JPS6050850A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6050850A JPS6050850A JP58160089A JP16008983A JPS6050850A JP S6050850 A JPS6050850 A JP S6050850A JP 58160089 A JP58160089 A JP 58160089A JP 16008983 A JP16008983 A JP 16008983A JP S6050850 A JPS6050850 A JP S6050850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- scanning
- signal
- electron
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野Ｉ
Ａ′ｆＦ、明はビーム１１ツ４ング機能を（晶えた走査
電子顕微！任に閏りる。
電子顕微！任に閏りる。
［従来技術１
；Ｈ１１１，’Ｉ、走査電子顕微鏡を■い（？１１了ブ
Ｖンネリングパターンを観察することにより、バルク払
拭ｒ１の表面の結晶Ｖｆｌ ４１’ｔが広＜ ｔ’ｒ
’／’ｒわれている。電子チャンネリングパターン（ま
４段行１ηの良い電子線を用い（、ｒ＋＋ｔｌ ｌ ｔ
；−、、ｔ； ｌＪル’ｒＮ 了ｆｕ’／）ｉｔ（ｔ’
ＪＪ ４１１Ｍ ヲ一点に固定したまま、電子線の入射
角θ及び方位角φを走査して所謂ビームロッキングする
と共に、この走査に伴なって得られた反０・１電了、二
次電子等の検出信号をこの走査に同期走査される陰極線
管等の表示手段に供給することによっ−Ｃ得られる。
Ｖンネリングパターンを観察することにより、バルク払
拭ｒ１の表面の結晶Ｖｆｌ ４１’ｔが広＜ ｔ’ｒ
’／’ｒわれている。電子チャンネリングパターン（ま
４段行１ηの良い電子線を用い（、ｒ＋＋ｔｌ ｌ ｔ
；−、、ｔ； ｌＪル’ｒＮ 了ｆｕ’／）ｉｔ（ｔ’
ＪＪ ４１１Ｍ ヲ一点に固定したまま、電子線の入射
角θ及び方位角φを走査して所謂ビームロッキングする
と共に、この走査に伴なって得られた反０・１電了、二
次電子等の検出信号をこの走査に同期走査される陰極線
管等の表示手段に供給することによっ−Ｃ得られる。
第１図（ａ）及び（、ｂ）は各々走査電子顕微鏡におい
て、通常の走査像と電子チャンネリングパターンを得る
場合の光線図を示すためのもので、両図において１は電
子銃であり、２は集束レンズ、３は対物レンズ、４は試
別である。６はＸ方向及びＹ方向用の一対の偏向＝ｌイ
ルより成る第１段の偏向器であり、同様に７は一対の偏
向］イルＪ：り成る第２段の偏向器であり、ＦＢは電子
線を示している。これらの図から明らかなように、走査
像観察モードの場合には集束レンズ２により電子銃１の
クロスオーバー像５が形成され、この像５を対物レンズ
３により試料面Ｓ上に投影すると共に、偏向器６及び７
によりこの投影点を試料面Ｓ十において走査する。一方
電子チャンネリングパターン観察モードにおいては、集
束レンズ２を電子銃のり「１スＡ−バー像が対物レンズ
３の前方焦点面Ｅ３に形成される」、うに励磁し、下行
イｆ電子線が試＄４１ ／ｌに照射されるＪ、うにづる
。そこぐ、第１段のｆ１ｍｉ向器６１重１、’） ７ｔ
７ ”ｒ線１：： ｒ’３ 全偏向−Ｊ−ルト、クロス
オーバー像５゛は対物レンズ３の前記焦点面８を移÷１
１？Ｊるため、試ｔ’ｌ ’Ｉに入Ｑ−１する電子線「
１３は試才≧１７Ｉへの人！Ｊ・Ｉ ｒ：Ｘを光軸Ｃ上
の一点に固定（）た状態０人０・１角０及びカイ☆角φ
をゆ化さけることができる。しかしくくがら、このＪ、
うイｒ従来装Ｈにおいては、λ・１物レンズの球面収差
