JPS6055302A - カラ−フィルタ−の製造方法 - Google Patents
カラ−フィルタ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS6055302A JPS6055302A JP58164440A JP16444083A JPS6055302A JP S6055302 A JPS6055302 A JP S6055302A JP 58164440 A JP58164440 A JP 58164440A JP 16444083 A JP16444083 A JP 16444083A JP S6055302 A JPS6055302 A JP S6055302A
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- pattern
- resin
- color
- mask
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はカラーフィルターの製造に関するもので、この
用途としては、光に関して認識した９、光を分光したシ
する分野が挙げられる。具体的には、カラービデオカメ
ラ、レンズの着色、ｃＲＴディスプレイの反射防止膜、
液晶テレビ等がある。
用途としては、光に関して認識した９、光を分光したシ
する分野が挙げられる。具体的には、カラービデオカメ
ラ、レンズの着色、ｃＲＴディスプレイの反射防止膜、
液晶テレビ等がある。
従来例の構成とその問題点
従来、２色以上の色素を有するカラーフィルター（例え
ば、・モザイク状、ストライプ状カラーフィルタ、−な
ど）を形成する際に使用される染色ベースとしては、カ
ゼインあるいはゼラチンに重クロム酸塩を架橋剤として
添加したものが用いられてきた。以下にゼラチン−重ク
ロム酸塩系感光性樹脂を用いたカラーフィルターの製造
方法を第１図から第３図を用いて説明する。
ば、・モザイク状、ストライプ状カラーフィルタ、−な
ど）を形成する際に使用される染色ベースとしては、カ
ゼインあるいはゼラチンに重クロム酸塩を架橋剤として
添加したものが用いられてきた。以下にゼラチン−重ク
ロム酸塩系感光性樹脂を用いたカラーフィルターの製造
方法を第１図から第３図を用いて説明する。
まず基板１上にゼラチン−重クロム酸塩系感光性樹脂２
全スピンコード法により均一に塗布する（第１図）。こ
れに所定のパターンを有するマスクを介して紫外線を照
射し、水により現像してパターンを顕在化させる。乾燥
後、所定の分光を有する染料を用いて残された１１Ｉｊ
脂パターンを染色し着色パターン３を得る。その上部に
混染防止のため、光学的に透明な中間膜４を形成する（
第２図）。
全スピンコード法により均一に塗布する（第１図）。こ
れに所定のパターンを有するマスクを介して紫外線を照
射し、水により現像してパターンを顕在化させる。乾燥
後、所定の分光を有する染料を用いて残された１１Ｉｊ
脂パターンを染色し着色パターン３を得る。その上部に
混染防止のため、光学的に透明な中間膜４を形成する（
第２図）。
さらに上記工程を繰り返して、２色目、３色目の着色パ
ターンを形成し、最後に全面に保護膜５を均一に塗布す
る（第３図）０ 従来染色ベースとしてｆ用されているカセインもしくは
ゼラチンに重クロム酸塩を添加してなる感光性樹脂は、
六価クロムを含有するため、感光液の廃棄や現像時の排
水処理が問題となる。また上記工程で製造さ庇るカラー
フィルターは多層構造であるため、フィルター全体の厚
みが厚く、固体撮像素子上に形成した場合などは光の回
折が問題となる。さらに、この光の回折を防ぐために単
層フィルターを形成しようとすると、上記工程に加えて
各混染防止膜省アライメントー露光−現像−乾燥の工程
が入り、工程数が著しく増加し、作業性の低下だけでな
く、歩留りの低下を引き起こす原因となる。
ターンを形成し、最後に全面に保護膜５を均一に塗布す
る（第３図）０ 従来染色ベースとしてｆ用されているカセインもしくは
ゼラチンに重クロム酸塩を添加してなる感光性樹脂は、
六価クロムを含有するため、感光液の廃棄や現像時の排
水処理が問題となる。また上記工程で製造さ庇るカラー
フィルターは多層構造であるため、フィルター全体の厚
みが厚く、固体撮像素子上に形成した場合などは光の回
折が問題となる。さらに、この光の回折を防ぐために単
層フィルターを形成しようとすると、上記工程に加えて
各混染防止膜省アライメントー露光−現像−乾燥の工程
が入り、工程数が著しく増加し、作業性の低下だけでな
く、歩留りの低下を引き起こす原因となる。
発明の目的
本発明は、染色ベースに○−ナフトキノンジアジド化合
