JPS6042949U - 欠陥検査装置 - Google Patents

欠陥検査装置

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JPS6042949U
JPS6042949U JP13557083U JP13557083U JPS6042949U JP S6042949 U JPS6042949 U JP S6042949U JP 13557083 U JP13557083 U JP 13557083U JP 13557083 U JP13557083 U JP 13557083U JP S6042949 U JPS6042949 U JP S6042949U
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JP
Japan
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inspected
defect inspection
scanning
light
inspection equipment
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Application number
JP13557083U
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啓 西川
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の欠陥装置の一実施例を示す図、第２図は
欠陥検出信号の例を示す図、第３図、第４図は検査光の
入射角と信号の大きさの関係を示す説明図、第５図は本
考案による欠陥検査装置の一実施例を示す図である。 図において１はレーザ装置、２．２’　、　２“はレー
ザ光、３は振動鏡、４はミラーａ、５はミラーｂ１６は
被検査体、７，７′は集光レンズ、８．８′は光検出器
、９は信号処理装置、１０はハーフ・ミラー、１１はミ
ラーＣである。またα１、α２はレーザ光と被検査体の
なす角を表わしている。なお、図中同一あるいは相当部
分には同一符号を付しである。 ６（７）　　　　　　　（Ｊ） １１−４’１ 一−／（距 」　　　［−刀　　　Ｌ− Ｃア）　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｃイ】、Ｘ
：・鬼　Ｉ・、−１１ ｊｔ　　ζ　　　Ｊ　） ｔａ倍信号　　　　　　　ｒ侶荀号

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被検査体表面にレーザ光を照射する手段と、上記レーザ
    光を上記被検査体表面上の所定の方向に走査するための
    走査手段と、上記被検査体からの反射光あるいは透過光
    を検出する検出手段とを備え、被検査体の欠陥を光学的
    に検査する欠陥検査装置において、上記走査光を分割す
    る手段と、分割された走査光を異なる角度で被検査体表
    面に照射し、各々の照射光に対応した検出手段を備えた
    ことを特徴とする欠陥検査装置。
JP13557083U 1983-09-01 1983-09-01 欠陥検査装置 Pending JPS6042949U (ja)

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JP13557083U JPS6042949U (ja) 1983-09-01 1983-09-01 欠陥検査装置

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JP13557083U JPS6042949U (ja) 1983-09-01 1983-09-01 欠陥検査装置

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JPS6042949U true JPS6042949U (ja) 1985-03-26

Family

ID=30305103

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