の影響及び対物レンズの物面が１１−白黒６の１−１自
主面と一致しないため、電子線を［１ツ１ング（ｊるど
、電子線の試料而上にａｉ ｉＪる照射位置が実際には
数ｉＱｆ１ｍ移動してしまい、そのため試別の微小部分
の解析をすることができ／、「かっ／；： 、、このＪ
、うな欠点を解決するため、例えば、対物１ノンズの近
傍に補助１ノンズを配置し、この補助レンズの励磁強ｆ
αを電子線の偏向角に応じ【身化さ【！、電子線の試別
への入ｑ・１点が固定されるＪ、うにりることも考えら
れるが、装置が大がかりにイＣす、ぞの製作費用す高＜
＜ｒる。
て、通常の走査像と電子チャンネリングパターンを得る
場合の光線図を示すためのもので、両図において１は電
子銃であり、２は集束レンズ、３は対物レンズ、４は試
別である。６はＸ方向及びＹ方向用の一対の偏向＝ｌイ
ルより成る第１段の偏向器であり、同様に７は一対の偏
向］イルＪ：り成る第２段の偏向器であり、ＦＢは電子
線を示している。これらの図から明らかなように、走査
像観察モードの場合には集束レンズ２により電子銃１の
クロスオーバー像５が形成され、この像５を対物レンズ
３により試料面Ｓ上に投影すると共に、偏向器６及び７
によりこの投影点を試料面Ｓ十において走査する。一方
電子チャンネリングパターン観察モードにおいては、集
束レンズ２を電子銃のり「１スＡ−バー像が対物レンズ
３の前方焦点面Ｅ３に形成される」、うに励磁し、下行
イｆ電子線が試＄４１ ／ｌに照射されるＪ、うにづる
。そこぐ、第１段のｆ１ｍｉ向器６１重１、’） ７ｔ
７ ”ｒ線１：： ｒ’３ 全偏向−Ｊ−ルト、クロス
オーバー像５゛は対物レンズ３の前記焦点面８を移÷１
１？Ｊるため、試ｔ’ｌ ’Ｉに入Ｑ−１する電子線「
１３は試才≧１７Ｉへの人！Ｊ・Ｉ ｒ：Ｘを光軸Ｃ上
の一点に固定（）た状態０人０・１角０及びカイ☆角φ
をゆ化さけることができる。しかしくくがら、このＪ、
うイｒ従来装Ｈにおいては、λ・１物レンズの球面収差
の影響及び対物レンズの物面が１１−白黒６の１−１自
主面と一致しないため、電子線を［１ツ１ング（ｊるど
、電子線の試料而上にａｉ ｉＪる照射位置が実際には
数ｉＱｆ１ｍ移動してしまい、そのため試別の微小部分
の解析をすることができ／、「かっ／；： 、、このＪ
、うな欠点を解決するため、例えば、対物１ノンズの近
傍に補助１ノンズを配置し、この補助レンズの励磁強ｆ
αを電子線の偏向角に応じ【身化さ【！、電子線の試別
への入ｑ・１点が固定されるＪ、うにりることも考えら
れるが、装置が大がかりにイＣす、ぞの製作費用す高＜
＜ｒる。
３−
［発明の目的］
本発明はこのような従来の欠点を解決Ｊ−べくなされた
もので、ビームロッキング（−伴なう電子線の照射位置
の変動を防ぐことのできる比較的構造簡単で製作コスト
の低廉な装置を提供１することを目的としでいる。
もので、ビームロッキング（−伴なう電子線の照射位置
の変動を防ぐことのできる比較的構造簡単で製作コスト
の低廉な装置を提供１することを目的としでいる。
［発明の構成］
本発明は電子銃と、集束レンズと、対物レンズと、電子
線を偏向するための偏向器と、該偏向器に走査信号を供
給するための手段と、電子線°の試料への照射によって
試料より得られる信号を検出するための検出器と、該検
出器よりの出力信号に基づいて像を表示するため前記電
子線の走査に同期走査される表示装置とを備え、走査像
と電子線ロッキングによる電子チャンネリングパターン
を切換えて観察できるようにした装置において、電子線
ロッキング角αを表わす信号に基づいて、走査像観察モ
ードにおいて電子線をロッキングした際に形成される最
小錯乱円の位置を試料面の位置に一致させる手段を具備
したことを特徴どしてい４− イ）、。