物を含んだ樹脂を使用することにより、公害の心配がな
く、かつ単層で製造工程数の少いカラーフィルターの製
造方法を提供するものである０ 発明の構成 本発明は、染色ベースＫＯ−ナフトキノンジアジド化合
物を含有した樹脂を使用することを特徴とする。０−ナ
フトキノンジアジド化合物は、紫外線を照射することに
より、下記のような転位反応を起こす。この光反応を利
用して、転位によって生成した一〇〇〇Ｈ基に塩基性染
料、カチオン染料等を用いて染色し、着色部全形成する
。〇−ナフトキノンジアジド化合物を含有する樹脂とし
ては、光学的に透明なものが要求される。例を挙げると
次のようなものがある。ポリメチルメタクリレート、ポ
リブチルメタクリレ−１・、ポリグロビルメタクリレー
ト、ポリメチルアクリレート。
物を含んだ樹脂を使用することにより、公害の心配がな
く、かつ単層で製造工程数の少いカラーフィルターの製
造方法を提供するものである０ 発明の構成 本発明は、染色ベースＫＯ−ナフトキノンジアジド化合
物を含有した樹脂を使用することを特徴とする。０−ナ
フトキノンジアジド化合物は、紫外線を照射することに
より、下記のような転位反応を起こす。この光反応を利
用して、転位によって生成した一〇〇〇Ｈ基に塩基性染
料、カチオン染料等を用いて染色し、着色部全形成する
。〇−ナフトキノンジアジド化合物を含有する樹脂とし
ては、光学的に透明なものが要求される。例を挙げると
次のようなものがある。ポリメチルメタクリレート、ポ
リブチルメタクリレ−１・、ポリグロビルメタクリレー
ト、ポリメチルアクリレート。
ポリブチルアクリレート、ポリグロビルアクリレート、
ポリグリシジルメタクリレートなど。
ポリグリシジルメタクリレートなど。
捷た、０−ナフトキノンジアジド化合物をその分子中に
官能基として有している樹脂も本発明に使用さｎる染色
ベースとして用いられる。
官能基として有している樹脂も本発明に使用さｎる染色
ベースとして用いられる。
実施例の説明
本発明を用いたカラーフィルター製造方法の実施例につ
いて、第４図から第９図を用いて以下に説明する。
いて、第４図から第９図を用いて以下に説明する。
まず、透明基板１上に０−ナフトキノンジアジド化合物
を含有した樹脂６をスピンコード法により均一に塗布す
る。所定のパターンを有するマスクを介して、紫外線を
照射し、第１色目のパターン７を形成する（第４図）。
を含有した樹脂６をスピンコード法により均一に塗布す
る。所定のパターンを有するマスクを介して、紫外線を
照射し、第１色目のパターン７を形成する（第４図）。
こｎｆ下記の条件で染色し着色パターン７Ａｉ得る。
染色条件
スミアクリル争レッド・ｒｑ−Ｇ ’；ｇ／”酢酸 ｏ
、５ＣＣ／Ｊｌ 染色温度・時間 ８０”Ｃ，５分間 歯色後、水洗により余分の染料を除去し、乾燥する０ 次に混染防止のため、着色パターンＴＡ上に透明な膜パ
ターン８を形成する。寸ずスピンコード法で均一に透明
膜を塗布し、所定のパターンを有するマスクを介して露
光し、現像により膜パターン８Ａを顕在化させる（第５
図）。
、５ＣＣ／Ｊｌ 染色温度・時間 ８０”Ｃ，５分間 歯色後、水洗により余分の染料を除去し、乾燥する０ 次に混染防止のため、着色パターンＴＡ上に透明な膜パ
ターン８を形成する。寸ずスピンコード法で均一に透明
膜を塗布し、所定のパターンを有するマスクを介して露
光し、現像により膜パターン８Ａを顕在化させる（第５
図）。
さらに第２色目の着色パターン′を形成するため同様に
所定のパターンを有するマスクを介して樹脂６を露光し
、下記の条件で染色して着色パターン９を得る（第６図
）。
所定のパターンを有するマスクを介して樹脂６を露光し
、下記の条件で染色して着色パターン９を得る（第６図
）。
染色条件
カヤクリル・ブリリアント・イエロー・６ＧＬ−ＥＤ
５ｇ／μ カヤクリル・ブルー・ＧＳＩ、−ＥＤ １ｏｇ／１１ 無水芒硝 １９／ＩＩ 染色温度・時間 ８０°Ｃ，１ｏ分間 水洗・乾燥後、透明な樹脂全塗布し、同様に露光−現像
して、第２色目の着色パターン上に混染防止膜パターン
８Ｂを形成Ｊ−る（第７１Ａ）。
５ｇ／μ カヤクリル・ブルー・ＧＳＩ、−ＥＤ １ｏｇ／１１ 無水芒硝 １９／ＩＩ 染色温度・時間 ８０°Ｃ，１ｏ分間 水洗・乾燥後、透明な樹脂全塗布し、同様に露光−現像
して、第２色目の着色パターン上に混染防止膜パターン
８Ｂを形成Ｊ−る（第７１Ａ）。
同様にして、所定のパターンを有するマスクを介して樹
脂６を露光し、こｆＬを下記の条件で染色し、水洗 染色条件 スミアクリル・ブルー・Ｎ−Ｇ ＲＬ １ｏ９／ＩＩ 酢酸 １ｇ／ＩＶ。
脂６を露光し、こｆＬを下記の条件で染色し、水洗 染色条件 スミアクリル・ブルー・Ｎ−Ｇ ＲＬ １ｏ９／ＩＩ 酢酸 １ｇ／ＩＶ。
