JPS6053029A - 紫外線洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は紫外線洗浄装置に関するものである。

紫外線ラングより発生ずるオゾンを利用し−でｌり染物
を分解洗浄することが従来より行なわれている。例えば
シリコンウェハーに感光レジスト４渥か付する際の前処
理として、主洗浄後にシリコンウェハーに付着した大気
中の有機汚染物を塗布直前に追加洗浄することによシ分
解したり、電子ビームによるスパッタリング蒸着の際に
基体にイ」済した真空ポンプの油などによる有機汚染物
を同じく追加洗浄すると塗布膜あるいは蒸着膜の密着性
を著しく向上できることが明らかになっている。その他
にもレンズや水晶振動子など多くの被洗浄体に適用され
るが、いずれにしてもウェット法による主洗浄工程の後
にこの紫外線洗浄装置を用いると優れた洗浄効果を得る
ことができる。

ところで紫外線ランプ、例えば低圧水銀ランプを点灯す
ると、主として波代が２５４ｎｍの水銀共ＩＩＩ　ｎＭ
の紫外線が外部に放出され、従として１８５０ｍの紫外
線が、更には他の波長のものがわずかに放出される。そ
して、波長１８５ｎｍの紫外線によってオゾンが生成し
、次に、このオソンが波長２５４ｎｍの紫外線により分
解されて発生基の酸素が生成し、この発生基の酸素が有
機汚染物全分解してガス状態で飛散することが仰られて
いる。

紫外線による洗浄機４１￥は以上の７Ｌ０りであるが、
これから分るように酸２を含むガスを１（＜１射至へ供
給し、また、４１機汚染物の分ｊｉ）ｊＦガスを１ノ１
出するために照射室の換気が行われるが、オゾンがイ１
害物質であるため、排気は直接大気中に放出せずにタク
トで装置１−１外のオゾン分解室に尋き、そこで活性炭
−や触媒を用いてオゾンを峡ＨＴ分解してから放出して
いた。また、紫外線ランプが光熱するのでランプ囲りを
冷却するため、その周辺に冷却水路を設け、これを水道
などの給水口に接続しで給水し、高温だなった冷却水は
ホースなどの水路を接ＩｃＬで４ノド水していた。従っ
て、紫外線洗浄装置ｒ７では、５ｊ’Ｓ源よりの配線の
他に、排気用ダクＩ・と給排水管とを接続する必要があ
った。この紫外線洗浄装置を生ｒ・ｒラインに組込んで
ワークの洗θｐ工程に使用する」【）合は、設備は１ｉ
ｓｔ定的に使用されるので前記のす１気夕゛クトや給排
本省を接続することは大きな支障とはならないが、これ
を実験室などで実験試作用装置として使用する場合は、
これが大きな支障となる。なぜならば、狭い実験学内で
は排気ダクトや給排水管が他の作業の邪魔になり、更に
室内で装置全移動させるにも大きな制約となるからであ
る。

そこで本発明は、実験室などで１１℃諒に接続するのみ
で手軽に使用できる紫外線洗浄装置全提供することを目
的とし、その４１′ｉ成（は、紫外線ランプの光でオゾ
ンを発生させ、このオゾンの分解により生成される発生
基の酸素により被洗浄体の表面に付Ｘ′ｔする有機汚染
物など全分解して洗ｒ（）する紫外線洗浄装置であって
、照射室内のオゾンを分ｔ’ｌ’Ｆ　Ｌ。

て装ｆｉｌｊ　４ｉ？ｌ外へ排出させるυ「気装置と、
測温になった冷却水を冷却して循環させる冷却水循環装
置とを装い°箱内に組込んだこと（Ｃ一時像とするもの
である。

以下に図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に説明
する。

第１図は装置のｔＩＲ面図を示すが、ＡＡｉｉｊｉ；箱
１には灯体２が内蔵されて二重構造をなし、発生したオ
ゾンが外部に漏洩しないようになっている。灯体２の内
部が照射室３であるが、その上方には紫外線ラング６と
してＵ字状の３５０　Ｗλ力出方低圧水鉄灯が２本配設
され、その背後にはミラー５が設けられて紫外線が下方
に照射される。灯体２の天井上面には冷却水路６が固着
されて水冷されている。

照射室６の中央部には被洗浄体支持台７が配設されて２
す、み〉洗洋体８が支持されるが、この被洗浄体８は開
閉扉９を開閉して出し入れされる。灯体２の側方には換
気のだめの吸入孔１ｏと排気孔１１が設けられ、排気孔
１１には村気装置２ｏが接続されて、この中でオゾンが
吸７．”°を分１’Ｉ’Ｆされて装置で１１外に４１し
出されるようになっている。

排気装置２ｆｌ−ｔ、第４図に示すようにフィルター６
０を脱着可能に内蔵するが、蓋２１を開けて段部２２上
にフィルター６０を載置し、上方ケスズリンク゛２６で
押圧することにより装、だされており、フィルター３０
を取換える際も簡単に取出せるようになっている。そし
て段部２２の下方にはファン２４が寂けられ、この吸引
力により、オゾンを営む照射室６内の空気が、排気孔１
１、フィルター６０を通って排出される。