線を偏向するための偏向器と、該偏向器に走査信号を供
給するための手段と、電子線°の試料への照射によって
試料より得られる信号を検出するための検出器と、該検
出器よりの出力信号に基づいて像を表示するため前記電
子線の走査に同期走査される表示装置とを備え、走査像
と電子線ロッキングによる電子チャンネリングパターン
を切換えて観察できるようにした装置において、電子線
ロッキング角αを表わす信号に基づいて、走査像観察モ
ードにおいて電子線をロッキングした際に形成される最
小錯乱円の位置を試料面の位置に一致させる手段を具備
したことを特徴どしてい４− イ）、。
［発明の信用］
以下、本発明において基本となっている考えを第１図と
同一の構成要素に対しては同一番号が付されＩこ第２図
及び第３図に基づいて説明する。
同一の構成要素に対しては同一番号が付されＩこ第２図
及び第３図に基づいて説明する。
第２図に承りように、走査像観察モードにおい−Ｃは、
対物レンズ３は光路１−１で示Ｊ−ように前記り「ｊス
Ａ−バー像５の像を試料面Ｓ上に結像するｊ、うに励磁
されている。従って、電子チャンネリングパターン観察
モードに移行１ノだ際に対物レンズ３のト１１磁がその
ままであるとすれば、第１の偏向器６の偏向」−面９は
クロスオーバー像５より下に配置６されているから、第
１の偏向器６によりロッキングを行なうと、電子線は光
路１−２に示すように試別面ＳＪ、すΔ１°下側の点１
０を中心として［１ツー１：ングするはずであり、その
ため、試別面Ｓにでは電子線の入射貞が変動Ｊる。更に
、第２図においては対物レンズ３の球面収差を考慮しな
か−）だが、実際には球面収差があるため、ロッキング
に伴＜２う人用魚の変動はより大ぎなものとなる。
対物レンズ３は光路１−１で示Ｊ−ように前記り「ｊス
Ａ−バー像５の像を試料面Ｓ上に結像するｊ、うに励磁
されている。従って、電子チャンネリングパターン観察
モードに移行１ノだ際に対物レンズ３のト１１磁がその
ままであるとすれば、第１の偏向器６の偏向」−面９は
クロスオーバー像５より下に配置６されているから、第
１の偏向器６によりロッキングを行なうと、電子線は光
路１−２に示すように試別面ＳＪ、すΔ１°下側の点１
０を中心として［１ツー１：ングするはずであり、その
ため、試別面Ｓにでは電子線の入射貞が変動Ｊる。更に
、第２図においては対物レンズ３の球面収差を考慮しな
か−）だが、実際には球面収差があるため、ロッキング
に伴＜２う人用魚の変動はより大ぎなものとなる。
即ち第３図に示すように、第１の偏向器６の偏向１丁面
９ど光軸Ｏとの交白から発しＩこ近軸光線１２゜１２
′は試料面Ｓよリートの前記点１０に集束するが、高次
軌道Ｌ３，１３′の光線は対物レンズ３０球面収差の１
こめ試料面Ｓより上方の白Ｃｍに集束し、この点Ｃｍに
ロッキングの際に照射イ）“７ ”￥１の動きの最も少
ない点（最小錯乱円）ができる、１従って、試料面Ｓの
位置をこの＋：、ｔｃｍに含Ｕることができれば、電子
線照用位圓の１１ツー１．ングに伴イｊう変り１を最小
にすることがＣさる。
９ど光軸Ｏとの交白から発しＩこ近軸光線１２゜１２
′は試料面Ｓよリートの前記点１０に集束するが、高次
軌道Ｌ３，１３′の光線は対物レンズ３０球面収差の１
こめ試料面Ｓより上方の白Ｃｍに集束し、この点Ｃｍに
ロッキングの際に照射イ）“７ ”￥１の動きの最も少
ない点（最小錯乱円）ができる、１従って、試料面Ｓの
位置をこの＋：、ｔｃｍに含Ｕることができれば、電子
線照用位圓の１１ツー１．ングに伴イｊう変り１を最小
にすることがＣさる。
いま、試１１面Ｓと最小り１１乱円が形成される点Ｃｍ
との距離をΔＦ、Ｃ８を対物１ノンズ３の球面収差係数
、αを前記θの最人伯（′あるロッキング角度、ｚ、）