染色温度・時間 ｓｏ’ｃ、ｓ分間
乾燥して第３色目の着色パターン１０’ｚ形成する０最
後にフィルター全面に保護膜５を形成する。
後にフィルター全面に保護膜５を形成する。
こうしてカラーフィルタ積層型固体俺像累子が作成され
る。
る。
発明の効果
本発明のＯ−ナフトキノンジアジド化合物を含む樹脂を
用いたカラーフィルターの製造方法は、従来のカゼイン
もしくはゼラチンに重クロム酸塩を添加した感光性樹脂
を用いた製造方法に比べて公害の心配がなく、かつ薄膜
単層フィルターをより安易に製造することができる。こ
ｆｌＫより、作業性の向上９作業時間の短縮１歩留りの
向上環の効果を得ることができる。
用いたカラーフィルターの製造方法は、従来のカゼイン
もしくはゼラチンに重クロム酸塩を添加した感光性樹脂
を用いた製造方法に比べて公害の心配がなく、かつ薄膜
単層フィルターをより安易に製造することができる。こ
ｆｌＫより、作業性の向上９作業時間の短縮１歩留りの
向上環の効果を得ることができる。
第１図から第３図はゼラチン−重クロム酸塩系感光性樹
脂を用いた従来のカラーフィルター製造方法を示す図、
第４図から第９図は、Ｏ−ナツトキノンジアジド化合物
を含む樹脂を用いた本発明の実施例を示す図である。 ６−・・・・Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む樹
脂、７・・・・第１色目の着色パターン、８・ 第２色
目の着色パターン、９・・ 第３色目の着色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＠１
図 １３□ １
脂を用いた従来のカラーフィルター製造方法を示す図、
第４図から第９図は、Ｏ−ナツトキノンジアジド化合物
を含む樹脂を用いた本発明の実施例を示す図である。 ６−・・・・Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む樹
脂、７・・・・第１色目の着色パターン、８・ 第２色
目の着色パターン、９・・ 第３色目の着色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＠１
図 １３□ １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上にＯ−ナフトキノンジアジド化合物を含記 む樹脂を塗布する工程、前排塗膜に所定のパターンを有
するマスクを介して露光部を形成する工程、所定の分光
を有する染料を用いて前記露光部を染色する工程、光学
的に透明な樹脂を塗布する工程。 客− 前＃塗膜を所定のパターンを有するマスクを介して露光
し、現像によってパターンを顕在化させる工程からなる
カラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164440A JPS6055302A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | カラ−フィルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164440A JPS6055302A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | カラ−フィルタ−の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055302A true JPS6055302A (ja) | 1985-03-30 |
| JPH0263203B2 JPH0263203B2 (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=15793200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164440A Granted JPS6055302A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | カラ−フィルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055302A (ja) |
-
1983
- 1983-09-06 JP JP58164440A patent/JPS6055302A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0263203B2 (ja) | 1990-12-27 |
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