フィルター６０は、第５図に示すように、内面（・てフ
ッ素樹脂がコーチングされた罰俸６１内にハニカム状の
活性炭６２が多層に保持されている。

もっとも活性炭３２の代りに二ｆＮ化マンカンなどの触
媒も使用ｏｊ能であり、仮はオゾンを吸７：゛ｊや分解
させるものであγしはよい。活性炭３２　、３２間には
長さ数量の燈ｉｇ）状のスペーサー６６が介装され、イ
ｒｒ＝って活性炭６２は相互に数馴離間している。この
ため、ハニカム状の活性炭６２内全ｊ曽ぴｔで通過１−
７′ヒオゾン？含む空気がこの間隙で乱流となり次の活
性炭６２内に流肚込むので、活性炭６２との反応性が向
−ヒレ効率よくオゾンが吸７１′ｔされる。従ってハニ
カム状の活性炭６２を５層に並べておくとＩＤＯｐｐｍ
のオゾンは０．１ｐｐｒｎ以下にまで分ンク＋４されて
環境基準金イ薗すことができる。なお、入口ｆ；（（に
はガラス繊維５４が充填されて、ｌ＝−リ、異物が除去
さルるようになっている。

次に、冷却水路乙の両端は、第２１ン１と第６図に示す
ように、水Ｉ’ｌ　６１によってポンプ１２およびラジ
ェーター１３に接続されて循租回路をなし２、これらが
冷却水イｒ；”；　）２装桁を構成している。す１ｊち
、紫外側１ランプ４の光熱ｔでょシ高温となった冷力１
水がポンプ１２によりラジェーター１３に専がｔＬｌこ
こで冷却されて再び冷却水路乙に戻り、紫外線ランプ４
およびその周辺を冷却する。Ｃ・ｔって、外）■より冷
い冷却水を供給し、高温と々った冷却水をＪｌｉ水する
必要がなく、冷却水が装丁、員１０内で循環して使用さ
れる。なお、図例では冷却水路６は灯体２の天井面のみ
に設けられているが、心太に応じて灯体２の側部にも設
けられる。

しかして、上記構成の紫外線法Ａ’装埴Ｖこおいて、と
九を電源に接続した後にファン２４およびポンプ１２を
作動させ、紫外線ランプ４を点灯すると紫外線が照射さ
れて洗浄されるが、排気装置ｆ（ｔ２０内にフィルター
６０が内蔵されているのでオゾンは環境基準以下の１１
カまで分解さオして装置Ｑヱ箱１より外部に放出さｆる
。そして、冷」１水はポンプ１２０作用により冷却水路
６とラジェーター１６との同を１泊壌するので、冷却水
を外部から供給し、かつ外部に排水することなくして冷
却様「止を果すことができる。

この様に本発明は、照射室内のオゾン全労１’／（して
装置箱外へ排出させる排気装置ｉｔ、と、高温になった
冷却水全冷却して循環させる冷却水循環装置とを装置戚
箱内に組込んだので、ＪＩ［気タークトとＧ却ボ給排水
管を装置に接％ｊ、する必要がなく、狭い実験室で使用
しても占有面積が小さくて、排気夕′クトや給排水・ａ
がｉｔ７．ｌの作英の邪）、えになることがない。

そしてｔｌＣ力ｊ用のコンセントさえあし！’ｆ　自由
ＶＣ８ｉ’１ｉＪ）して他の実馳試作の目的に飲用する
ことができる。

従って、本発明によれば、実１１室などでｉ÷１源に接
続するのみで手＋１・臼ｌｒＣ使用でさる紫夕１、；尿
ｆｉＥ　？４’装置ｔ４−金提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施’、＋ｌｌのにｉ面図、第２図は同
じ＜−１１ｉ切欠きｉ’、Ｗ面ｊｉｌ、第６図は同じく
一部切欠き平ｕｊｉ　ｌソ１、第４図は排気装置ｔ／、
１の断面図、第５図はフィルターの断面図である。 １・・・装置４箱　２・灯体　６・・・照射？に４、・
紫外線う／−°　５・−・ミラー　６・・・冷却水路７
−・支持台　８−・・＋７シ洗浄体　１ｏ・・・吸入孔
１１・・・排気孔　１２・・・ポンプ １５・ラジェータ〜　２０山排気埃置 ２４・・ファン　６Ｄ・・・フィルター第１図 第５図　第４図 第　２　ｊｓ’４

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 紫外線ランプの光でオゾンを発生させ、このオゾンの分
   解により生成される発生基の酸素により被洗浄体の表面
   に付着する有機汚染物などを分解して洗浄する紫外線洗
   浄装置であって、照射室内のオゾンを分解して装置箱夕
   ）へ排出させる排気装置と、ｈ′、５温になった冷却水
   を冷却して循環させる冷却水循環装置とを装置箱内に組
   込んだことをｌ（２「徴とする紫外イ４洗浄装置ｉ、２
   ゜