、ｚ、）−をり［ｌスＡ−バー像５どス・）物１ノンズ
３及び第１の偏向器６と対物レンズ３との距離、Ｚｌ
、 ｚｉ −を各々対物レンズ３と試１′＋１而Ｓとの
距離及び対物レンズ３と前記偏向主面９０像１０との距
離、ｄを最小な１１乱円のｖ１径ど１れば、１／Ｚｏ
＋１／Ｚ＋ ＝１／７ｏ −＋１／Ｚ＋Ｚｉ ”−Ｚｉ
−八ｆ −プｊ Δ１−１ Δｆ−３／４ − Ｃｓ −ａ２ｄ＝１／２
・ Ｃｓ ・ （Ｚ ３ Ｃあるから、 ど（ｉる。電子線ブＩＴ −’、／’電流全電流とした
時、（１） ｉ’＜の第２１ｉ’ｌは定数どイ「す、又
対物レンズ３の励磁強１αを疫化さ１↓た際の球面収差
係数Ｃ５のゆ化す無視できる稈小ざいため、Δ［は実用
上ロッ１ンη角αのみに依（ｊりると児イｆし得る。そ
こＣ゛、ｉｌＪ東−し−ドを走査録七−ドから雷了チャ
ンネリングパターン上−ドに切換えるのに伴なって対物
１ノンズ３の焦」ｊ、（ど試オ′毫１面Ｓどの距−１を
前記（１）式で゛すλられるΔ］−に相当Ｊる分だけ変
化させるようにりれば、１１ツキングに伴４「−）電子
線照射点の移動を線巾に抑えで微小領域の解析をするこ
とがＣさ゛る、１ １実施例１ 本発明は十３ｉｌｊ ｌ／た考えに基づくもので、以下
、図面に！謹づき本発明の実施例を詳）ホする。
との距離をΔＦ、Ｃ８を対物１ノンズ３の球面収差係数
、αを前記θの最人伯（′あるロッキング角度、ｚ、）
、ｚ、）−をり［ｌスＡ−バー像５どス・）物１ノンズ
３及び第１の偏向器６と対物レンズ３との距離、Ｚｌ
、 ｚｉ −を各々対物レンズ３と試１′＋１而Ｓとの
距離及び対物レンズ３と前記偏向主面９０像１０との距
離、ｄを最小な１１乱円のｖ１径ど１れば、１／Ｚｏ
＋１／Ｚ＋ ＝１／７ｏ −＋１／Ｚ＋Ｚｉ ”−Ｚｉ
−八ｆ −プｊ Δ１−１ Δｆ−３／４ − Ｃｓ −ａ２ｄ＝１／２
・ Ｃｓ ・ （Ｚ ３ Ｃあるから、 ど（ｉる。電子線ブＩＴ −’、／’電流全電流とした
時、（１） ｉ’＜の第２１ｉ’ｌは定数どイ「す、又
対物レンズ３の励磁強１αを疫化さ１↓た際の球面収差
係数Ｃ５のゆ化す無視できる稈小ざいため、Δ［は実用
上ロッ１ンη角αのみに依（ｊりると児イｆし得る。そ
こＣ゛、ｉｌＪ東−し−ドを走査録七−ドから雷了チャ
ンネリングパターン上−ドに切換えるのに伴なって対物
１ノンズ３の焦」ｊ、（ど試オ′毫１面Ｓどの距−１を
前記（１）式で゛すλられるΔ］−に相当Ｊる分だけ変
化させるようにりれば、１１ツキングに伴４「−）電子
線照射点の移動を線巾に抑えで微小領域の解析をするこ
とがＣさ゛る、１ １実施例１ 本発明は十３ｉｌｊ ｌ／た考えに基づくもので、以下
、図面に！謹づき本発明の実施例を詳）ホする。
７−
第４図は本発明の一実施例を示すためのもので、第４図
においては第１図と同一の構成要素に対しては同一番号
が付されている。
においては第１図と同一の構成要素に対しては同一番号
が付されている。
図中１１は走査信号発生回路であり、この回路１１１こ
りの走査信号は各々増幅率可変増幅器１２及び１３を介
して第１及び第２の偏向器６，７に供給できるようにな
っていると共に、陰極線管１４の偏向コイルＤに供給さ
れている。１５は観察モードを走査像観察モードと電子
チャンネリングパターン観察モードとの間で切換えるに
伴なって、走査信号の第２の偏向器７への供給を制ｔＩ
ｌ−！するためのスイッチ回路である。１６ ｔ、Ｌ
Ｍ了チャンネリングパターンを観察する際に、電子線の
ロッキング角度を指定するための信号を発生Ｊる［１ツ
４：ング角度指定信号発生回路であり、この回路１６よ
りの信号は増幅率可変増幅器１２に供給されでいる。１
７及び１８は各々集束及び対物レンズ２゜３の励磁電源
である。対物レンズ助長１電源１８は励磁制御回路１９
よりの制御信号に基づい−Ｃ制御される。励磁制御回路
