ
ウム製フィン付きセラミック発熱部材の場合、例えば約
100℃位までの加熱温度範囲においてしか使用できな
かったのに対し1本発明のアルミニウム製フィン付きセ
ラミック発熱部材は相当な高温までの加熱温度範囲で使
用できるという利点がある。
また、導電性有機接着剤を使用した場合と比較して、セ
ラミック発熱体とアルミニウム製フィンの接合部分が熱
伝導性に優れたアルミニウム主成分のろう材等で形成さ
れているので、セラミック発熱体において発生する熱は
、効率良くアルミニウム製フィンに伝わるという利点が
ある。
更に、導電性有機接着剤は耐放射線性が低く、従来のア
ルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材は原子炉近
傍等の放射線量の高い環境では使用できないのに対して
、耐放射線性の高いろう接を用いた本発明のアルミニウ
ム製フィン付きセラミック発熱部材は、原子炉近傍等の
放射線量の高い環境でも使用できるという利点がある。
本発明のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材
は、各種ヒーターに使用することができ、特にヘアード
ライヤー、温風機、乾燥機等に有利に使用することがで
きるのみならず、使用加熱温度範囲が高くとれるので、
広範な用途開発が期待できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明のアルミニウム製フィン付きセラミッ
ク発熱部材の一例のフィンとセラミック発熱体との接合
部分の拡大横断面図である。 第2図は、本発明のアルミニウム製フィン付きセラミッ
ク発熱部材の一例の斜視図である。 1・・・セラミック発熱体、  2・・・アルミニウム
製フィン、  3・・・ろう核部、11・・・セラミッ
ク基板、  12・・・イオンビームミキシング層、 
 13・・・アルミニウム薄膜居、  21・・・アル
ミニウム芯材、22及び23・・・ろう材層。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面アルミニウム薄膜層と抵抗加熱形セラミック
    基板との間にイオンビームミキシング層が形成されてい
    るセラミック発熱体に、アルミニウム製フィンを直接又
    はアルミニウム板を介してろう接してなることを特徴と
    するアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材。
  2. (2)前記イオンビームミキシング層が、イオン蒸着法
    で形成されたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載のアルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材。
JP1318766A 1989-12-11 1989-12-11 アルミニウム製フィン付きセラミック発熱部材 Expired - Lifetime JPH06101370B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007168773A (ja) * 2005-12-21 2007-07-05 Valeo Systemes Thermiques 電気ラジエータ
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