１９は走査像観察用の励磁−〇− 指定信号を発１１りる第１の回路１９ａと電子チャンネ
リングパターン観察用の励磁指定信号を発生覆る第２の
回路１９ｂど、回路１９よりの出力信号をこれら２つの
回路１９ａ、１９ｂの出力信号間で切換えるためのスイ
ッチ回路１９ｃとより成っている。回路１９ｂに（上前
記ロッキング角度指定信弓発生回路１６よりのロッキン
グ角度αを表わｔ （Ｍ号が供給されＣおり、この回路
１６ｂはこの回路１６Ｊ、りの指定信号１こ基づいて、
回路１９ａが指定づる位置より第（１）式のΔＦだけ遠
い位置に最小８１１乱円Ｏｒｎを形成づるように対物レ
ンズ３を励…Ｊ−るＪこめの信号を発生する。又、前記
スイッチ回路１５どスイッチ１９Ｃとは連動する、」、
うになっている。２０は電子線ＦＢの試料４への照０１
によつ−（、試Ｆｌ ４ Ｊ、り発生した反射電子等を
検出Ｊるための検出器であり、この検出器２０Ｊ、りの
出力信号は増幅器２１を介して前記陰極線管１４に輝度
イハシ〕どして供給されている。
りの走査信号は各々増幅率可変増幅器１２及び１３を介
して第１及び第２の偏向器６，７に供給できるようにな
っていると共に、陰極線管１４の偏向コイルＤに供給さ
れている。１５は観察モードを走査像観察モードと電子
チャンネリングパターン観察モードとの間で切換えるに
伴なって、走査信号の第２の偏向器７への供給を制ｔＩ
ｌ−！するためのスイッチ回路である。１６ ｔ、Ｌ
Ｍ了チャンネリングパターンを観察する際に、電子線の
ロッキング角度を指定するための信号を発生Ｊる［１ツ
４：ング角度指定信号発生回路であり、この回路１６よ
りの信号は増幅率可変増幅器１２に供給されでいる。１
７及び１８は各々集束及び対物レンズ２゜３の励磁電源
である。対物レンズ助長１電源１８は励磁制御回路１９
よりの制御信号に基づい−Ｃ制御される。励磁制御回路
１９は走査像観察用の励磁−〇− 指定信号を発１１りる第１の回路１９ａと電子チャンネ
リングパターン観察用の励磁指定信号を発生覆る第２の
回路１９ｂど、回路１９よりの出力信号をこれら２つの
回路１９ａ、１９ｂの出力信号間で切換えるためのスイ
ッチ回路１９ｃとより成っている。回路１９ｂに（上前
記ロッキング角度指定信弓発生回路１６よりのロッキン
グ角度αを表わｔ （Ｍ号が供給されＣおり、この回路
１６ｂはこの回路１６Ｊ、りの指定信号１こ基づいて、
回路１９ａが指定づる位置より第（１）式のΔＦだけ遠
い位置に最小８１１乱円Ｏｒｎを形成づるように対物レ
ンズ３を励…Ｊ−るＪこめの信号を発生する。又、前記
スイッチ回路１５どスイッチ１９Ｃとは連動する、」、
うになっている。２０は電子線ＦＢの試料４への照０１
によつ−（、試Ｆｌ ４ Ｊ、り発生した反射電子等を
検出Ｊるための検出器であり、この検出器２０Ｊ、りの
出力信号は増幅器２１を介して前記陰極線管１４に輝度
イハシ〕どして供給されている。
このＪ、う／ｌ−構成において、まず走査像を観察しＪ
、うとづる際には、スイッチ回路１５及び１９Ｃを第４
図の点線のように接続づるとｊｌｊに、励磁電源１７を
切換えて集束レンズ２にＪ、り電子銃１の像が第１図（
ａ＞の点５に形成されるＪ、うにする。
、うとづる際には、スイッチ回路１５及び１９Ｃを第４
図の点線のように接続づるとｊｌｊに、励磁電源１７を
切換えて集束レンズ２にＪ、り電子銃１の像が第１図（
ａ＞の点５に形成されるＪ、うにする。
そのため、対物レンズ３はり［１スＡ−バー像５の像を
試わｌ ｉ′ｒｉ′１Ｓ−１に結像づるように励磁され
る。又、増幅率可変増幅器１２．１３の増幅率を図示外
の制御手段により走査像観察用の所定の値に切換える。
試わｌ ｉ′ｒｉ′１Ｓ−１に結像づるように励磁され
る。又、増幅率可変増幅器１２．１３の増幅率を図示外
の制御手段により走査像観察用の所定の値に切換える。
そこで、走杏信号発イに回路１１Ｊ、すｆｌｒ： ＋！
状の走査信号を発生すれば、電子線は試料而上を二次元
的に走査し、この走査に伴４Ｔつで検出器２０ｊ。
状の走査信号を発生すれば、電子線は試料而上を二次元
的に走査し、この走査に伴４Ｔつで検出器２０ｊ。
り得られた検出信号は陰極線管１４に供給されるため、
陰極線管１４には通常の走査像が表示される。次に電子
チャンネリングパターンを観察しようとＪ゛る際には、
スイッチ回路１９０を第４図において実線で示すように
接続り＝るどＪｔに、スイッチ回路１５を非導通状態に
切換える。更に、集束レンズ２を第１図（ｂ）に示すよ
うに、電子銃１のり【］スＡ−バー像が対物レンズの前
方焦点面８に形成づるように励磁づる。又、対物レンズ
のｂ１１磁電源１８は第２の励磁指定伯号介年回路１９
よりのす、Ｉ＋ Ｉａ指定（１’７ ＞’３ ＋、−早
づいて励（娃されるため、対物１ノンス：′３はｆＡ
／Ｉｓ ｔ：’＋乱内円Ｃｍ第１図に示す場合ｊ、り前
１．＋１△１だ（Ｊ遠い（１’／ Ｖｒ’ｌに来る」、
うにη１１１１される１、−ｆこ（・、１１−ｒイ、ツ
〕介１１回路１Ｊ、り走査信号を供給りれば、この走査
（ｉｊｒ３は第１の偏向器６に供給され、ぞの結宋、電
ｒ銃１のり［１スオーバー像１）゛が対物１ノンズの前
／］焦魚而面を走査Ｊるため、電子線の試１Ｍ ’ｌへ
の八〇・１点を固定した状態で大剣ｆ（１０及びｊ）位
角φが走査される。ぞこＣ１検出器２０ Ｊ、りの出カ
イ、１月に阜づい−（陰極線管１４には宙ｒＪＩＩンネ
リングパターンが表示されるが、対物レンズＪ３の焦＋
：、！距１１１１１は、走査像観察モードの場合Ｊ、す
１）前ｉｊＬΔｉ−ｔｃ相当Ｊる分だ（°）艮くされて
いる１、：ｖ）、前記ＩＩ４小１ｉ乱円が形成される点
ＣｍもΔ［だｔＪ移動１）Ｃ１−１−１σ試判而Ｓの位
１ｍと一致することにイｃる。従つ【、試＄１１面Ｓに
おける電子線入口・１貞の移り１をり、ｌ小に抑λるこ
とができる。
陰極線管１４には通常の走査像が表示される。次に電子
チャンネリングパターンを観察しようとＪ゛る際には、
スイッチ回路１９０を第４図において実線で示すように
接続り＝るどＪｔに、スイッチ回路１５を非導通状態に
切換える。更に、集束レンズ２を第１図（ｂ）に示すよ
うに、電子銃１のり【］スＡ−バー像が対物レンズの前
方焦点面８に形成づるように励磁づる。又、対物レンズ
のｂ１１磁電源１８は第２の励磁指定伯号介年回路１９
よりのす、Ｉ＋ Ｉａ指定（１’７ ＞’３ ＋、−早
づいて励（娃されるため、対物１ノンス：′３はｆＡ
／Ｉｓ ｔ：’＋乱内円Ｃｍ第１図に示す場合ｊ、り前
１．＋１△１だ（Ｊ遠い（１’／ Ｖｒ’ｌに来る」、
うにη１１１１される１、−ｆこ（・、１１−ｒイ、ツ
〕介１１回路１Ｊ、り走査信号を供給りれば、この走査
（ｉｊｒ３は第１の偏向器６に供給され、ぞの結宋、電
ｒ銃１のり［１スオーバー像１）゛が対物１ノンズの前
／］焦魚而面を走査Ｊるため、電子線の試１Ｍ ’ｌへ
の八〇・１点を固定した状態で大剣ｆ（１０及びｊ）位
角φが走査される。ぞこＣ１検出器２０ Ｊ、りの出カ
イ、１月に阜づい−（陰極線管１４には宙ｒＪＩＩンネ
リングパターンが表示されるが、対物レンズＪ３の焦＋
：、！距１１１１１は、走査像観察モードの場合Ｊ、す
１）前ｉｊＬΔｉ−ｔｃ相当Ｊる分だ（°）艮くされて
いる１、：ｖ）、前記ＩＩ４小１ｉ乱円が形成される点
ＣｍもΔ［だｔＪ移動１）Ｃ１−１−１σ試判而Ｓの位
１ｍと一致することにイｃる。従つ【、試＄１１面Ｓに
おける電子線入口・１貞の移り１をり、ｌ小に抑λるこ
とができる。
尚、Ｌ Ｊ ｌノＩこ実施例【」１、本発明の一実施例
に過さ゛ｆ、幾多の他の態様で・実施して−ｂ良い。
に過さ゛ｆ、幾多の他の態様で・実施して−ｂ良い。
例λば、」述しｌＪ実施例（、二おいては、対物レン１
１− ズの焦魚距離を変化さ１↓るようにし“ｌこか、観奈七
−ドを切換えるに際しく、逆に試料の／］を光軸１ノ向
にΔＦだＩｉ自動的に移動させるように構成しくも授い
、。
１− ズの焦魚距離を変化さ１↓るようにし“ｌこか、観奈七
−ドを切換えるに際しく、逆に試料の／］を光軸１ノ向
にΔＦだＩｉ自動的に移動させるように構成しくも授い
、。
［効果１
上述した説明から明らか’、’ｔ Ｊ：うに、本発明に
１．朱づく装置によれば、比較内面１１１目−） ！１
１！１作：１ストの安価な構成により、電子線の人躬貞
をほとんど移動させることなく電子線をロッキングして
、微小領域の電子チャンネリングパターンをｌ＋ｌＪ察
りることができる。
１．朱づく装置によれば、比較内面１１１目−） ！１
１！１作：１ストの安価な構成により、電子線の人躬貞
をほとんど移動させることなく電子線をロッキングして
、微小領域の電子チャンネリングパターンをｌ＋ｌＪ察
りることができる。
第１図（ａ）及び（ｂ）は従来装置にお（）る各々、走
査像観察モード及び宙了ヂ１？ンネリングパターン観察
モードの光線図、第２図及び第３図は本発明の基本的考
えを説明りるための図、ｕｉ ／１図は本発明の一実施
例を示Ｊための図Ｃある。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レンズ、４：試
料、５：走査像観察モードにお（−Ｊる電子銃のクロス
オーバー像、５−：電子ヂャンネリング１２− バクーンｉ１１．！察し一ドにお【」る電子銃のクロス
オーバー酸、６ 、７： ｌｌ１１！向器、１１：走査
信号発生回路、１２．１３：増幅率可変増幅器、１４：
陰極線管、Ｉｈ、１９（Ｃ：スイッチ回路、１６：ロワ
１ング角＋ＣＩ指定ｆＦｉｓｊ発４１回路、１７．１８
：励磁電源、１９ ： １ｉｊｌ ｌｉｔ制９１１回路
、１９ａ、１９ｂ：励磁１旨定イｉ’ｉ ’３ Ｒ１１
’ Ｉ！’ｌ ｋ”ＦＩ、２０：Ｍ出器、Ｃ：光軸、Ｃ
ｒｒ）：最小１１１乱円が（ｆイ１リール■；、ミ、Ｓ
：試料面。 Ｂｔ Ｋ’ｌ出願人 １１本電子株式会社 代表者 伊睦 −大
査像観察モード及び宙了ヂ１？ンネリングパターン観察
モードの光線図、第２図及び第３図は本発明の基本的考
えを説明りるための図、ｕｉ ／１図は本発明の一実施
例を示Ｊための図Ｃある。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レンズ、４：試
料、５：走査像観察モードにお（−Ｊる電子銃のクロス
オーバー像、５−：電子ヂャンネリング１２− バクーンｉ１１．！察し一ドにお【」る電子銃のクロス
オーバー酸、６ 、７： ｌｌ１１！向器、１１：走査
信号発生回路、１２．１３：増幅率可変増幅器、１４：
陰極線管、Ｉｈ、１９（Ｃ：スイッチ回路、１６：ロワ
１ング角＋ＣＩ指定ｆＦｉｓｊ発４１回路、１７．１８
：励磁電源、１９ ： １ｉｊｌ ｌｉｔ制９１１回路
、１９ａ、１９ｂ：励磁１旨定イｉ’ｉ ’３ Ｒ１１
’ Ｉ！’ｌ ｋ”ＦＩ、２０：Ｍ出器、Ｃ：光軸、Ｃ
ｒｒ）：最小１１１乱円が（ｆイ１リール■；、ミ、Ｓ
：試料面。 Ｂｔ Ｋ’ｌ出願人 １１本電子株式会社 代表者 伊睦 −大
Claims (3)
- （１）電子銃と、集束レンズと、対物レンズと、電子線
を偏向するための偏向器と、該偏向器に走査信号を供給
するための手段と、電子線の試料への照射によって試料
より得られる信号を検出器るだめの検出器と、該検出器
よりの出力信号に基づいて像を表示Ｍるため前記電子線
の走査に同期走査される表示＠置とを備え、走査像ど雷
了！ｆＡｎツキングによる電子チャンネリングパターン
を切換えて観察できるようにした装置において、電子線
ロッキング角αを表わＪ信号に基づいて、走査像観察モ
ードにおいて電子線をロッキングした際に形成される最
小錯乱円の位置を試お１而の位置に一致させる手段を具
備したことを特徴とりる走査電子顕微鏡。 - （２）前記電子線１］ツキング角αを人ねり信号に基づ
いて、走査像観察モードにＪｔいて電子線を１１ツ１ン
グしｌ、＝際に形成される最小♀ｊ１乱円の位置を試１
１而のイ〜’ｔ ｉｆ”７に 致さＩＪる手段１．１、
対物レンズの焦白距＃ｆを倹化さ１Ｌる手段から成る特
許請求の範囲第１拍記載の走査電子顕微鏡。 - （３）前記電子線１１ツニ１ング角αを表わず信号に燵
づいて、走査像観察モードにおいて電子線をロワ１ニン
グした際に形成される最小♀１１１００位置を試オ′セ
１面のイ）“１１１“Ｉ（、二 致さｌる手段は、試料
を光軸に沿テ）（機械的に移動さ１Ｌる１段から成る特
許請求の範囲第（１）項記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160089A JPS6050850A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160089A JPS6050850A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050850A true JPS6050850A (ja) | 1985-03-20 |
| JPH0542102B2 JPH0542102B2 (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=15707617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58160089A Granted JPS6050850A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6050850A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652859A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-12 | Hitachi Ltd | Scanning type electron microscope |
| JPS5765656A (en) * | 1980-10-08 | 1982-04-21 | Hitachi Ltd | Limited view diffraction image device |
-
1983
- 1983-08-31 JP JP58160089A patent/JPS6050850A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652859A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-12 | Hitachi Ltd | Scanning type electron microscope |
| JPS5765656A (en) * | 1980-10-08 | 1982-04-21 | Hitachi Ltd | Limited view diffraction image device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0542102B2 (ja) | 1993-06-25 |
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